JP2018101127A - ビームリソグラフィ用のプロセスドーズ量(Process Dose)とプロセスバイアス(Process Bias)の決定(Determination) - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(i)ビームリソグラフィにより露光されたフィーチャの複数の測定された線幅と、(ii)フィーチャを露光した複数の異なる露光ドーズ量と、(iii)露光されたフィーチャの複数の異なる密度及び露光されたフィーチャの複数の異なる公称線幅のうち少なくとも1つと、(iv)プロセスドーズ量と、(v)少なくとも1つのプロセスバイアスと、のパラメータでパラメータ化されたモデルを提供するを含む。さらなるステップでは、前記方法はプロセスドーズ量とプロセスバイアスを決定するため、データセットでモデルをフィッティングすることを含む。
【選択図】図8
Description
Claims (15)
- ビームリソグラフィプロセスのためのプロセスドーズ量とプロセスバイアスを決定する方法であって、
(i)ビームリソグラフィにより露光されたフィーチャの複数の測定された線幅と、
(ii)前記フィーチャを露光した複数の異なる露光ドーズ量と、
(iii)前記露光されたフィーチャの複数の異なるフィーチャ密度及び前記露光されたフィーチャの複数の異なる公称線幅のうち少なくとも1つと、を関連付けることを可能にするデータセットにアクセスすることと、
少なくとも、
(i)測定されたフィーチャ線幅と、
(ii)露光ドーズ量と、
(iii)フィーチャ密度と公称フィーチャ線幅の少なくとも1つと、
(iv)プロセスドーズ量と、
(v)少なくとも1つのプロセスバイアスと、
のパラメータでパラメータ化されたモデルを提供することと、
前記プロセスドーズ量と前記プロセスバイアスを決定するため、前記データセットで前記モデルをフィッティングすることと、を含む方法。 - 前記モデルは前記プロセスドーズ量パラメータを含むプロセスドーズ量項を含み、
前記プロセスドーズ量項は、前記プロセスドーズ量と、露光レジストを除去するための閾値ドーズ量及び露光レジストが残るようにするオンセットドーズ量の1つの比率が定数であるとの仮定のもとモデル化された請求項1に記載の方法。 - 前記定数が、前記プロセスドーズ量をアイソフォーカルドーズ量に設定する0.5及び前記プロセスドーズ量を3次元リソグラフィのために設定する1.0の1つに等しい請求項2に記載の方法。
- 前記プロセスドーズ量項は、比率
を含むようにモデル化され、
ProcessDoseは前記プロセスドーズ量パラメータであり、Dexpは前記ドーズ量パラメータである請求項2または3に記載の方法。 - 前記モデルは前記プロセスドーズ量パラメータ及びフィーチャ密度パラメータを含むプロセスドーズ量項を含み、
前記プロセスドーズ量パラメータはフィーチャ密度独立パラメータとしてモデル化され、
前記フィーチャ密度パラメータは前記プロセスドーズ量項のフィーチャ密度独立パラメータをモデル化するように構成される請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。 - 前記モデルは、第1プロセスバイアスパラメータを含むプロセスバイアス項を含み、
第1プロセスバイアス項はフィーチャ密度独立である請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。 - 前記モデルは少なくとも1つのプロセスバイアスパラメータを含むプロセスバイアス項を含み、
前記プロセスバイアス項はモデルに加法項としてモデル化されている請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。 - 前記プロセスバイアス項はフィーチャ密度依存の第2プロセスバイアスパラメータを含む請求項6または請求項6を引用する請求項7に記載の方法。
- 前記モデルは前記測定されたフィーチャ線幅パラメータを含む測定されたフィーチャ線幅項を含み、
前記測定されたフィーチャ線幅項はモデルに加法項としてモデル化される請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。 - 前記モデルはブラーパラメータによりさらにパラメータ化された請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記フィーチャが少なくとも1つの共通公称線幅を有するように露光される請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 露光される前記フィーチャのパターンが、露光に先立って近接効果補正を受ける請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- リソグラフィパターンを露光するように構成されるビーム書き込み装置において、前記モデルを前記データセットでフィッティングすることにより決定される前記プロセスドーズ量を設定することをさらに含み、
前記リソグラフィパターンは第1プロセスパラメータセットを使って処理され、
前記第1プロセスパラメータセットは前記データセットが取得された第2プロセスパラメータセットと類似である請求項1から12のいずれか一項に記載の方法。 - コンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータプログラム製品が1つ以上のコンピューティング装置で実行されるときに請求項1から13のいずれか一項に記載の前記方法を実行するためのプログラムコード部分を含むコンピュータプログラム製品。
- ビームリソグラフィプロセスのためのプロセスドーズ量とプロセスバイアスを決定する装置であって、
前記装置は、
(i)ビームリソグラフィにより露光されたフィーチャの複数の測定された線幅と、
(ii)前記フィーチャを露光した複数の異なる露光ドーズ量と、
(iii)前記露光されたフィーチャの複数の異なるフィーチャ密度及び前記露光されたフィーチャの複数の異なる公称線幅のうち少なくとも1つと、を関連付けることを可能にするデータセットにアクセスし、
少なくとも、
(i)測定されたフィーチャ線幅と、
(ii)露光ドーズ量と、
(iii)フィーチャ密度と公称フィーチャ線幅の少なくとも1つと、
(iv)プロセスドーズ量と、
(v)少なくとも1つのプロセスバイアスと、
のパラメータでパラメータ化されたモデルを保存し、
前記プロセスドーズ量と前記プロセスバイアスを決定するため、前記データセットで前記モデルをフィッティングするように適合された装置。
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