JP2018088636A - 超音波デバイス、超音波装置、及び厚み設計方法 - Google Patents
超音波デバイス、超音波装置、及び厚み設計方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018088636A JP2018088636A JP2016231418A JP2016231418A JP2018088636A JP 2018088636 A JP2018088636 A JP 2018088636A JP 2016231418 A JP2016231418 A JP 2016231418A JP 2016231418 A JP2016231418 A JP 2016231418A JP 2018088636 A JP2018088636 A JP 2018088636A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- metal film
- opening
- substrate
- ultrasonic device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000013461 design Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 206
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 206
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 85
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 56
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 54
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 38
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 19
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000017531 blood circulation Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/221—Arrangements for directing or focusing the acoustical waves
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/42—Details of probe positioning or probe attachment to the patient
- A61B8/4272—Details of probe positioning or probe attachment to the patient involving the acoustic interface between the transducer and the tissue
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4444—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device related to the probe
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4483—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
- A61B8/4494—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer characterised by the arrangement of the transducer elements
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/52—Devices using data or image processing specially adapted for diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/5269—Devices using data or image processing specially adapted for diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves involving detection or reduction of artifacts
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/54—Control of the diagnostic device
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
- G01N29/0654—Imaging
- G01N29/0672—Imaging by acoustic tomography
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2406—Electrostatic or capacitive probes, e.g. electret or cMUT-probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2437—Piezoelectric probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/32—Arrangements for suppressing undesired influences, e.g. temperature or pressure variations, compensating for signal noise
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/024—Mixtures
- G01N2291/02466—Biological material, e.g. blood
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/024—Mixtures
- G01N2291/02475—Tissue characterisation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/26—Scanned objects
- G01N2291/269—Various geometry objects
- G01N2291/2697—Wafer or (micro)electronic parts
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Surgery (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Gynecology & Obstetrics (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
Abstract
【解決手段】第一面411C及び第一面411Cの裏面である第二面411Dを含み、第一面411Cから第二面411Dに亘って開口された開口部411Aを備える基板411と、開口部411Aの第一面側を閉塞する支持膜412と、支持膜412に設けられた振動子413と、基板411の第二面411Dにおいて、開口部411Aにより開口されていない未開口領域に設けられた金属膜42と、を備える。
【選択図】図6
Description
特許文献1に記載の超音波デバイスは、振動膜を備えた複数のセルを備える。この超音波デバイスでは、振動膜を振動させることで超音波を送信し、振動膜の振動を検出することで受信した超音波を検出する。そして、この超音波デバイスでは、セル上にシリコーンゴム層が設けられ、当該シリコーンゴム層を介して静電シールドが設けられている。
この超音波デバイスでは、セルに、第一の電極と第二の電極とを間隔を介して対向配置された静電容量型トランスデューサーを用いている。このため、上記のような静電シールドを設けることで、超音波デバイスを被検体に近接させた際に、被検体に帯電された電荷によって、静電容量型トランスデューサーを構成する電極との間に電気的な結合が発生することを抑制できる。
本態様では、開口部に音響層が設けられ、基板の未開口領域に加え、開口部に充填される音響層上にも金属膜が設けられている。そして、当該金属膜の厚み寸法が、10μm以上、200μm以下となる。
本態様では、音響層の領域に金属膜が設けられることで、外部からの電磁波をより効果的に抑制できる。一方、このように、超音波の進行路上となる音響層の領域に金属膜が設けられると、超音波の送受信が阻害される。これに対して、本態様では、金属膜の厚み寸法が10μm以上、200μm以下となる。このような構成では、金属膜による超音波の相対透過音圧の低下率が0.5以下となり、超音波の送受信効率の著しい低下を抑制できる。
本態様では、金属膜の厚み寸法を10μm以上、100μmとすることがより好ましい。このように、金属膜の厚み寸法を10μm以上とすることで、電磁波を十分に吸収でき、例えば金属膜を透過したノイズ電磁波が振動子に入力される不都合を抑制できる。また、金属膜の膜厚寸法が100μmを超えると、相対透過音圧の低下幅(勾配)が急峻となり、超音波の音響特性が不安定となる。これに対して、金属膜の膜厚寸法を100μm以下とすることで、超音波の音響特性の急激な変化が生じにくく、安定した音響特性の超音波デバイスを提供できる。
本態様では、金属膜は、基板の第二面における未開口領域と、開口部の内周面と、支持膜の開口部に臨む面に設けられている。上述したように、基板の第二面における未開口領域に設けられた金属膜は、超音波の送受信への影響が小さい。同様に、開口部の内周面に設けられる金属膜は、超音波の進行を妨げることがなく、超音波の送受信への影響が小さい。また、支持膜に設けられる金属膜は、超音波の送受信処理において、支持膜とともに振動する。このため、金属膜の厚み寸法を、支持膜の振動を阻害しない程度に十分小さくすることで、当該支持膜に設けられる金属膜においても、超音波の送受信への影響を小さくできる。すなわち、本態様においても、金属膜による超音波の送受信効率の低下を抑制することができ、かつ、金属膜により、広い範囲を覆うことができるので、電磁波によるノイズの影響をより低減することができる。
本態様では、金属膜は、未開口領域において開口部を囲って設けられている。上述したように、基板の第二面における未開口領域に設けられた金属膜は、超音波の送受信への影響が小さい。また、金属膜が開口部を囲って設けられているので、例えば、金属膜が開口部を覆っている場合に比べて、音響特性の低下を抑制しつつ、電磁波のノイズ成分を遮断することができる。すなわち、本態様においても、金属膜による超音波の送受信効率の低下を抑制することができ、かつ、金属膜が開口部に設けられていないので、電磁波によるノイズの影響をより低減しつつ、超音波の送受信への影響をより小さくすることができる。
本態様では、開口部に設けられた音響層の一面が、金属膜の面と段差なく平坦に連なる。このため、金属膜及び音響層の上に例えば音響レンズ等の音響部材を接合する際に、音響層及び音響部材の間に空気等の気体の混入される不都合を抑制できる。
本態様では、制御部により、超音波デバイスによる超音波の送信を制御する送信処理や、超音波デバイスで超音波を受信させる受信処理を実施できる。また、制御部は、受信処理により得られた受信信号に基づいて、例えば、測定対象の内部断層像を形成するなどの各種処理を実施できる。
以下、第一実施形態に係る超音波装置について、図面に基づいて説明する。
[超音波装置の概略構成]
図1は、本実施形態の超音波装置1の概略構成を示す斜視図である。図2は、本実施形態の超音波装置1の概略構成を示すブロック図である。
本実施形態の超音波装置1は、図1に示すように、超音波プローブ2と、超音波プローブ2にケーブル3を介して電気的に接続された制御装置10と、を備えている。
この超音波装置1は、超音波プローブ2を対象物(例えば生体)の表面に当接させ、超音波プローブ2から生体内に超音波を送出する。また、対象物(生体)内の器官にて反射された超音波を超音波プローブ2にて受信し、その受信信号に基づいて、例えば生体内の内部断層画像を取得したり、生体内の器官の状態(例えば血流等)を測定したりする。
図3は、超音波プローブ2の概略構成を示す断面図である。
超音波プローブ2は、超音波モジュールであり、筐体21と、超音波センサー22と、を備える。
[筐体の構成]
筐体21は、図1に示すように、平面視矩形状の箱状に形成され、超音波センサー22を収納する。筐体21の厚み方向に直交する一面(センサー面21A)には、センサー窓21Bが設けられており、超音波センサー22の一部(後述する音響レンズ7)が露出している。また、筐体21の一部(図1に示す例では側面)には通過孔が設けられ、通過孔を介してケーブル3が筐体21の内部に挿入される。このケーブル3は、図示を省略するが、筐体21の内部にて超音波センサー22(後述する回路基板6)に接続されている。
なお、本実施形態では、ケーブル3を用いて、超音波プローブ2と制御装置10とが接続される構成例を示すが、これに限定されず、例えば超音波プローブ2と制御装置10とが無線通信により接続されていてもよく、超音波プローブ2内に制御装置10の各種構成が設けられていてもよい。
超音波センサー22は、図3に示すように、超音波デバイス4と、回路基板6と、音響レンズ7と、を備える。後述するが、回路基板6には、超音波デバイス4を制御するためのドライバー回路等が設けられており、超音波デバイス4は、例えばフレキシブル基板等の配線部材5を介して回路基板6に電気的に接続される。この超音波デバイス4の超音波送受信側の面に、音響レンズ7が設けられており、当該音響レンズ7は、筐体21の一面側から外部に露出する。
次に、超音波基板41の構成について詳述する。
図4は、超音波基板41の概略構成を示す平面図であり、図5は、超音波基板41の一部を図4とは反対方向側から見た平面図である。
超音波デバイス4は、超音波基板41と、当該超音波基板41上に位置する金属膜42(図5参照)と、を有する。
このような超音波基板41には、図4に示すように、互いに交差(本実施形態では、直交を例示)するX方向(スキャン方向)及びY方向(スライス方向)に沿って、複数の超音波トランスデューサー41A(超音波素子)が2次元アレイ状に配置されている。ここで、Y方向に配置された複数の超音波トランスデューサー41Aにより、1CH(チャネル)の送受信列41B(素子群)が構成される。また、当該1CHの送受信列がY方向に沿って複数並んで配置されることで、1次元アレイ構造の超音波基板41が構成される。ここで、超音波トランスデューサー41Aが配置される領域をアレイ領域Arとする。
なお、図4及び図5は、説明の便宜上、超音波トランスデューサー41Aの配置数を減らしているが、実際には、より多くの超音波トランスデューサー41Aが配置されている。
超音波基板41は、図6に示すように、素子基板411と、素子基板411の第一面411C上に設けられる支持膜412と、支持膜412上に設けられる圧電素子413とを備えて構成されている。
素子基板411は、例えばSi等の半導体基板により構成されている。この素子基板411は、各々の超音波トランスデューサー41Aに対応した開口部411Aが設けられている。本実施形態では、各開口部411Aは、素子基板411の一端面(第一面411C)から、第一面411Cの裏面である第二面411Dに亘って開口され、基板厚み方向を貫通した貫通孔である。この開口部411Aは、第一面411C側が支持膜412により閉塞されている。
なお、素子基板411の第一面411C側には、素子基板411を補強するための図示略の封止板が配置され、例えば樹脂等の接着部材により固定されている。
つまり、開口幅の最大寸法が略70μmとなる開口部411Aが、略10μmピッチで配置され、これらの開口部411Aを囲って金属膜42が設けられている。
ここで、支持膜412のうち、開口部411Aを閉塞する部分は振動部412Aを構成し、この振動部412Aと、圧電素子413とにより、1つの超音波トランスデューサー41A(振動子)が構成される。
このような超音波トランスデューサー41Aでは、下部電極413A及び上部電極413Cの間に所定周波数の矩形波電圧(駆動信号)が印加されることで、圧電膜413Bが撓んで振動部412Aが振動して超音波が送出される。また、生体から反射された超音波により振動部412Aが振動されると、圧電膜413Bの上下で電位差が発生する。これにより、下部電極413A及び上部電極413Cの間に発生する電位差を検出することで、受信した超音波を検出することが可能となる。
金属膜42は、Al(アルミニウム)等の金属膜により構成されている。この金属膜42は、外部からの電磁波が入力された場合でも、超音波トランスデューサー41A(振動子)に当該電磁波が入力されることを抑制する。このような金属膜42は、超音波基板41の第一面411Cの裏面である第二面411Dにおいて、開口部411Aにより開口されていない未開口領域に位置する。つまり、金属膜42は、超音波基板41の第二面411Dのうち、開口部411Aを形成する隔壁411B上に設けられている。よって、本実施形態では、超音波基板41を基板厚み方向から見た平面視において、金属膜42は、図5に示すように、開口部411Aを囲って設けられている。
ここで、本実施形態においてノイズとしてカットしたい電磁波は、周波数30MHz〜1GHzの電磁波である。このような電磁波は、例えば、周波数30MHzの場合における波長の長さは、略10mであり、周波数1GHzの場合における波長の長さは、300mmである。メッシュ状の金属膜42により静電シールド効果を得るためには、メッシュ間隔を、電磁波の半波長よりも小さくする必要がある。
これに対し、本実施形態では、金属膜42の幅寸法が略10μmであり、ピッチ間隔の最大値は70μm以下となる。よって、上記周波数帯域の電磁波が、メッシュ孔を透過することがなく、金属膜42での反射や吸収による電磁シールド効果を得ることができる。
この金属膜42による電磁シールドは、主に反射によるシールド効果により成り立つが、これに加え、金属膜42により電磁波を吸収することで、より高いシールド効果を得ることができる。
ここで、金属膜42による電磁波の吸収では、シールド効果(減衰損A)は、以下の数式(1)により求められる。
超音波測定において、生体の内部断層画像を得る場合、ノイズ成分による画像不鮮明等の画像劣化を抑制するためには、120dB程度のシールド効果を達成することが好ましい。本実施形態において、超音波測定時のノイズとなる可能性がある電磁波は、周波数30MHz〜1GHzの電磁波であり、金属膜42の膜厚寸法tをt≧8μmとすることで、上記シールド効果を達成することができ、10μm以上とすることがより好ましい。例えば、金属膜42の膜厚寸法が10μmである場合には、f=30MHzの電磁波に対して51dB、f=1GHzの電磁波に対して294dBとなり、十分なシールド効果を得ることができる。
音響レンズ7は、超音波デバイス4から送信された超音波を測定対象である生体に効率よく伝搬させ、また、生体内で反射した超音波を効率よく超音波デバイス4に伝搬させる。この音響レンズ7は、超音波デバイス4が超音波を送受信する面に沿って配置される。
ここで、上述のように、超音波デバイス4と音響レンズ7との間には、音響層414が設けられる。この音響層414は、素子基板411に金属膜42が蒸着された後、音響層414を形成する液状の材料(例えば、液状のシリコーン等)を、開口部411Aに充填して形成する。この際、金属膜42の表面(素子基板411とは反対側の面)に合わせて、ヘラ等の直線部を有する部材を用いて、表面が均一な平面となるように均す。したがって音響層414の素子基板411と反対側の面414Aは、金属膜42の表面421と段差なく平坦に連なる面となる。
これにより、音響レンズ7を、金属膜42の表面421及び面414Aに接合する際に、空気等の気体が音響層414と当該音響レンズ7との間に封入される不都合が抑制される。
次に、回路基板6について説明する。
図2に戻って、回路基板6は、超音波トランスデューサー41Aを駆動させる各種回路として、例えば選択回路61、送信回路62(信号出力部)及び受信回路63を備えている。また、回路基板6は、超音波基板41の第一端子413A1に接続される第一入出力部66A1、第二端子413A2に接続される第二入出力部66A2を備える。
さらに、回路基板6は、図示は省略するが、共通端子413D1に接続される共通入出力部、共通入出力部に接続されて共通端子413D1に共通電圧を印加する共通電圧出力部等を備える。
この選択回路61は、制御装置10の制御に基づいて、超音波トランスデューサー41A(送受信列41B)と送信回路62とを接続する送信接続、及び超音波トランスデューサー41A(送受信列41B)と受信回路63とを接続する受信接続を切り替える。
送信回路62は、駆動信号を出力する信号出力部であり、制御装置10の制御により送信接続に切り替えられた際に駆動信号を出力する。この駆動信号は、選択回路61を介して各送受信列41Bに入力され、これにより、各超音波トランスデューサー41Aが駆動されて超音波が送出される。
制御装置10は、図2に示すように、例えば、操作部11と、表示部12と、記憶部13と、制御部14と、を備えて構成されている。この制御装置10は、例えば、タブレット端末やスマートフォン、パーソナルコンピューター等の端末装置を用いてもよく、超音波プローブ2を操作するための専用端末装置であってもよい。
操作部11は、ユーザーが超音波装置1を操作するためのUI(user interface)であり、例えば表示部12上に設けられたタッチパネルや、操作ボタン、キーボード、マウス等により構成することができる。
表示部12は、例えば液晶ディスプレイ等により構成され、画像を表示させる。
記憶部13は、超音波装置1を制御するための各種プログラムや各種データを記憶する。
制御部14は、例えばCPU(Central Processing Unit)等の演算回路や、メモリー等の記憶回路により構成されている。そして、制御部14は、記憶部13に記憶された各種プログラムを読み込み実行することで、送受信制御部141及び画像形成部142等として機能する。
画像形成部142は、超音波プローブ2から送信された受信信号(画像信号)に基づいて、生体の内部断層像(超音波画像)を生成する。また、画像形成部142は、生成した内部断層像を表示部12に表示させる。
以上説明した本実施形態に係る超音波装置1は、以下の効果を奏する。
本実施形態では、超音波基板41の第二面411Dにおいて、開口部411Aが設けられていない領域である隔壁411Bに金属膜42が設けられている。このような構成では、圧電素子413により支持膜412を振動させて超音波を送信する場合でも、支持膜412にて超音波を受信する場合でも、金属膜42が超音波の進行経路上に設けられていない。このため、当該金属膜42による超音波の送受信の阻害が抑制される。また、金属膜42が設けられることで、外部からの電磁波が入力された場合でも、圧電素子413に当該電磁波が入力されない。したがって、例えば超音波受信時のノイズの影響を抑制できる。
また、超音波装置1の超音波プローブ2により取得され、制御装置10の表示部12に表示される内部断層画像において、ノイズ成分による画像の乱れや、不鮮明等を抑制できる。
上記第一実施形態では、金属膜42は、超音波基板41の第二面411Dにおける隔壁411Bにおいて、開口部411Aを囲って配置されていることとしたが、これに限らず、例えば、隔壁411B(未開口部)における外縁と、X方向に沿う方向に延びる部位と、にのみ金属膜42が設けられる構成としてもよい。
上記第一実施形態では、超音波トランスデューサー41Aの振動部412Aを、素子基板411の開口部411A(隔壁411B)により形成したが、図7に示すように、隔壁411Bと、封止板43を接合するための樹脂部材431とにより構成されていてもよい。
本変形例では、開口部411Aは、Y方向に沿った長手状となり、複数の超音波トランスデューサー41Aに亘って配置される。
また、封止板43と素子基板411とを接合する樹脂部材431が、X方向と平行に複数設けられている。
このような構成では、超音波トランスデューサー41Aの振動部412Aは、支持膜412のうち、隣り合う一対の隔壁411Bと、隣り合う一対の樹脂部材431とにより囲われる領域によって構成されることになる。
さらに、上記金属膜42は、1CH毎の開口群(複数の開口部411A)を囲むように設けられてもよい。
本変形例によれば、金属膜42が隔壁411Bの外縁と、一方向(Y方向)に沿う方向に延びる部位のみ設けられているので、金属膜42を隔壁411Bの全領域に設ける場合に比べて、金属膜42の蒸着量を軽減できる。この場合であっても、上記第一実施形態と同様の効果を奏することができる。
また、超音波デバイス4が、封止板43を有しているので、超音波基板41を補強することにより、超音波トランスデューサー41Aを保護できる。
次に、本発明の第二実施形態について説明する。
上述した第一実施形態では、超音波基板41の第二面411Dにおいて、隔壁411Bに金属膜42が位置する例、すなわち、開口部411Aを囲むように金属膜42が隔壁411Bに位置する例を示した。
これに対して、第二実施形態では、超音波基板41の第二面411Dの略全領域に金属膜42Aが設けられている点で、上記第一実施形態と相違する。
本実施形態では、超音波デバイス4Aは、図8に示すように、金属膜42に代えて、金属膜42Aを有する。この金属膜42Aは、超音波基板41の第二面411Dにおける略全領域に設けられている。つまり、金属膜42Aは、第二面411Dにおいて、未開口領域に相当する隔壁411Bと、開口部411A内に充填される音響層414の領域とに設けられている。
ここで、本実施形態では、音響層414は、開口部411A内に充填された後、素子基板411の第二面411Dに合わせて、ヘラ等の直線部を有する部材を用いて、表面が均一な平面となるように均される。したがって、音響層414の素子基板411とは反対側の面414Aは、第二面311Dと平坦に連なる面となり、金属膜42Aの裏面422Aと当接する。すなわち、音響層414の面414Aは、金属膜42Aの裏面422Aと同一平面となる。したがって、金属膜42Aは、素子基板411及び音響層414上に、均一厚みで、かつ段差なく形成することが可能となる。よって、金属膜42A上に音響レンズ7を設ける場合でも、音響レンズ7と金属膜42Aとの間への気体の混入が抑制される。
なお、本実施形態では、金属膜42Aは、蒸着等の工程を経て、第二面411Dの略全領域に設けられているが、これに限らず、例えば、スパッタリング等により金属膜42Aを当該第二面411Dに設けることとしてもよい。
また、上記金属膜42Aの膜厚寸法と超音波の相対透過音圧との関係は、音響レンズ7内に音圧測定点を設け、5MHzのパルス波長(超音波)を開口部411A内に充填された音響層414及び金属膜42Aを介して音圧測定点にて測定された音圧を示している。
アルミニウム等により構成される金属膜42Aは、当該金属膜42Aの膜厚寸法が大きくなるにしたがって、超音波の送受信の際にノイズとなる外部からの電磁波をより効果的に抑制する特性を有する。
よって、本実施形態では、金属膜42AとしてAlを用いる場合、膜厚寸法を、10μm以上200μm以下とすることが好ましい。
ここで、図9に示すように、金属膜42Aの膜厚寸法が10μm未満である場合、相対透過音圧の値は略「1」に近い値となり、超音波トランスデューサー41Aから出射された超音波を確実に透過させることができるものの、金属膜42Aにより吸収する電磁波も減少してしまう。
これに対して、上記のように、本実施形態では、金属膜42Aの膜厚寸法は、10μm以上200μm以下である、すなわち、金属膜42Aの膜厚寸法を、超音波の相対透過音圧の低下率が0.5以下となる寸法に設計することから、外部からの電磁波を十分にカットすることができ、かつ、0.5以上の相対透過音圧を確保できる。
さらに、金属膜42Aの膜厚寸法が10μm以上30μm以下の範囲では、相対透過音圧がほとんど変化しないので、当該金属膜42Aの膜厚寸法を10μm以上30μm以下とすることで、極めて安定した音響特性の超音波デバイス4Aを提供できる。
以上説明した本実施形態に係る超音波装置は、上記第一実施形態に係る超音波装置1と同様の効果を奏する他、以下の効果を奏する。
本実施形態では、音響層414の領域に金属膜42Aが設けられることで、外部からの電磁波をより効果的に抑制できる。一方、このように、超音波の進行路上となる音響層414の領域に金属膜42Aが設けられると、超音波の送受信が阻害される。これに対して、本実施形態では、金属膜42Aの厚み寸法が10μm以上、200μm以下となる。このような構成では、金属膜42Aによる超音波の相対透過音圧の低下率が0.5以下となり、超音波の送受信効率の著しい低下を抑制できる。
特に、金属膜42Aの厚み寸法が10μm以上30μm以下である場合には、相対透過音圧がほとんど変化しないので、極めて安定した音響特性の超音波デバイス4Aを提供できる。
また、素子基板411の開口部411Aに音響層414を充填させて形成したのち、金属膜42Aを成膜する。その後は、パターニング等により金属膜42Aの形状を加工する必要がないので、製造効率を向上できる。
次に、本発明の第三実施形態について説明する。
上述した第一実施形態では、超音波基板41の第二面411Dにおいて、隔壁411Bに金属膜42が位置する例、すなわち、開口部411Aの端縁の周囲に金属膜42が隔壁411Bに位置する例を示した。
これに対して、第三実施形態では、第二面411Dにおける隔壁411Bに加えて、開口部411A内の略全領域に42Bが設けられている点で、上記第一実施形態と相違する。
本実施形態では、超音波デバイス4Bは、図10に示すように、金属膜42に代えて、金属膜42Bを有する。この金属膜42Bは、超音波基板41の第二面411Dにおける隔壁411B上に加えて、開口部411A及び支持膜412の一部に設けられている。つまり、金属膜42Bは、第二面411Dにおける未開口領域に相当する隔壁411Bと、開口部411Aの内周面411A1と、支持膜412の開口部411Aに臨む面412Bとに設けられている。換言すると、金属膜42Bは、開口部411A内に充填される音響層414と、内周面411A1及び面412Bとの間に位置し、かつ、開口部411Aを囲って設けられている。
また、このような金属膜42Bは、本実施形態では、蒸着等の工程を経て、隔壁411B、内周面411A1及び面412Bに設けられているが、これに限らず、例えば、スパッタリング等により金属膜42Bをこれらに設けることとしてもよい。
以上説明した本実施形態に係る超音波装置は、上記第一実施形態に係る超音波装置1と略同様の効果を奏する他、以下の効果を奏する。
本実施形態では、金属膜42Bは、超音波基板41の第二面411Dにおける未開口領域(隔壁411B)と、開口部411Aの内周面411A1と、支持膜412の開口部411Aに臨む面412Bに設けられている。上述したように、超音波基板41の第二面411Dにおける未開口領域である隔壁411Bに設けられた金属膜42Bは、超音波の送受信への影響が小さい。同様に、開口部411Aの内周面411A1に設けられる金属膜42Bは、超音波の進行を妨げることがなく、超音波の送受信への影響が小さい。また、支持膜412に設けられる金属膜42Bは、超音波の送受信処理において、支持膜412とともに振動する。このため、金属膜42Bの厚み寸法を、支持膜412の振動を阻害しない程度(例えば、10μm以上50μm未満)に十分小さくすることで、当該支持膜412に設けられる金属膜42Bにおいても、超音波の送受信への影響を小さくできる。すなわち、本実施形態においても、金属膜42Bによる超音波の送受信効率の低下を抑制することができ、かつ、金属膜42Bにより、広い範囲を覆うことができるので、電磁波によるノイズの影響をより低減することができる。
なお、本発明は、上述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良及び各実施形態を適宜組み合わせる等によって得られる構成は、本発明に含まれるものである。
上記各実施形態において、音響レンズ7を備えることとしたが、これに限定されない。例えば、生体と同一又は略同一の音響インピーダンスを有する音響部材によりセンサー窓21Bを封止し、音響部材と超音波基板41との間に音響層414を設ける構成としてもよい。
図11は、第二実施形態の変形例に係る超音波デバイス4Cを示す断面図である。
図11に示すように、超音波デバイス4Cは、音響層414に代えて、音響層414Cを備える。この音響層414Cは、図12に示すように、開口部411Aから第二面411D(隔壁411B)を覆って設けられる。この場合、音響層414Cの表面414Dを第二面411Dから所定寸法となる位置で均一な平面となるように均す。これにより、音響層414Cの表面が平面となるので、当該音響層414C上に金属膜42Aを均一に形成することができる。
例えば、音響層414が、開口部411A内から金属膜42(金属膜42B)を覆って設けられていてもよい。この場合、音響層414の表面を金属膜42から所定寸法となる位置で均一な平面となるように均す。これにより、音響層414の表面が平面となるため、音響レンズ7等の音響部材を設ける場合でも、空気の混入が抑制され、音響部材を音響層414に密着させることができる。
また、金属膜が支持膜412の開口部411Aに臨む面412Bと、隔壁411Bの一部、開口部411Aの内周面411A1の一部に設けられていてもよい。つまり、開口部411Aに臨む面412Bに設けられたシールド用の金属膜を互いに接続してGNDに導通させる構成としてもよい。
また、超音波トランスデューサー41Aは、振動膜を備えず、圧電素子等の振動子を振動させることにより超音波送信するように構成されてもよい。
Claims (8)
- 第一面、及び前記第一面の裏面である第二面を含み、前記第一面から前記第二面に亘って開口された開口部を備える基板と、
前記開口部の前記第一面側を閉塞する支持部と、
前記支持部に設けられた振動子と、
前記基板の前記第二面において、前記開口部により開口されていない未開口領域に設けられた金属膜と、
を備えたことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項1に記載の超音波デバイスにおいて、
前記開口部に設けられた音響層を備え、
前記金属膜は、前記第二面において、前記未開口領域と、前記音響層の領域とに設けられ、
前記金属膜の前記基板の厚み方向における厚み寸法は、10μm以上、200μm以下である
ことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項2に記載の超音波デバイスにおいて、
前記金属膜の前記厚み寸法は、10μm以上、100μm以下である
ことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項1に記載の超音波デバイスにおいて、
前記金属膜は、前記第二面における前記未開口領域と、前記開口部の内周面と、前記支持部の前記開口部に臨む面とに設けられている
ことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項1に記載の超音波デバイスにおいて、
前記金属膜は、前記未開口領域において、前記開口部を囲って設けられている
ことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の超音波デバイスにおいて、
前記開口部に設けられた音響層を備え、
前記音響層は、前記未開口領域の前記金属膜と平坦に連なる面を有する
ことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の超音波デバイスと、
前記超音波デバイスを制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする超音波装置。 - 第一面、及び前記第一面の裏面である第二面を含み、前記第一面から前記第二面に亘って開口された開口部を備える基板と、前記開口部の前記第一面側を閉塞する支持部と、前記支持部に設けられた振動子と、前記基板の前記第二面において、前記開口部により開口されていない未開口領域に設けられた金属膜と、を備え、超音波の送信及び受信の少なくともいずれかを実施する超音波デバイスにおける前記金属膜の厚み設計方法であって、
前記金属膜の前記基板の厚み方向に対する寸法を、前記超音波の相対透過音圧の低下率が0.5以下となる寸法に設計する
ことを特徴とする厚み設計方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016231418A JP6852366B2 (ja) | 2016-11-29 | 2016-11-29 | 超音波デバイス、及び超音波装置 |
US15/817,665 US10813623B2 (en) | 2016-11-29 | 2017-11-20 | Ultrasonic device, ultrasonic apparatus, and thickness design method |
CN201711165390.8A CN108120769B (zh) | 2016-11-29 | 2017-11-21 | 超声波设备、超声波装置以及厚度设计方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016231418A JP6852366B2 (ja) | 2016-11-29 | 2016-11-29 | 超音波デバイス、及び超音波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018088636A true JP2018088636A (ja) | 2018-06-07 |
JP6852366B2 JP6852366B2 (ja) | 2021-03-31 |
Family
ID=62193135
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016231418A Active JP6852366B2 (ja) | 2016-11-29 | 2016-11-29 | 超音波デバイス、及び超音波装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10813623B2 (ja) |
JP (1) | JP6852366B2 (ja) |
CN (1) | CN108120769B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114367430B (zh) * | 2021-12-16 | 2022-06-14 | 武汉理工大学 | 电容式微机械超声换能器及其制作方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010508888A (ja) * | 2006-11-03 | 2010-03-25 | リサーチ・トライアングル・インスティチュート | 撓みモードの圧電性変換器を用いる増強された超音波画像診断用プローブ |
JP2016033937A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイスおよび超音波デバイス並びにプローブおよび電子機器 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06105844A (ja) | 1992-09-29 | 1994-04-19 | Hitachi Medical Corp | 超音波プローブ |
JP2003309890A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波探触子 |
JP3745703B2 (ja) | 2002-05-28 | 2006-02-15 | アロカ株式会社 | 超音波探触子 |
JP4118737B2 (ja) | 2002-06-03 | 2008-07-16 | 日本電波工業株式会社 | 超音波探触子 |
US6776758B2 (en) | 2002-10-11 | 2004-08-17 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | RFI-protected ultrasound probe |
JP4602013B2 (ja) | 2004-07-13 | 2010-12-22 | 株式会社東芝 | 超音波プローブ |
US7449821B2 (en) * | 2005-03-02 | 2008-11-11 | Research Triangle Institute | Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with air-backed cavities |
CN102670259A (zh) * | 2006-11-03 | 2012-09-19 | 研究三角协会 | 使用挠曲模式压电换能器的增强的超声成像探头 |
CN101636112B (zh) * | 2007-03-20 | 2011-10-26 | 株式会社日立医药 | 超声波探头及其制造方法及超声波诊断装置 |
KR101064601B1 (ko) * | 2009-02-10 | 2011-09-15 | 주식회사 휴먼스캔 | 초음파 탐촉자, 초음파 영상 장치 및 그의 제조 방법 |
CN101852776B (zh) * | 2009-04-02 | 2012-03-21 | 李世雄 | 抗电磁干扰的超声波探头 |
JP2015097733A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置 |
JP6274652B2 (ja) * | 2014-02-20 | 2018-02-07 | 信越ポリマー株式会社 | 超音波診断装置用音響レンズ及び超音波診断装置用プローブ |
JP2016033970A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイスおよびその製造方法並びにプローブおよび電子機器 |
JP2016086956A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波プローブ並びに電子機器および超音波画像装置 |
JP2016097033A (ja) * | 2014-11-20 | 2016-05-30 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ、及び被検体情報取得装置 |
-
2016
- 2016-11-29 JP JP2016231418A patent/JP6852366B2/ja active Active
-
2017
- 2017-11-20 US US15/817,665 patent/US10813623B2/en active Active
- 2017-11-21 CN CN201711165390.8A patent/CN108120769B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010508888A (ja) * | 2006-11-03 | 2010-03-25 | リサーチ・トライアングル・インスティチュート | 撓みモードの圧電性変換器を用いる増強された超音波画像診断用プローブ |
JP2016033937A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイスおよび超音波デバイス並びにプローブおよび電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180146949A1 (en) | 2018-05-31 |
JP6852366B2 (ja) | 2021-03-31 |
CN108120769B (zh) | 2022-11-08 |
US10813623B2 (en) | 2020-10-27 |
CN108120769A (zh) | 2018-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6623596B2 (ja) | 超音波デバイス、超音波モジュール、電子機器、及び超音波測定装置 | |
JP6617536B2 (ja) | 圧電デバイス、圧電モジュール及び電子機器 | |
US10605915B2 (en) | Ultrasonic device, ultrasonic module, electronic apparatus, and ultrasonic measurement apparatus | |
CN107174281B (zh) | 超声波器件、超声波模块及超声波测定装置 | |
JP6907539B2 (ja) | 超音波デバイス、超音波プローブ、及び超音波装置 | |
US20170055950A1 (en) | Ultrasonic device, ultrasonic module, and ultrasonic measurement apparatus | |
CN107773271B (zh) | 超声波器件、超声波组件以及超声波测定装置 | |
JP6601190B2 (ja) | 圧電モジュール、超音波モジュール及び電子機器 | |
JP2017183867A (ja) | 超音波トランスデューサー、超音波アレイ、超音波モジュール、超音波測定装置、及び電子機器 | |
US10910548B2 (en) | Ultrasonic device, ultrasonic probe, ultrasonic apparatus, and ultrasonic device manufacturing method | |
JP6852366B2 (ja) | 超音波デバイス、及び超音波装置 | |
JP2018142830A (ja) | 超音波デバイス、超音波探触子、及び超音波装置 | |
JP6597063B2 (ja) | 超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波測定機 | |
JP2017176311A (ja) | 超音波デバイス、超音波測定装置、及び超音波画像表示装置 | |
JP2017069662A (ja) | 圧電素子基板、圧電モジュール、超音波モジュール、及び超音波装置 | |
JP6834538B2 (ja) | 超音波デバイス、超音波探触子、及び超音波装置 | |
JP6683096B2 (ja) | 超音波デバイス、超音波探触子、及び超音波装置 | |
JP2018068620A (ja) | 超音波デバイス、超音波探触子、及び超音波装置 | |
JP2018161166A (ja) | 超音波デバイス、超音波探触子及び超音波装置 | |
JP2022079132A (ja) | 圧電アクチュエーター、超音波素子、超音波探触子、超音波装置、及び電子デバイス | |
JP2018056618A (ja) | 超音波デバイス、超音波プローブ、及び超音波装置 | |
JP2018029700A (ja) | 超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190919 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200623 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210209 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6852366 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |