JP2018088581A - 半導体装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電力用半導体素子の駆動回路について、電磁ノイズおよびスイッチング損失の低減効果の安定度を高めた構成を提供する。【解決手段】駆動回路１００ａは、電圧選択回路１１０と、電流生成回路１２０と、電流供給回路１４０とを含む。電圧選択回路１１０は、ターンオンおよびターンオフの開始直後には、予め調整された一定電圧ＶＲＥＦ１，ＶＲＥＦ２をノードＮ１，Ｎ２に出力し、その後、パワーデバイスのゲート電圧ＶｇｓをノードＮ１，Ｎ２に出力する。電流生成回路１２０は、ノードＮ１およびＮ２の電圧にそれぞれ応じた基準電流ＩＲＥＦ１および、基準電流ＩＲＥＦ２を生成する。電流供給回路１４０は、ゲート６に対して、ターンオン時には、基準電流ＩＲＥＦ１のｎ倍の出力電流ＩＯＵＴにより充電電流を供給し、ターンオン時には、基準電流ＩＲＥＦ２のｎ倍の出力電流ＩＯＵＴにより放電電流を供給する。【選択図】図３

Description

この発明は半導体装置に関し、より特定的には、電力用半導体素子の駆動回路を搭載した半導体装置に関する。

ＭＯＳ−ＦＥＴ（Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor）およびＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）に代表される電力用半導体素子（以下、単に「パワーデバイス」とも称する）には、外部からの制御信号に応じて当該パワーデバイスをオンオフする駆動回路を構成する半導体装置が配置される。

たとえば、特開２０１３−１６８９０５号公報は、このような半導体装置の一例として、パワーデバイス制御信号に応じて、パワーデバイスのゲート端子にゲート駆動信号を入力するためのパワーデバイス制御回路が記載されている。特許文献１のパワーデバイス制御回路では、タイマ回路を用いて、ゲート端子に接続されるゲート抵抗の抵抗値を切換えることにより、パワーデバイスの駆動能力（すなわち、ゲート端子の充放電速度に相当）を高くする構成が記載されている。

特開２０１３−１６８９０５号公報

特許文献１に記載されたパワーデバイス制御回路によれば、ＲＣ時定数回路によってミラー電圧への到達時間相当に設定されたタイマ時間経過まではゲート端子への供給電流を低く抑える一方で、タイマ時間経過後には供給電流を増加させることで、電磁ノイズおよびスイッチング損失の低減の両立を図ることができる。

しかしながら、特許文献１の構成では、タイマ回路の設置によってゲート電圧のモニタおよびフィードバックを不要とできる一方で、タイマ時間が固定値となるため、入力されるパワーデバイス制御信号の電位、パワーデバイス制御回路の構成素子の特性、または、パワーデバイスの特性（しきい値電圧等）のばらつきによって、タイマ時間の設定が不適切なものとなる虞がある。すなわち、特許文献１の構成では、素子ばらつき等の影響によってゲート抵抗の切換えタイミングが不適切になることにより、電磁ノイズおよびスイッチング損失の低減効果が不十分になることが懸念される。

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、電力用半導体素子の駆動回路を搭載した半導体装置について、電磁ノイズおよびスイッチング損失の低減効果の安定度を高めた駆動回路の構成を提供することである。

本発明の開示のある局面では、半導体装置は、入力された駆動制御信号の信号レベルに応答して、電力用半導体素子のゲートを第１の電源電圧および前記第１の電源電圧よりも低い第２の電源電圧の一方に設定するように構成された駆動回路を備える。駆動回路は、電流供給回路と、電流供給回路による前記出力電流を制御するための電流制御回路とを含む。電流供給回路は、信号レベルの変化に応じて、前記第１または第２の電源電圧へ向けて前記ゲートを充電または放電するための出力電流を前記ゲートへ供給するように構成される。電流制御回路は、信号レベルの遷移による前記ゲートの充電または放電の開始時には前記出力電流を予め定められた固定電流に制御するとともに、前記固定電流の供給後において、前記充電または前記放電によって前記ゲート電圧が変化するのに応じて前記出力電流が増加するように、前記ゲート電圧に応じて前記出力電流を可変に制御するように構成される。

本発明によれば、電力用半導体素子の駆動回路を搭載した半導体装置について、電磁ノイズおよびスイッチング損失の低減効果の安定度を高めた駆動回路の構成を提供することができる。

本発明の実施の形態に従う駆動回路の適用例を説明する概略的な回路図である。 比較例に従う駆動回路の概略構成を説明する回路図である。 実施の形態１に従う駆動回路の構成を説明する回路図である。 実施の形態１に従う駆動回路によるパワーデバイスのオンオフ動作を説明する動作波形図である。 実施の形態２に従う駆動回路の構成を説明する回路図である。 実施の形態２に従う駆動回路によるパワーデバイスのオンオフ動作を説明する動作波形図である。 実施の形態３に従う駆動回路の構成を説明する回路図である。 実施の形態４に従う駆動回路の構成を説明する回路図である。 実施の形態４に従う駆動回路によるパワーデバイスのオンオフ動作を説明する動作波形図である。 実施の形態５に従う駆動回路の実装例を説明するための概略的な回路図である。

以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、以下では、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は原則的に繰返さないものとする。

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態に従う駆動回路の適用例を説明する概略的な回路図である。

図１を参照して、駆動回路１００は、電力用パワーデバイス（以下、単に「パワーデバイス」とも称する）ＰＤのオンオフを制御するように構成されている。図１の例では、パワーデバイスＰＤは、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）として示されるが、本実施の形態に従う駆動回路は、ゲート駆動に応じてオンオフされる任意のパワーデバイスに対して適用することができる。

たとえば、パワーデバイスＰＤは、電源配線２と接地配線３との間に、対向アームを構成するパワーデバイスＰＤ＃と直列に接続される。パワーデバイスＰＤおよびＰＤ＃の接続ノードは、出力端子４と接続される。たとえば、パワーデバイスＰＤおよびＰＤ＃を相補的にオンオフすることによって、出力端子４に接続された負荷（図示せず）に対して、電源電圧ＶＤＤおよび接地電圧ＧＮＤを交互に供給することができる。

駆動回路１００は、電源電圧ＶＣＣを供給する電源配線１１および接地電圧ＧＮＤを供給する接地配線３と電気的に接続されて、駆動制御信号Ｓｐｄの信号レベルに応答して、パワーデバイスＰＤのゲート６を、オン電圧である電源電圧ＶＣＣおよびオフ電圧である接地電圧ＧＮＤの一方に駆動するための出力電流ＩＯＵＴを出力するように構成される。

駆動回路１００は、パワーデバイスＰＤをターンオンする場合には、ゲート６の充電電流として出力電流ＩＯＵＴを供給する（ＩＯＵＴ＞０）。一方で、駆動回路１００は、パワーデバイスＰＤをターンオフする場合には、ゲート６の充電電流として出力電流ＩＯＵＴを供給する（ＩＯＵＴ＜０）。

すなわち、オン電圧である電源電圧ＶＣＣは「第１の電源電圧」の一例に対応し、オフ電圧である接地電圧ＧＮＤは「第２の電源電圧」の一例に対応する。なお、本実施の形態では、オフ電圧（第２の電源電圧）を接地電圧ＧＮＤとしているが、負電圧をオフ電圧として用いることも可能である。

図２は、比較例に従う駆動回路１００＃の概略構成を説明する回路図である。
図２を参照して、比較例に従う駆動回路１００＃は、駆動制御信号Ｓｐｄの信号レベルに応答して、パワーデバイスＰＤのオンオフを制御する。以下、本実施の形態では、駆動制御信号Ｓｐｄが論理ローレベル（以下、単に「Ｌレベル」とも称する）のときにはパワーデバイスＰＤをオフ状態とし、駆動制御信号Ｓｐｄが論理ハイレベル（以下、単に「Ｈレベル」とも称する）のときにはパワーデバイスＰＤをオン状態にするように、各駆動回路は動作する。すなわち、駆動制御信号ＳｐｄのＬレベルは「第１のレベル」に対応し、Ｈレベルは「第２のレベル」に対応する。

比較例に係る駆動回路１００＃は、インバータ２０と、出力段のトランジスタ３０および４０と、ゲート抵抗５０とを有する。

インバータ２０は、電源配線１１および接地配線３と接続されて、駆動制御信号Ｓｐｄの信号レベルを反転して、電源電圧ＶＣＣ（Ｈレベル）または接地電圧ＧＮＤ（Ｌレベル）を出力する。

トランジスタ３０は、たとえばＰ型のＭＯＳトランジスタで構成されて、電源配線１１およびノードＮａの間に接続される。トランジスタ４０は、たとえばＮ型のＭＯＳトランジスタで構成されて、ノードＮａおよび接地配線３の間に接続される。トランジスタ３０および４０のゲートには、インバータ２０の出力電圧が印可される。ゲート抵抗５０は、パワーデバイスＰＤのゲート６とノードＮａとの間に接続される。

この結果、トランジスタ３０および４０が駆動制御信号Ｓｐｄのレベルに応じて相補的にオンオフされることにより、ゲート６は、電源電圧ＶＣＣまたは接地電圧ＧＮＤの一方で駆動される。

具体的には、駆動制御信号ＳｐｄがＨレベルのときには、トランジスタ３０がオンすることにより、ゲート６は、ゲート抵抗５０を経由した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＞０）によって電源電圧ＶＣＣへ向けて充電される。一方で、駆動制御信号ＳｐｄがＨレベルからＬレベル変化すると、トランジスタ３０がオフすることにより、ゲート６は、ゲート抵抗５０を経由した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＜０）により、接地電圧ＧＮＤへ向けて放電される。この結果、駆動制御信号ＳｐｄがＨレベルのときには、パワーデバイスＰＤがオンされる一方で、駆動制御信号ＳｐｄがＬレベルのときには、パワーデバイスＰＤはオフされる。

図２に示された比較例の駆動回路１００＃では、ゲート抵抗５０によって、ゲート６の充電速度および放電速度、すなわち、ターンオン速度およびターンオフ速度を調整することができる。一方で、ゲート抵抗値が不適切であると、所望のスイッチング特性（スイッチングノイズ低減およびスイッチング損失抑制）を図ることができない。

特許文献１では、ゲート抵抗５０の抵抗値がタイマ回路によって切換えることにスイッチング特性の改善が図られるが、上述のように、切換えタイミングが固定されるために、素子ばらつき等の影響で所望の特性を得られなくなることが懸念される。さらに、充電時のゲート電圧の上昇および放電時のゲート電圧の低下に応じて、ゲート抵抗５０の両端電圧差が低下するのに応じて充放電電流が減少するために、完全にターンオンおよびターンオフが完了するまでに時間がかかることも懸念される。

したがって、以下に説明する本実施の形態に従う駆動回路は、ゲート抵抗５０を用いることなく、ゲート６に対する出力電流（充電電流または放電電流）を制御するように構成される。

図３は実施の形態１に従う駆動回路１００ａの回路構成を説明するための回路図である。

図３を参照して、駆動回路１００ａは、電圧選択回路１１０と、電流生成回路１２０と、電流供給回路１４０とを有する。実施の形態１の構成では、電圧選択回路１１０および電流生成回路１２０によって「電流制御回路」が構成される。

電圧選択回路１１０は、インバータ１１１，１１２と、トランスファゲート１１３〜１１６を有する。インバータ１１１は、ゲート６と接続された入力ノードを有し、ゲート電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔ１よりも低いときにはＨレベル（電源電圧ＶＣＣ）の電圧を出力する一方で、Ｖｇｓ＞Ｖｔ１のときはＬレベル（接地電圧ＧＮＤ）の電圧を出力する。同様に、インバータ１１２は、ゲート電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔ２よりも低いときにはＨレベル（電源電圧ＶＣＣ）の電圧を出力する一方で、Ｖｇｓ＞Ｖｔ２のときはＬレベル（接地電圧ＧＮＤ）の電圧を出力する。

トランスファゲート１１３は、インバータ１１１の出力電圧がＨレベルのときに作動して、一定電圧ＶＲＥＦ１をノードＮ１に出力する。一方で、トランスファゲート１１４は、インバータ１１１の出力電圧がＬレベルのときに作動して、ゲート電圧ＶｇｓをノードＮ１に出力する。したがって、ノードＮ１には、ゲート電圧Ｖｇｓに応じて相補的に作動するトランスファゲート１１３および１１４によって、一定電圧ＶＲＥＦ１およびゲート電圧Ｖｇｓの一方が選択的に出力される。

同様に、トランスファゲート１１５は、インバータ１１２の出力電圧がＨレベルのときに作動して、ゲート電圧ＶｇｓをノードＮ２に出力する。一方で、トランスファゲート１１６は、インバータ１１２の出力電圧がＬレベルのときに作動して、一定電圧ＶＲＥＦ２をノードＮ２に出力する。したがって、ノードＮ２には、ゲート電圧Ｖｇｓに応じて相補的に作動するトランスファゲート１１５および１１６によって、一定電圧ＶＲＥＦ２およびゲート電圧Ｖｇｓの一方が選択的に出力される。一定電圧ＶＲＥＦ１およびＶＲＥＦ２は、図示しない分圧回路等によって、予め定められた電圧に固定される。

電流生成回路１２０は、オペアンプ１２３，１２５と、抵抗素子１２４，１２６と、トランジスタＱＮ４，ＱＰ４を有する。オペアンプ１２３、抵抗素子１２４およびトランジスタＱＮ４は、ノードＮ１の電圧Ｖ１に応じた基準電流ＩＲＥＦ１を生成するための電流生成ユニット１２１を構成する。同様に、オペアンプ１２５、抵抗素子１２６およびトランジスタＱＰ４は、ノードＮ２の電圧Ｖ２に応じた基準電流ＩＲＥＦ２を生成するための電流生成ユニット１２２を構成する。

電流生成ユニット１２１において、抵抗素子１２４は、ノードＮ４および接地配線１３の間に接続される。接地配線１３は、接地配線３、すなわち、パワーデバイスＰＤ（図１）のソース電極と電気的に接続されている。オペアンプ１２３は、ノードＮ１およびノードＮ４の間の電圧差を増幅してトランジスタＱＮ４のゲートに出力する。トランジスタＱＮ４は、Ｎ型のＭＯＳトランジスタで構成されて、ノードＮ６およびＮ４の間に接続される。

電流生成ユニット１２１では、ノードＮ１およびＮ４の電圧差を０に近付けるように、オペアンプ１２３の出力電圧が制御される。この結果、トランジスタＱＮ４および抵抗素子１２４を流れる基準電流ＩＲＥＦ１は、電圧Ｖ１が高くなると大きくなる一方で、電圧Ｖ１が低くなると小さくなるように制御される。

電流生成ユニット１２２において、抵抗素子１２６は、ノードＮ３および電源配線１１の間に接続される。オペアンプ１２５は、ノードＮ２およびノードＮ３の間の電圧差を増幅してトランジスタＱＰ４のゲートに出力する。トランジスタＱＰ４は、Ｐ型のＭＯＳトランジスタで構成されて、ノードＮ３およびＮ５の間に接続される。

電流生成ユニット１２２では、ノードＮ２およびＮ３の電圧差を０に近付けるように、オペアンプ１２５の出力電圧が制御される。この結果、トランジスタＱＰ４および抵抗素子１２６を流れる基準電流ＩＲＥＦ２は、電圧Ｖ２が低いと大きくなる一方で、電圧Ｖ２が高くなると小さくなるように制御される。

電流供給回路１４０は、カレントミラー回路１４１および１４２を含む。カレントミラー回路１４１は、Ｐ型のＭＯＳトランジスタで構成されたトランジスタＱＰ１〜ＱＰ３を含む。

カレントミラー回路１４１において、トランジスタＱＰ１およびＱＰ３は、電源配線１１およびノードＮ６の間に並列に接続される。トランジスタＱＰ２は、パワーデバイスＰＤのゲート６と電源配線１１との間に接続される。トランジスタＱＰ１およびＱＰ２のゲートは、ノードＮ６と共通に接続される。トランジスタＱＰ２のトランジスタサイズ（電流供給能力）は、トランジスタＱＰ１のｎ倍（ｎ＞１）に設計される。

トランジスタＱＰ１は、トランジスタＱＮ４および抵抗素子１２４と直列に接続されるので、トランジスタＱＰ２は、電流生成ユニット１２１による基準電流ＩＲＥＦ１をｎ倍した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＝ｎ・ＩＲＥＦ１）を、電源電圧ＶＣＣへ向かう充電電流としてゲート６へ供給することができる。

トランジスタＱＰ３は、駆動制御信号Ｓｐｄがゲートに入力されることにより、カレントミラー回路１４１のオンオフスイッチとして機能する。駆動制御信号ＳｐｄのＬレベル期間では、トランジスタＱＰ３がオンすることにより、電源電圧ＶＣＣがノードＮ６に供給される。これにより、トランジスタＱＰ１およびＱＰ２がオフ状態となるので、カレントミラー回路１４１が停止して、トランジスタＱＰ２によるＩＯＵＴ＝０となる。

一方で、駆動制御信号ＳｐｄのＨレベル期間では、トランジスタＱＰ３がオフされることにより、カレントミラー回路１４１は、電源電圧ＶＣＣへ向けて充電するための出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＝ｎ・ＩＲＥＦ１）をゲート６へ供給することができる。

カレントミラー回路１４２は、Ｎ型のＭＯＳトランジスタで構成されたトランジスタＱＮ１〜ＱＮ３を含む。カレントミラー回路１４２において、トランジスタＱＮ１およびＱＮ３は、ノードＮ５および接地配線１３の間に並列に接続される。トランジスタＱＮ２は、ゲート６および接地配線１３の間に接続される。トランジスタＱＮ１およびＱＮ２のゲートは、ノードＮ５と共通に接続される。カレントミラー回路１４２においても、トランジスタＱＮ２のトランジスタサイズ（電流供給能力）は、トランジスタＱＮ１のｎ倍に設計される。

トランジスタＱＮ１は、トランジスタＱＰ４および抵抗素子１２６と直列に接続されるので、トランジスタＱＮ２は、電流生成ユニット１２２による基準電流ＩＲＥＦ２をｎ倍した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＝ｎ・ＩＲＥＦ２）を、接地電圧ＧＮＤへ向けた放電電流としてゲート６へ供給することができる。

トランジスタＱＮ３は、駆動制御信号Ｓｐｄがゲートに入力されることにより、カレントミラー回路１４２のオンオフスイッチとして機能する。駆動制御信号ＳｐｄのＨレベル期間では、トランジスタＱＮ３がオンすることにより、接地電圧ＧＮＤがノードＮ５に供給される。これにより、トランジスタＱＮ１およびＱＮ２がオフ状態となるので、カレントミラー回路１４２が停止して、トランジスタＱＰ２によるＩＯＵＴ＝０となる。

一方で、駆動制御信号ＳｐｄのＬレベル期間では、トランジスタＱＮ３がオフされることにより、カレントミラー回路１４２は、接地電圧ＧＮＤへ向けてゲート６を放電するための出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＝ｎ・ＩＲＥＦ２）をゲート６へ供給することができる。

次に図４を用いて、駆動回路１００ａによるパワーデバイスのオンオフ動作を説明する。

図４を参照して、時刻ｔｘの直前では、駆動制御信号ＳｐｄがＬレベルに設定されるので、電流供給回路１４０では、トランジスタＱＰ２がオフされるとともに、トランジスタＱＮ２によるゲート６の放電経路が形成されている。これにより、ゲート電圧Ｖｇｓ＝０となって、パワーデバイスＰＤはオフされている。このとき、トランスファゲート１１３および１１５がオンされて、Ｖ１＝ＶＲＥＦ１、かつ、Ｖ２＝０（ＧＮＤ）である。また、ゲート６の放電が完了しているので、ＩＯＵＴ＝０となっている。

時刻ｔｘにおいて、パワーデバイスをターンオンするために、駆動制御信号がＬレベルからＨレベルに変化する。これに応じて、電流供給回路１４０では、トランジスタＱＮ２がオフされるとともに、トランジスタＱＰ２によって、ゲート６を電源電圧ＶＣＣへ向けて充電するための出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＝ＩＲＥＦ１・ｎ）の供給が開始される。基準電流ＩＲＥＦ１は、ノードＮ１の電圧Ｖ１に応じた電流量となる。時刻ｔｘ以降では、ゲート電圧Ｖｇｓは、出力電流ＩＯＵＴの供給に応じて徐々に上昇する。

時刻ｔｘ〜ｔ１の間では、ゲート電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔ１（インバータ１１１）よりも低いので、トランスファゲート１１３がオンされて、Ｖ１＝ＶＲＥＦ１の状態が継続される。したがって、電圧Ｖ１は一定電圧ＶＲＥＦ１に固定されるので、ゲート６への充電電流となる出力電流ＩＯＵＴも、一定電圧ＶＲＥＦ１に応じた固定電流となる。

ゲート６が当該固定電流で充電されることによりゲート電圧Ｖｇｓは上昇し、時刻ｔ１において、Ｖｇｓ＞Ｖｔ１となる。これにより、時刻ｔ１以降では、トランスファゲート１１４がオンされて、Ｖ１＝Ｖｇｓとなる。したがって、Ｖｇｓの上昇に応じて、基準電流ＩＲＥＦ１が大きくなることを通じて、ゲート６を充電する出力電流ＩＯＵＴは増加する。

時刻ｔ２〜ｔ３では、ミラー効果によって、ゲート電圧Ｖｇｓが上昇しなくなるので、これに応じて出力電流ＩＯＵＴ（充電電流）も一定となる。時刻ｔ３でミラー期間が終了すると、時刻ｔ３以降では、ゲート電圧Ｖｇｓが徐々に上昇するのに応じて、出力電流ＩＯＵＴもさらに上昇する。そして、時刻ｔ４において、ゲート電圧Ｖｇｓ＝ＶＣＣに達することによって、パワーデバイスＰＤのターンオン動作が完了する。

次に、パワーデバイスのターンオフ時の動作について説明する。
時刻ｔｙの直前では、駆動制御信号ＳｐｄがＨレベルに設定されて、パワーデバイスＰＤはオンされている。このとき、電流供給回路１４０では、トランジスタＱＮ２がオフされるとともに、トランジスタＱＮ２によってゲート６の充電経路が形成されており、ゲート電圧Ｖｇｓ＝ＶＣＣである。また、トランスファゲート１１４および１１６がオンされて、Ｖ１＝Ｖｇｓ、かつ、Ｖ２＝ＶＲＥＦ２である。さらに、ゲート６の充電が完了しているので、ＩＯＵＴ＝０となっている。

時刻ｔｙにおいて、パワーデバイスをターンオフするために、駆動制御信号がＨレベルからＬレベルに変化する。これに応じて、電流供給回路１４０では、トランジスタＱＰ２がオフされるとともに、トランジスタＱＮ２によって、ゲート６を電源電圧ＶＣＣで充電するための出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＝−ＩＲＥＦ２・ｎ）の供給が開始される。基準電流ＩＲＥＦ２は、ノードＮ２の電圧Ｖ２に応じた電流量である。時刻ｔｙ以降では、ゲート電圧Ｖｇｓは、出力電流ＩＯＵＴに応じて徐々に低下する。

時刻ｔｙ〜ｔ５の間では、ゲート電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔ２（インバータ１１２）よりも高いので、トランスファゲート１１６がオンされて、Ｖ２＝ＶＲＥＦ２の状態が継続される。したがって、電圧Ｖ２は一定電圧ＶＲＥＦ２に固定されるので、ゲート６の放電電流となる出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＜０）も、一定電圧ＶＲＥＦ２に応じた固定電流となる。

ゲート６が当該一定電流で放電されることによりゲート電圧Ｖｇｓは低下し、時刻ｔ５において、Ｖｇｓ＜Ｖｔ２となる。これにより、時刻ｔ５以降では、トランスファゲート１１５がオンされて、Ｖ２＝Ｖｇｓとなる。したがって、Ｖｇｓの低下に応じて、基準電流ＩＲＥＦ２が大きくなることを通じて、ゲート６を放電する出力電流ＩＯＵＴの絶対値は増加する。

このように、駆動回路１００ａでは、ゲート電圧Ｖｇｓに応じた出力電流ＩＯＵＴが供給される期間では、ゲート６の充電または放電によってゲート電圧Ｖｇｓが変化（充電時には上昇、放電時には低下）するのに応じて、出力電流の絶対値｜ＩＯＵＴ｜が増加するように、出力電流ＩＯＵＴは可変制御されている。

時刻ｔ６〜ｔ７では、ミラー効果によって、ゲート電圧Ｖｇｓが低下しなくなるので、これに応じて出力電流ＩＯＵＴ（充電電流）も一定となる。時刻ｔ７でミラー期間が終了すると、時刻ｔ７以降では、ゲート電圧Ｖｇｓが徐々に低下するのに応じて、出力電流ＩＯＵＴもさらに上昇する。そして、時刻ｔ８において、ゲート電圧Ｖｇｓ＝０となって、パワーデバイスＰＤのターンオフ動作が完了する。

このように、実施の形態１に従う駆動回路の構成によれば、ターンオンおよびターンオフの開始時には、一定電圧ＶＲＥＦ１またはＶＲＥＦ２に従って予め適正な値に調整された固定電流を出力電流ＩＯＵＴとしてゲート６の充放電を開始できる。これにより、ターンオン直後およびターンオフ直後に過大な充放電電流が流れることによるサージ電圧や電磁ノイズの発生を抑制できる。その後、時刻ｔ１以降および時刻ｔ５以降では、ゲート電圧Ｖｇｓの変化（上昇／低下）に応じて出力電流ＩＯＵＴ（充電電流）を増加できる。この結果、パワーデバイスを速やかにターンオンおよびターンオフすることができるので、スイッチング損失を低減することが可能となる。

なお、図４中には、比較例（図２）の回路において、ゲート抵抗値を電磁ノイズが生じないような固定値に調整したときのシミュレーション波形が、比較のために点線で示されている。すなわち、点線の波形は、時刻ｔｘ〜ｔ１および時刻ｔｙ〜ｔ５での電流が本実施の形態と同等になるように、ゲート抵抗値を設計した場合におけるゲート電圧Ｖｇｓの推移を示している。

また、上述のように、特許文献１および比較例（図２）の構成では、ゲート抵抗５０の両端電圧差が低下するのに応じた充放電電流の減少により、完全にターンオンおよびターンオフが完了するまでに時間がかかることが懸念される。これに対して、実施の形態１の駆動回路によれば、ターンオン時でのゲート電圧Ｖｇｓが高い領域、および、ターンオフ時でのゲート電圧Ｖｇｓが低い領域での充放電電流を確保することができるので、ターンオンおよびターンオフを高速化することができる。

さらに、駆動回路１００ａでは、しきい値電圧に従って動作するインバータ１１１，１１２の出力電圧によって、出力電流ＩＯＵＴの制御を切換えているので（時刻ｔ１，ｔ５）、ＲＣ時定数に従って動作するタイマ回路のように、複数個の素子のばらつきに依存して動作特性が変化する回路を用いる特許文献１の構成と比較して、動作特性のばらつき要因を低減できる。

また、仮に、適切ではないタイミングで出力電流ＩＯＵＴが切り換わった場合にも、切換わり後の充放電電流（｜ＩＯＵＴ｜に相当）は、充放電によるゲート電圧Ｖｇｓの変化が小さい間は低く抑えられるので、初期期間での電磁ノイズを低減できる。また、ゲート電圧Ｖｇｓが変化するのに応じて充放電電流を大きくすることができるので、ターンオンおよびターンオフの高速化によるスイッチング損失抑制を図ることができる。

このように、実施の形態１に従う駆動回路１００ａによれば、電磁ノイズおよびスイッチング損失の低減効果の安定度を高めることができる。

また、カレントミラー回路での電流増幅率ｎ（ミラー比）の設計によって出力電流ＩＯＵＴを容易に調整できるとともに、インバータ１１１，１１２のしきい値電圧によって出力電流が切り換わるゲート電圧についても任意に調整できる。この結果、容量等の特性が異なるパワーデバイスＰＤに対して共通の回路構成を適用することが容易となるので、設計汎用化の面でも効果が期待できる。

実施の形態２．
図５は、実施の形態２に従う駆動回路１００ｂの構成を示す回路図である。

図５を図３と比較して、実施の形態２に従う駆動回路１００ｂでは、電流供給回路１４０が、複数段のカレントミラー回路によって、出力電流ＩＯＵＴを供給するように構成されている点で異なる。

電流供給回路１４０は、カレントミラー回路１４１，１４２に加えて、カレントミラー回路１４３および１４４と、電流出力回路１４５と、抵抗素子１４６，１４７とを有する。電流出力回路１４５は、Ｐ型のＭＯＳトランジスタで構成されたトランジスタＱＰ８と、Ｎ型のＭＯＳトランジスタで構成されたトランジスタＱＮ８とを有する。

また、実施の形態２では、カレントミラー回路１４１のトランジスタＱＰ２は、電源配線１１およびノードＮ７の間に接続される。カレントミラー回路１４２のトランジスタＱＮ２は、接地配線１３およびノードＮ８の間に接続される。

トランジスタＱＰ８は、電源配線１１およびパワーデバイスＰＤのゲート６の間に接続される。トランジスタＱＮ８は、パワーデバイスＰＤのゲート６および接地配線１３の間に接続される。抵抗素子１４６は、トランジスタＱＰ８のゲートおよび電源配線１１の間に接続される。抵抗素子１４７は、トランジスタＱＮ８のゲートおよび接地配線１３の間に接続される。

カレントミラー回路１４３は、Ｎ型のＭＯＳトランジスタで構成されたトランジスタＱＮ５〜ＱＮ７を有する。トランジスタＱＮ５およびＱＮ７は、接地配線１３およびノードＮ７の間に並列に接続される。トランジスタＱＮ６は、トランジスタＱＰ８のゲートと接地配線１３との間に接続される。トランジスタＱＮ５およびＱＮ６のゲートは、ノードＮ７と共通に接続される。トランジスタＱＮ６のトランジスタサイズ（電流供給能力）は、トランジスタＱＮ５のｍ倍（ｍ＞１）に設計される。

トランジスタＱＮ７は、インバータ１４９によって駆動制御信号Ｓｐｄが反転された信号（／Ｓｐｄ）がゲートに入力されることにより、カレントミラー回路１４３のオンオフスイッチとして機能する。駆動制御信号ＳｐｄのＬレベル期間では、トランジスタＱＮ７がオンすることにより、接地電圧ＧＮＤがノードＮ７に供給される。これにより、トランジスタＱＮ５およびＱＮ６がオフ状態となるので、カレントミラー回路１４３が停止する。

カレントミラー回路１４４は、Ｐ型のＭＯＳトランジスタで構成されたトランジスタＱＰ５〜ＱＰ７を有する。トランジスタＱＰ５およびＱＰ７は、電源配線１１およびノードＮ８の間に並列に接続される。トランジスタＱＰ６は、トランジスタＱＮ８のゲートと電源配線１１との間に接続される。トランジスタＱＰ５およびＱＰ６のゲートは、ノードＮ８と共通に接続される。カレントミラー回路１４４においても、トランジスタＱＰ６のトランジスタサイズ（電流供給能力）は、トランジスタＱＰ５のｍ倍に設計される。

トランジスタＱＰ７は、インバータ１４８によって駆動制御信号Ｓｐｄが反転された信号（／Ｓｐｄ）がゲートに入力されることにより、カレントミラー回路１４４のオンオフスイッチとして機能する。駆動制御信号ＳｐｄのＨレベル期間では、トランジスタＱＰ７がオンすることにより、電源電圧ＶＣＣがノードＮ８に供給される。これにより、トランジスタＱＰ５およびＱＰ６がオフ状態となるので、カレントミラー回路１４４が停止する。

電流生成回路１２０は、実施の形態１と同様に、ノードＮ１の電圧Ｖ１に応じた基準電流ＩＲＥＦ１を生成するとともに、ノードＮ２の電圧Ｖ２に応じた基準電流ＩＲＥＦ２を生成する。実施の形態１と同様に、基準電流ＩＲＥＦ１は、カレントミラー回路１４１のトランジスタＱＰ１を通過するように生成され、基準電流ＩＲＥＦ２は、カレントミラー回路１４２のトランジスタＱＮ１を通過するように生成される。

次に駆動回路１００ｂの動作を説明する。
駆動制御信号ＳｐｄのＨレベル期間では、カレントミラー回路１４２，１４４が停止する一方で、カレントミラー回路１４１，１４３が作動する。カレントミラー回路１４２，１４４が停止することにより、抵抗素子１４７を通過する基準電流ＩＲＥＦ４＝０である。この結果、トランジスタＱＮ８のゲート電圧ＮＶｇ＝０となるので、トランジスタＱＮ８はオフされる。

一方で、カレントミラー回路１４１，１４３は、ｎ・ＩＲＥＦ１の電流がノードＮ７およびトランジスタＱＮ５を通過するとともに、基準電流ＩＲＥＦ３＝ｎ・ｍ・ＩＲＥＦ１が抵抗素子１４６を通過するように動作する。トランジスタＱＰ８のゲート電圧ＰＶｇが、基準電流ＩＲＥＦ３に比例する抵抗素子１４６での電圧降下量に応じて変化するのに応じて、トランジスタＱＰ８は、ゲート６を電源電圧ＶＣＣによって充電するように、ゲート電圧ＰＶｇに応じた出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＞０）を供給することができる。

なお、トランジスタＱＰ８では、基準電流ＩＲＥＦ３に比例して抵抗素子１４６での電圧降下量が大きくなる程、ゲート電圧ＰＶｇが低下することによって、出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＞０）は増加することが理解される。

これに対して、駆動制御信号ＳｐｄのＬレベル期間では、カレントミラー回路１４１，１４３が停止する一方で、カレントミラー回路１４２，１４４が作動する。カレントミラー回路１４１，１４３が停止することにより、抵抗素子１４６を通過する基準電流ＩＲＥＦ３＝０である。この結果、トランジスタＱＰ８のゲート電圧ＮＶｇ＝Ｖｃｃとなるので、トランジスタＱＰ８はオフされる。

一方で、カレントミラー回路１４２，１４４は、ｎ・ＩＲＥＦ２の電流がノードＮ８およびトランジスタＱＰ５を通過するとともに、基準電流ＩＲＥＦ４＝ｎ・ｍ・ＩＲＥＦ２が抵抗素子１４７を通過するように動作する。トランジスタＱＮ８のゲート電圧ＮＶｇが、基準電流ＩＲＥＦ４に比例する抵抗素子１４７での電圧降下量に応じて変化するのに応じて、トランジスタＱＮ８は、ゲート６を接地電圧ＧＮＤへ向けて放電するように、ゲート電圧ＮＶｇに応じた出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＜０）を供給することができる。

なお、トランジスタＱＮ８では、基準電流ＩＲＥＦ４に比例して抵抗素子１４７での電圧降下量が大きくなる程、ゲート電圧ＮＶｇが上昇することによって、出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＜０）の大きさ（絶対値）は増加することが理解される。

図６は、実施の形態２に従う駆動回路によるパワーデバイスのオンオフ動作を説明する動作波形図である。図６には、図４での波形に加えて、トランジスタＱＰ８のゲート電圧ＰＶｇと、トランジスタＱＮ８のゲート電圧ＮＶｇの波形が示される。

図６を参照して、駆動制御信号Ｓｐｄ、電圧Ｖ１，Ｖ２、出力電流ＩＯＵＴおよびパワーデバイスＰＤのゲート電圧Ｖｇｓの波形は、図４と同様である。

ただし、駆動回路１００ｂでは、駆動制御信号ＳｐｄのＨレベル期間において、出力電流ＩＯＵＴを供給するトランジスタＱＰ８のゲート電圧ＰＶｇの振幅（０〜ＶＣＣ）を、駆動回路１００ａ（図３）におけるトランジスタＱＰ２のゲート電圧の振幅よりも大きくすることができる。

同様に、駆動制御信号ＳｐｄのＬレベル期間では、出力電流ＩＯＵＴを供給するトランジスタＱＮ８のゲート電圧ＮＶｇの振幅（０〜ＶＣＣ）を、駆動回路１００ａ（図３）におけるトランジスタＱＮ２のゲート電圧の振幅よりも大きくすることができる。

したがって、実施の形態２に従う駆動回路１００ｂによれば、ゲート電圧Ｖｇｓに応じた出力電流ＩＯＵＴが供給される期間（時刻ｔ２以降）において、トランジスタＱＰ８，ＱＮ８による電流供給量は、駆動回路１００ａ（図３）におけるトランジスタＱＮ２，ＱＰ２よりも大きくなる。これにより、駆動回路１００ａ（実施の形態１）と比較して、パワーデバイスＰＤのターンオン速度およびターンオフ速度をさらに高くできるので、スイッチング損失を抑制することができる。

あるいは、同等の出力電流ＩＯＵＴを確保する際に、トランジスタＱＰ８，ＱＮ８を小さくすることにより、小型化にも寄与することができる。

なお、実施の形態２の構成において、電源配線１１は「第１の電源ノード」に対応し、接地配線１３は「第２の電源ノード」に対応する。さらに、トランジスタＱＰ８は「第１の出力トランジスタ」に対応し、トランジスタＱＮ８は「第２のトランジスタ」に対応し、抵抗素子１４６は「第１の抵抗素子」に対応し、抵抗素子１４７は「第２の抵抗素子」に対応する。また、カレントミラー回路１４１および１４３は「第１のカレントミラー回路」に対応し、カレントミラー回路１４２および１４４は「第２のカレントミラー回路」に対応する。

実施の形態３．
図７は、実施の形態３に従う駆動回路の構成を説明する回路図である。

図７を図３と比較して、実施の形態３に従う駆動回路１００ｃは、実施の形態１に従う駆動回路１００ａと比較して、電流生成回路１２０の構成が異なる。また、電流供給回路１４０は、カレントミラー回路１４１，１４２に加えて、実施の形態２（図５）と同様のカレントミラー回路１４３，１４４をさらに含む。

実施の形態３の構成において、電流生成回路１２０は、オペアンプを用いることなく、Ｎ型のＭＯＳトランジスタで構成されたトランジスタＱＮ９、Ｐ型のＭＯＳトランジスタで構成されたトランジスタＱＰ９、および、抵抗素子１２７，１２８とを有する。

トランジスタＱＰ９および抵抗素子１２７は、ノードＮ１およびＮ４の間に直列に接続される。トランジスタＱＰ９のゲートはノードＮ４と接続され、抵抗素子１２７は、トランジスタＱＰ９のゲートおよびドレイン間に接続される。トランジスタＱＰ９および抵抗素子１２７は、ノードＮ１の電圧Ｖ１に応じた基準電流ＩＲＥＦ１を生成するための電流生成ユニット１２１を構成する。

電流生成ユニット１２１において、抵抗素子１２７には、ノードＮ１の電圧と接地電圧ＧＮＤとの電圧差に応じた基準電流ＩＲＥＦ１が流れる。基準電流ＩＲＥＦ１は、上記電圧差が大きい程大きくなるので、実施の形態１と同様に、基準電流ＩＲＥＦ１は、電圧Ｖ１が高い程大きくなるように生成される。

トランジスタＱＮ９および抵抗素子１２８は、ノードＮ２およびＮ３の間に直列に接続される。トランジスタＱＮ９のゲートはノードＮ３と接続され、抵抗素子１２８は、トランジスタＱＮ９のゲートおよびドレイン間に接続される。トランジスタＱＮ９および抵抗素子１２８は、ノードＮ２の電圧Ｖ２に応じた基準電流ＩＲＥＦ２を生成するための電流生成ユニット１２２を構成する。

電流生成ユニット１２２において、抵抗素子１２８には、ノードＮ２の電圧と電源電圧ＶＣＣとの電圧差に応じた基準電流ＩＲＥＦ２が流れる。基準電流ＩＲＥＦ２は、上記電圧差が大きい程大きくなるので、実施の形態１と同様に、基準電流ＩＲＥＦ２は、電圧Ｖ２が低い程大きくなるように生成される。

電流供給回路１４０において、カレントミラー回路１４３を構成するトランジスタＱＮ５およびＱＮ７は、ノードＮ４および接地配線１３の間に並列に接続され、トランジスタＱＮ６は、ノードＮ６および接地配線１３の間に接続される。トランジスタＱＮ５，ＱＮ６のゲートは、共通にノードＮ４に接続される。トランジスタＱＮ７のゲートには、実施の形態２と同様に、駆動制御信号Ｓｐｄをインバータ１４９によって反転した信号が入力される。また、トランジスタＱＮ６のトランジスタサイズ（電流供給能力）は、トランジスタＱＮ５のｍ倍に設計される。

カレントミラー回路１４４を構成するトランジスタＱＰ５およびＱＰ７は、ノードＮ３および電源配線１１の間に並列に接続され、トランジスタＱＰ６は、ノードＮ５および電源配線１１の間に接続される。トランジスタＱＰ５，ＱＰ６のゲートは、共通にノードＮ３に接続される。トランジスタＱＰ７のゲートには、実施の形態２と同様に、駆動制御信号Ｓｐｄをインバータ１４８によって反転した信号が入力される。カレントミラー回路１４４においても、トランジスタＱＰ６のトランジスタサイズ（電流供給能力）は、トランジスタＱＰ５のｍ倍に設計される。

カレントミラー回路１４１は、図１と同様に、駆動制御信号ＳｐｄのＨレベル期間において作動して、トランジスタＱＰ２が、ノードＮ６の電流をｎ倍した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＞０）をゲート６へ供給するように構成される。カレントミラー回路１４２は、図１と同様に、駆動制御信号ＳｐｄのＬレベル期間において作動して、トランジスタＱＮ２が、ノードＮ５の電流をｎ倍した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＜０）をゲート６へ供給するように構成される。

次に駆動回路１００ｃの動作を説明する。
駆動制御信号ＳｐｄのＨレベル期間では、カレントミラー回路１４２，１４４が停止する一方で、カレントミラー回路１４１，１４３が作動する。カレントミラー回路１４１，１４３は、基準電流ＩＲＥＦ１を（ｎ×ｍ）倍に増幅した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＞０）を充電電流として、トランジスタＱＰ２を用いてゲート６へ供給することができる。

駆動制御信号ＳｐｄのＬレベル期間では、カレントミラー回路１４１，１４３が停止する一方で、カレントミラー回路１４２，１４４が作動する。カレントミラー回路１４２，１４４は、基準電流ＩＲＥＦ２を（ｎ×ｍ）倍に増幅した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＜０）を放電電流として、トランジスタＱＮ２を用いてゲート６へ供給することができる。

このように、実施の形態３に従う駆動回路１００ｃでは、オペアンプ１２３，１２５を用いることなく、実施の形態１の駆動回路１００ａ，１００ｂと同様に、基準電流ＩＲＥＦ１およびＩＲＥＦ２を生成することができる。オペアンプを不使用とすることにより、発振による誤動作の可能性を抑制することで回路動作を安定化できるとともに、低コスト化を図ることができる。なお、オペアンプを使用した構成では（実施の形態１，２）、発振の可能性がある一方で、高精度で安定的に基準電流ＩＲＥＦ１，ＩＲＥＦ２を生成することができる。

また、実施の形態１の構成（図３）において、オペアンプ１２３およびトランジスタＱＮ４に代えて、実施の形態３でのトランジスタＱＰ９および抵抗素子１２７を用いるとともに、オペアンプ１２５およびトランジスタＱＰ４に代えて、実施の形態３でのトランジスタＱＮ９および抵抗素子１２８を用いる構成とすることも可能である。

なお、実施の形態３の構成において、ノードＮ１は「第１の内部ノード」に対応し、ノードＮ２は「第２の内部ノード」に対応する。さらに、トランジスタＱＰ９は「第１の電界効果型トランジスタ」に対応し、トランジスタＱＮ９は「第２の電界効果型トランジスタ」に対応し、抵抗素子１２７は「第３の抵抗素子」に対応し、抵抗素子１２８は「第４の抵抗素子」に対応する。

実施の形態４．
図８は、実施の形態４に従う駆動回路１００ｄの構成を説明する回路図である。

図８を参照して、実施の形態４に従う駆動回路１００ｄでは、実施の形態１〜３での電圧選択回路１１０および電流生成回路１２０に代えて、バイポーラトランジスタを用いて構成された電流制御回路１３０が設けられる。駆動回路１００ｄは、電流制御回路１３０と、電流供給回路１４０とを含む。電流供給回路１４０の構成は、実施の形態１と同様である。

電流制御回路１３０は、ｎｐｎ型のバイポーラトランジスタで構成されたトランジスタＱｎｐｎ１，Ｑｎｐｎ２と、ｐｎｐ型のバイポーラトランジスタで構成されたトランジスタＱｐｎｐ１，Ｑｐｎｐ２と、抵抗素子１３１〜１３４を有する。抵抗素子１３１は、電源配線１１およびノードＮ１０の間に接続される。トランジスタＱｎｐｎ１は、ノードＮ１０と接続されたコレクタと、パワーデバイスＰＤのゲート６と接続されたエミッタとを有する。トランジスタＱｎｐｎ１のベースは、ノードＮ１１と接続される。

抵抗素子１３２は、ノードＮ１１および接地配線１３の間に接続される。トランジスタＱｎｐｎ２は、ノードＮ６と接続されたコレクタと、ノードＮ１１と接続されたエミッタとを有する。トランジスタＱｎｐｎ２のベースは、ノードＮ１０と接続される。トランジスタＱｎｐｎ１，Ｑｎｐｎ２および抵抗素子１３１，１３２によって、基準電流ＩＲＥＦ１を生成する電流制御ユニット１３０ａが構成される。

抵抗素子１３３は、接地配線１３およびノードＮ１２の間に接続される。トランジスタＱｐｎｐ１は、ノードＮ１２と接続されたコレクタと、パワーデバイスＰＤのゲート６と接続されたエミッタとを有する。トランジスタＱｐｎｐ１のベースは、ノードＮ１３と接続される。

抵抗素子１３４は、ノードＮ１３および電源配線１１の間に接続される。トランジスタＱｐｎｐ２は、ノードＮ５と接続されたコレクタと、ノードＮ１３と接続されたエミッタとを有する。トランジスタＱｐｎｐ２のベースは、ノードＮ１２と接続される。トランジスタＱｐｎｐ１，Ｑｐｎｐ２および抵抗素子１３３，１３４によって、基準電流ＩＲＥＦ２を生成する電流制御ユニット１３０ｂが構成される。

電流制御ユニット１３０ａでは、パワーデバイスＰＤのオフ期間（ゲート電圧Ｖｇｓ＝０）には、駆動制御信号Ｓｐｄ＝ＬレベルのためトランジスタＱＰ３がオンすることにより、カレントミラー回路１４１は動作せず、ゲート６に充電電流は供給されない。このとき、ノードＮ１０には抵抗素子１３１によって電流が発生し、トランジスタＱｎｐｎ１，Ｑｎｐｎ２に電流が生じる。ノードＮ１１には、トランジスタＱｎｐｎ１のベース・エミッタ間に形成されるダイオードによって、当該ダイオード特性に従う一定電圧Ｖｆ１が発生する（Ｖ１♯＝Ｖｇｓ＋Ｖｆ１＝Ｖｆ１）。

これにより、抵抗素子１３２の抵抗値をＲ１とすると、基準電流ＩＲＥＦ１＝Ｖ１♯／Ｒ１が常時発生する。このときの電流値は、抵抗素子１３２の抵抗値Ｒ１によって調整可能な、予め定められた固定値とすることができる。

この状態から、パワーデバイスＰＤをターンオンするために、駆動制御信号ＳｐｄがＬレベルからＨレベルに変化すると、トランジスタＱＰ３がオフされてカレントミラー回路１４１が作動する。これに応じて、電流供給回路１４０は、基準電流ＩＲＥＦ１をｎ倍した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＝ｎ・ＩＲＥＦ１）を、ゲート６へ充電電流として供給することができる。すなわち、ターンオン時の充電開始時の出力電流ＩＯＵＴは、抵抗素子１３２の抵抗値Ｒ１によって予め調整された固定電流とできることが理解される。

電流制御ユニット１３０ａにおいて、ゲート６の充電に伴ってパワーデバイスＰＤのゲート電圧Ｖｇｓが上昇すると、トランジスタＱｎｐｎ２のエミッタに相当する、ノードＮ１１の電圧Ｖ１♯も上昇する。これにより、基準電流ＩＲＥＦ１＝Ｖ１♯／Ｒ１は増加する。

したがって、電流制御ユニット１３０ａは、実施の形態１での電流生成ユニット１２１と同様に、ゲート電圧Ｖｇｓが高くなる程基準電流ＩＲＥＦ１が大きくなるように動作する。電流供給回路１４０は、トランジスタＱＰ２を用いて、出力電流ＩＯＵＴ＝ｎ・ＩＲＥＦ１を、充電電流としてゲート６へ供給する。この結果、ターンオン時には、実施の形態１と同様に、ゲート６の充電に伴うゲート電圧Ｖｇｓの上昇に応じて、出力電流ＩＯＵＴを増加することが可能である。

電流制御ユニット１３０ｂでは、パワーデバイスＰＤのオン期間（ゲート電圧Ｖｇｓ＝ＶＣＣ）には、駆動制御信号Ｓｐｄ＝ＨレベルのためトランジスタＱＮ３がオンすることにより、カレントミラー回路１４２は動作せず、ゲート６に放電電流は供給されない。このとき、ノードＮ１２には抵抗素子１３３によって電流が発生し、トランジスタＱｐｎｐ１，Ｑｐｎｐ２に電流が生じる。ノードＮ１３には、トランジスタＱｐｎｐ１のベース・エミッタ間に形成されるダイオードによって、当該ダイオード特性に従う一定電圧Ｖｆ２が発生する（Ｖ２♯＝Ｖｇｓ−Ｖｆ２＝Ｖｆ２）。

これにより、抵抗素子１３４の抵抗値をＲ２とすると、基準電流ＩＲＥＦ２＝（ＶＣＣ−Ｖ２♯）／Ｒ２が常時発生する。このときの電流値は、抵抗素子１３４の抵抗値Ｒ２によって調整可能な、予め定められた固定値とすることができる。

この状態から、パワーデバイスＰＤをターンオフするために、駆動制御信号ＳｐｄがＨレベルからＬレベルに変化すると、トランジスタＱＮ３がオフされてカレントミラー回路１４２が作動する。これに応じて、電流供給回路１４０は、基準電流ＩＲＥＦ２をｎ倍した出力電流ＩＯＵＴ（ＩＯＵＴ＝ｎ・ＩＲＥＦ２）を、ゲート６へ放電電流（ＩＯＵＴ＜０）として供給することができる。すなわち、ターンオフ時の放電開始時の出力電流ＩＯＵＴは、抵抗素子１３４の抵抗値Ｒ２によって予め調整された固定電流とできることが理解される。

電流制御ユニット１３０ｂにおいて、ゲート６の放電に伴ってパワーデバイスＰＤのゲート電圧Ｖｇｓが低下するのに応じて、トランジスタＱｐｎｐ２のエミッタに相当するノードＮ１２の電圧Ｖ２♯も低下する。これにより、基準電流ＩＲＥＦ２＝（ＶＣＣ−Ｖ２♯）／Ｒ２は増加する。

したがって、電流制御ユニット１３０ｂは、実施の形態１での電流生成ユニット１２２と同様に、ゲート電圧Ｖｇｓが低くなる程基準電流ＩＲＥＦ２が大きくなるように動作する。電流供給回路１４０は、トランジスタＱＮ２を用いて、出力電流ＩＯＵＴ＝ｎ・ＩＲＥＦ２を、放電電流としてゲート６へ供給する。この結果、ターンオフ時には、実施の形態１と同様に、ゲート６の放電に伴うゲート電圧Ｖｇｓの低下に応じて、出力電流ＩＯＵＴを増加することが可能である。

図９は、実施の形態４に従う駆動回路によるパワーデバイスのオンオフ動作を説明する動作波形図である。

図９を参照して、時刻ｔｘにおいて駆動制御信号ＳｐｄがＬレベルからＨレベルに変化して、ターンオンが開始される。ノードＮ１１の電圧Ｖ１♯は、上述のように、時刻ｔｘにおいて、トランジスタＱｎｐｎ１のダイオード特性に従う一定電圧Ｖｆ１である。したがって、上述のように、ターンオンによるゲート６の充電開始時における出力電流ＩＯＵＴは、一定電圧Ｖｆ１、抵抗素子１３２の抵抗値Ｒ１および、カレントミラー回路１４１での増幅率（ミラー比）ｎによって調整された固定電流とすることができる。

さらに、時刻ｔｘ以降では、ゲート６の充電が進行するのに伴うゲート電圧Ｖｇｓの上昇に応じて、ノードＮ１１の電圧Ｖ１♯が上昇するため、出力電流ＩＯＵＴ＝ｎ・ＩＯＵＴも、ゲート電圧Ｖｇｓの上昇に応じて増加する。そして、時刻ｔ４では、ゲート電圧Ｖｇｓ＝ＶＣＣとなって、パワーデバイスＰＤのターンオン動作が完了する。ゲート６の充電完了に応じて、出力電流ＩＯＵＴ＝０となる。

時刻ｔｙでは、駆動制御信号ＳｐｄがＨレベルからＬレベルに変化して、ターンオフが開始される。ノードＮ１３の電圧Ｖ２♯は、上述のように、時刻ｔｙにおいて、トランジスタＱｐｎｐ１のダイオード特性に従う一定電圧Ｖｆ２である。したがって、ターンオフのゲート６の放電開始時における出力電流ＩＯＵＴの大きさ（絶対値）は、一定電圧Ｖｆ２、抵抗素子１３４の抵抗値Ｒ２および、カレントミラー回路１４２での増幅率（ミラー比）ｎによって調整された固定電流とすることができる。

さらに、時刻ｔｙ以降では、ゲート６の放電が進行するのに伴うゲート電圧Ｖｇｓの低下に応じて、ノードＮ１３の電圧Ｖ２♯が低下するため、出力電流の大きさ（｜ＩＯＵＴ｜＝ｎ・ＩＲＥＦ２）も、ゲート電圧Ｖｇｓの低下に応じて増加する。そして、時刻ｔ８では、ゲート電圧Ｖｇｓ＝０となって、パワーデバイスＰＤのターンオフ動作が完了する。ゲート６の放電完了に応じて、出力電流ＩＯＵＴ＝０となる。

このように、実施の形態４に従う駆動回路の構成によっても、実施の形態１と同様に、ターンオンおよびターンオフの開始時には、一定電圧Ｖｆ１，Ｖｆ２および抵抗素子１３２，１３４の抵抗値Ｒ１，Ｒ２に従って調整された固定電流を出力電流ＩＯＵＴとしてゲート６の充放電を開始できる。したがって、ターンオン直後およびターンオフ直後に過大な充放電電流が流れることによるサージ電圧や電磁ノイズの発生を抑制できる。さらに、その後では、ゲート電圧Ｖｇｓの変化（上昇／低下）に応じて出力電流ＩＯＵＴ（充電電流）を増加できるので、パワーデバイスを速やかにターンオンおよびターンオフすることにより、スイッチング損失を低減することが可能となる。

さらに、実施の形態４に従う駆動回路では、ゲート電圧Ｖｇｓに応じて出力電流ＩＯＵＴを切換えるための電圧監視機能（実施の形態１〜３での電圧選択回路１１０）を配置する必要がないので、回路の小型化が可能である。また、実施の形態３と同様に、オペアンプを用いない構成であるので、回路動作の安定化についても図ることができる。

なお、実施の形態４の構成において、ノードＮ１０は「第３の内部ノード」に対応し、ノードＮ１１は「第４の内部ノード」に対応し、ノードＮ１２は「第５の内部ノード」に対応し、ノードＮ１３は「第６の内部ノード」に対応する。また、トランジスタＱｎｐｎ１は「第１のバイポーラトランジスタ」に対応し、トランジスタＱｎｐｎ２は「第２のバイポーラトランジスタ」に対応し、トランジスタＱｐｎｐ１は「第３のバイポーラトランジスタ」に対応し、トランジスタＱｐｎｐ２は「第４のバイポーラトランジスタ」に対応する。さらに、抵抗素子１３１は「第５の抵抗素子」に対応し、抵抗素子１３２は「第６の抵抗素子」に対応し、抵抗素子１３３は「第７の抵抗素子」に対応し、抵抗素子１３４は「第８の抵抗素子」に対応する。

実施の形態５．
実施の形態５では、実施の形態１〜４で説明した駆動回路のチップへの実装について説明する。

図１０は、実施の形態５に従う駆動回路の実装例を説明するための概略的な回路図である。

図１０を参照して、図１と同様に、電源配線２および接地配線３の間に直列に接続された、相補的に動作すべきパワーデバイスＰＤおよびＰＤ＃の各々について、本実施の形態に従う駆動回路１００が配置される。各駆動回路１００は、実施の形態１〜４で説明した駆動回路１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄのいずれかによって構成される。

パワーデバイスＰＤの駆動制御信号Ｓｐｄと、パワーデバイスＰＤ＃の駆動制御信号Ｓｐｄ＃とは、パワーデバイスＰＤおよびＰＤ＃の両方がオンすることによる短絡経路が生じないように、デッドタイムを設けた上で、互いに反対のレベルを有するように設定される。

このとき、パワーデバイスＰＤ＃の駆動回路１００と、パワーデバイスＰＤの駆動回路１００とを、同一の半導体チップ１０５上に構成する。このようにすると、パワーデバイスＰＤの駆動回路１００と、パワーデバイスＰＤ＃の駆動回路１００との間で、素子ばらつきの方向を同一のものとできる。この結果、互いに同期して相補に動作する必要があるパワーデバイスＰＤおよびＰＤ＃のオンオフ制御が、素子ばらつきの影響によって不安定となることを防止できる。また、一部配線の共有化等によって、基板面積の縮小等の効果も期待することが可能である。

なお、実施の形態５の構成において、電源電圧ＶＤＤは「第１の主回路電源電圧」に対応し、接地電圧ＧＮＤ「第２の主回路電源電圧」に対応し、電源配線２は「第１の電源配線」に対応し、接地配線３は「第２の電源配線」に対応する。さらに、パワーデバイスＰＤ＃は「第１の電力用半導体素子」に対応し、パワーデバイスＰＤは「第２の電力用半導体素子」に対応する。

なお、実施の形態５では、対向アームを構成するパワーデバイスの駆動回路の構成例について説明したが、実施の形態１〜４に従う駆動回路の構成は、対向アームを構成するものに限定される任意の装置または回路に適用される電力用半導体素子の駆動に適用することが可能である。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

２，１１ 電源配線、３，１３ 接地配線、４ 出力端子、６ ゲート（パワーデバイス）、２０，１１１，１１２，１４８，１４９ インバータ、３０，４０，ＱＮ１〜ＱＮ９，ＱＰ１〜ＱＰ９，Ｑｎｐｎ１，Ｑｎｐｎ２，Ｑｐｎｐ１，Ｑｐｎｐ２ トランジスタ、５０ ゲート抵抗、１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄ 駆動回路、１０５ 半導体チップ、１１０ 電圧選択回路、１１３〜１１６ トランスファゲート、１２０ 電流生成回路、１２１，１２２ 電流生成ユニット、１２３，１２５ オペアンプ、１２４，１２６〜１２８，１３１〜１３４，１４６，１４７ 抵抗素子、１３０ 電流制御回路、１３０ａ，１３０ｂ 電流制御ユニット、１４０ 電流供給回路、１４１〜１４４ カレントミラー回路、１４５ 電流出力回路、ＧＮＤ 接地電圧、ＩＯＵＴ 出力電流、ＩＲＥＦ１〜ＩＲＥＦ４ 基準電流、Ｎ１〜Ｎ８，Ｎ１０〜Ｎ１３，Ｎａ ノード、ＮＶｇ，ＰＶｇ ゲート電圧、Ｖｇｓ ゲート電圧（パワーデバイス）、ＰＤ パワーデバイス、Ｓｐｄ 駆動制御信号、ＶＤＤ 電源電圧、ＶＲＥＦ１，ＶＲＥＦ２，Ｖｆ１，Ｖｆ２ 一定電圧、Ｖｔ１，Ｖｔ２ しきい値電圧（インバータ）。

Claims (6)

1. 入力された駆動制御信号の信号レベルに応答して、電力用半導体素子のゲートを第１の電源電圧および前記第１の電源電圧よりも低い第２の電源電圧の一方に設定するように構成された駆動回路を備え、
   前記駆動回路は、
   前記信号レベルの変化に応じて、前記第１または第２の電源電圧へ向けて前記ゲートを充電または放電するための出力電流を前記ゲートへ供給するように構成された電流供給回路と、
   前記電流供給回路による前記出力電流を制御するための電流制御回路とを含み、
   前記電流制御回路は、前記信号レベルの遷移による前記ゲートの充電または放電の開始時には前記出力電流を予め定められた固定電流に制御するとともに、前記固定電流の供給後において、前記充電または前記放電によってゲート電圧が変化するのに応じて前記出力電流の大きさが増加するように、前記ゲート電圧に応じて前記出力電流を可変に制御するように構成される、半導体装置。
2. 前記駆動回路は、前記信号レベルが第１のレベルである第１の状態では前記電力用半導体素子をオンする一方で、前記信号レベルが第２レベルである第２の状態では前記電力用半導体素子をオフするように構成され、
   前記電流制御回路は、
   前記ゲート電圧に応じて、予め定められた第１および第２の一定電圧ならびに前記ゲート電圧に応じた電圧のうちの１つを選択的に出力する電圧選択回路と、
   前記電圧選択回路の出力電圧に応じた基準電流を生成するように構成された電流生成回路とを含み、
   前記電圧選択回路は、前記第１の状態では、前記ゲート電圧が第１のしきい値電圧よりも高いときには前記第１の一定電圧を出力する一方で、前記ゲート電圧が前記第１のしきい値電圧よりも高いときには前記ゲート電圧を出力するのに対し、前記第２の状態では、前記ゲート電圧が第２のしきい値電圧よりも高いときには前記第２の一定電圧を出力する一方で、前記ゲート電圧が前記第２のしきい値電圧よりも低いときには前記ゲート電圧を出力するように構成され、
   前記電流生成回路は、前記第１の状態では、前記出力電圧が高いほど前記基準電流を大きくする一方で、前記第２の状態では、前記出力電圧が低いほど前記基準電流を大きくするように構成され、
   前記電流供給回路は、前記第１の状態では、前記基準電流が大きいほど前記ゲートの充電電流が大きくなるように前記出力電流を供給する一方で、前記第２の状態では、前記基準電流が大きいほど前記ゲートの放電電流が大きくなるように前記出力電流を供給する、請求項１記載の半導体装置。
3. 前記電流供給回路は、
   前記第１の電源電圧を供給する第１の電源ノードと前記ゲートとの間に電気的に接続された第１の出力トランジスタと、
   前記第１の電源ノードと前記第１の出力トランジスタの制御電極との間に接続された第１の抵抗素子と、
   前記第２の電源電圧を供給する第２の電源ノードと前記ゲートとの間に電気的に接続された第２の出力トランジスタと、
   前記第２の電源ノードと前記第２の出力トランジスタの制御電極との間に接続された第２の抵抗素子と、
   前記第１の状態において、前記基準電流を増幅した電流を前記第１の抵抗素子に流すように構成された第１のカレントミラー回路と、
   前記第２の状態において、前記基準電流を増幅した電流を前記第２の抵抗素子に流すように構成された第２のカレントミラー回路とを含み、
   前記第１の出力トランジスタは、前記第１の抵抗素子での電圧降下量が大きいほど前記出力電流が大きくなるような導電型を有し、
   前記第２の出力トランジスタは、前記第２の抵抗素子での電圧降下量が大きいほど前記出力電流が大きくなるような導電型を有する、請求項２記載の半導体装置。
4. 前記電圧選択回路は、前記第１の状態では、前記ゲート電圧および前記第１のしきい値電圧の比較により、前記第１の一定電圧または前記ゲート電圧を第１の内部ノードに出力するように構成されるとともに、前記第２の状態では、前記ゲート電圧および前記第２のしきい値電圧の比較により、前記第２の一定電圧または前記ゲート電圧を第２の内部ノードに出力するように構成され、
   前記電流生成回路は、
   前記第１の状態において、前記第１の内部ノードの電圧に応じた前記基準電流を生成するための第１の電流生成ユニットと、
   前記第２の状態において、前記第２の内部ノードの電圧に応じた前記基準電流を生成するための第２の電流生成ユニットとを含む、
   前記第１の電流生成ユニットは、
   前記第１の内部ノードと前記第２の電源電圧を供給する第２の電源ノードとの間に直列接続された、第１の電界効果トランジスタおよび第３の抵抗素子と、
   前記第２の内部ノードと前記第１の電源電圧を供給する第１の電源ノードとの間に直列接続された、第２の電界効果トランジスタおよび第４の抵抗素子とを有し、
   前記第１の電界効果トランジスタのゲートおよびドレインは、前記第３の抵抗素子を経由して電気的に接続され、
   前記第２の電界効果トランジスタのゲートおよびドレインは、前記第４の抵抗素子を経由して電気的に接続される、請求項２または３記載の半導体装置。
5. 前記駆動回路は、前記信号レベルが第１のレベルである第１の状態では前記電力用半導体素子をオンする一方で、前記信号レベルが第２レベルである第２の状態では前記電力用半導体素子をオフするように構成され、
   前記電流制御回路は、
   前記ゲートと接続されたエミッタおよび第３の内部ノードと接続されたコレクタを有する第１のバイポーラトランジスタと、
   前記第１の電源電圧を供給する第１の電源ノードと前記第３の内部ノードとの間に電気的に接続された第５の抵抗素子と、
   前記第１の状態において前記第１の電源ノードに接続されるコレクタおよび第４の内部ノードと接続されたエミッタとを有する第２のバイポーラトランジスタと、
   前記第１の電源電圧を供給する第２の電源ノードと前記第４の内部ノードとの間に接続される第６の抵抗素子とを有し、
   前記第１のバイポーラトランジスタのベースは前記第４の内部ノードと接続されるとともに、前記第２のバイポーラトランジスタのベースは前記第３の内部ノードと接続され、
   前記電流制御回路は、
   前記ゲートと接続されたエミッタおよび第５の内部ノードと接続されたコレクタを有する第３のバイポーラトランジスタと、
   前記第２の電源ノードと前記第５の内部ノードとの間に電気的に接続された第７の抵抗素子と、
   前記第２の状態において前記第２の電源ノードに接続されるコレクタおよび第６の内部ノードと接続されたエミッタとを有する第４のバイポーラトランジスタと、
   前記第５の内部ノードおよび前記第２の電源ノードの間に接続される第８の抵抗素子とを有し、
   前記第３のバイポーラトランジスタのベースは前記第６の内部ノードと接続されるとともに、前記第４のバイポーラトランジスタのベースは前記第５の内部ノードと接続され、
   前記電流供給回路は、前記第１の状態では、前記第４の内部ノードの通過電流が大きいほど前記ゲートの充電電流が大きくなるように前記出力電流を供給する一方で、前記第２の状態では、前記第６の内部ノードの通過電流が大きいほど前記ゲートの放電電流が大きくなるように前記出力電流を供給する、請求項１記載の半導体装置。
6. 第１の主回路電源電圧を供給する第１の電源配線と負荷に接続される出力端子との間に接続される第１の電力用半導体素子のオンオフを制御するための第１の駆動回路と、
   第２の主回路電源電圧を供給する第２の電源配線と前記出力端子との間に接続される第２の電力用半導体素子のオンオフを制御するための第２の駆動回路とを備え、
   前記第１および第２の駆動回路の各々は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の駆動回路によって構成され、
   前記第１および第２の駆動回路は、１つの半導体チップ上に集積化される、半導体装置。
   

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