JP2018085613A - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 140
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 152
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 84
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 60
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 33
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 abstract description 36
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 9
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
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Abstract
【解決手段】入力端子と出力端子とを備え、トランジスタが形成された半導体チップと、半導体チップを搭載する領域を提供するヒートシンクと、半導体チップに信号を入力する入力リードと、半導体チップからの信号を出力する出力リードと、第1バイアスリードと、を含むパッケージと、半導体チップの出力端子と接続された第1入力端と、第1出力端とを備え、第1出力端は第1入力端における第1インピーダンスよりも高い第2インピーダンスを有する第1インピーダンス変換回路と、ヒートシンク上に配置され、第1出力端と出力リードとの間に直列に接続された第1キャパシタと、第1インピーダンス変換回路のうち第1部分と、第1バイアスリードとの間を接続する第1ボンディングワイヤと、を具備し、第1部分から第1入力端を見たインピーダンスは、第2インピーダンスより低い半導体装置。
【選択図】図1
Description
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。
(1)本願発明は、入力端子と出力端子とを備え、トランジスタが形成された半導体チップと、前記半導体チップを搭載する領域を提供するヒートシンクと、前記ヒートシンクに設けられ前記半導体チップに信号を入力する入力リードと、前記ヒートシンクに設けられ前記半導体チップからの信号を出力する出力リードと、前記出力リードと分離して前記ヒートシンクに設けられた第1バイアスリードと、を含むパッケージと、前記半導体チップの出力端子と接続された第1入力端と、第1出力端とを備え、前記第1出力端は前記第1入力端における第1インピーダンスよりも高い第2インピーダンスを有する第1インピーダンス変換回路と、前記ヒートシンク上に配置され、前記第1インピーダンス変換回路の前記第1出力端と前記出力リードとの間に直列に接続された第1キャパシタと、前記第1インピーダンス変換回路のうち前記第1入力端と前記第1出力端との間の第1部分と、前記第1バイアスリードとの間を接続する第1ボンディングワイヤと、を具備し、前記第1部分から前記第1入力端を見たインピーダンスは、前記第2インピーダンスより低い半導体装置である。これにより、第1キャパシタからヒートシンクを通じて熱が放出されるため、発熱が抑制される。また、第1バイアスリードから第1ボンディングワイヤを介して、半導体チップにバイアス電圧を供給することができる。さらに、第1ボンディングワイヤがチョークコイルとして機能するため、高周波信号の第1バイアスリード側への漏洩が抑制される。
(2)前記第1キャパシタは単一の絶縁膜とその上下を挟んで対向した一対の電極からなる金属−絶縁膜−金属構造を有してもよい。第1キャパシタの寄生抵抗成分および寄生インダクタ成分が小さくなるため、発熱が効果的に抑制される。また放熱性がさらに向上し、発熱を効果的に抑制することができる。
(3)前記第1インピーダンス変換回路は、前記ヒートシンクの上に搭載され、上面に配線パターンが設けられた第1絶縁基板を有し、前記配線パターンは、前記第1入力端側の第1パターン、および前記第1パターンよりも前記第1出力端に近くかつ幅の小さい第2パターンを含み、前記第1部分は前記第2パターンよりも前記第1入力端側に位置してもよい。これにより、第1パターンの電気抵抗が小さくなるため、ドレインバイアス電圧を供給した際の配線パターンの発熱を抑制することができる。
(4)前記第1インピーダンス変換回路は、前記ヒートシンクの上に搭載され、上面に電極の設けられた第2絶縁基板を含み、前記半導体チップの出力端子と前記第2絶縁基板上の前記電極とを接続する第2ボンディングワイヤと、前記第2絶縁基板上の前記電極と前記第1絶縁基板上の前記第1パターンとを接続する第3ボンディングワイヤと、を具備してもよい。第2キャパシタ、第2および第3ボンディングワイヤを含んだ第1インピーダンス変換回路により、半導体チップと出力リードとの間においてインピーダンスを変換することができる。
(5)前記第1絶縁基板上には前記第1パターンが複数設けられ、これらが1つの前記第2パターンに結合されてもよい。これにより、第1インピーダンス変換回路と出力リードとの間でインピーダンス整合することができる。
(6)前記第1キャパシタは前記配線パターンの上面に搭載されてもよい。第1キャパシタから、第1絶縁基板を通じてヒートシンクへと熱が放出される。これにより発熱を抑制することができる。
(7)前記ヒートシンクの上に搭載された第3絶縁基板を具備し、前記第1キャパシタは前記第3絶縁基板の上に搭載されてもよい。第1キャパシタから第3絶縁基板を通じて熱が効果的に放出されるため、発熱をさらに抑制することができる。
(8)前記入力リードと分離して前記ヒートシンクに設けられた第2バイアスリードと、第2入力端と前記半導体チップの入力端子とに接続された第2出力端を備え、前記第2入力端は、前記第2出力端における第3インピーダンスよりも高い第4インピーダンスを有する第2インピーダンス変換回路と、前記ヒートシンク上に配置され、前記第2インピーダンス変換回路の前記第2入力端と前記入力リードとの間に直列に接続された第2キャパシタと、前記第2インピーダンス変換回路のうち前記第2入力端と前記第2出力端との間の第2部分と、前記第2バイアスリードとの間を接続する第4ボンディングワイヤと、を具備し、第2部分から前記第2出力端を見たインピーダンスは、前記第4インピーダンスより低くてもよい。これにより、第2キャパシタからヒートシンクを通じて熱が放出されるため、発熱が抑制される。また、第2バイアスリードから第4ボンディングワイヤを介して、半導体チップにバイアス電圧を供給することができる。さらに、第4ボンディングワイヤがチョークコイルとして機能するため、高周波信号の第2バイアスリード側への漏洩が抑制される。
実施例1においては航空管制用または気象観測用のレーダなどに採用されるSSPA(Solid State Power Amplifier)に用いられる半導体装置を例に説明する。SSPAは例えば10GHzの高周波信号の増幅に用いられる。実施例1を別のPAに適用することもできる。図1(a)は実施例1に係る半導体装置100を例示する平面図である。図1(b)は半導体装置100の等価回路を示す回路図である。
ヒートシンク10は金属で形成されており、例えば銅(Cu)、モリブデン(Mo)およびCuを順に積層した基板である。このためヒートシンク10は高い熱伝導率を有する。ヒートシンク10の厚さは例えば1.5mmである。ヒートシンク10には基準電位(例えばグランド電位)が供給されている。ヒートシンク10は凹部10aには図4で後述するネジ71が装着される。
インピーダンス変換回路20(第2インピーダンス変換回路)はリード14と半導体チップ40との間においてインピーダンスを変換する。インピーダンス変換回路30(第1インピーダンス変換回路)はリード15と半導体チップ40との間においてインピーダンスを変換する。
図2(a)は整合素子31を拡大した断面図である。図2(b)はインピーダンス変換回路30およびキャパシタ60を拡大した平面図である。ボンディングワイヤは省略している。図2(a)および図2(b)に示すように、整合素子31は、基板33(第2絶縁基板)、電極34および電極35を有する。2つの電極34は基板33の上面に設けられ、電極35は基板33の下面に設けられている。整合素子31は、電極34を上部電極、電極35を下部電極、基板33を誘電体層とするMIM(Metal-Insulator-Metal)キャパシタとして機能する。つまり整合素子31は、単一の絶縁膜とその上下を挟んで対向した一対の電極からなる金属−絶縁膜−金属構造を有している。電極35は半田などでヒートシンク10の上面に接合されている。基板33は例えば厚さ300μm、比誘電率が例えば50のセラミックなどの絶縁体により形成されている。電極34および35は、例えばCuまたは金(Au)などの金属により形成されている。Y方向における電極34の幅W4は例えば2.5mmである。
図2(c)はフィードスルー13、カプラ32およびキャパシタ60を拡大した断面図である。図2(c)に示すように、カプラ32は基板36(第1絶縁基板)、配線パターン37および金属層38を有する。基板36下面に設けられた金属層38は半田などでヒートシンク10の上面に接合されている。配線パターン37は基板36の上面に設けられている。配線パターン37は金属層38を基準層とする伝送線路(マイクロストリップライン)を形成する。基板36は例えば厚さ300μm、比誘電率が例えば10のセラミックなどの絶縁体により形成されている。配線パターン37および金属層38は例えばCuまたはAuなどの金属により形成されている。
図2(c)に示すように、キャパシタ60は下部電極62、誘電体層64および上部電極66を有するMIMキャパシタであり、DCカットキャパシタとして機能する。つまりキャパシタ60は、単一の絶縁膜とその上下を挟んで対向した一対の電極からなる金属−絶縁膜−金属構造を有している。誘電体層64は例えば窒化シリコン(SiN)、酸化シリコン(SiO2)などの絶縁体により形成され、下部電極62と上部電極66とに挟まれている。下部電極62および上部電極66は例えばCuまたはAuなどの金属により形成されている。キャパシタ60は基板36上の配線パターン37のうちパターン37cに搭載される。下部電極62は例えば半田などによりパターン37cに接合されている。上部電極66はボンディングワイヤ55によりフィードスルー13の配線パターン13bに電気的に接続されている。
図2(c)に示すように、フィードスルー13は、ボディ13aおよび13c、配線パターン13b、および金属層13dを有する。ボディ13aはヒートシンク10の上面に配置される。配線パターン13bはボディ13aの上面に設けられ、ボディ13cはボディ13aの上に配置されている。金属層13dはボディ13aの下面に設けられている。ボディ13aおよび13cの側面にも不図示の金属層が設けられている。ボディ13aおよび13cは例えばセラミックなどの絶縁体で形成され、配線パターン13bおよび金属層13dは例えばAuまたはCuなどの金属で形成されている。ボディ13aおよび13cは枠体12の貫通孔12a内に挿入され、例えば半田などでヒートシンク10および枠体12の貫通孔12aの内側に固定される。
図1(a)に示すように、整合素子21は基板23、2つの電極24および基板23下面の金属層を有し、整合素子31と同様にキャパシタとして機能する。カプラ22は基板26、配線パターン27および基板26下面の金属層を有し、カプラ32と同様に伝送線路として機能する。配線パターン27は、キャパシタ搭載用のパターンを有さないことを除いて、配線パターン37と同じ形状を有する。
図3(a)は半導体チップ40の平面図である。図3(b)は図3(a)において点線で囲んだ領域の拡大図である。図3(b)においてパッドおよびフィンガー型の電極は斜線で示した。
次に半導体装置100の要素間の接続関係について説明する。図1(a)に示すように、カプラ22の配線パターン27は、フィードスルー13の配線パターン13bおよびボンディングワイヤ50を介してリード14に電気的に接続されている。配線パターン27と整合素子21の電極24とはボンディングワイヤ51により接続され、電極24と半導体チップ40のゲートパッド40G(図3(a)および図3(b)参照)とはボンディングワイヤ52により接続されている。ボンディングワイヤ50〜56は例えばAuまたはアルミニウム(Al)など金属により形成されている。
図1(b)は半導体装置100の等価回路を示す回路図である。図1(b)に示すように、入力端子InとFET40cのゲート端子との間にインダクタL1およびL2が直列に接続されている。キャパシタC1の一端はインダクタL1およびL2間のノードに接続され、他端は接地されている。FET40cのソース端子は接地されている。FET40cのドレイン端子と出力端子Outとの間にインダクタL3およびL4、キャパシタC2ならびにインダクタL5が順に直列に接続されている。キャパシタC3の一端はインダクタL3およびL4間のノードに接続され、他端は接地されている。インダクタL4とキャパシタC2との間のノードにインダクタL6の一端が接続され、インダクタL6の他端は端子T1に接続されている。
次に半導体装置100の動作について説明する。リード14から半導体チップ40のゲートパッド40Gにゲートバイアス電圧が供給され、リード16から半導体チップ40のドレインパッド40Dにドレインバイアス電圧が供給される。ソースパッド40Sは接地されている。リード14からフィードスルー13およびインピーダンス変換回路20を介して、例えば数百MHz〜数百GHz(マイクロ波、準ミリ波またはミリ波)帯域の高周波信号が半導体チップ40に入力される。半導体チップ40のFETにより増幅された高周波信号は、インピーダンス変換回路30、フィードスルー13およびリード15を介して出力される。このように半導体装置100は高周波信号を増幅するアンプとして機能する。
図4はアンプ装置1000を示す平面図である。図4に示すアンプ装置1000は、半導体装置100を用いた電子装置の例であり、SSPAである。アンプ装置1000は、基板70、回路基板72および74、半導体装置100を含む。回路基板72、半導体装置100および回路基板74はX方向に沿って順に並び、ネジ71により基板70の上面に固定されている。基板70は例えばCuなどの金属で形成され、回路基板72および74は例えばセラミックまたは樹脂などの絶縁体で形成されている。
図5(a)は比較例に係る半導体装置100Rを例示する平面図である。図5(a)に示すように、枠体12の+X側および−X側に1つずつフィードスルー13が挿入されている。−X側のフィードスルー13にリード14が接続され、+X側のフィードスルー13にはリード15が接続されている。半導体装置100Rにドレインバイアス用のリードは設けられておらず、リード15は高周波信号の出力、およびドレインバイアス電圧の供給に用いられる。また、直流阻止用のキャパシタは設けられておらず、カプラ32の配線パターン37はパターン37cを有さない。配線パターン37のパターン37bは、ボンディングワイヤ55およびフィードスルー13の配線パターン13bを介してリード15に接続されている。
実施例3は入力側のリード14とゲートバイアス用のリードとを分けた例である。図8(a)は実施例3に係る半導体装置300を例示する平面図である。実施例1と同じ構成については説明を省略する。
図8(b)は半導体装置300の等価回路を示す回路図である。図8(b)に示すように、入力端子InとFET40cのゲート端子との間に、インダクタL9、キャパシタC5、インダクタL1およびL2が直列接続されている。キャパシタC5とインダクタL1との間のノードにインダクタL10の一端が接続され、インダクタL10の他端に端子T2が接続されている。インダクタL9は複数のボンディングワイヤ50全体のインダクタ成分に対応する。インダクタL1はカプラ22および複数のボンディングワイヤ51全体のインダクタ成分に対応する。キャパシタC5はキャパシタ61に対応する。インダクタL10は複数のボンディングワイヤ58全体のインダクタ成分に対応する。端子T2はリード17に対応する。
実施例1と同様に、半導体装置300を用いてアンプ装置を形成することができる。図9はアンプ装置3000を示す平面図である。配線パターン72bは配線パターン72aに接続されず、リード17に接続されている。配線パターン72aおよび74aにはキャパシタが接続されていない。他の構成はアンプ装置1000と同じである。ゲートバイアス電圧は配線パターン72bを介してリード17に入力される。配線パターン72bの幅を配線パターン72aより大きくし、例えば配線パターン74bと同程度にすることができる。配線パターン72bの電気抵抗が低くなるため、ゲートバイアス電圧の印加に伴う発熱を抑制することができる。
10a 凹部
11 リッド
12 枠体
12a 貫通孔
13 フィードスルー
13a、13c ボディ
13b、27、37、72a、72b、74a、74b
配線パターン
13d、35、38、84、86 金属層
14〜17 リード
20、30 インピーダンス変換回路
21、31 整合素子
22、32 カプラ
23、26、33、36、42、70、82 基板
24、34、75b 電極
27a、27b、37a、37b、37c パターン
27d、34a、37d 部分
40 半導体チップ
40D ドレインパッド
40G ゲートパッド
40S ソースパッド
41 ビア電極
43 活性領域
44 ゲートフィンガー
45 ソースフィンガー
46 ドレインフィンガー
50〜58 ボンディングワイヤ
60、61、73、75 キャパシタ
62 下部電極
64 誘電体層
66 上部電極
71 ネジ
72、74 回路基板
72c、74c ラジアルスタブ
75a 端子
75c 誘電体
77 空隙
80 搭載部
100、100R、200、300、400 半導体装置
1000、1000R、3000 アンプ装置
Claims (8)
- 入力端子と出力端子とを備え、トランジスタが形成された半導体チップと、
前記半導体チップを搭載する領域を提供するヒートシンクと、前記ヒートシンクに設けられ前記半導体チップに信号を入力する入力リードと、前記ヒートシンクに設けられ前記半導体チップからの信号を出力する出力リードと、前記出力リードと分離して前記ヒートシンクに設けられた第1バイアスリードと、を含むパッケージと、
前記半導体チップの出力端子と接続された第1入力端と、第1出力端とを備え、前記第1出力端は前記第1入力端における第1インピーダンスよりも高い第2インピーダンスを有する第1インピーダンス変換回路と、
前記ヒートシンク上に配置され、前記第1インピーダンス変換回路の前記第1出力端と前記出力リードとの間に直列に接続された第1キャパシタと、
前記第1インピーダンス変換回路のうち前記第1入力端と前記第1出力端との間の第1部分と、前記第1バイアスリードとの間を接続する第1ボンディングワイヤと、を具備し、
前記第1部分から前記第1入力端を見たインピーダンスは、前記第2インピーダンスより低い半導体装置。 - 前記第1キャパシタは単一の絶縁膜とその上下を挟んで対向した一対の電極からなる金属−絶縁膜−金属構造を有する請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1インピーダンス変換回路は、前記ヒートシンクの上に搭載され、上面に配線パターンが設けられた第1絶縁基板を有し、
前記配線パターンは、前記第1入力端側の第1パターン、および前記第1パターンよりも前記第1出力端に近くかつ幅の小さい第2パターンを含み、
前記第1部分は前記第2パターンよりも前記第1入力端側に位置する請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記第1インピーダンス変換回路は、前記ヒートシンクの上に搭載され、上面に電極の設けられた第2絶縁基板を含み、
前記半導体チップの出力端子と前記第2絶縁基板上の前記電極とを接続する第2ボンディングワイヤと、
前記第2絶縁基板上の前記電極と前記第1絶縁基板上の前記第1パターンとを接続する第3ボンディングワイヤと、を具備する請求項3に記載の半導体装置。 - 前記第1絶縁基板上には前記第1パターンが複数設けられ、これらが1つの前記第2パターンに結合される請求項3または4に記載の半導体装置。
- 前記第1キャパシタは前記配線パターンの上面に搭載されている請求項3から5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ヒートシンクの上に搭載された第3絶縁基板を具備し、
前記第1キャパシタは前記第3絶縁基板の上に搭載される請求項1から6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記入力リードと分離して前記ヒートシンクに設けられた第2バイアスリードと、
第2入力端と前記半導体チップの入力端子とに接続された第2出力端を備え、前記第2入力端は、前記第2出力端における第3インピーダンスよりも高い第4インピーダンスを有する第2インピーダンス変換回路と、
前記ヒートシンク上に配置され、前記第2インピーダンス変換回路の前記第2入力端と前記入力リードとの間に直列に接続された第2キャパシタと、
前記第2インピーダンス変換回路のうち前記第2入力端と前記第2出力端との間の第2部分と、前記第2バイアスリードとの間を接続する第4ボンディングワイヤと、を具備し、
第2部分から前記第2出力端を見たインピーダンスは、前記第4インピーダンスより低い請求項1から7のいずれか一項に記載の半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016227302A JP6769646B2 (ja) | 2016-11-22 | 2016-11-22 | 半導体装置 |
US15/817,552 US10396025B2 (en) | 2016-11-22 | 2017-11-20 | Semiconductor device and amplifier apparatus |
CN201711166506.XA CN108091645B (zh) | 2016-11-22 | 2017-11-21 | 半导体装置和放大器设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016227302A JP6769646B2 (ja) | 2016-11-22 | 2016-11-22 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018085613A true JP2018085613A (ja) | 2018-05-31 |
JP6769646B2 JP6769646B2 (ja) | 2020-10-14 |
Family
ID=62147251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016227302A Active JP6769646B2 (ja) | 2016-11-22 | 2016-11-22 | 半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10396025B2 (ja) |
JP (1) | JP6769646B2 (ja) |
CN (1) | CN108091645B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020010242A (ja) * | 2018-07-11 | 2020-01-16 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体増幅器 |
WO2021200963A1 (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-07 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 増幅装置、及び整合回路基板 |
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JP7215640B1 (ja) * | 2021-12-08 | 2023-01-31 | 三菱電機株式会社 | 電力増幅器 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6769646B2 (ja) * | 2016-11-22 | 2020-10-14 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置 |
US11569182B2 (en) * | 2019-10-22 | 2023-01-31 | Analog Devices, Inc. | Aluminum-based gallium nitride integrated circuits |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58155847U (ja) * | 1982-04-14 | 1983-10-18 | 株式会社東芝 | マイクロ波集積回路 |
JP3516789B2 (ja) * | 1995-11-15 | 2004-04-05 | 三菱電機株式会社 | 半導体パワーモジュール |
US6072211A (en) * | 1998-08-03 | 2000-06-06 | Motorola, Inc. | Semiconductor package |
US6734728B1 (en) * | 2002-12-19 | 2004-05-11 | Infineon Technologies North America Corp. | RF power transistor with internal bias feed |
DE102008001414A1 (de) * | 2008-04-28 | 2009-10-29 | Robert Bosch Gmbh | Substrat-Schaltungsmodul mit Bauteilen in mehreren Kontaktierungsebenen |
JP5631607B2 (ja) * | 2009-08-21 | 2014-11-26 | 株式会社東芝 | マルチチップモジュール構造を有する高周波回路 |
JP2012146728A (ja) | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Toshiba Corp | パッケージ |
US9401682B2 (en) * | 2014-04-17 | 2016-07-26 | Freescale Semiconductor, Inc. | Structure for a radio frequency power amplifier module within a radio frequency power amplifier package |
US9960127B2 (en) * | 2016-05-18 | 2018-05-01 | Macom Technology Solutions Holdings, Inc. | High-power amplifier package |
JP6769646B2 (ja) * | 2016-11-22 | 2020-10-14 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置 |
-
2016
- 2016-11-22 JP JP2016227302A patent/JP6769646B2/ja active Active
-
2017
- 2017-11-20 US US15/817,552 patent/US10396025B2/en active Active
- 2017-11-21 CN CN201711166506.XA patent/CN108091645B/zh active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020010242A (ja) * | 2018-07-11 | 2020-01-16 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体増幅器 |
JP2022532679A (ja) * | 2019-05-17 | 2022-07-15 | ウルフスピード インコーポレイテッド | Rfパワー増幅器パッケージングにおけるバイアス電圧接続 |
WO2021200963A1 (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-07 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 増幅装置、及び整合回路基板 |
JP7215640B1 (ja) * | 2021-12-08 | 2023-01-31 | 三菱電機株式会社 | 電力増幅器 |
WO2023105662A1 (ja) * | 2021-12-08 | 2023-06-15 | 三菱電機株式会社 | 電力増幅器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10396025B2 (en) | 2019-08-27 |
CN108091645B (zh) | 2023-04-18 |
US20180145023A1 (en) | 2018-05-24 |
JP6769646B2 (ja) | 2020-10-14 |
CN108091645A (zh) | 2018-05-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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