JP2018083738A - 単結晶成長装置、単結晶成長方法及び単結晶 - Google Patents
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Abstract
Description
特に近年、一枚の基板から多くの半導体デバイスを得るために、SiC単結晶基板の大口径化が求められている。そのためSiC単結晶自体の大口径化の要望も高まっている。
例えば、特許文献1は、テーパーガイドを用いる方法が記載されている。テーパーガイドに沿ってSiC単結晶が成長し、大きなSiC単結晶が作製されている。
すなわち、本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
図2は、本実施形態にかかる単結晶成長装置の断面模式図である。図2に示す単結晶成長装置100は、単結晶保持部10と、炉体20と、原料設置部30と、加熱手段40と、ガイドリング50と、テーパーガイド60と、遮蔽リング70とを備える。図2は、理解を容易にするために、単結晶保持部10に単結晶Sが保持され、原料設置部30に原料Gが設置された状態を図示している。
次いで、単結晶成長装置の動作と共に、単結晶成長方法について具体的に説明する。本実施形態にかかる単結晶成長方法は、単結晶のc軸方向の両面を保護し、c軸方向への成長を抑制しつつ、c軸方向と交差する径方向に単結晶を成長させる方法である。以下、図2に示す単結晶成長装置100を用いて、単結晶を結晶成長させる場合を例に、具体的に説明する。
単結晶Sの種類は特に問わないが、例えば、炭化ケイ素(SiC)、シリコン等を用いることができる。
図5は、本実施形態にかかる単結晶の平面模式図である。図5に示すように、本実施形態にかかる単結晶Sは、結晶構造のc軸方向から見て、中央部から6方向に放射状に延在するファセット成長領域Fを有する。
図2の構成を基準に単結晶成長装置を想定し、シミュレーションにより検討を行った。シミュレーションの条件は以下とした。
単結晶保持状態:c面の両面を保持
炉体のサイズ:径方向の幅が30cm
加熱温度:炉体外周端の温度が2350℃、単結晶保持部中央の温度が2250℃
テーパーガイド:あり
遮蔽リング:あり
結晶成長時間:30時間
まずa面成長したon−axisのSiC単結晶を作製した。そして、SiC単結晶を、底面と頂面がc面となるように円柱状に加工し、外周面を鏡面研磨した。そして円柱状のSiC単結晶のc面を保護面で保持し、単結晶保持部に設置した。そして、炉体外周端の温度が2350℃、単結晶保持部中央の温度が2250℃となるように、ヒーターで炉体を加熱し、原料ガスを昇華させた。原料ガスは、原料として準備した焼結したSiC粉末を用いた。その結果、クラック等が発生することなく、SiC単結晶を径方向に12mm拡大することができた。この結果は、シミュレーションの結果と一致した。
実施例2では、テーパーガイド及び遮蔽リングが無い状態でシミュレーションを行った点が実施例1と異なる。その他の条件は、実施例1と同様にした。
実施例3では、単結晶としてオフセット角(4°)を有する単結晶を用いてシミュレーションを行った点が実施例2と異なる。その他の条件は、実施例2と同様にした。
比較例1では、単結晶のc面を保護面で保護しないでシミュレーションを行った点が実施例1と異なる。その他の条件は実施例1と同様にした。その結果、径方向に単結晶は拡大したが、同時にz軸方向(c軸方向)にも拡大した。径方向に拡大した部分には螺旋転位が含まれないことが想定されるため、c軸方向への成長部分は異種多形の発生確率が高まる。
Claims (13)
- 単結晶の第1面と第1面に対向する第2面とを保護できる保護面を有し、前記単結晶を前記保護面で挟み保持できる単結晶保持部と、
前記保護面により前記単結晶を挟む第1の方向から見て、前記単結晶保持部の外周を覆う炉体と、
前記炉体内において、前記単結晶保持部より前記第1の方向と交差する径方向の外側に設けられた原料設置部と、
前記炉体の前記径方向の外側を中央部より高温に加熱する加熱手段と、を備え、
前記単結晶保持部が保持する単結晶を前記径方向の外側に向かって結晶成長させることができる、単結晶成長装置。 - 前記炉体内において、前記単結晶保持部から前記径方向に延在するガイドリングをさらに備える請求項1に記載の単結晶成長装置。
- 前記炉体内において、前記単結晶保持部から前記原料設置部に向かって拡径するテーパーガイドをさらに備える請求項1又は2のいずれかに記載の単結晶成長装置。
- 前記単結晶保持部と前記原料設置部との前記径方向の間に設けられ、前記単結晶保持部に保持される前記単結晶の外周を囲む遮蔽リングをさらに備える請求項1から3のいずれか一項に記載の単結晶成長装置。
- 前記単結晶保持部と前記ガイドリングとの間に隙間がある請求項2から4のいずれか一項に記載の単結晶成長装置。
- 前記単結晶保持部を中心に、前記第1の方向に対称である請求項1から5のいずれか一項に記載の単結晶成長装置。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の単結晶成長装置を用いた単結晶成長方法であって、
単結晶のc軸方向の両面を前記保護面で挟み、前記単結晶を保持する工程と、
前記原料設置部に設けられた原料を前記加熱手段で加熱し、前記単結晶のc軸と交差する径方向に前記単結晶を成長させる工程と、を有する単結晶成長方法。 - 前記原料を、前記単結晶保持部を中心に、前記第1の方向に対称に設置する請求項7に記載の単結晶成長方法。
- 前記単結晶を成長させる際に、前記単結晶保持部を介して前記単結晶に蓄積された熱を排熱する請求項7または8のいずれかに記載の単結晶成長方法。
- 単結晶のc軸方向の両面を保護し、前記c軸方向への成長を抑制しつつ、前記c軸方向と交差する径方向に単結晶を成長させる単結晶成長方法。
- 結晶構造のc軸方向から見て、中央部から6方向に放射状に延在するファセット成長領域を有する単結晶。
- c軸方向から見て円形であり、同心円状に不連続領域を有する請求項11に記載の単結晶。
- 前記不連続領域の外周に拡大部を有し、拡大部が積層欠陥を有する請求項12に記載の単結晶。
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