JP2018083244A - スピンドルユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エアベアリングを構成するスピンドルユニット(42)は、ケーシング(51)の外壁に配設される第1の供給口(81)及び第2の供給口(82)を備える。第1の配管(84)は第1の供給口とメインエア源(93)とを接続し、第2の配管(85)は第2の供給口とサブエア源(94)とを接続する。分岐部は、第1の配管、第2の配管及び噴出口(53)に通じる第3の配管(86)を接続する。第1の配管には分岐部から第1の供給口に向かう方向へのエアの流れを遮断する第1の逆止弁(87)が配設され、第2の配管には分岐部から第2の供給口に向かう方向へのエアの流れを遮断する第2の逆止弁(88)が配設される。ケーシングではメインエア源とサブエア源とに接続し、メインエア源からのエア供給が途絶えたとしても瞬時にサブエア源からのエアを供給可能にする。
【選択図】図3
Description
43 マウント
44 研削ホイール(加工具)
51 ケーシング
53 噴出口
55 スピンドル
81 第1の供給口
82 第2の供給口
83 分岐部
83a 第1の接続口
83b 第2の接続口
83c 第3の接続口
84 第1の配管
85 第2の配管
86 第3の配管
87 第1の逆止弁
88 第2の逆止弁
Claims (1)
- 加工具を装着するマウントと、該マウントの中心を軸に回転するスピンドルと、該スピンドルを囲繞するケーシングと、を備え、該スピンドルの外壁と該ケーシングの内壁との間にエアを流通させラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングとを構成し該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルユニットであって、
該エアは、メインエアとサブエアとの2つのエア源を接続可能とし、
該ケーシングは、
外壁に配設されメインエア源に接続可能とする第1の供給口と、該外壁に配設されサブエア源に接続する第2の供給口と、該内壁に配設され該ラジアルエアベアリングと該スラストエアベアリングとにエアを噴出する噴出口と、該第1の供給口と該第2の供給口と該噴出口とを接続するため3方向に分岐する第1の接続口と第2の接続口と第3の接続口とを備える分岐部と、該第1の供給口と該第1の接続口とを接続する第1の配管と、該第2の供給口と該第2の接続口とを接続する第2の配管と、該噴出口と該第3の接続口とを接続する第3の配管と、該第1の配管に配設し該分岐部から該第1の供給口に向かう方向へのエアの流れを遮断する第1の逆止弁と、該第2の配管に配設し該分岐部から該第2の供給口に向かう方向へのエアの流れを遮断する第2の逆止弁と、を備え、
該メインエア源と該サブエア源との2つのエア源に接続して、該メインエア源からのエア供給が途絶えたとしても瞬時にサブエア源からのエアを供給可能にしてエアベアリングを構成可能にするスピンドルユニット。
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CN112103206A (zh) * | 2019-06-17 | 2020-12-18 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 工件传输系统、工件传输方法及激光退火设备 |
WO2023051157A1 (zh) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | 永旭腾风新能源动力科技(北京)有限公司 | 用于微型燃气轮机转子系统的气路系统及微型燃气轮机 |
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