JP2017217722A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】エア供給の不具合によりハウジング内のエアの圧力低下が生じた場合に回転軸を破損させない。【解決手段】保持手段に保持された被加工物を回転軸70を軸に回転させる加工具74により加工する手段7に、エアの圧力により回転軸70を支持するエアベアリング71Aを有するハウジング71と、ハウジング71内に配設されるエア供給路77a、77bと、エア供給路77a、bにエアを導入する導入口76と、エアベアリング71Aからエアを排気させる排気口75と、を備え、導入口76とエア供給源9との間の接続配管79にエア供給源9から導入口76に向かう方向にのみエアを流す逆止弁8を備え、エア供給源9から供給されるエアに圧力低下が発生したとき逆止弁8からエアベアリング71Aまでの経路をバッファタンクとして作用させ、バッファタンクからエアベアリング71Aにエアを供給し回転軸70を支持する。【選択図】図2
Description
本発明は、保持手段が保持した被加工物を加工する加工装置であって、特に、加工具を装着する回転軸がエアベアリングにより支持される加工装置に関する。
回転軸に装着した加工具を回転させ被加工物を加工する加工装置(研削装置や研磨装置等)では、回転軸の下端に装着された加工具を高速回転させるために、回転軸をエアベアリングで回転可能に支持するエアスピンドル機構(例えば、特許文献1参照)を用いている。エアスピンドル機構は、例えば円筒状のハウジングと回転軸との間の隙間に高圧エアからなるエア層を形成し、このエア層の圧力で回転軸を非接触で支持することにより、ハウジングに回転軸を摩擦抵抗無く回転可能に支持させ、回転軸を高速回転させることを容易にしている。
加工装置は、半導体ウエーハ等の被加工物を搬送する搬送ユニットや被加工物を洗浄及び乾燥する洗浄ユニット等を備えており、このようなユニットにも共通のエア供給源からエアを供給することで各ユニットを動作させている。このエア供給は、例えば、搬送ユニットがベルヌーイチャック等で構成されている場合における被加工物保持のためのエア供給や、洗浄ユニットにおけるエア噴射による被加工物のスピンナー乾燥のためのエア供給等がある。
そのため、エア供給源やエア供給路回りに不具合が発生すると、エアベアリングに供給されるべきエアが遮断され、エアベアリングによる回転軸を支持するためのエア圧力が急激に低下し、回転軸を齧らせ破損させることがある。
エア供給源等の不具合によりエアベアリングのエア圧力が低下した場合、エアスピンドル機構が破損することを防止するために、回転している回転軸を急停止させているが、回転軸が完全に停止するまでに十数秒間の時間が必要になる。したがって、回転軸が完全に停止するまでの間は、エアベアリングを機能させ、回転軸がハウジング内壁等に接触しないようにする必要がある。
そして、エアスピンドル機構が破損することを防止するための対応として、研削加工中においては、ハウジング内のエアの圧力低下を常時監視している。研削加工中にエアの圧力低下が生じた場合には、回転軸を急停止させるとともに、エア供給源から供給されるエアの代替として加工装置内等に別途貯留しておいた予備ガス(例えば、窒素ガスや圧縮空気)をハウジングに流入させ、回転軸が停止するまでの間は予備ガスでエアベアリングを機能させている。
しかし、ハウジングに流入するエアが予備ガスに切り替わる時に、切り替えが間に合わずわずかな圧力低下が発生し、この僅かな圧力低下が原因でエアスピンドルが破損することがある。よって、被加工物を加工する加工装置であって、特に、加工具を装着する回転軸がエアベアリングにより支持される加工装置においては、研削加工中にエア供給回りの不具合によりエアベアリングのエア圧力の低下が生じた場合に、回転している回転軸を破損させないようにするという課題がある。
上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段が保持した被加工物を加工する加工具が装着され回転軸を軸に該加工具を回転させる加工手段と、を備える加工装置であって、該加工手段は、エア供給源から供給されるエアの圧力によって該回転軸を支持するエアベアリングを有するハウジングと、該ハウジング内に配設されるエア供給路と、該エア供給路にエアを導入する導入口と、該エアベアリングからエアを排気させる排気口と、を備え、該導入口と該エア供給源との間の接続配管に配設され該エア供給源から該導入口に向かう方向にのみエアを流す逆止弁を備え、該逆止弁によって、該エア供給源から供給されるエアに圧力低下が発生したとき該逆止弁から該エアベアリングまでの経路をバッファタンクとして作用させ、該バッファタンクから該エアベアリングにエアを供給し該回転軸を支持する加工装置である。
本発明に係る加工装置は、加工手段は、エア供給源から供給されるエアの圧力によって回転軸を支持するエアベアリングを有するハウジングと、ハウジング内に配設されるエア供給路と、エア供給路にエアを導入する導入口と、エアベアリングからエアを排気させる排気口と、を備え、導入口とエア供給源との間の接続配管に配設されエア供給源から該導入口に向かう方向にのみエアを流す逆止弁を備えている。そして、エア供給における不具合が発生して、エア供給源から供給されるエアに圧力低下が発生したときに、逆止弁によってエアの逆流を阻止することで、逆止弁からエアベアリングまでの経路をバッファタンクとして作用させ、バッファタンクからエアベアリングにエアを供給し回転軸を支持することで、例えば、エアが予備ガスに切り替わる際の僅かな圧力低下も発生させることがなくなるため、回転している回転軸が破損することを防止できる。
図1に示す加工装置1は、例えば、研削装置であり、保持手段30上に保持された被加工物を、加工手段7によって研削する装置である。加工装置1のベース10上の前方(−Y方向側)は、図示しない搬送手段によって保持手段30に対して被加工物の着脱が行われる領域である着脱領域Aとなっており、ベース10上の後方(+Y方向側)は、加工手段7によって保持手段30上に保持された被加工物の研削が行われる領域である研削領域Bとなっている。
加工装置1のベース10上に配設され被加工物を保持する保持手段30は、例えば、チャックテーブルであって、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり被加工物を吸着する吸着部300と、吸着部300を支持する枠体301とを備える。吸着部300は図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部300の露出面である保持面300aに伝達されることで、保持手段30は保持面300a上で被加工物を吸引保持する。また、保持手段30は、カバー31によって周囲から囲まれつつ回転可能であり、カバー31下に配設された図示しないY軸方向送り手段によって、ベース10上をY軸方向に往復移動可能となっている。
研削領域Bには、コラム11が立設されており、コラム11の−Y方向側の側面には加工手段7を保持手段30に対して離間又は接近する上下方向に加工送りする加工送り手段5が配設されている。加工送り手段5は、鉛直方向(Z軸方向)の軸心を有するボールネジ50と、ボールネジ50と平行に配設された一対のガイドレール51と、ボールネジ50の上端に連結しボールネジ50を回動させるモータ52と、内部のナットがボールネジ50に螺合し側部がガイドレール51に摺接する昇降板53と、昇降板53に連結され加工手段7を保持するホルダ54とを備えており、モータ52がボールネジ50を回動させると、これに伴い昇降板53がガイドレール51にガイドされてZ軸方向に往復移動し、ホルダ54に保持された加工手段7がZ軸方向に研削送りされる。
保持手段30に保持された被加工物を研削加工する加工手段7は、軸方向が鉛直方向(Z軸方向)である回転軸70と、回転軸70を非接触で回転可能に支持するハウジング71と、回転軸70を回転駆動するモータ72と、スピンドル70の下端に接続された円環状のマウント73とを備えている。加工手段7に装着され被加工物を加工する加工具74は、例えば、研削ホイールであるが、研磨ホイール等であってもよい。
マウント73の下面に着脱可能に接続される加工具74は、環状のホイール基台741と、ホイール基台741の底面に環状に配設された略直方体形状の複数の研削砥石740とを備える。研削砥石740は、例えば、レジンボンドやメタルボンド等でダイヤモンド砥粒等が固着されて成形されている。なお、研削砥石740の形状は、環状に一体に形成されているものでもよい。ホイール基台741の底面は研削砥石740に向かって研削水を噴出できるように開口している。
図2に示すように、例えば外形が円筒形状に形成されたハウジング71は、エア供給源9から供給されるエアの圧力によって回転軸70を支持するエアベアリング71Aを有する。ハウジング71の底面には、エアベアリング71Aからのエアを排気させる排気口75が形成されており、排気口75からは、回転軸70の下端側が、ハウジング71の内部から外部に向かって−Z方向に突出している。この回転軸70の突出部分に、マウント73を取り付けることができるようになっている。
円柱状に形成されハウジング71に非接触で支持される回転軸70は、Z軸方向に延在する長軸部700と、長軸部700の下端側において長軸部700と一体的に形成され長軸部700から径方向外向きに延出されるスラストプレート部701とを備えている。
図2に示すように、回転軸70を回転駆動するモータ72は、例えば、回転軸70の長軸部700の上端に接続されたローター720と、ローター720の外周側においてハウジング71内に配設されたステータコイル721とを備えている。ステータコイル721には、モータ72に所定の電力を供給する図示しない電源が接続されている。モータ72は、ステータコイル721に電圧が印加されることによりローター720が回転し、ローター720が装着された回転軸70を回転させる。例えば、図2に示すように、ハウジング71のモータ72が収容される部位(図2におけるハウジング71の上部)の内部に、モータ72を囲うように環状の通水路719を形成し、この通水路719に冷却水供給手段719aを連通させてもよい。すなわち、冷却水供給手段719aが通水路719の流入口719bへ冷却水を流入させ、この冷却水が、ハウジング71の内部からハウジング71の側壁を通してモータ72を周囲から非接触で冷却させた後、通水路719の排水口719cから排出されるものとしてもよい。
エアベアリング71Aは、回転軸70のラジアル方向をエアで支持するラジアルエアベアリング710と、回転軸70のスラスト方向をエアで支持するスラストエアベアリング711とから構成されている。スラストエアベアリング711は、例えば、ハウジング71の内部の下方において、にエア噴出孔711aを径方向に並べて形成されており、回転軸70のスラストプレート部701を上下方向から挟んだ状態になっている。ラジアルエアベアリング710は、ハウジング71の内部のスラストエアベアリング711の上方において、回転軸70の長軸部700に沿って長軸部700の外周面をエア噴出孔710aで囲うように形成されている。ラジアルエアベアリング710と長軸部700の外周面との間には、隙間が形成されており、この隙間によって、ハウジング71内にエアが供給されている場合に、軸方向(Z軸方向)に伸長するエア層S0が構成される。スラストエアベアリング711とスラストプレート部701との間には、隙間が形成されており、この隙間によって、ハウジング71内にエアが供給されている場合に、径方向に伸長するエア層S1が構成される。
ハウジング71の外周面には、コンプレッサー等からなるエア供給源9から供給される高圧エアをハウジング71内に導入する導入口76が形成されている。導入口76の一端は、ハウジング71の側壁に貫設されラジアルエアベアリング710に連通するエア供給路77aに連通している。エア供給路77aは、ハウジング71の側壁内部において例えばエア供給路77bに分岐し、エア供給路77bは、スラストエアベアリング711に連通している。導入口76のもう一端は、ハウジング71の外部に配設された接続配管79の一端79aに連通している。適宜の管径を備えその全長が例えば1m〜数m程度ある接続配管79は、そのもう一端が後述する分配管902aに連通している。
図1に示すように、例えば、導入口76には、接続配管79とは別に予備ガス流通配管20の一端が接続されており、予備ガス流通配管20のもう一端は、予備ガスタンク2に接続されている。予備ガスタンク2は、その内部に窒素ガスが充填されており、エア供給源9に不具合が生じエア供給源9から図2に示すエアベアリング71Aにエアを供給できなくなった場合に、開閉弁21を開きエア供給源9から供給されるエアの代替として窒素ガスをエアベアリング71Aに供給する。なお、予備ガス流通配管20、予備ガスタンク2、及び開閉弁21は、加工装置1に備えられていなくともよく、予備ガス流通配管20の接続箇所も導入口76に限定されるものではない。
図1に示すように、例えば、加工装置1のベース10の内部には、エア供給源9に連通するマニホールド90が配設されている。マニホールド90は、例えば、金属で作られた配管マニホールドであり、直方体状のマニホールド本体900の下方側面側に設けたエア流入管901に、エア供給源9が連通している。マニホールド本体900の側面には、複数の分配管902a〜902dがZ軸方向に整列して配設されており、マニホールド本体900の内部に配設された図示しない開閉弁により、エア供給源9からマニホールド本体900内部に供給されたエアを、複数の分配管902a〜902dに分流することができる。分配管902b〜902dは、それぞれ、図示しない搬送ユニットやスピンナー乾燥装置等に連通している。分配管902aは、接続配管79に連通している。
逆止弁8の配設位置は、接続配管79内のよりエア供給源9側の管内であると好ましい。例えば、図1に示すように、逆止弁8は、接続配管79のもう一端79b内に配設されていることで、逆止弁8から図2に示すエアベアリング71Aまでの経路のバッファタンクとして作用する容積が非常に大きくなるので好ましい。なお、逆止弁8の配設位置は、本実施形態における位置に限定されるものではない。
例えば、図1に示すように、分配管902aの管内には、エア圧力センサ91が配設されていてもよい。エア圧力センサ91は、半導体ダイヤフラム型、静電容量型、弾性体ダイヤフラム型、又は圧電型等のいずれのタイプの圧力センサでもよく、また、その配設位置は、マニホールド90のエア流入管901の管内等であってもよい。例えば、エア圧力センサ91は、エア供給源9からマニホールド90内部に供給されたエアの内、マニホールド90の内部で分配管902aに分配され接続配管79に流入するエアの圧力を常時検知しており、エア供給源9の不具合等により所定の圧力以下までエアの圧力が下がったことを検知した場合に、図2に示した開閉弁21を開き、外部に警告信号を出力する。
以下に、図1,2を用いて、研削装置1において、被加工物を研削する場合の研削装置1の動作について説明する。被加工物の研削においては、まず、図1に示す着脱領域A内において、被加工物が、保持手段30の保持面300a上に載置され、保持面300a上で吸引保持される。次いで、被加工物を保持した保持手段30が、着脱領域Aから研削領域B内の加工手段7の下まで+Y方向へ移動する。
また、エア供給源9から加工手段7のハウジング71内にエアが継続的に供給され、加工手段7の回転軸70が回転可能な状態になる。すなわち、図1に示すエア供給源9からマニホールド90に導入されたエアは、マニホールド90内で分配され分配管902aを介して接続配管79に流入する。接続配管79に流入したエアは、逆止弁8を通過し接続配管79内を流れていき、図2に示す導入口76からハウジング71の側壁内部に形成されたエア供給路77aに流入していき、ラジアルエアベアリング710に供給される。また、エア供給路77aに流入したエアは、エア供給路77aから分岐するエア供給路77bにも分流し、スラストエアベアリング711に供給される。ラジアルエアベアリング710が、絞りとして作用するエア噴出孔710aから、ラジアルエアベアリング710と長軸部700の外周面との間の隙間に向かって供給されたエアを噴出させ、軸方向に伸長するエア層S0を生み出し、また、スラストエアベアリング711が、絞りとして作用するエア噴出孔711aから、スラストエアベアリング711とスラストプレート部701との間の隙間に向かって供給されたエアを噴出させ、径方向に伸長するエア層S1を生み出すことで、ハウジング71内部に発生した静圧により、回転軸70がハウジング71と非接触で中空上に回転可能に支持された状態になる。
次いで、モータ72のステータコイル721に電圧が印加されることによりローター720が回転し、ローター720が装着された回転軸70がハウジング71内部で、矢印R方向に向かってハウジング71と非接触状態で回転し、回転軸70の回転に伴って加工具74も回転する。そして、加工手段7が図1に示す研削送り手段5により−Z方向へと送られ、加工具74が−Z方向へと降下していき、研削砥石740が保持手段30で保持された被加工物に当接することで研削加工が行われる。
被加工物の研削加工中に、例えば、エア供給源9やマニホールド90に不具合が生じ、エア供給源9からのエアベアリング71Aへのエアの供給が停止した場合における加工装置1の動作について、以下に説明していく。
例えば、研削加工中に図1に示すエア供給源9が不具合により停止してしまい、分配管902aを介して接続配管79に供給されるべきエアが遮断されることで、接続配管79に流入するエアの急激な圧力低下をエア圧力センサ91が検知し、エア圧力センサ91が警告信号を図示しない制御部に発信する。
エア圧力センサ91からの警告信号により、エア供給源9が接続配管79にエアを供給していないことを制御部が知ると、制御部は、モータ72に対する電力の供給を停止し、回転軸70の回転を停止させる。同時に、制御部は、図2に示す開閉弁21を開いて、予備ガスタンク2から窒素ガスを予備ガス流通配管20に流入させ、エア供給路77a、77bを介してエアベアリング71Aに窒素ガスを供給させる。その後、作業者がエア供給源9の点検して、エア供給源9の不具合がある箇所を修理していく。
従来の加工装置、すなわち、接続配管79に逆止弁8を備えていない加工装置においては、制御部が回転軸70の回転を停止させ、かつ、開閉弁21を開き予備ガスタンク2から窒素ガスをエアベアリング71Aに供給させる間(例えば、10秒〜15秒程度)に、回転軸70がハウジング71の側壁やエアベアリング71Aに接触することで、回転軸70が齧って破損する場合があった。すなわち、従来の加工装置においては、エア供給源9から供給されるエアの替わりに予備ガスタンク2から窒素ガスをエアベアリング71Aに供給させる間に、エアベアリング71Aが回転軸70をハウジング71内で非接触で支持できるだけのエア圧力を生み出すために必要な量のエアが、エアベアリング71Aに供給されない期間が生じる場合があった。これは、エア供給源9が不具合により停止し接続配管79にエアが流入しなくなると、エアベアリング71A側がエア供給源9側に比べて高圧となることで、従来の加工装置の接続配管79内では、接続配管79に残存しているエアがエア供給源9側に逆流してしまうためである。そのため、エアベアリング71Aが生み出すエア圧力が、回転軸70の齧りが発生しまう圧力以下となることがあり、回転軸70の破損が発生する場合があった。
しかし、本発明に係る加工装置1は、導入口76とエア供給源9との間の接続配管79にエア供給源9から導入口76に向かう方向にのみエアを流す逆止弁8を設けている。そのため、エア供給源9が不具合により停止し接続配管79にエアが流入しなくなり、エアベアリング71A側がエア供給源9側に比べて高圧となっても、接続配管79に残存しているエアがエア供給源9側に逆流することがない。したがって、逆止弁8からエアベアリング71Aまでの経路がバッファタンクと作用して、制御部が開閉弁21を開き予備ガスタンク2から窒素ガスをエアベアリング71Aに供給させるまでの間、エアベアリング71Aが回転軸70を非接触で支持できるだけのエア圧力を生み出すために必要な量のエアが、バッファタンクからエアベアリング71Aに供給され続ける。そのため、エアベアリング71Aが生み出すエア圧力が、回転軸70の齧りが発生しまう圧力以下となることがなく、回転軸70が破損することを防止できる。
なお、本発明に係る加工装置1は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。例えば、予備ガス流通配管20、予備ガスタンク2、及び開閉弁21は、加工装置1に備えずに、接続配管79の管径を大きくしたり、その全長をより長くしたりすることで、逆止弁8からエアベアリング71Aまでのバッファタンクとして作用する経路の容積をより大きくし、エア供給源9回りの不具合に対応できるものとしてもよい。
1:加工装置 10:ベース 11:コラム
30:保持手段 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体 31:カバー
5:研削送り手段 50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ
53:昇降板 54:ホルダ
7:加工手段
70:回転軸 700:長軸部 701:スラストプレート部
71:ハウジング
71A:エアベアリング
710:ラジアルエアベアリング 710a:ラジアルベアリングのエア噴出口
711:スラストベアリング 711a:スラストベアリングのエア噴出口
719:通水路 719a:冷却水供給手段 719b:流入口 719c:排水口
72:モータ 720:ローター 721:ステータコイル 73:マウント
74:加工具 740:研削砥石 741:ホイール基台
75:排気口 76:導入口 77a、77b:エア供給路 79:接続配管
8:逆止弁
9:エア供給源 90:マニホールド 900:マニホールド本体 901:エア流入管
902a:接続配管に連通する分配管 902b〜902d:分配管
2:予備ガスタンク 20:予備ガス流通配管 21:開閉弁
30:保持手段 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体 31:カバー
5:研削送り手段 50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ
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7:加工手段
70:回転軸 700:長軸部 701:スラストプレート部
71:ハウジング
71A:エアベアリング
710:ラジアルエアベアリング 710a:ラジアルベアリングのエア噴出口
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8:逆止弁
9:エア供給源 90:マニホールド 900:マニホールド本体 901:エア流入管
902a:接続配管に連通する分配管 902b〜902d:分配管
2:予備ガスタンク 20:予備ガス流通配管 21:開閉弁
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段が保持した被加工物を加工する加工具が装着され回転軸を軸に該加工具を回転させる加工手段と、を備える加工装置であって、
該加工手段は、エア供給源から供給されるエアの圧力によって該回転軸を支持するエアベアリングを有するハウジングと、該ハウジング内に配設されるエア供給路と、該エア供給路にエアを導入する導入口と、該エアベアリングからエアを排気させる排気口と、を備え、
該導入口と該エア供給源との間の接続配管に配設され該エア供給源から該導入口に向かう方向にのみエアを流す逆止弁を備え、
該逆止弁によって、該エア供給源から供給されるエアに圧力低下が発生したとき該逆止弁から該エアベアリングまでの経路をバッファタンクとして作用させ、該バッファタンクから該エアベアリングにエアを供給し該回転軸を支持する加工装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112096740A (zh) * | 2020-09-14 | 2020-12-18 | 华海清科股份有限公司 | 用于空气轴承的供气系统和磨削工具 |
WO2023051159A1 (zh) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | 永旭腾风新能源动力科技(北京)有限公司 | 用于气体轴承的气路系统及微型燃气轮机 |
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2016
- 2016-06-07 JP JP2016113444A patent/JP2017217722A/ja active Pending
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