JP5202142B2 - 空気軸受けを備えた加工機械 - Google Patents
空気軸受けを備えた加工機械 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5202142B2 JP5202142B2 JP2008177795A JP2008177795A JP5202142B2 JP 5202142 B2 JP5202142 B2 JP 5202142B2 JP 2008177795 A JP2008177795 A JP 2008177795A JP 2008177795 A JP2008177795 A JP 2008177795A JP 5202142 B2 JP5202142 B2 JP 5202142B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting oil
- temperature
- air bearing
- oil tank
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Turning (AREA)
Description
前記切削油タンクは、第1の温度調節手段を有し前記切削油の温度が該第1の温度調節手段を介して前記加工機械が設置されている加工室の室温よりも高い前記所定の温度に調節されかつ前記配管の一部が収容されている第1の切削油タンクと、第2の温度調節手段を有し前記第1の切削油タンクから供給される前記切削油を該第2の温度調節手段によって前記室温と略同じ温度となるように調節して前記切削部に供給する第2の切削油タンクからなることを特徴としている。
これにより、空気軸受けに供給した圧縮空気が外部に漏出して減圧した漏れエアの温度の低下を抑えることが可能となり、漏れエアに起因する被切削体の温度低下に起因するクラックの発生を防止することが可能となる。そして、漏れエアの温度の低下を抑えることにより特にシリコンウエハ等の脆性部材のクラックの発生を有効に防止することが可能である。
また、切削油タンクを第1の切削油タンクと第2の切削油タンクにより形成し、第1の切削油タンク内の切削油の温度を第1の温度調節手段により加工機械が設置されている加工室の室温よりも高い所定温度に調節する。第2の切削油タンクは、第1の切削油タンクから供給される切削油の温度を第2の温度調節手段により室温と略同じ温度となるように調節してからこの切削油を加工機械の切削部に供給する。
前記所定の温度は、前記空気軸受けから外部に漏出する漏れエアの温度が前記室温と略同じ温度になるように調節されていることを特徴としている。
前記第1の温度調節手段は、前記第1の切削油タンク内に設置されかつ切削油に浸漬されたヒータであることを特徴としている。
前記第2の温度調節手段は、前記第1の切削油タンクから供給される切削油の温度を前記室温と略同じ温度なるように調節するクーラであることを特徴としている。
前記配管の前記第1の切削油タンクに収容されている部分は、銅管を複数回巻回して形成されかつ前記第1の切削油タンクの切削油に浸漬されていることを特徴としている。
2 切削油供給系
3 圧縮空気供給系
5 加工台
6 被削体
6’ 蜂の巣状をなす枠部
7 ケース
11 主軸
12 主軸上部
13 主軸下部
13a 孔(油路)
13b 環状の凹溝
13c 小孔
14 主軸ホルダ
14a 上部
14b 下部
14c 圧縮空気供給口
14d 小孔
14e 切削油供給口
15 空気軸受け
16,17 Oリング
18 コレット
19 コア加工用バイト
19a 孔(油路)
21 沈澱槽
22 切削油タンク
23 第1の切削油タンク
24 第2の切削油タンク
25 濾過機
26 ヒータ(第1の温度調節手段)
27 クーラ(第2の温度調節手段)
28 ポンプ
29 配管
31 コンプレッサ
32 レシーバタンク
33 配管
33a 熱交換器
41 シリコンウエハ
41a 上面
41b 下面
42 硼珪酸ガラス
42a 揉み付け穴(円錐状の窪み)
43 青板ガラス(基板)
44 円柱体
44a 小孔
45 円筒部材
Claims (5)
- 加工機械の主軸をコンプレッサから供給される圧縮空気により回転自在に支持する空気軸受けと、
前記主軸に取り付けられた切削工具と被削体の切削部に供給する切削油を貯溜する切削油タンクと、
前記切削油タンク内の切削油の温度を所定の温度に調節する温度調節手段と、
前記切削油タンク内の切削油を前記切削部に送出するポンプと、
前記コンプレッサで製造した圧縮空気を前記空気軸受けに供給する配管を備え、
前記配管は、その一部が前記切削油タンク内に収容されて前記コンプレッサから前記空気軸受けに送る前記圧縮空気を前記所定の温度に調節することを特徴とする空気軸受けを備えた加工機械であって、
前記切削油タンクは、第1の温度調節手段を有し前記切削油の温度が該第1の温度調節手段を介して前記加工機械が設置されている加工室の室温よりも高い前記所定の温度に調節されかつ前記配管の一部が収容されている第1の切削油タンクと、第2の温度調節手段を有し前記第1の切削油タンクから供給される前記切削油を該第2の温度調節手段によって前記室温と略同じ温度となるように調節して前記切削部に供給する第2の切削油タンクからなることを特徴とする空気軸受けを備えた加工機械。 - 前記所定の温度は、前記空気軸受けから外部に漏出する漏れエアの温度が前記室温と略同じ温度になるように調節されていることを特徴とする、請求項1に記載の空気軸受けを備えた加工機械。
- 前記第1の温度調節手段は、前記第1の切削油タンク内に設置されかつ切削油に浸漬されたヒータであることを特徴とする、請求項1に記載の空気軸受けを備えた加工機械。
- 前記第2の温度調節手段は、前記第1の切削油タンクから供給される切削油の温度を前記室温と略同じ温度になるように調節するクーラであることを特徴とする、請求項1に記載の空気軸受けを備えた加工機械。
- 前記配管の前記第1の切削油タンクに収容されている部分は、銅管を複数回巻回して形成されかつ前記第1の切削油タンクの切削油に浸漬されていることを特徴とする、請求項1に記載の空気軸受けを備えた加工機械。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008177795A JP5202142B2 (ja) | 2008-07-08 | 2008-07-08 | 空気軸受けを備えた加工機械 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008177795A JP5202142B2 (ja) | 2008-07-08 | 2008-07-08 | 空気軸受けを備えた加工機械 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010017772A JP2010017772A (ja) | 2010-01-28 |
JP5202142B2 true JP5202142B2 (ja) | 2013-06-05 |
Family
ID=41703155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008177795A Expired - Fee Related JP5202142B2 (ja) | 2008-07-08 | 2008-07-08 | 空気軸受けを備えた加工機械 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5202142B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3466607A2 (en) | 2017-09-15 | 2019-04-10 | Matsuura Machinery Corporation | Method for supplying cutting oil |
US10414008B2 (en) | 2017-09-22 | 2019-09-17 | Matsuura Machinery Corporation | Method for supplying cutting oil |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5389889B2 (ja) * | 2011-10-31 | 2014-01-15 | コマツNtc株式会社 | 工作機械の冷却装置 |
JP6382926B2 (ja) | 2016-12-21 | 2018-08-29 | ファナック株式会社 | 工作機械の温調システム |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0818224B2 (ja) * | 1987-12-02 | 1996-02-28 | 株式会社日平トヤマ | 工作機械 |
JP3751439B2 (ja) * | 1998-04-27 | 2006-03-01 | Ntn株式会社 | 静圧空気軸受スピンドル装置 |
JP2003053632A (ja) * | 2001-08-13 | 2003-02-26 | Makino Milling Mach Co Ltd | 工作機械の回転軸装置 |
-
2008
- 2008-07-08 JP JP2008177795A patent/JP5202142B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3466607A2 (en) | 2017-09-15 | 2019-04-10 | Matsuura Machinery Corporation | Method for supplying cutting oil |
US10946490B2 (en) | 2017-09-15 | 2021-03-16 | Matsuura Machinery Corporation | Method for supplying cutting oil |
US11752585B2 (en) | 2017-09-15 | 2023-09-12 | Matsuura Machinery Corporation | Method for supplying cutting oil |
US10414008B2 (en) | 2017-09-22 | 2019-09-17 | Matsuura Machinery Corporation | Method for supplying cutting oil |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010017772A (ja) | 2010-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI436854B (zh) | Substrate surface grinding device | |
CN101379599B (zh) | 晶片的单片式蚀刻方法 | |
JP5202142B2 (ja) | 空気軸受けを備えた加工機械 | |
EP1876639A1 (en) | Shower plate and method for manufacturing the same | |
CN101774139B (zh) | 用于陶瓷外圆加工的环状车削刀具及其轴向加工方法 | |
WO2006114854A1 (ja) | Cmp装置用リテーナリングとその製造方法、および、cmp装置 | |
JP5260237B2 (ja) | 精密研削装置 | |
尹韶辉 et al. | Inclined axis magnetorheological finishing technology for small aspherical surface | |
JP2021102265A (ja) | 加工装置 | |
JP2009255239A (ja) | 回転工具を装着するスピンドルユニット機構 | |
Li et al. | Simultaneous double side grinding of silicon wafers: a literature review | |
JP2726776B2 (ja) | 研削方法 | |
JP2014128865A (ja) | 超砥粒電着砥石の砥石内研削液供給装置とその研削方法 | |
JP2011194517A (ja) | 両面研磨装置および加工方法 | |
JP2008229828A (ja) | 定盤形状制御装置および平面加工装置 | |
JP2009197873A (ja) | セラミックス製球状体の製造方法、この方法で得られた転動体を有する転がり支持装置、転がり軸受、エアコンのインバータモータ用転がり軸受 | |
TW202333215A (zh) | 研磨裝置 | |
JPH1174242A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4302430B2 (ja) | 工作機械の主軸バランス取り方法 | |
JP2007118119A (ja) | 砥石 | |
WO2021250996A1 (ja) | 加工装置及び方法 | |
JP2014065088A (ja) | 研磨装置 | |
JP2011101939A (ja) | 研削装置 | |
WO2000043180A1 (fr) | Meche et procede de perçage, procede d'usinage par etapes et procede de fabrication d'un dispositif d'exposition | |
JP2017217722A (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110307 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130207 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5202142 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160222 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |