JP2018077536A - 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージWST1は、4つの領域A1、A2、A3、A4の1つから、領域A0を介して、4つの領域A1、A2、A3、A4のうち前記1つの領域と異なる領域に移動され、領域A0において4つのヘッドによってステージの位置情報が計測されるように、ステージが領域A0内にいる間、前記4つのヘッドのうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドと異なる別のヘッドが、スケール部材の4つの部分のうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドがそれぞれ対向する3つの部分と異なる部分と対向するとともに、前記異なる領域において、前記4つのヘッドのうち、前記1つの領域で用いられる3つのヘッドの1つの代わりに前記別のヘッドを含む3つのヘッドを用いてステージの駆動が制御される。
【選択図】図7
Description
+(cosθz−sinθz)Y/√2+√2psinθz…(1)
C2=−(cosθz−sinθz)X/√2
−(cosθz+sinθz)Y/√2+√2psinθz…(2)
C3= (cosθz+sinθz)X/√2
−(cosθz−sinθz)Y/√2+√2psinθz…(3)
C4= (cosθz−sinθz)X/√2
+(cosθz+sinθz)Y/√2+√2psinθz…(4)
ただし、pは、図5に示されるように、ウエハテーブルWTB1(WTB2)の中心からのヘッドのX軸及びY軸方向に関する距離である。
D2= ptanθy+ptanθx+Z …(6)
D3= ptanθy−ptanθx+Z …(7)
D4=−ptanθy−ptanθx+Z …(8)
ただし、pは、ウエハテーブルWTB1(WTB2)の中心からのヘッドのX軸及びY軸方向に関する距離(図5参照)である。
Claims (22)
- 投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するステージと、
前記投影光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第1、第2方向を含む6自由度方向に関して前記基板が移動されるように前記ステージを移動する駆動系と、
前記ステージに設けられる4つのヘッドであって、それぞれ反射型格子が形成される4つの部分と、前記4つの部分に囲まれる開口とを有するスケール部材に対してその下方からそれぞれ計測ビームを照射する前記4つのヘッドを有し、前記6自由度方向に関する前記ステージの位置情報を計測する計測系と、
前記計測系で計測される位置情報に基づいて前記駆動系を制御する制御系と、を備え、
前記スケール部材は、前記投影光学系が前記開口内に位置するように設けられ、
前記基板の露光動作において前記ステージが移動される移動領域は、前記4つのヘッドのうち第1ヘッドを除く第2、第3、第4ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち第1部分を除く第2、第3、第4部分と対向する第1領域と、前記4つのヘッドのうち前記第2ヘッドを除く前記第1、第3、第4ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち前記第2部分を除く前記第1、第3、第4部分と対向する第2領域と、前記4つのヘッドのうち前記第3ヘッドを除く前記第1、第2、第4ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち前記第3部分を除く前記第1、第2、第4部分と対向する第3領域と、前記4つのヘッドのうち前記第4ヘッドを除く前記第1、第2、第3ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち前記第4部分を除く前記第1、第2、第3部分と対向する第4領域と、前記第1、第2、第3、第4ヘッドがそれぞれ前記第1、第2、第3、第4部分と対向する第5領域と、を含み、
前記第1領域では、前記第2、第3、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第2領域では、前記第1、第3、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第3領域では、前記第1、第2、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第4領域では、前記第1、第2、第3ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第5領域では、前記第1、第2、第3、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、
前記制御系は、前記露光動作において、前記ステージが前記第1、第2、第3、第4領域の1つから、前記第5領域を介して、前記第1、第2、第3、第4領域のうち前記1つの領域と異なる領域に移動されるように前記駆動系を制御し、
前記第5領域において前記4つのヘッドによって前記ステージの位置情報が計測されるように、前記ステージが前記第5領域内にいる間、前記4つのヘッドのうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドと異なる別のヘッドが、前記4つの部分のうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドがそれぞれ対向する3つの部分と異なる部分と対向するとともに、前記異なる領域において、前記4つのヘッドのうち、前記1つの領域で用いられる3つのヘッドの1つの代わりに前記別のヘッドを含む3つのヘッドを用いて前記ステージの駆動が制御される露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記制御系は、前記第5領域において前記4つのヘッドから得られる位置情報を用いて、前記ステージの駆動制御に用いられる補正情報を取得し、
前記補正情報は、前記1つの領域で用いられる3つのヘッドによる前記ステージの駆動制御の代わりに、前記異なる領域で用いられる3つのヘッドによる前記ステージの駆動制御を行うために用いられる露光装置。 - 請求項2に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記第5領域において、前記1つの領域で用いられる3つのヘッドによって計測される位置情報と、前記異なる領域で用いられる3つのヘッドによって計測される位置情報と、から得られる、前記異なる領域において前記別のヘッドを使って前記ステージの駆動を制御するための情報を含む露光装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記4つのヘッドはそれぞれ、前記所定面と平行な方向と前記所定面と直交する方向との2方向に関して前記ステージの位置情報を計測可能であり、
前記別のヘッドによる前記ステージの駆動制御のための情報は前記2方向に関して取得される露光装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記4つの部分はそれぞれ反射型2次元格子が形成されるとともに、前記2次元格子が前記所定面と実質的に平行となるように配置される露光装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記計測系は、前記4つのヘッドにそれぞれ近接して配置される少なくとも1つのヘッドを有する露光装置。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記4つのヘッドは、前記第1方向に関して前記4つのヘッドのうち2つのヘッドの間隔が前記開口の幅より大きく、かつ前記第2方向に関して前記4つのヘッドのうち2つのヘッドの間隔が前記開口の幅より大きくなるように前記ステージに配置される露光装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記投影光学系から離れて配置され、前記基板の位置情報を検出する検出系と、
前記4つの部分と異なる、それぞれ反射型格子が形成される4つの部分と、前記開口と異なる開口と、を有し、前記スケール部材と異なるスケール部材と、をさらに備え、
前記異なるスケール部材は、前記検出系が前記異なる開口内に位置するように前記スケール部材とほぼ同一平面内に配置され、
前記検出系による前記基板の検出動作中、前記計測系によって前記ステージの位置情報が計測される露光装置。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記照明光で照明されるマスクを保持するマスクステージと、
前記マスクステージの位置情報を計測する、前記計測系と異なるエンコーダシステムと、をさらに備え、
前記照明光に対して前記マスクと前記基板をそれぞれ相対移動する前記基板の走査露光が行われるように前記マスクステージおよび前記ステージの駆動が制御される露光装置。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記4つのヘッドと異なる4つのヘッドを有し、前記ステージと異なるステージを、さらに備え、
前記計測系は、前記異なる4つのヘッドの少なくとも3つによって、前記6自由度方向に関する前記異なるステージの位置情報を計測する露光装置。 - 投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の光軸と垂直な所定面内で互いに直交する第1、第2方向を含む6自由度方向に関して前記基板が移動されるように、前記基板を保持するステージを移動することと、
前記ステージに設けられる4つのヘッドであって、それぞれ反射型格子が形成される4つの部分と、前記4つの部分に囲まれる開口とを有するスケール部材に対してその下方からそれぞれ計測ビームを照射する前記4つのヘッドを有する計測系によって、前記6自由度方向に関する前記ステージの位置情報を計測することと、
前記計測系で計測される位置情報に基づいて前記ステージの駆動を制御することと、を含み、
前記スケール部材は、前記投影光学系が前記開口内に位置するように設けられ、
前記基板の露光動作において前記ステージが移動される移動領域は、前記4つのヘッドのうち第1ヘッドを除く第2、第3、第4ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち第1部分を除く第2、第3、第4部分と対向する第1領域と、前記4つのヘッドのうち前記第2ヘッドを除く前記第1、第3、第4ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち前記第2部分を除く前記第1、第3、第4部分と対向する第2領域と、前記4つのヘッドのうち前記第3ヘッドを除く前記第1、第2、第4ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち前記第3部分を除く前記第1、第2、第4部分と対向する第3領域と、前記4つのヘッドのうち前記第4ヘッドを除く前記第1、第2、第3ヘッドがそれぞれ、前記4つの部分のうち前記第4部分を除く前記第1、第2、第3部分と対向する第4領域と、前記第1、第2、第3、第4ヘッドがそれぞれ前記第1、第2、第3、第4部分と対向する第5領域と、を含み、
前記第1領域では、前記第2、第3、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第2領域では、前記第1、第3、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第3領域では、前記第1、第2、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第4領域では、前記第1、第2、第3ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、前記第5領域では、前記第1、第2、第3、第4ヘッドによって前記ステージの位置情報が計測され、
前記露光動作において、前記ステージは、前記第1、第2、第3、第4領域の1つから、前記第5領域を介して、前記第1、第2、第3、第4領域のうち前記1つの領域と異なる領域に移動され、
前記第5領域において前記4つのヘッドによって前記ステージの位置情報が計測されるように、前記ステージが前記第5領域内にいる間、前記4つのヘッドのうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドと異なる別のヘッドが、前記4つの部分のうち前記1つの領域で用いられる3つのヘッドがそれぞれ対向する3つの部分と異なる部分と対向するとともに、前記異なる領域において、前記4つのヘッドのうち、前記1つの領域で用いられる3つのヘッドの1つの代わりに前記別のヘッドを含む3つのヘッドを用いて前記ステージの駆動が制御される露光方法。 - 請求項11に記載の露光方法において、
前記第5領域において前記4つのヘッドから得られる位置情報を用いて、前記ステージの駆動制御に用いられる補正情報が取得され、
前記補正情報は、前記1つの領域で用いられる3つのヘッドによる前記ステージの駆動制御の代わりに、前記異なる領域で用いられる3つのヘッドによる前記ステージの駆動制御を行うために用いられる露光方法。 - 請求項12に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記第5領域において、前記1つの領域で用いられる3つのヘッドによって計測される位置情報と、前記異なる領域で用いられる3つのヘッドによって計測される位置情報と、から得られる、前記異なる領域において前記別のヘッドを使って前記ステージの駆動を制御するための情報を含む露光方法。 - 請求項11〜13のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記4つのヘッドはそれぞれ、前記所定面と平行な方向と前記所定面と直交する方向との2方向に関して前記ステージの位置情報を計測し、
前記別のヘッドによる前記ステージの駆動制御のための情報は前記2方向に関して取得される露光方法。 - 請求項11〜14のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記4つの部分はそれぞれ反射型2次元格子が形成されるとともに、前記2次元格子が前記所定面と実質的に平行となるように配置される露光方法。 - 請求項11〜15のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記4つのヘッドにそれぞれ近接して配置される少なくとも1つのヘッドによって前記ステージの位置情報が計測される露光方法。 - 請求項11〜16のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記4つのヘッドは、前記第1方向に関して前記4つのヘッドのうち2つのヘッドの間隔が前記開口の幅より大きく、かつ前記第2方向に関して前記4つのヘッドのうち2つのヘッドの間隔が前記開口の幅より大きくなるように前記ステージに配置される露光方法。 - 請求項11〜17のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記投影光学系から離れて配置される検出系によって前記基板の位置情報が検出され、
前記4つの部分と異なる、それぞれ反射型格子が形成される4つの部分と、前記開口と異なる開口と、を有し、前記スケール部材と異なるスケール部材は、前記検出系が前記異なる開口内に位置するように前記スケール部材とほぼ同一平面内に配置され、
前記検出系による前記基板の検出動作中、前記計測系によって前記ステージの位置情報が計測される露光方法。 - 請求項11〜18のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記計測系と異なるエンコーダシステムによって、前記照明光で照明されるマスクを保持するマスクステージの位置情報が計測され、
前記照明光に対して前記マスクと前記基板をそれぞれ相対移動する前記基板の走査露光が行われるように前記マスクステージおよび前記ステージの駆動が制御される露光方法。 - 請求項11〜19のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記4つのヘッドと異なる4つのヘッドを有し、前記ステージと異なるステージで基板が保持され、
前記異なる4つのヘッドの少なくとも3つによって、前記6自由度方向に関する前記異なるステージの位置情報が計測される露光方法。 - デバイス製造方法であって、
請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - デバイス製造方法であって、
請求項11〜20のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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