JP2018077197A - 差動トランス式透磁率センサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の差動トランス式透磁率センサー10は、絶縁層及び配線層を積層してなる基板21と、配線層に形成された平面状の検知側駆動コイル1、平面状の検知コイル3、平面状の基準側駆動コイル2、平面状の基準コイル4、及び平面状の調整用コイル5と、調整用コイル5に可変抵抗6を並列接続してなる閉回路と、発振回路7と、を備え、発振回路7の発振信号が各駆動コイル1、2に加えられて、検知コイル3、基準コイル4、及び調整用コイル5にそれぞれの誘導電流が流れ、検知コイル3と基準コイル4の誘導電流の差分が出力される回路構成を有し、調整用コイル5の誘導電流は、可変抵抗6の抵抗値に応じて調節されるものである。
【選択図】図1
Description
[変形例1]
[変形例2]
2 基準側駆動コイル
3 検知コイル
4 基準コイル
5 調整用コイル
6 可変抵抗
7 発振回路
8 抵抗
9 コンデンサー
10 差動トランス式透磁率センサー
11 増幅回路
21 多層基板
Claims (9)
- 絶縁層及び配線層を積層してなる基板と、
前記配線層に形成された平面状の第1駆動コイル、平面状の第1誘導コイル、平面状の第2駆動コイル、平面状の第2誘導コイル、及び平面状の調整用コイルと、
前記調整用コイルの両端に電流調整用素子を並列接続してなる閉回路と、
発振信号を出力する発振部と、を備え、
前記第1駆動コイル、前記第1誘導コイル、及び前記調整用コイルを互いに同心状に配置すると共に、前記第2駆動コイル及び前記第2誘導コイルを互いに同心状に配置し、
前記発振部の発振信号が前記第1駆動コイル及び前記第2駆動コイルに加えられて、前記第1誘導コイル、前記第2誘導コイル、及び前記調整用コイルにそれぞれの誘導電流が流れ、前記第1誘導コイルの誘導電流及び前記第2誘導コイルの誘導電流の差分が出力される回路構成を有し、
前記調整用コイルには、前記調整用コイルに流れる誘導電流を調節する前記電流調整用素子が設けられている差動トランス式透磁率センサー。 - 前記第2誘導コイルの巻き数が、前記調整用コイルに対して同心状に配置された前記第1誘導コイルの巻き数よりも少なく設定されている請求項1に記載の差動トランス式透磁率センサー。
- 前記第2誘導コイルと前記第2駆動コイルの磁気結合係数が、前記調整用コイルに対して同心状に配置された前記第1誘導コイルと前記第1駆動コイルの磁気結合係数よりも低く設定されている請求項1に記載の差動トランス式透磁率センサー。
- 前記第2駆動コイル及び前記第2誘導コイルに対して同心状に配置された補正用コイルと、
前記補正用コイルの両端に固定抵抗を並列接続してなる別の閉回路と、を備え、
前記発振部の発振信号が前記第2駆動コイルに加えられると、前記補正用コイルに誘導電流が流れる請求項1に記載の差動トランス式透磁率センサー。 - 前記第1誘導コイルは、前記第2誘導コイルよりも検出対象となる磁性体の近くに配置される請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の差動トランス式透磁率センサー。
- 前記第2誘導コイルは、前記第1誘導コイルよりも検出対象となる磁性体の近くに配置される請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の差動トランス式透磁率センサー。
- 前記第1駆動コイル、前記第1誘導コイル、及び前記調整用コイルと、前記第2駆動コイル及び前記第2誘導コイルとが、前記基板の配線層において互いに離間して設けられた請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の差動トランス式透磁率センサー。
- 前記基板は、絶縁層を介して積層された2つの配線層を有し、
前記第1駆動コイル、前記第1誘導コイル、及び前記調整用コイルが前記各配線層の一方に設けられ、
前記第2駆動コイル及び前記第2誘導コイルが前記各配線層の他方に設けられた請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の差動トランス式透磁率センサー。 - 前記基板は、それぞれの絶縁層を介して順次積層された第1配線層、第2配線層、第3配線層、及び第4配線層を有し、
前記第1誘導コイル及び前記調整用コイルが前記第1配線層に設けられ、
前記第1駆動コイルが前記第2配線層に設けられ、
前記第2駆動コイルが前記第3配線層に設けられ、
前記第2誘導コイルが前記第4配線層に設けられた請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の差動トランス式透磁率センサー。
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