JP2018076453A - 金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物及びその製造方法、並びにその絶縁性樹脂硬化体、それを用いた金属ベース板回路基板 - Google Patents

金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物及びその製造方法、並びにその絶縁性樹脂硬化体、それを用いた金属ベース板回路基板 Download PDF

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Abstract

【課題】金属ベース板回路基板形成時の耐電圧特性、耐湿信頼性、接着性、熱伝導性、耐熱性に優れた絶縁性樹脂組成物、さらに、この絶縁性樹脂組成物を用いて製造される回路用基板、金属ベース板回路基板を提供する。【解決手段】エポキシ樹脂と、硬化剤と、硬化促進剤と、無機フィラーを含有する樹脂組成物であって、前記硬化剤として、芳香族アミン系硬化剤と、フェノールノボラック系硬化剤とを含み、前記芳香族アミン系硬化剤と前記エポキシ樹脂の当量比(硬化剤/エポキシ樹脂)が0.30〜0.80であり、前記樹脂組成物を用いた金属ベース板回路基板において、85℃85湿度%環境下で、銅箔-金属ベース板間に直流500Vの電圧を印加し続け、3000時間以内に体積抵抗率が2.5×10の6乗(Ω・m)未満とならない、金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物。【選択図】なし

Description

本発明は、金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物及びその製造方法、並びにその絶縁性樹脂硬化体、それを用いた回路用基板及び金属ベース板回路基板に関する。
従来、小型化や実装時の省力化等を可能にする表面実装を実現するために、各種の回路基板が用いられており、これらの回路基板に各種の表面実装電子部品を搭載した混成集積回路が用いられている。特に、高発熱性電子部品を実装する回路基板として、金属ベース板上に無機フィラーを充填したエポキシ樹脂等からなる組成物より作製した絶縁層を設け、該絶縁層上に回路を設けた金属ベース板回路基板が用いられている。
しかし、近年、金属ベース板回路基板の小型化、高密度実装化及び高性能化が要求されている。そして、金属ベース板回路基板の小型化とハイパワー化に伴って、狭いスペースの中で金属ベース板回路基板から熱が発生することが問題となっている。
また、実装部品の発熱量が多くなることで、金属ベース板回路基板の温度も上昇しやすくなる為、上昇した温度に耐えられるよう、耐熱性も従来以上の性能が求められている。さらに、車載型の金属ベース板回路基板のように、高温に加え高湿度の過酷な条件の中で使用される例も増えてきている。そうした環境中でも絶縁層が絶縁強度を保ち、金属ベース板回路基板としての性能を維持できることも求められている。
ところで、特許文献1には、(1)エポキシ樹脂、(2)フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂又はビスフェノールAノボラック樹脂、(3)ビスマレイミド樹脂、及び(4)2,3−ジヒドロ−1−H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾールからなることを特徴とする硬化性樹脂組成物であって、(1)エポキシ樹脂が、ビフェニル骨格のうち少なくとも一方の芳香族環を水素添加してなるジグリシドール誘導体からなることを特徴とする硬化性樹脂組成物に塊状アルミナと球状アルミナを含有させたことを特徴とする硬化性複合材料が開示されている。
特許文献2には、金属板上に、無機フィラーを含有する樹脂からなる絶縁層を介して、回路を設けてなる金属ベース回路基板であって、前記無機フィラーとして相対密度が90%以上である窒化アルミニウム焼結体を粉砕してなる窒化アルミニウム粉末を用いることを特徴とする金属ベース回路基板が開示されている。
特許文献3には、熱硬化性樹脂に、二次粒子の平均粒子径が20〜40μmの窒化アルミニウムと、一次粒子の平均粒子径が異なる3種類の酸化アルミニウムとを含有させ、前記熱硬化性樹脂固形分と窒化アルミニウムと酸化アルミニウムとの合計体積に対し、窒化アルミニウムを35〜45体積%、酸化アルミニウムを30〜45体積%で用い、前記酸化アルミニウムの一次粒子の平均粒子径が、0.1μm以上1μm未満のもの(a群)と、1μm以上10μm未満のもの(b群)と、10μm以上35μm以下のもの(c群)とで構成される熱硬化性樹脂組成物(請求項1)が開示されている。
特許第4459691号 特許第4249371号 特開2010−168558号公報
以上のような背景から、金属ベース板回路基板には、従来求められていた耐電圧特性、金属箔との接着性のほか、熱伝導性、耐熱性、耐湿信頼性が求められている。
金属ベース板回路基板がこうした性能を満たす上でボトルネックとなるのは、金属ベース板回路基板に絶縁層として使用される絶縁性樹脂組成物である。絶縁層は、金属箔と金属ベース板を接着させる必要があり、それらの間の絶縁性を保つ必要もある。そして、金属ベース板回路基板を構成する金属箔、金属ベース板、絶縁層の中で最も熱伝導性、耐熱性、耐湿信頼性が低い材料は絶縁層である。このため、絶縁層を形成する絶縁性樹脂組成物の高性能化が金属ベース板回路基板の高性能化に直結する。
したがって、前述のような要求特性を満たす金属ベース回路基板を提供するため、絶縁性樹脂組成物に関する様々な検討がなされてきた。しかし、耐電圧特性、耐湿絶縁信頼性、接着性、熱伝導性、耐熱性の全てが要求水準以上となる金属ベース回路基板は存在しなかった。
例えば、特許文献1では、硬化体を得るに際し、エポキシ樹脂としてビフェニル骨格のうち少なくとも一方の芳香族環を水素添加してなるジグリシドール誘導体からなるエポキシ樹脂を用い、更に、塊状アルミナと球状アルミナを含有させる事で、高い耐熱絶縁性と耐湿絶縁信頼性を両立させている。
しかし、特許文献1の発明においては、熱伝導率に関する言及がないため、高い放熱性を要求されるハイパワーデバイスに対する適用性が不明である。
一方、特許文献2では、無機フィラーとして窒化アルミニウム焼結体を粉砕してなる窒化アルミニウム粉末を用い、2atmの水蒸気(121℃)に24時間曝す高温耐湿性試験前後の質量変化が、1.2%以下であることを特徴とし、十分な熱伝導率及び耐湿処理後の絶縁性・接着性をともに満たす金属ベース回路基板を開発している。
しかし、特許文献2において、85℃85%RH環境下のような、高温高湿度中での直流バイアス試験に関する検証は行われておらず、耐湿絶縁信頼性は保障されていない。
特許文献3では、この請求項1の熱硬化性樹脂組成物において、さらに前記窒化アルミニウムの二次粒子の平均粒子径(A)と、前記c群の酸化アルミニウムの一次粒子の平均粒子径(B)とが、(A)/(B)を、0.8〜1.3とすることを特徴とするプリプレグにより、高い熱伝導率と高温高湿度環境下での絶縁性を確保している。
しかし、特許文献3において、耐湿絶縁信頼性試験時の条件が直流50V1000時間であり、高い耐湿絶縁信頼性を要求されるデバイスに対しては不十分である。
本発明は、上記問題と実状に鑑み、金属ベース板回路基板形成時の耐電圧特性、耐湿信頼性、接着性、熱伝導性、耐熱性に優れた絶縁性樹脂組成物、さらに、この絶縁性樹脂組成物を用いて製造される回路用基板、金属ベース板回路基板を提供することを主な目的とする。
本発明者らは、鋭意検討を行った結果、以下の本発明を完成させた。すなわち、本発明は、下記より構成される。
[1]エポキシ樹脂と、硬化剤と、硬化促進剤と、無機フィラーとを含有する絶縁性樹脂組成物であって、前記硬化剤として、芳香族アミン系硬化剤と、フェノールノボラック系硬化剤とを含み、前記芳香族アミン系硬化剤及び前記エポキシ樹脂の当量比(硬化剤/エポキシ樹脂)が0.30〜0.80であり、絶縁性樹脂組成物を用いた金属ベース板回路基板において、85℃85湿度%環境下で、銅箔−金属ベース板間に直流500Vの電圧を印加し続け、3000時間以内に体積抵抗率が2.5×10の6乗(Ω・m)未満とならないという特性を有する、金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物。
[2]エポキシ樹脂と、硬化剤と、硬化促進剤と、無機フィラーとを含有させる絶縁性樹脂組成物の製造方法であって、前記硬化剤として、芳香族アミン系硬化剤と、フェノールノボラック系硬化剤とを含み、前記芳香族アミン系硬化剤と前記エポキシ樹脂の当量比(硬化剤/エポキシ樹脂)を0.30〜0.80とする、金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
[3]前記エポキシ樹脂及び前記芳香族アミン系硬化剤の反応ピーク温度と、前記エポキシ樹脂及び前記フェノールノボラック系硬化剤の反応ピーク温度との、両者のピーク温度差が20℃〜80℃と異なるようにする、[2]に記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
[4]前記無機フィラーが、平均粒子径が5〜50μmの粗粉と、平均粒子径が0.2〜3.5μmの1種類以上の微粉とを含有し、前記粗粉の最大粒子径が100μm以下であり、かつ、前記絶縁性樹脂組成物中の全フィラーの体積分率が70〜80%であり、及び、前記粗粉の体積分率がフィラー全体の35〜75%である、[2]又は[3]に記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
[5]前記粗粉が、窒化アルミニウムであり、かつ、前記微粉が、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム及び窒化ケイ素から選択される1種類以上のものである、[2]〜[4]のいずれか1項に記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
[6]前記絶縁性樹脂組成物が、絶縁性樹脂組成物を用いた金属ベース板回路基板において、85℃85湿度%環境下で、銅箔−金属ベース板間に直流500Vの電圧を印加し続け、3000時間以内に体積抵抗率が2.5×10の6乗(Ω・m)未満とならないという特性を有する、[2]〜[5]のいずれか1項に記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
[7][2]〜[6]のいずれか1項に記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法にて得られる、金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物。
[8][1]又は[7]に記載の絶縁性樹脂組成物を硬化させて成る絶縁性樹脂硬化体。
[9]金属ベース板上に、[8]に記載の絶縁性樹脂硬化体を介して金属箔を配置した、回路用基板。
[10]金属ベース板上に、[8]に記載の絶縁性樹脂硬化体を介して配置された金属箔を加工して回路を形成した金属ベース板回路基板。
本発明によれば、金属ベース板回路基板形成時の耐電圧特性、耐湿信頼性、接着性、熱伝導性、耐熱性に優れた絶縁性樹脂組成物、さらに、この絶縁性樹脂組成物を用いて製造される回路用基板及び金属ベース板回路基板等を提供することができる。
<1.本発明の絶縁性樹脂組成物>
本発明の金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物は、エポキシ樹脂と、硬化剤と、硬化促進剤と、無機フィラーとを含有する絶縁性樹脂組成物である。
前記硬化剤として、芳香族アミン系硬化剤と、フェノールノボラック系硬化剤とを含むものであることが好ましい。
さらに、前記絶縁性樹脂組成物において、前記芳香族アミン系硬化剤と前記エポキシ樹脂の当量比(芳香族アミン系硬化剤/エポキシ樹脂)が、0.30〜0.80であることが好ましい。
また、前記絶縁性樹脂組成物において、これを用いた金属ベース板回路基板において、85℃85湿度%環境下で、銅箔−金属ベース板間に直流500Vの電圧を印加し続け、3000時間以内に体積抵抗率が2.5×10の6乗(Ω・m)未満とならないという特性を有することが好ましい。
さらに、前記絶縁性樹脂組成物において、「前記エポキシ樹脂及び前記芳香族アミン系硬化剤」の反応ピーク温度と、「前記エポキシ樹脂及び前記フェノールノボラック系硬化剤」の反応ピーク温度との、両者のピーク温度差が、20℃〜80℃と異なるようにすることが好ましい。さらに、硬化促進剤を変更することによりピーク温度差を調整することが、温度制御し易い点で、好ましい。
本発明の絶縁性樹脂組成物は、従来にない耐湿信頼性を確保する、という効果を奏する。また、本発明の絶縁性樹脂組成物を用いた回路用基板及び金属ベース板回路基板は、ハイパワー用途向けに必要な、耐電圧特性、耐湿信頼性、接着性、熱伝導性、耐熱性を発現する、という効果を奏する。
<2.本発明の絶縁性樹脂組成物の製造方法>
本発明の金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物を得るための製造方法について、以下に説明する。
本発明の金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物は、以下の各原料を配合し、混合することにより得ることができる。以下、各構成要素について詳細を説明する。
<エポキシ樹脂>
本発明で使用するエポキシ樹脂として、特に限定されないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、多官能エポキシ樹脂(クレゾールのボラックエポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂等)、環式脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂及びグリシジルアミン型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらから1種又は2種以上を選択するものを含むことができる。
これらの中では、密着性及び耐熱性に優れる、ビスフェノールA及び/又はF型エポキシ樹脂が好ましい。なお、本発明の効果を損なわない範囲内で、他のエポキシ樹脂を含んでもよい。
前記エポキシ樹脂のエポキシ当量としては、好ましくは130〜250、より好ましくは150〜180である。
<硬化剤>
本発明で使用する硬化剤として、基板を作製した際のピール強度、耐電圧、高温多湿条件下の絶縁強度の点で、芳香族アミン系硬化剤とフェノールノボラック系硬化剤との組み合わせが、好ましい。
前記芳香族アミン系硬化剤として、特に限定されないが、例えば、芳香族アミン系化合物等を含む硬化剤(例えば、芳香族ジアミン系硬化剤等)等が挙られる。
前記芳香族アミン系化合物として、特に限定されないが、このうち、ジアミン系化合物(分子中にアミノ基が2個存在する)が、耐熱性の観点から、好ましい。
前記芳香族ジアミン系化合物として、例えば、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルエタン、ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノジフェニルスルホン、フェニレンジアミン(o−、m−、p−)、キシレンジアミン(o−、m−、p−)、ジエチルトルエンジアミン等が挙げられる。これらから、1種を含むことができる。
このうち、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルエタン及びジアミノジフェニルスルホンから選ばれるものを用いるのが好ましい。
芳香族アミン系硬化剤を使用する目的は、樹脂硬化体の耐熱性を確保するとともに、樹脂組成物の中間硬化の段階で硬化度を適切な範囲に調整し、最終硬化の段階での樹脂流れを防ぐことにある。
前記フェノールノボラック系硬化剤として、特に限定されないが、例えば、フェノール類とアルデヒド類との縮合反応により得られるフェノールノボラック系化合物等を含む硬化剤(例えば、フェノールノボラック樹脂系硬化剤等)等が挙げられる。
前記縮合反応に使用されるフェノール類として、1価フェノール類(例えば、フェノール、クレゾール(o−、m−、p−)、エチルクレゾール(o−、m−、p−)、1−ナフトール等)及び多価フェノール類(例えば、レゾルシン、カテコール、ハイドロキノン、ビフフェノールA、クロログルシノール、ピロガロール等)等が挙げられる。これらから、1種又は2種以上を選択することができる。
前記縮合反応に使用されるアルデヒド類として、例えば、ホルマリン、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、テレフタルアルデヒド、グリオキサール等が挙げられる。これらから、1種又は2種以上を選択することができる。
前記フェノールノボラック系化合物として、特に限定されないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、(オルト)クレゾールノボラック樹脂及びビスフェノールA型樹脂から選ばれる1種又は2種以上のものが好ましい。
さらに、フェノールノボラック樹脂が好ましい。ここで、フェノールノボラック樹脂とは、フェノールとアルデヒド類との縮合物である。この水酸基当量(g/eq)は、90〜130のものが好ましい。また軟化点は、75〜130℃のものが好ましい。
フェノールノボラック系硬化剤を使用する目的は、樹脂硬化体の耐電圧特性を確保するとともに、樹脂組成物の中間硬化の段階での硬化過剰を抑制し、樹脂硬化体の接着強度を確保することにある。
「前記芳香族アミン系硬化剤及び前記エポキシ樹脂」の当量比(芳香族アミン系硬化剤の当量比/エポキシ樹脂の当量比)は、樹脂硬化体の耐熱性と接着強度を両立させるためには、0.30〜0.80であることが好ましく、より好ましくは0.40〜0.70である。
また、(フェノールノボラック系硬化剤の当量比/エポキシ樹脂の当量比)は、(1.0−(芳香族アミン系硬化剤の当量比/エポキシ樹脂の当量比))±0.1であることが好ましく、より好ましくは(1.00−(芳香族アミン系硬化剤の当量比/エポキシ樹脂の当量比))±0.05である。
芳香族アミン系硬化剤の当量比がエポキシ樹脂に対して少なすぎる場合、樹脂組成物の耐熱性が不十分となってしまう場合がある。一方で、芳香族アミン系硬化剤の当量比がエポキシ樹脂に対して多すぎる場合、中間硬化の段階での硬化度調整が困難となり、樹脂硬化体の接着強度が低下してしまう場合がある。
なお、エポキシ樹脂の当量とは、エポキシ樹脂の分子量を分子内の未反応エポキシ基の数で割った値を意味する。硬化剤の当量とは、硬化剤の分子量を分子内の未反応の反応基(この反応基は、エポキシ基と反応する部分である。芳香族アミン系硬化剤の場合は、アミノ基であり、フェノールノボラック系硬化剤の場合は、水酸基である。)の数で割った値を意味する。
<硬化促進剤>
本発明の硬化促進剤は、エポキシ樹脂とフェノールノボラック硬化剤の硬化反応を進行させる為に使用する。
本発明で使用する硬化促進剤は、特に限定されないが、例えば、含窒素複素環化合物等を含む硬化促進剤(例えば、イミダゾール系硬化促進剤等)が挙げられる。
前記含窒素複素環化合物として、例えば、イミダゾール系化合物(イミダゾール誘導体ともいう)等が挙げられる。イミダゾール系化合物は、硬化時間と硬化物のガラス転移点の観点から、好ましい。
前記イミダゾール系化合物として、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−へプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1,2−ジエチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2,4,5−トリフェニルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ〔1,2−a〕ベンズイミダゾール、2−アリール−4,5−ジフェニルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−[2'−メチルイミダゾリル−(1')]−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2'−エチル−4'−メチルイミダゾリル−(1')]−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2'−メチルイミダゾリル−(1')]−エチル−S−トリアジンイソシアヌール酸付加物、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。これから、1種又は2種以上使用することができる。
このうち、2−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ〔1,2−a〕ベンズイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールから選ばれる1種又は2種以上のものが好ましい。
さらに、前記硬化促進剤は、「前記エポキシ樹脂及び前記フェノールノボラック系硬化剤」の反応ピーク温度が、「前記エポキシ樹脂及び前記芳香族アミン系硬化剤」の反応ピーク温度に比べ、「20℃〜80℃」の範囲内で(高く又は低く)異なるようにするものを選択することが好ましい。
反応ピーク温度の差が20℃未満の場合、中間硬化の硬化度の制御が困難となり、樹脂硬化体の接着強度が低下してしまう場合がある。反応ピーク温度の差が80℃を超えると反応ピーク温度が高い方の反応が十分に進まず、樹脂硬化体の樹脂流れが発生し、樹脂硬化体の接着強度及び熱伝導率が低下してしまう場合がある。
前記硬化促進剤の添加量は、特に限定されないが、エポキシ樹脂100質量部に対して、0.1〜10質量部であることが好ましく、具体的には例えば、0.1、0.2、0.5、1、2、5、10質量部であり、ここで例示した数値の何れか2つの間の範囲内であってもよい。添加量が少なすぎると、エポキシ樹脂とフェノールノボラック系硬化剤との反応が十分に進まず、完全に硬化させるまでに長時間の硬化が必要になり、樹脂硬化体の樹脂流れが発生してしまう場合がある。添加量が多すぎると、エポキシ樹脂同士の反応速度が速くなりすぎるため、硬化状態の制御が困難となり、樹脂硬化体の接着強度が確保できなくなる場合がある。
また、前記硬化促進剤の配合量として、樹脂組成物中、好ましくは0.4〜1.2質量%である。
<粗粉>
本発明で使用する粗粉は、平均粒子径が5〜50μm、かつ最大粒子径は100μm以下であることが好ましく、平均粒子径が15〜40μmであれば、より好ましい。平均粒子径が5μm未満である場合、粗粉間の界面熱抵抗が増加し、熱伝導性が低下する場合がある。また、平均粒子径が50μmを超える場合、絶縁性樹脂組成物の塗布時にボイドを巻き込みやすくなるため、耐電圧、耐湿信頼性が低下する場合がある。最大粒子径が100μmを超える場合は、耐電圧、耐湿信頼性が低下する場合がある。
<粗粉の種類>
本発明で使用する粗粉は、窒化アルミニウムが好ましい。窒化アルミニウム以外の粗粉の場合、熱伝導率、接着性が低下する場合がある。
<微粉>
本発明で使用する微粉は、平均粒子径が0.2〜3.5μmであるものが好ましい。また、平均粒子径が0.5μm未満の場合、絶縁性樹脂組成物に含まれる無機フィラー間の界面熱抵抗が増加し、熱伝導性が低下する場合がある。平均粒子径が5.0μmを超える場合、絶縁性樹脂組成物の流動性が低下し、塗布時にボイドを巻き込みやすくなるため、耐電圧・耐湿信頼性が低下する場合がある。
本発明で使用する微粉は、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム及び窒化ケイ素から選択される1種又は2種以上のものが好ましい。窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化ケイ素以外の微粉の場合、熱伝導率、接着性が低下する場合がある。
<樹脂組成物中の無機フィラーの体積分率>
本発明の絶縁性樹脂組成物中の全無機フィラー体積分率は70〜80%の間にあることが好ましい。
全無機フィラー体積分率が70%未満の場合、熱伝導率が低下する場合がある。また、全無機フィラー体積分率が80%を超える場合、絶縁性樹脂組成物の流動性が低下し、塗布時にボイドを巻き込みやすくなるため、耐電圧、耐湿信頼性が低下する場合がある。
<粗粉の体積分率>
本発明の絶縁性樹脂組成物に含まれる無機フィラーのうち、粗粉の体積分率は35〜75%の範囲であることが好ましい。粗粉の体積分率が35%未満の場合、熱伝導率が低下する場合があり、粗粉の体積分率が75%を超える場合、樹脂組成物の流動性が低下し、塗布時にボイドを巻き込みやすくなるため、耐電圧、耐湿信頼性が低下する場合がある。
<両者の反応ピーク温度差の調整>
本発明において、「前記エポキシ樹脂及び前記芳香族アミン系硬化剤」の反応ピーク温度と、「前記エポキシ樹脂及び前記フェノールノボラック系硬化剤」との、両者の反応ピーク温度差が20〜80℃の範囲内で異なることが望ましい。
両者の反応ピーク温度差が20〜80℃の範囲内であれば、両者のいずれが高くともよく、適宜調整することが可能である。
具体的には、前者の反応ピーク温度は、後者の反応ピーク温度と比し、「20℃以上80℃以下」の範囲内で高くしてもよく、また、後者の反応ピーク温度は、前者の反応ピーク温度と比し、「20℃以上80℃以下」の範囲内で高くしてもよい。
「前記エポキシ樹脂及び前記芳香族アミン系硬化剤」の反応ピーク温度は、前記芳香族アミン系硬化剤(例えば、種類及び使用量等)を変更することにより、調整できる。
「前記エポキシ樹脂及び前記フェノールノボラック系硬化剤」の反応ピーク温度は、前記硬化促進剤(例えば、種類及び使用量等)を変更することにより、調整できる。硬化促進剤は、容易に温度制御し易い点で、好ましい。
「両者の反応ピーク温度差」は、(a)前記芳香族アミン系硬化剤のうちから選択する1種と、並びに/又は、(b)前記フェノールノボラック系硬化剤(好適には、前記フェノールノボラック系硬化剤及び前記硬化促進剤との組み合わせ)のうちから選択する1種との、組み合わせ(例えば、種類及び使用量等)により、調整できる。
「両者の反応ピーク温度差」は、温度制御し易い点で、前記硬化促進剤(例えば、種類及び使用量等)を変更することが、好ましい。
本発明の絶縁性樹脂組成物を硬化させる加熱温度は、特に限定されない。
例えば、両者のいずれかの高い方の反応ピーク温度又はその温度帯(反応ピーク温度±30℃程度)に温度設定する。これにより、それぞれの「前記エポキシ樹脂及び前記芳香族アミン系硬化剤」の反応温度帯並びに「前記エポキシ樹脂及び前記フェノールノボラック系硬化剤」の反応温度帯にて硬化反応させることができる。このため、それぞれの反応ピーク温度又はその温度帯(反応ピーク温度±10℃程度)にて多段温度変化で硬化反応させることでもよい。
本発明の絶縁性樹脂組成物を硬化させる加熱温度の一例として、80〜240℃(好適には150℃〜240℃)が挙られる。
例えば、「前記エポキシ樹脂及び前記芳香族アミン系硬化剤」の反応ピーク温度が100〜240℃(好適には150〜200℃)になるように、「前記エポキシ樹脂及び前記芳香族アミン系硬化剤」を調整することが望ましい。このとき、「前記エポキシ樹脂及び前記フェノールノボラック系硬化剤」の反応ピーク温度が80〜170℃(好適には80〜155℃)になるように、「前記エポキシ樹脂及び前記フェノールノボラック系硬化剤」を調整することが望ましい。
本発明の絶縁性樹脂組成物を硬化させる反応時間は、特に限定されないが、一例として、5〜14時間である。また、真空状態で硬化反応を行うことが望ましい。
前記フェノールノボラック系硬化剤のうち「フェノールノボラック樹脂系硬化剤」を使用する場合、硬化促進剤は、所望の温度に制御できるものであれば特に限定されない。硬化促進剤として、2−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ〔1,2−a〕ベンズイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールから選ばれる1種又は2種以上のものが、好ましい。
前記フェノールノボラック系硬化剤のうち「フェノールノボラック樹脂系硬化剤」を使用する場合、芳香族アミン系硬化剤は、所望の温度に制御できるものであれば特に限定されないが、このうち、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルホンが好ましい。
<3.本発明の絶縁性樹脂硬化体、絶縁層、回路用基板、及び金属ベース板回路基板等>
また、以下に、本発明の絶縁性樹脂組成物を硬化させて成る絶縁性樹脂硬化体;金属基板上に、前記絶縁性樹脂硬化体を介して金属箔を配置した、回路用基板;金属基板上に、前記絶縁性樹脂硬化体を介して配置された金属箔を加工して回路を形成した金属ベース板回路基板について説明する。これらは、本発明の効果を奏する範囲内において、適宜変更することは可能である。
<回路用基板>
本発明の回路基板の製造方法は、上述した本発明の絶縁性樹脂組成物を用いれば特に限定されず、公知の方法を用いることも可能である。本発明の回路用基板は、一例として、以下の手順で作製できる。
絶縁性樹脂組成物を、厚さ0.1〜5.0mmの金属ベース板上に塗布し、回路を形成する金属箔と重ね合わせた後、150〜240℃で5〜12時間加熱し得ることができる。塗布は、ダイコーター、コンマコーター、ロールコーター、バーコーター、グラビヤコーター、カーテンコーター、ドクターブレードコーター、スプレーコーター及びスクリーン印刷等の方法を使用し塗布することができる。
または、金属基板上に絶縁性樹脂組成物を塗布した後に加熱により半硬化させた後、絶縁性樹脂組成物の表面に金属箔と熱プレスする方法が採用できる。さらには、絶縁性樹脂組成物をシート状に半硬化後、金属基板と金属箔を貼り合わせて回路用基板を得ることもできる。
本発明の絶縁性硬化樹脂組成物を用いることにより、ハイパワー用途向けに必要な、耐電圧特性、耐湿信頼性、接着性、熱伝導性、耐熱性を発現することが可能になる。
<絶縁層>
本発明の絶縁層は、以下の手順で作製した。回路用基板の金属箔と金属ベース板をエッチングで完全に除去することにより、硬化した絶縁性樹脂組成物(絶縁性樹脂硬化体)を得ることができる。これを絶縁層として、熱伝導性、耐熱性の評価を行った。
<絶縁層の厚み>
絶縁層の厚みは20〜180μmであることが好ましく、70〜150μmであることがより好ましい。厚みを20μm以上とすることで、耐電圧特性が良好となり、150μm以下とすることで、熱伝導性が高くなる。
金属ベース板としては、特に限定されないが、アルミニウム、鉄及び銅から選ばれる単体又は2種以上を組み合わせたこれらの合金、もしくはこれらのクラッド材が、熱伝導性の点で好ましい。
また、金属箔としては、特に限定されないが、例えば、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、スズ、金、銀、モリブデン、チタニウム及びステンレス等が使用できる。これらから1種又は2種以上使用することができる。
<金属ベース板回路基板>
本発明の金属ベース板回路基板とは、本発明の回路用基板に含まれる、金属箔の所定の位置をエッチングレジストでマスキングした後、金属箔のエッチングを行い、その後エッチングレジストを除去して回路パターンを作製したものである。
<反応ピーク温度の評価方法>
硬化剤の反応ピーク温度は、TA instrument製示差走査熱量計「Q2000」を用いて測定を行った。具体的には、エポキシ樹脂と、反応ピーク温度を測定する硬化剤と、硬化促進剤を含有する樹脂組成物をアルミパン(ブルカーエイエックスエス製T1162−040)に10mg導入し、窒素雰囲気下、開始温度30℃、昇温速度10℃/分で450℃まで昇温した際、発熱量が極大となる温度を反応ピーク温度とした。
<平均粒子径及び最大粒子径の評価方法>
粗粉及び微粉の平均粒子径は、島津製作所製「レーザー回折式粒度分布測定装置SALD−200」を用いて測定を行った。
評価サンプルは、ガラスビーカーに50ccの純水と無機フィラーを5g添加して、スパチュラを用いて撹拌し、その後超音波洗浄機で10分間、分散処理を行った。分散処理を行った無機フィラーの分散積をスポイドで装置のサンプラ部に一滴ずつ添加して、吸光度が測定可能になるまで安定するのを待った。吸光度が安定になった時点で測定を行った。
レーザー回折式粒度分布測定装置では、センサで検出した粒子による回折/散乱光の光強度分布のデータから粒度分布を計算した。平均粒子径は測定される粒子径の値に相対粒子量(差分%)を乗じて、相対粒子量の合計(100%)で割って求めた。
また、最大粒子径は、測定される相対粒子量が1%以上となる最大の粒子径とした。
以下、本発明を実施例及び比較例により具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
実施例に用いた材料を表1及び表2、比較例に用いた材料を表3、実施例の結果を表1及び表2、比較例の結果を表3に示す。
<絶縁性樹脂組成物の製造>
(実施例1)
絶縁性樹脂組成物の製造には、以下の原料を用いた。
(a)エポキシ樹脂:ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂、DIC社製、「EPICLON 850CRP」、エポキシ当量172。
(b−1)芳香族アミン系硬化剤:ジアミノジフェニルメタン、日本合成化工社製「アクメックス H−84B」、反応ピーク温度164℃。
(b−2)フェノールノボラック系硬化剤:フェノールノボラック、明和化成社製「TD−2131」、反応ピーク温度128℃。
(c)硬化促進剤:2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ〔1,2−a〕ベンズイミダゾール、四国化成工業社製「キュアゾールTBZ」
(A)粗粉:窒化アルミニウム:デンカ社製、平均粒子径28μm、最大粒子径67μmの窒化アルミニウム。
(B)微粉:酸化アルミニウム:住友化学社製、「AA2」、平均粒子径2.0μm)。
絶縁性樹脂組成物中、エポキシ樹脂7.2質量%、芳香族アミン系硬化剤1.2質量%、フェノールノボラック系硬化剤2.2質量%、硬化促進剤0.5当量となるように配合した。
なお、硬化促進剤の当量とは、絶縁性樹脂組成物に含まれる「エポキシ樹脂、芳香族アミン系硬化剤、フェノールノボラック系硬化剤」の合計質量に対する質量%を表わす。
次に、絶縁性樹脂組成物中、それぞれ53.6質量%、35.8質量%となるよう、窒化アルミニウム及び酸化アルミニウムを配合し、遊星式撹拌機(シンキー社「あわとり練太郎AR−250」、回転数2000rpm)にて混練し、絶縁性樹脂組成物を作製した。
実施例1で用いた原料及び得られた絶縁性樹脂組成物を、以下の方法で評価した。結果を表1に示す。
<流動性の評価方法>
絶縁性樹脂組成物の流動性については、B型粘度計、(No.6ローター、4rpm)にて室温(25℃)の粘度を測定することで判断した。
<評価用回路用基板の作製方法>
熱伝導性、接着性、耐電圧、耐湿信頼性、耐熱性を評価する評価用回路用基板は、以下の手順で作製した。絶縁性樹脂組成物を厚さ2.0mmのアルミ板上に、厚さが125μmになるように塗布し、回路を形成する厚さ105μmの銅箔と重ね合わせた後、200℃12時間真空状態で熱プレスを行い、評価用回路用基板を得た。
<耐電圧の評価方法>
耐電圧は、以下の手順にて評価した。得られた評価用回路用基板の銅箔の所定の位置をエッチングレジストでマスキングした後、エッチングレジストを除去して金属ベース板回路基板を形成した。得られた金属ベース板回路基板を用い、JIS C 2110に規定された方法に従い、耐電圧を測定し、32.0kV/mm以上で「良好」、それ未満で「不良」とした。結果は表1、表2、表3の“初期”の欄に示した。また、金属ベース回路基板を形成した後、表面温度260℃のホットプレート上で10分間加熱処理した後、JIS C 2110に規定された方法に従い測定した場合(260℃10分)、及び金属ベース回路基板を形成した後、121℃100湿度%2気圧の環境下で24時間加熱加湿処理をした後、JIS C 2110に規定された方法に従い測定した場合(PCT24時間)の結果も表1、表2、表3に示した。
<耐湿信頼性の評価方法>
本発明での耐湿信頼性は、以下の手順にて評価した。評価用回路用基板の銅箔の所定の位置をエッチングレジストでマスキングした後、エッチングレジストを除去して金属ベース板回路基板を形成した。得られた金属ベース板回路基板を85℃85湿度%環境下で、銅箔と金属ベース板間に直流500Vの電圧を印加し続け、3000時間以内に体積抵抗率が2.5×10の6乗(Ω・m)未満とならなかった例を「良好」、そうでなかった例を「不良」とした。
<接着性の評価方法>
接着性は、以下の手順にて、得られた評価用回路用基板の銅箔と絶縁層間のピール強度で評価した。得られた回路用基板の銅箔の所定の位置をエッチングレジストでマスキングした後、エッチングレジストを除去して10mm×100mmの銅箔パターンを持つ金属ベース回路基板を作製、JIS C 6481に規定された方法に従い、23±2℃、相対湿度50%の条件で銅箔とエポキシ樹脂絶縁層とのピール強度を測定した。なお、測定は5回繰り返し、その算術平均値をピール強度とし、9.8N/cm以上を「良好」、それ未満を「不良」とした。
<熱伝導性の評価方法>
熱伝導性の評価は以下の手順で行った。得られた評価用回路用基板を大きさ10mm×10mmに加工したのち、銅箔及びアルミベース板をエッチングして完全に除去し、試料となる絶縁層を得た。その後、絶縁層の熱拡散率、比重、比熱を全て乗じて算出した熱伝導率で判断し、5.0W/(m・K)以上で「合格」、5.0W/(m・K)未満で「不良」、6.0W/(m・K)以上で「良好」とした。絶縁層の熱拡散率は、レーザーフラッシュ法により求めた。
測定装置はキセノンフラッシュアナライザ(NETZSCH社製LFA447 NanoFlash)を用いた。比重はアルキメデス法を用いて求めた。比熱は、示差走査熱量計(ティー・エイ・インスツルメント社製、「Q2000」)を用い、窒素雰囲気下、昇温速度10℃/分で室温〜400℃まで昇温させて求めた。
<耐熱性>
金属ベース回路基板は、炎天下の自動車内等温度が大幅に上がる環境においてもその機能を発揮し続ける必要がある。そのためには、金属ベース回路基板、特に絶縁層の物性が大幅に変化しないことが重要である。絶縁層の温度依存物性としては、ガラス転移点が代表的である。絶縁層のガラス転移点を超える温度条件では、絶縁層がゴム状態となり、接着性・耐電圧特性、耐湿信頼性に影響が出る場合がある。よって、本発明では耐熱性を判断する指標として、絶縁性樹脂組成物のガラス転移点の測定を行った。
<耐熱性の評価方法>
本発明での耐熱性は、以下の手順にて評価した。得られた評価用回路用基板の銅箔及びアルミ板をエッチングして完全に取り除き、得られた絶縁層をセイコー電子産業社製、動的粘弾性測定装置DMS210により、昇温速度毎分10℃の条件で大気雰囲気中にて測定し、得られたtanδのピーク温度をガラス転移点として読みとった。ガラス転移点150℃以上を「良好」、150℃未満を「不良」とした。
(実施例2)
エポキシ樹脂として、「ビスフェノールF型エポキシ樹脂(DIC社製、「EXA830CRP」、エポキシ当量159)」を絶縁性樹脂組成物に対し、7.0質量%を配合し、硬化剤として実施例1と同種の芳香族アミン系硬化剤を1.2質量%、フェノールノボラック系硬化剤を2.3質量%配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例3)
硬化促進剤として、「2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、四国化成工業社製、「2P4MHZ−PW」」を0.5当量配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例4)
硬化促進剤として、「2−メチルイミダゾール、四国化成工業社製、「2MZ―H」」を0.5当量配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例5)
「絶縁性樹脂組成物に対し、エポキシ樹脂6.9質量%、芳香族アミン系硬化剤0.6質量%、フェノールノボラック系硬化剤3.1質量%」と配合量を変更した以外は実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例6)
「絶縁性樹脂組成物に対し、エポキシ樹脂7.6質量%、芳香族アミン系硬化剤1.9質量%、フェノールノボラック系硬化剤1.1質量%」と配合量を変更した以外は実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例7)
窒化アルミ粗粉として、「ThruTek社製、AlN050AF(平均粒子径6.5μmかつ最大粒子径21μm)の窒化アルミニウム」を、絶縁性樹脂組成物に対し、53.6質量%」配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例8)
窒化アルミ粗粉として、「デンカ社製、平均粒子径48μmかつ最大粒子径82μmの窒化アルミニウム」を、絶縁性樹脂組成物に対し、53.6質量%を配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例9)
酸化アルミニウム微粉として、「住友化学社製、「AA03」、平均粒子径0.3μmの酸化アルミニウム」を、絶縁性樹脂組成物に対し、35.8質量%を配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例10)
酸化アルミニウム微粉として、「住友化学社製、「AA3」、平均粒子径3.0μmの酸化アルミニウム」を、絶縁性樹脂組成物に対し、35.8質量%を配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例11)
窒化アルミニウム粗粉として、「デンカ社製、平均粒子径30μmかつ最大粒子径99μmの窒化アルミニウム」を、絶縁性樹脂組成物に対し、53.6質量%を配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例12)
「絶縁性樹脂組成物中、エポキシ樹脂8.3質量%、芳香族アミン系硬化剤1.4質量%、フェノールノボラック系硬化剤2.6質量%、窒化アルミニウム52.6質量%、酸化アルミニウム35.1質量%」と配合量を変更した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例13)
「絶縁性樹脂組成物中、エポキシ樹脂5.6質量%、芳香族アミン系硬化剤0.9質量%、フェノールノボラック系硬化剤1.7質量%、窒化アルミニウム55.1質量%、酸化アルミニウム36.7質量%」と配合量を変更した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例14)
「絶縁性樹脂組成物中、エポキシ樹脂6.9質量%、芳香族アミン系硬化剤1.1質量%、フェノールノボラック系硬化剤2.1質量%、窒化アルミニウム31.5質量%、酸化アルミニウム58.4質量%」と配合量を変更した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例15)
「絶縁性樹脂組成物中、エポキシ樹脂7.4質量%、芳香族アミン系硬化剤1.2質量%、フェノールノボラック系硬化剤2.2質量%、窒化アルミニウム66.9質量%、酸化アルミニウム22.3質量%」と配合量を変更した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(実施例16)
微粉として、「酸化アルミニウム、住友化学社製、「AA2」、平均粒子径2.0μm」及び「窒化ケイ素、デンカ社製、「SN−9FWS」、平均粒子径0.7μm」を使用し、絶縁性樹脂組成物中、エポキシ樹脂7.3質量%、芳香族アミン系硬化剤1.2質量%、フェノールノボラック系硬化剤2.2質量%、窒化アルミニウム53.6質量%、酸化アルミニウム(住友化学社製、「AA2」)26.8質量%、窒化ケイ素(デンカ社製、「SN−9FWS」)8.9質量%となるように配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(比較例1)
硬化剤として、「フェノールノボラック系硬化剤」を使用せず、無水フタル酸(東京化成工業社製「Phthalic Anhydride」)を使用し、エポキシ樹脂7.3質量%、芳香族アミン系硬化剤1.2質量%、無水フタル酸2.8質量%、窒化アルミニウム53.2質量%、酸化アルミニウム35.5質量%となるように配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(比較例2)
硬化剤として、「芳香族アミン系硬化剤」を使用せず、無水フタル酸(東京化成工業社製「Phthalic Anhydride」)を使用し、エポキシ樹脂6.6質量%、フェノールノボラック系硬化剤2.0質量%、無水フタル酸2.5質量%、窒化アルミニウム53.3質量%、酸化アルミニウム35.6質量%となるように配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(比較例3)
「反応ピーク温度差を20℃未満」とするため、硬化促進剤として、「2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、四国化成工業社製、「2PHZ−PW」」を0.5当量配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(比較例4)
「反応ピーク温度差を80℃超」とするため、芳香族アミン硬化剤として、「ジアミノジフェニルスルホン(東京化成工業社製「Bis(4−aminophenyl)Sulfone」)」、硬化促進剤として「2-メチルイミダゾール、四国化成工業社製、「2MZ―H」」を使用し、エポキシ樹脂7.1質量%、芳香族アミン系硬化剤1.4質量%、フェノールノボラック系硬化剤2.2質量%、効果促進剤0.5等量となるように配合した以外は、実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(比較例5)
「当量比0.3未満」とするため、「樹脂組成物に対し、エポキシ樹脂6.8質量%、芳香族アミン系硬化剤0.4質量%、フェノールノボラック系硬化剤3.3質量%」となるように配合した以外は実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
(比較例6)
「当量比0.8超」とするため、「樹脂組成物に対し、エポキシ樹脂7.6質量%、芳香族アミン系硬化剤2.0質量%、フェノールノボラック系硬化剤0.9質量%」となるように配合した以外は実施例1と同様に絶縁性樹脂組成物を作製した。
Figure 2018076453
Figure 2018076453
Figure 2018076453
表1〜3の結果から、実施例の絶縁性樹脂組成物は、耐熱性に優れることが分かった。また、実施例の絶縁性樹脂組成物を用いた回路用基板は、熱伝導性に優れることが分かった。さらに、実施例の絶縁性樹脂組成物により作製した回路用基板及び金属ベース板回路基板は、耐電圧特性、接着性、耐湿信頼性に優れることが分かった。
本発明は、金属ベース板回路基板形成時の耐電圧特性、耐湿信頼性、接着性、熱伝導性、耐熱性に優れた絶縁性樹脂組成物、さらに、この絶縁性樹脂組成物を用いて製造される回路用基板、金属ベース板回路基板であり、パワーデバイス等の発熱性電子部品の放熱部材として好適に用いられる。

Claims (10)

  1. エポキシ樹脂と、硬化剤と、硬化促進剤と、無機フィラーとを含有する絶縁性樹脂組成物であって、
    前記硬化剤として、芳香族アミン系硬化剤と、フェノールノボラック系硬化剤とを含み、
    前記芳香族アミン系硬化剤及び前記エポキシ樹脂の当量比(芳香族アミン系硬化剤/エポキシ樹脂)が0.30〜0.80であり、
    絶縁性樹脂組成物を用いた金属ベース板回路基板において、85℃85湿度%環境下で、銅箔−金属ベース板間に直流500Vの電圧を印加し続け、3000時間以内に体積抵抗率が2.5×10の6乗(Ω・m)未満とならないという特性を有する、金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物。
  2. エポキシ樹脂と、硬化剤と、硬化促進剤と、無機フィラーとを含有させる絶縁性樹脂組成物の製造方法であって、
    前記硬化剤として、芳香族アミン系硬化剤と、フェノールノボラック系硬化剤とを含み、
    前記芳香族アミン系硬化剤と前記エポキシ樹脂の当量比(芳香族アミン系硬化剤/エポキシ樹脂)を0.30〜0.80とする、金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
  3. 前記エポキシ樹脂及び前記芳香族アミン系硬化剤の反応ピーク温度と、前記エポキシ樹脂及び前記フェノールノボラック系硬化剤の反応ピーク温度との、両者の反応ピーク温度差が20℃〜80℃と異なるようにする、請求項2に記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
  4. 前記無機フィラーが、平均粒子径が5〜50μmの粗粉と、平均粒子径が0.2〜3.5μmの1種類以上の微粉とを含有し、
    前記粗粉の最大粒子径が100μm以下であり、かつ、
    前記絶縁性樹脂組成物中の全フィラーの体積分率が70〜80%であり、及び、前記粗粉の体積分率がフィラー全体の35〜75%である、請求項2又は3に記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
  5. 前記粗粉が、窒化アルミニウムであり、かつ、
    前記微粉が、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム及び窒化ケイ素から選択される1種類以上のものである、請求項2〜4のいずれか1項に記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
  6. 前記絶縁性樹脂組成物が、絶縁性樹脂組成物を用いた金属ベース板回路基板において、85℃85湿度%環境下で、銅箔−金属ベース板間に直流500Vの電圧を印加し続け、3000時間以内に体積抵抗率が2.5×10の6乗(Ω・m)未満とならないという特性を有する、請求項2〜5のいずれか1項に記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法。
  7. 請求項2〜6のいずれか1項記載の絶縁性樹脂組成物の製造方法にて得られる、金属ベース板回路基板用の絶縁性樹脂組成物。
  8. 請求項1又は7に記載の絶縁性樹脂組成物を硬化させて成る絶縁性樹脂硬化体。
  9. 金属ベース板上に、請求項8に記載の絶縁性樹脂硬化体を介して金属箔を配置した、回路用基板。
  10. 金属ベース板上に、請求項8に記載の絶縁性樹脂硬化体を介して配置された金属箔を加工して回路を形成した、金属ベース板回路基板。
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