JP2018065982A - 研磨部材固定用粘着剤、研磨部材固定用粘着シート、および研磨部材積層体 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の研磨部材固定用粘着剤は、優れた粘着性能と高い凝集力を併せ持つことが可能であるため、高温環境下でもズレなどが生じることなく、従来よりも高圧力の研磨に使用でき、また、耐酸性や耐アルカリ性を持ち合わせた、研磨部材固定用粘着剤を提供することを目的とする。【解決手段】合成ゴムと、粘着付与樹脂とを含有する研磨部材固定用粘着剤において、前記合成ゴムが、スチレン含有量２０〜４０重量％、かつジブロック含有量１５〜７０重量％であるスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）を含み、前記粘着付与樹脂が、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を含み、前記テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の含有量が、合成ゴム１００重量部に対し、２０〜６０重量部であることを特徴とした研磨部材固定用粘着剤により解決される。【選択図】なし

Description

本発明は、研磨部材の固定用として好適に用いることができる粘着剤に関する。更に詳しくは、様々な被着体に対し優れた粘着性能を発現し、高温環境下で用いてもズレや剥がれなどが生じ難い凝集力と耐熱性を有する粘着剤層を形成できるゴム系粘着剤に関するものである。

従来、液晶ガラス、ハードディスク用基板、光学レンズ、シリコンウェハ、集積回路等は、研磨部材等を用いて研磨されており、研磨部材の固定には、例えば、研磨部材に粘着テープを貼り合わせ一体化し、積層体とした後、粘着シート付きの研磨部材積層体を、研磨機の定盤に貼り合せるなどして使用されている。この研磨部材の固定には、様々な被着体に対し、優れた粘着力を発現することが可能なゴム系粘着剤が使用されているが、研磨工程では、粘着剤層に対して強い剪断力がかかり、さらに研磨中の摩擦熱などにより高温となることがある。そのため、高温環境下で用いてもズレや剥がれなどが生じ難い耐熱性が求められ、アクリル系粘着剤などに比較して凝集力の劣る従来のゴム系粘着剤では、高圧力の研磨に使用することは困難であった。更に、研磨工程では酸性やアルカリ性の薬品（スラリーともいう）を用いることがあり、耐薬品性も求められており、様々な被着体に対し優れた粘着力を発現させ、高圧力の研磨に使用できる凝集力と耐熱性を持ち合わせたゴム系粘着剤が求められている。

この様に、ゴム系の研磨部材固定用粘着剤には多種の性能が求められ、例えば、特許文献１では、研磨部材用としてゴム系粘着剤が用いられているが、スチレン含有量やジブロック含有量に関わる設計が考慮されておらず、近年求められる要求性能からは十分ではない。また特許文献２では、天然ゴムと放射状構造を有するスチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）が用いられているが、粘着付与樹脂に関わる設計が考慮されておらず、近年求められる要求性能を満足できていないのが現状である。この様に、様々な被着体に対し、優れた粘着力を発現し、凝集力と耐熱性を持ち合わせた研磨部材固定用粘着剤は見出されていなかった。

特開２００７−２４５２７６号公報 特開２０００−２９０６０９号公報

本発明の研磨部材固定用粘着剤は、優れた粘着性能と高い凝集力を併せ持つことが可能であるため、高温環境下でもズレなどが生じることなく、従来よりも高圧力の研磨に使用でき、また、耐酸性や耐アルカリ性を持ち合わせた、研磨部材固定用粘着剤を提供することを目的とする。

本発明者らは、前記諸問題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、スチレン含有量とジブロック含有量が特定範囲であることとを必須としたスチレンイソプレンブロック共重合体と、特定含有量の水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂を用いることで、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明に至った。

すなわち、本発明は、合成ゴムと、粘着付与樹脂とを含有する研磨部材固定用粘着剤において、前記合成ゴムが、スチレン含有量２０〜４０重量％、かつジブロック含有量１５〜７０重量％であるスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）を含み、前記粘着付与樹脂が、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を含み、前記テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の含有量が、合成ゴム１００重量部に対し、２０〜６０重量部である研磨部材固定用粘着剤に関する。

本発明によれば、粘着剤層の凝集力を高めることができることにより、高温環境下でもズレや剥がれなどが生じ難く、従来よりも高圧力の研磨に使用でき、耐酸性や耐アルカリ性をも持ち合わせた、研磨部材固定用粘着剤の供給が可能となる。

本発明の研磨部材固定用粘着剤は、合成ゴムと、粘着付与樹脂とを含有する研磨部材固定用粘着剤において、前記合成ゴムが、スチレン含有量２０〜４０重量％、かつジブロック含有量１５〜７０重量％であるスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）を含み、前記粘着付与樹脂が、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を含み、前記テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の含有量が、合成ゴム１００重量部に対し、２０〜６０重量部である。

本発明の研磨部材固定用粘着剤は、塗工することで粘着剤層を形成し、基材を備えた粘着シートとして使用することができる。
すなわち、基材の片面または両面に、研磨部材固定用粘着剤から形成されてなる粘着剤層を備えた、研磨部材用粘着シートとして用いることができる。
なお本発明で粘着シート、粘着テープ、粘着フィルムは同義語である。

ゆえに、本発明において、研磨部材固定用粘着剤とは、研磨部材に粘着シートを貼り合わせ一体化された、研磨部材積層体を研磨機に貼り合わせるために用いる粘着シートを形成することが出来る粘着剤のことである。
また、本発明の研磨部材固定用粘着剤は、粘着剤層の凝集力を高めることができることにより、高温環境下でもズレや剥がれなどが生じ難く、従来よりも高圧力の研磨に使用でき、耐酸性や耐アルカリ性をも持ち合わせているため、定盤側、および研磨部材側のいずれにも用いることができ、基材の片面または両面に、本発明の研磨部材固定用粘着剤から形成されてなる粘着剤層を備えた、研磨部材固定用粘着シートであればよい。また、定盤側に本発明の研磨部材固定用粘着剤を用いた場合、再剥離性に優れるため、研磨機の定盤から容易に再剥離が可能である。
この時、他方の面の粘着剤層を形成する粘着剤は、従来公知の粘着剤を用いることができる。

また、本発明において、研磨部材とは、例えば、ウレタン系研磨部材、不織布系研磨部材、スウェード系研磨部材などが挙げられ、研磨部材であれば、これらに限定されるものではない。

《研磨部材固定用粘着剤》
本発明の研磨部材固定用粘着剤は、合成ゴムと、粘着付与樹脂とを含有する研磨部材固定用粘着剤において、前記合成ゴムが、スチレン含有量２０〜４０重量％、かつジブロック含有量１５〜７０重量％であるスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）を含み、前記粘着付与樹脂が、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を含み、前記テルペンフェノール樹脂の含有量が、合成ゴム１００重量部に対し、２０〜６０重量部である。

＜合成ゴム＞
合成ゴムは、スチレン含有量が２０〜４０重量％、ジブロック含有量が１５〜７０重量％であるスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）を含む。

また、スチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）は、リニア構造、または放射状構造（ラジアル構造）を有するものが存在するが、リニア構造を有する場合、柔軟性が高い構造であるため、様々な被着体に対する密着性に優れ、粘着性能と耐熱性とに、より優れた効果がみられる。そのため、スチレン−イソプレン−スチレンブロックのトリブロック体（ＳＩＳ）、スチレン−イソプレンのジブロック体（ＳＩ）からなるリニア構造であることが好ましい。
リニア構造であるスチレンイソプレンブロック共重合体とは、スチレンのブロックとイソプレンのブロックとが結合した線状共重合体をさす。

本発明においては、スチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）全量（１００重量％）中の、ジブロック含有量が、１５〜７０重量％であり、好ましくは２５〜７０重量％であり、更に好ましくは、５０〜７０重量％である。ジブロック体の含有量がこの範囲にあることで、柔軟性の高い構造であるため、様々な被着体に対する密着性に優れ、粘着性能と耐熱性を両立させることが容易となり、粘着性能に優れたものとすることができる。

スチレン含有量は、２０〜４０重量％であり、好ましくは２２〜４０重量％である。この範囲にあることで、凝集力に優れた接着剤とすることができる。

一般的に合成ゴム系粘着剤は、高極性から低極性の幅広い被着体に対し、優れた粘着性能を発現することが知られている。本発明では、合成ゴムのスチレン含有量％を一定範囲とすることで、スチレンブロック体の物理架橋により、凝集力を付与することができる。さらにジブロック含有量％を一定範囲とすることで、末端にスチレンブロック体のないジブロック体が一定量存在することとなり、密着性や粘着力を向上させることが可能となる。本来、ゴム系粘着剤では、多くの粘着付与樹脂を添加しないと、タック性が発現しないため、粘着付与樹脂の添加を必須とするが、凝集力低下の原因となってしまうことが多い。しかし、本発明のスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）であれば、粘着付与樹脂の添加量を少なくすることが可能であり、粘着付与樹脂を加えたことによる凝集力の低下等を抑えることが可能となり、高い粘着力と凝集力をバランスよく保持することが可能である。

このようなスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）としては、例えば、Ｑuintac３２８０（日本ゼオン社製、スチレン量２５％、ジブロック量１７％、リニア構造）、Ｑuintac３２７０（日本ゼオン社製、スチレン量２４％、ジブロック量６７％、リニア構造）、Ｋraton Ｄ１１１９（クレイトン社製、スチレン量２２％、ジブロック量６６％、リニア構造）、Ｋraton Ｄ１１２６（クレイトン社製、スチレン量２１％、ジブロック量３０％、ラジアル構造）、Ｋraton Ｄ１１９３（クレイトン社製、スチレン量２４％、ジブロック量２０％、リニア構造）などが挙げられるが、これらに限定するものではなく、このようなスチレンイソプレンブロック共重合体は、求められる性能を損なわない範囲で必要に応じて使用することができ、２種以上を組み合わせて使用しても良い。

また、求められる性能を損なわない範囲であれば、上記特定のスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）以外のその他の合成ゴムを含んでも良い。その他の合成ゴムとしては、例えば、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ポリイソプレンゴム（ＩＲ）、ポリイソブチレン（ＰＩＢ）、またはブチルゴム（ＩＩＲ）などが挙げられる。

合成ゴムが、スチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）以外の合成ゴムを含有する場合には、合成ゴム１００重量％中、スチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）を５０〜１００重量％含有することが、粘着力と凝集力のバランスの点で好ましく、より好ましくは、８０〜１００重量％である。

また、求められる性能を損なわない範囲であれば、天然ゴムを併用してもよい。天然ゴムとしては、特に限定されないが、素練ロールにて素練りし、ムーニー粘度をたとえば１０〜１００程度になるよう調整して用いることができればよい。
その他の合成ゴムや天然ゴムは、これらに限定されることなく、２種以上を組み合わせて使用しても良い。

＜粘着付与樹脂＞
本発明において、粘着付与樹脂は、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を含む。
好ましくは、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、より好ましくは、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。
水酸基価がこの範囲にあることにより、粘着力に優れた粘着剤とすることができる。

水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）は、スチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）にバランス良く粘着性能を付与することができる。なかでも、スチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）のスチレン含有量が高い場合、スチレンイソプレンブロック共重合体への相溶性に優れるために、粘着性能により優れたものとなる。
このように、テルペンフェノール樹脂（Ｂ）は相溶性が良好であるため、粘着付与樹脂を起因とした、粘着剤層の凝集力低下を引き起こし難く、凝集力の低下を抑え、粘着性能を付与することが可能である。
水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることで、スチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）に粘着付与樹脂を配合した際に、高い粘着性能を付与し、凝集力とのバランスを得ることが可能となる。

また、テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の軟化点は、８０〜１７０℃であることが好ましい。
軟化点がこの範囲であることにより、粘着付与樹脂を起因とした凝集力の低下を抑制し、研磨部材の再剥離性が向上する。上記の観点から軟化点が９５〜１５０℃がより好ましい。

本発明において、テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の含有量は、合成ゴム１００重量部に対し、２０〜６０重量部である。この範囲とすることで、粘着性能と凝集力のバランスが得やすく、研磨部材の再剥離性が向上する。より好ましくは、２５〜５０重量部である。

水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）としては、例えば、ＳｙｌＶａｒｅｓＴＰ９５（アリゾナケミカル社製、軟化点９５±５℃、水酸基価４０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、ＳｙｌＶａｒｅｓＴＰ１０５（アリゾナケミカル社製、軟化点１０５±５℃、水酸基価４０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、ＳｙｌＶａｒｅｓＴＰ１１５（アリゾナケミカル社製、軟化点１１５±５℃、水酸基価５０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、（ＹＳポリスターＵ１１５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１１５±５℃、水酸基価３５ｍｇＫＯＨ／ｇ）、ＹＳポリスターＴ８０（ヤスハラケミカル社製、軟化点８０±５℃、水酸基価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、ＹＳポリスターＴ１００（ヤスハラケミカル社製、軟化点１００±５℃、水酸基価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、ＹＳポリスターＴ１１５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１１５±５℃、水酸基価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、ＹＳポリスターＴ１３０（ヤスハラケミカル社製、軟化点１３０±５℃、水酸基価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、ＹＳポリスターＴ１４５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１４５±５℃、水酸基価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）などを例示することができるが、これらに限定するものではなく、このような粘着付与樹脂は、求められる性能を損なわない範囲で必要に応じて使用することができ、２種以上を組み合わせて使用しても良い。

本発明の粘着剤は、求められる性能を損なわない範囲で必要に応じて、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）以外のその他の粘着付与樹脂も併用して使用することができる。その他の粘着付与樹脂として、例えば、ロジンエステル、重合ロジン、水添ロジン、不均化ロジン、マレイン酸変性ロジン、フマル酸変性ロジン、ロジンフェノール樹脂などのロジン系樹脂；、α−ピネン樹脂、β−ピネン樹脂、ジペンテン樹脂、芳香族変性テルペン樹脂、水添テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、酸変性テルペン樹脂、スチレン化テルペン樹脂などのテルペン系樹脂、アルキルフェノール樹脂、クマロン系樹脂、スチレン系樹脂、石油系樹脂またはその共重合体などが挙げられるが、これらに限定するものではなく、これら、その他の粘着付与樹脂は、２種以上を組み合わせて使用しても良い。

＜硬化剤＞
更に、本発明において、必要に応じて、硬化剤を使用することができる。研磨機定盤から剥離する際の剥離力は、高い粘着力から低い粘着力まで、求められる数値が様々であるため、粘着力をコントロールすること目的で硬化剤を添加することが可能である。硬化剤としては、求めうる性能を損なわない範囲で、必要に応じて、イソシアネート化合物、アジリジン化合物、金属キレート化合物、およびエポキシ化合物等を使用できる。

イソシアネート化合物としては、例えばトリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネート、ポリメチレンポリフェニルイソシアネートなどのポリイソシアネート化合物、及びこれらイソシアネート化合物とトリメチロールプロパン等のポリオール化合物とのアダクト体やビュレット体、またイソシアヌレート体、更にはこれらイソシアネート化合物と公知のポリエーテルポリオールやポリエステルポリオール、アクリルポリオール、ポリブタジエンポリオール、ポリイソプレンポリオール等とのアダクト体等が挙げられるが、イソシアネート化合物として好ましくは、トリレンジイソシアネートトリメチロールプロパンのアダクト体である。

アジリジン化合物としては、例えば、Ｎ，Ｎ’−ヘキサメチレン−１，６−ビス（１−アジリジンカルボキシアミド、トリメチロールプロパン−トリ−β−アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルメタン４，４’−ビス（１−アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン−トリ−β−（２−メチルアジリジン）プロピオネート等が挙げられる。

金属キレート化合物としては、例えば、金属錯体化合物を使用できる。金属は、ニッケル、アルミニウム、クロム、鉄、チタン、亜鉛、コバルト、マンガン、銅、スズ、ジルコニウム等が挙げられる。金属キレート化合物は、例えば第二鉄トリスアセチルアセトネート、アルミニウムトリスアセチルアセトネート、アルミニウムモノアセチルアセトネートビス（エチルアセトアセテート）、アルミニウムトリス（エチルアセトアセテート）等が挙げられるが、これらの中でのアルミニウムトリスアセチルアセトネートがより好ましい。

エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ、エピクロルヒドリン型のエポキシ系樹脂、エチレングリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ジグリシジルアニリン、ジアミングリシジルアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシリレンジアミンおよび１，３−ビス（Ｎ，Ｎ’−ジアミングリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等が挙げられる。

これら硬化剤は、単独で用いても、２種類以上を組み合わせ用いてもよい。

＜老化防止剤＞
更に、本発明において、必要に応じて老化防止剤を使用することができる。老化防止剤は、ゴム成分の劣化等を防止する目的で使用され、このような老化防止剤としては、例えば、ノンフレックスＷＳ（精工化学社製、老化防止剤）、ノンフレックスＷＳ−Ｐ（精工化学社製、老化防止剤）、ノンフレックスＭＢＰ（精工化学社製、老化防止剤）、ノンフレックスＣＢＰ（精工化学社製、老化防止剤）、ノンフレックスＥＢＰ（精工化学社製、老化防止剤）、ノンフレックスＴＮＰ（精工化学社製、老化防止剤）、ノンフレックスＭＢ（精工化学社製、老化防止剤）、ノンフレックスＲＤ（精工化学社製、老化防止剤）、ノンフレックスＯＳ（精工化学社製、老化防止剤）、ノンフレックスＤＣＤ（精工化学社製、老化防止剤）などを例示することができるが、老化防止剤であれば、これらに限定するものではなく、このような老化防止剤は、求められる性能を損なわない範囲で必要に応じて使用することができ、２種以上を組み合わせて使用しても良い。

尚、本発明において、老化防止剤とは、酸化等による劣化を防止する目的や、熱による劣化等を防止する目的で使用されるもので、酸化防止剤、酸化劣化防止剤、熱劣化防止剤は同義語である。

＜その他添加剤＞
本発明の粘着剤には、必要に応じて公知の粘着剤に配合される充填剤、顔料、染料、希釈剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、紫外線安定剤、カップリング剤等、各種添加剤を含んでもよく、また、２種類以上を用いてもよい。また、添加剤の添加量は、必要な物性が得られる量とすればよく、特に限定されるものではない。

《研磨部材固定用粘着シート》
本発明の研磨部材固定用粘着シートは、基材の片面または両面に、本発明の研磨部材固定用粘着剤から形成されてなる粘着剤層を備えた、粘着シートである。
粘着剤層の厚みは、１０〜１５０μｍが好ましく、１５〜１００μｍがより好ましい。粘着剤層を上記範囲にすることで、研磨部材の再剥離に優れた粘着テープを得ることが出来る。

粘着剤の塗工は、例えばロールコーター法、コンマコーター法、リップコーター法、ダイコーター法、リバースコーター法、シルクスクリーン法、グラビアコーター法等の公知の方法が使用できる。塗工後は、熱風オーブン、赤外線ヒーター等で乾燥することができる。

基材としては、不織布、紙、プラスチックフィルム、合成紙等粘着剤の基材として使用できる部材が使用できる。粘着シートの基材（芯材）として使用する場合は、不織布およびプラスチックフィルムが好ましい。前記プラスチックフィルムは、例えばポリエチレンおよびポロプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ナイロン、トリアセチルセルロース、シクロオレフィン、ポリイミドおよびポリアミド等をフィルムにしたものが挙げられる。また基材は、前記プラスチックフィルムに所望塗工液を塗工した、反射防止（ＡＲ）フィルム、偏光板、位相差板など光学部材であっても良い。また、基材は、粘着剤層との密着性を高めるため易接着処理を施しても良い。前記易接着処理は、コロナ放電を行う乾式法およびアンカーコート剤と塗工する湿式法等の公知の方法を使用できる。また、基材は、帯電防止層を形成することができる。帯電防止剤は上段で説明した帯電防止剤の他に、導電性カーボン粒子、導電性金属粒子および導電性ポリマー等の少なくともいずれかを必要に応じて樹脂と配合した組成物が好ましい、または基材に金属蒸着または金属メッキを施すことで帯電防止層を形成できる。本発明で基材の厚さは特に制限されないが、５〜３００μｍが好ましい。前記基材の中で、易接着処理等の施されていないフィルムを用いることがより好ましい。ゴム系粘着剤の場合、コロナ放電を行う易接着処理が施されていると、基材から粘着剤が剥がれやすくなるため、コロナ放電を行う易接着処理の施されていない面にゴム系粘着剤を塗布することが好ましい。

粘着シートを作製する際の剥離ライナーには、紙、プラスチックフィルム、合成紙等の基材に、剥離剤を塗工して形成した剥離層を有する。剥離剤は、例えばシリコーン、アルキド樹脂、メラミン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂等が挙げられる。なお、剥離ライナーの厚さは特に制限はないが１０〜２００μｍ程度である。

以下に、本発明を実施例によってより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお例中、「部」は「重量部」を、「％」は「重量％」を意味するものとする。

また、粘着付与樹脂の軟化点、水酸基価の測定方法は以下の通りである。
粘着付与樹脂の軟化点： ＪＩＳＫ５９０２およびＪＩＳＫ２２０７に準じて測定した。
粘着付与樹脂の水酸基価：ＪＩＳＫ００７０：１９９２に準じて測定した。

［実施例１］
（研磨部材固定用粘着剤１）
攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた４口フラスコに、窒素雰囲気下で、合成ゴムとしてクレイトン社製、Ｄ１１１９を１００．０重量部、溶剤としてメチルエチルケトン、トルエンを適量仕込んだ。次いでフラスコを徐々に加熱し、内温約５０℃で３時間加熱を継続した。加熱終了後、冷却し、内温約４０℃以下で、粘着付与樹脂として、ＹＳポリスターＴ１３０（ヤスハラケミカル社製）を３０．０重量部、老化防止剤としてノンフレックスＥＢＰを２．０重量部仕込み、メチルエチルケトン、トルエンで希釈し、粘着付与樹脂が溶解するまで攪拌を継続し、不揮発分５０．０％、粘度２０００ｍＰａ・ｓの研磨部材固定用粘着剤（粘着剤１）溶液を得た。

［実施例２〜１３、比較例１〜１３］
（研磨部材固定用粘着剤２〜２６）
粘着性樹脂、硬化剤、粘着付与樹脂の種類、および配合量（不揮発分重量部）を表２〜４に記載したように変更する以外は、研磨部材固定用粘着剤１と同様にして、研磨部材固定用粘着剤２〜２６を得た。

表２〜４中の略号は下記の通りである。また、配合量は、合成ゴムの固形分に対する不揮発分換算の添加量（重量部）である。
［合成ゴム：スチレンイソプレンブロック共重合体（重量％）］
・Ｋraton Ｄ１１１９
（クレイトン社製、スチレン量２２％、ジブロック量６６％、リニア構造）
・Quintac３２７０
（日本ゼオン社製、スチレン量２４%、ジブロック量６７%、リニア構造）
・ＱuintacＳＬ-１６５
（日本ゼオン社製、スチレン量３０％、ジブロック量６０％、リニア構造）
・Ｋraton Ｄ１１２６
（クレイトン社製、スチレン量２１％、ジブロック量３０％、ラジアル構造）
・Ｋraton Ｄ１１９３
（クレイトン社製、スチレン量２４％、ジブロック量２０％、リニア構造）
・Ｑuintac３２８０
（日本ゼオン社製、スチレン量２５％、ジブロック量１７％、リニア構造）
・Ｑuintac３６２０
（日本ゼオン社製、スチレン量１４％、ジブロック量１２％、リニア構造）
・Ｋraton Ｄ１１６１
（クレイトン社製、スチレン量１５％、ジブロック量１９％、リニア構造）
・Ｋraton ＤＸ４０６
（クレイトン社製、スチレン量１６％、ジブロック量５２％、リニア構造）
・Ｑuintac３５２０
（日本ゼオン社製、スチレン量１５％、ジブロック量７８％、リニア構造）
・Ｑuintac３４５０
（日本ゼオン社製、スチレン量１９％、ジブロック量３０％、ラジアル構造）

［粘着付与樹脂］
・ＳｙｌＶａｒｅｓＴＰ１１５
（アリゾナケミカル社製、テルペンフェノール樹脂、軟化点１１５±５℃、水酸基価５０mgKOH/g）
・ＹＳポリスターＴ１３０
（ヤスハラケミカル社製、テルペンフェノール樹脂、軟化点１３０℃、水酸基価６０mgKOH/g）
・ＹＳポリスターＴ１４５
（ヤスハラケミカル社製、テルペンフェノール樹脂、軟化点１４５℃、水酸基価６０mgKOH/g）
・ＹＳポリスターＳ１４５
（ヤスハラケミカル社製、テルペンフェノール樹脂、軟化点１６０℃、水酸基価１００mgKOH/g）
・ＹＳポリスターＮ１２５
（ヤスハラケミカル社製、テルペンフェノール樹脂、軟化点１６０℃、水酸基価１６０mgKOH/g）
・ＳｙｌＶａｒｅｓＴＰ２０４０ＨＭ
（アリゾナケミカル社製、テルペンフェノール樹脂、軟化点１２５±５℃、水酸基価１４０mgKOH/g）
・ペンセルＤ１２５
（荒川化学社製、ロジンエステル樹脂、軟化点１２５℃、水酸基価４０mgKOH/g）
［添加剤］
・ノンフレックスＥＢＰ（精工化学社製、老化防止剤）

＜粘着シートの評価＞
得られた研磨部材固定用粘着剤を用いて粘着シートを形成し、下記方法で評価した。表５〜７に評価結果を示す。
（粘着シートの作製）
表５〜７記載の通りに、得られた研磨部材固定用粘着剤を用い、乾燥後の厚みが４０μｍになるよう２５μｍのＰＥＴフィルム基材に塗工（研磨部材側粘着剤層）し、１００℃で２分間乾燥した後、剥離ライナーを貼り合わせ、次いで得られた研磨部材固定用粘着剤を、乾燥後の厚さが３０μｍになるよう剥離ライナーに塗工（定盤側粘着剤層）し、１００℃で２分間乾燥した後、ＰＥＴフィルム基材の粘着剤が塗布されていない面に貼り合わせ、２３℃-５０％で１週間放置し、粘着シートを得た。
なお、実施例１−Ａは、研磨部材側に粘着剤１を、定盤側に、トーヨーケム社製ＢＰＳ３１５６Ｄ（アクリル系粘着剤）１００重量部と、トーヨーケム社製ＢＨＳ８５１５（イソシアネート硬化剤）４．０重量部とを配合し攪拌した粘着剤２７を用いて得られた粘着シートである。

（粘着力）
得られた粘着シートの測定しない面の剥離ライナーを剥がし、ＰＥＴ２５μを貼り合せた後、幅２５ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％ＲＨ雰囲気下にて、得られた試料から、ＰＥＴ２５を貼り合せた面と逆の剥離ライナーを剥がし、露出した粘着剤層をステンレス板に２kgのローラーで1往復圧着し、２０分また
は２４時間放置後、引張試験機を使用して剥離角度１８０度、剥離速度０．３ｍ／ｍｉｎの条件で粘着力を測定した。同様の方法にて両面の粘着力を測定した。

（保持力）
得られた粘着シートの測定しない面の剥離ライナーを剥がし、ＰＥＴ２５μを貼り合せた後、幅２５ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％ＲＨ雰囲気下にて、得られた試料からＰＥＴ２５を貼り合せた面と逆の剥離ライナーを長さ２５ｍｍ×幅２５ｍｍ剥がしステンレス板に２kgロールで１往復圧着し、２３℃−５０％の雰囲気下で２０分間放置した。その後、８０℃の雰囲気下で1ｋｇの重りを付け１８
０度の方向に力が加わるようセットし、２４時間後に粘着シートが被着体から何ミリずれているか、もしくは完全にずれ落ちた落下秒数を測定した。同様の方法にて両面の保持力を測定した。

（耐酸性）
得られた粘着シートの測定しない面の剥離ライナーを剥がし、２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた後、幅２５ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％ＲＨの雰囲気下で長さ１０ｍｍ×幅２５ｍｍの粘着シートの剥離ライナーを剥がし、ステンレス板へ貼着し、２３℃−５０％ＲＨの雰囲気下で２４時間放置した。その後、硫酸を用いてｐＨ１．５に調整した水溶液中に浸し、４０℃の環境下で、さらに２４時間放置した。その後、水溶液より試料を取り出し、水洗浄後、２３℃−５０％ＲＨの雰囲気下にて１時間放置した。その後、２３℃−５０％ＲＨの雰囲気下でＪＩＳＺ１５２８の測定方法に準拠して、引張り試験を用いて剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで硫酸浸漬後の粘着力を測定した。（粘着力）の評価において測定した、ステンレス板に対する１８０度粘着力２４時間後の値との差が小さいほど耐酸性に優れるといえる。

粘着力差＝（ｐＨ１．５水溶液浸漬後の粘着力）−（ステンレス板に対する１８０度２４時間後の粘着力）

（耐アルカリ性）
得られた粘着シートの測定しない面の剥離ライナーを剥がし、２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた後、幅２５ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％ＲＨの雰囲気下で長さ１０ｍｍ×幅２５ｍｍの粘着シートの剥離ライナーを剥がし、ステンレス板へ貼着し、２３℃−５０％ＲＨの雰囲気下で２４時間放置した。その後、水酸化ナトリウムを用いてｐＨ１１．５に調整した水溶液中に浸し、４０℃の環境下で、さらに２４時間放置した。その後、水溶液より試料を取り出し、水洗浄後、２３℃−５０％ＲＨの雰囲気下にて１時間放置。その後、２３℃−５０％ＲＨの雰囲気下でＪＩＳＺ１５２８の測定方法に準拠して、引っ張り試験を用いて剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで粘着力を測定した。（粘着力）の評価において測定した、ステンレス板に対する１８０度粘着力２４時間後の値との差が小さいほど耐アルカリ性に優れるといえる。

粘着力差＝（ｐＨ１１．５水溶液浸漬後の粘着力）−（ステンレス板に対する１８０度２４時間後の粘着力）

表５〜表８の結果から、本発明の粘着テープは、スチレン含有量２０〜４０重量％、かつジブロック含有量１５〜７０重量％であるスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）と、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）とを含み、テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の含有量が、合成ゴム１００重量部に対し、２０〜６０重量部である粘着剤から形成されることで、優れた粘着性能と高い凝集力を併せ持つことが確認できた。さらに本願発明の粘着シートは、高温環境下でもズレなどが生じることなく、従来よりも高圧力の研磨に使用でき、また、耐酸性や耐アルカリ性を持ち合わせていた。

とくに、スチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）がリニア構造を有する場合には、密着性に優れ、粘着性能と耐熱性とに、より優れた効果が確認できた。

Claims (5)

1. 合成ゴムと、粘着付与樹脂とを含有する研磨部材固定用粘着剤において、
   前記合成ゴムが、スチレン含有量２０〜４０重量％、かつジブロック含有量１５〜７０重量％であるスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）を含み、
   前記粘着付与樹脂が、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を含み、
   前記テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の含有量が、合成ゴム１００重量部に対し、２０〜６０重量部であることを特徴とした研磨部材固定用粘着剤。
2. 前記スチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）がリニア構造である、請求項１に記載の研磨部材固定用粘着剤。
3. 前記テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の軟化点が、８０〜１７０℃である、請求項１または２記載の研磨部材固定用粘着剤。
4. 基材の片面または両面に、請求項１〜３いずれか１項記載の研磨部材固定用粘着剤から形成されてなる粘着剤層を備えた、研磨部材固定用粘着シート。
5. 請求項４記載の研磨部材固定用粘着シートを、研磨部材に貼り合わせ、一体化された、研磨部材積層体。