JP6536389B2

JP6536389B2 - 研磨部材固定用粘着剤、および研磨部材固定用粘着シート

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Publication number: JP6536389B2
Application number: JP2015240898A
Authority: JP
Inventors: 忠士阿部
Original assignee: Toyo Ink SC Holdings Co Ltd; Toyochem Co Ltd
Current assignee: Toyo Ink SC Holdings Co Ltd; Toyochem Co Ltd
Priority date: 2015-12-10
Filing date: 2015-12-10
Publication date: 2019-07-03
Anticipated expiration: 2035-12-10
Also published as: JP2017105931A

Description

本発明は、研磨部材を研磨機に固定する用途に好適に用いることができる研磨部材固定用の粘着剤に関する。更に詳しくは、研磨部材に対し、優れた密着性を発現するため、高温環境下でも浮きや剥がれなどの生じない粘着剤層を形成できる粘着剤に関するものである。

従来、液晶ガラス、ハードディスク用基板、光学レンズ、シリコンウェハ、集積回路等は、研磨部材等を用いて研磨されており、研磨部材の固定には、例えば、研磨部材に粘着テープを貼り合わせた後、粘着テープ付きの研磨部材を、研磨機の定盤に貼り合せるなどして使用されている。研磨工程では粘着剤層に対して強い剪断力がかかり、さらに研磨中の摩擦熱などにより高温となることがあるため、強い剪断力に耐えうる凝集力と、高温に耐えうる耐熱性が求められる。また、研磨工程では酸性やアルカリ性のスラリーを用いる事もあるため、耐酸性や耐アルカリ性も求められる。

この様に、研磨部材固定用粘着剤には多種の性能が求められ、例えば、特許文献１、特許文献２、では研磨部材用として、テルペン樹脂やクマロン樹脂を用いることが記載されているが、使用するポリマーの架橋による研磨部材への密着性向上などは考慮されておらず、近年求められる要求性能からは劣るため、十分ではない。すなわち、従来よりも長時間の研磨を可能とし、更に、従来のガラスより硬度の高いガラスの研磨にも好適な研磨部材固定用粘着剤は見出されていなかった。

特開２０１０−１９４７００号公報特開２０１１-１２２０６９号公報

本発明は、研磨部材に対し、優れた密着性を発現することで、従来よりも粘着剤層の凝集力を高めることが可能となり、高温環境下でも浮きや剥がれが生じることなく、かつ耐酸性や耐アルカリ性にも優れた研磨部材固定用粘着剤を提供することを目的とする。

本発明者らは、前記諸問題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、特定のアクリル系共重合体（Ａ）と、特定のイソシアネート硬化剤（Ｃ）を用い、かつ特定量の粘着付与樹脂（Ｂ）を含有することで、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明に至った。

すなわち、本発明は、アクリル系共重合体（Ａ）、粘着付与樹脂（Ｂ）、およびイソシアネート硬化剤（Ｃ）を含有する研磨部材固定用粘着剤であって、前記アクリル系共重合体（Ａ）が、カルボキシル基含モノマー、および水酸基含有モノマーを含むモノマーの共重合体であり、前記イソシアネート硬化剤（Ｃ）が、トリレンジイソシアネート系化合物中のイソシアネート基の１０〜４０モル％が、炭素数１〜２５の単官能アルコールによって変性されてなる化合物であり、粘着付与樹脂（Ｂ）の含有量が、アクリル系共重合体（Ａ）１００重量部に対し、５〜６０重量部であることを特徴とする研磨部材固定用粘着剤に関する。

また、本発明は、前記粘着付与樹脂（Ｂ）の軟化点が、８０〜１５０℃である前記研磨部材固定用粘着剤に関する。
また、本発明は、前記粘着付与樹脂（Ｂ）が、テルペンフェノール樹脂およびクマロン樹脂の少なくともいずれかを含有してなる前記研磨部材固定用粘着剤に関する。
また、本発明は、研磨部材が、ウレタン系であることを特徴とする前記研磨部材固定用粘着剤に関する。
また、本発明は、基材上に、前記研磨部材固定用粘着剤から形成してなる粘着剤層を備えた、研磨部材固定用粘着シートに関する。

本発明によれば、研磨部材に対する優れた密着性を発現することができ、粘着剤層の凝集力を高める事が可能となり、高温環境下でも浮きや剥がれなどが生じることなく、耐酸性や耐アルカリ性にも優れる。また、従来よりも長時間の研磨を可能とし、更に、従来のガラスより硬度の高いガラスの研磨にも好適な研磨部材固定用粘着剤の供給を可能とする。

引張りせん断力測定の説明図。

本発明の研磨部材盤固定用粘着剤は、アクリル系共重合体（Ａ）、粘着付与樹脂（Ｂ）、およびイソシアネート硬化剤（Ｃ）を含有する研磨部材固定用粘着剤であって、前記アクリル系共重合体（Ａ）が、カルボキシル基含有モノマー、および水酸基含有モノマーを含むモノマーの共重合体であり、前記イソシアネート硬化剤（Ｃ）が、トリレンジイソシアネート系化合物中のイソシアネート基の１０〜４０モル％が、炭素数１〜２５の単官能アルコールによって変性されてなる化合物であり、粘着付与樹脂（Ｂ）の含有量が、アクリル系共重合体（Ａ）１００重量部に対し、５〜６０重量部であることを特徴とする。

本発明の研磨部材固定用粘着剤は、塗工することで粘着剤層を形成し、基材を備えた粘着シートとして使用することができる。
すなわち、本発明において、研磨部材固定用粘着剤とは、研磨に用いる目的で使用される研磨パッド等の研磨部材を研磨機に固定するために用いる粘着シートを形成することが出来る粘着剤のことである。なお、定盤側の粘着剤は、従来公知の粘着剤を用いることができ、本発明の研磨部材盤固定用粘着剤を用いても良い。
また、本発明で粘着シート、粘着テープ、粘着フィルムは同義語である。

また、本発明において、研磨部材とは、例えば、ウレタン系研磨パッド、不織布系研磨パッド、スウェード系研磨パッドなどが挙げられるが、研磨を目的とした研磨部材として使用されるのであれば、これらに限定されるものではない。なかでも、本発明の研磨部材固定用粘着剤は、従来粘着剤よりもウレタン結合等を多く含有し、ウレタン系材料に対する密着性に優れた効果を有するため、ウレタン系の研磨部材に対し、とくに好適に用いることができる。

《研磨部材盤固定用粘着剤》
＜アクリル系共重合体（Ａ）＞
アクリル系共重合体とは、エチレン性不飽和結合を有するアクリルモノマーを用いて合成することが可能な（メタ）アクリル系重合体である。本発明のアクリル系共重合体（Ａ）は、カルボキシル基含有モノマー、および水酸基含有モノマーを含むモノマーの共重合体であり、すなわち、カルボキシル基、および水酸基を有するアクリル系供重合体である。

カルボキシル基含有モノマーとしては、カルボキシル基を有するものであればよく、例えば(メタ)アクリル酸、イタコン酸、マレイン酸等が挙げられるが、これに限定するものではなく、単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
これらのなかでも、(メタ)アクリル酸が好ましい。

アクリル系共重合体がカルボキシル基を含有することで、硬化剤との架橋密度をコントロールし易く、研磨部材に対する密着性と粘着剤層の凝集力のバランスが得やすくなり、研磨工程で研磨部材と粘着層の浮きや剥がれなどが発生し難い。上記の観点から、アクリル系共重合体（Ａ）を構成するモノマー全量１００重量部中、カルボキシル基含有モノマーは０．１〜１０．０重量部を用いることが好ましく、０．５〜８．０重量部がより好ましい。

水酸基含有モノマーは、例えば、２−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、３−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、４−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、Ｎ−メチロールアクリルアミド、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等が挙げられるが、これに限定するものではなく、単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
これらのなかでも、硬化剤との適度な架橋性の観点から炭素数１〜３のアルキレン基を有する水酸基含有モノマーは、密着性と凝集力をより向上できるため好ましい。
これらのなかでも、２−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートがより好ましい。

水酸基含有モノマーを用いることで、アクリル系共重合体（Ａ）と硬化剤との架橋密度をコントロールし易く、研磨部材に対する密着性と粘着剤層の凝集力のバランスが得やすいため、研磨工程で研磨部材と粘着層の浮きや剥がれなどが発生し難い。上記の観点から、アクリル系共重合体（Ａ）を構成するモノマー全量１００重量部中、水酸基含有モノマーは、０．０１〜１．５重量部を用いることが好ましく、０．０５〜１．０重量部がより好ましい。

また、本発明のアクリル系共重合体（Ａ）を構成するためのモノマーとしては、カルボキシル基含有モノマー、および水酸基含有モノマー以外のその他のモノマーを含有しても良い。
その他のアクリルモノマーとしては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリルアミド、酢酸ビニル、アクリルニトリル等が挙げられるが、これに限定するものではなく、単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。

合成する際は、溶液重合、乳化重合、塊状重合または紫外線照射による重合等の重合方法をとることができるが、本発明では、反応制御や物性コントロールが容易な溶液重合を用いることが好ましい。

共重合には、過酸化物系の重合開始剤やアゾビス系の重合開始剤等、従来公知の重合開始剤を使用することができる。有機過酸化物の重合開始剤としては、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ｔ−ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔ−ブチルパーオキシ２−エチルヘキサノエート等が挙げられ、アゾ系の重合開始剤としては、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２−アミジノプロパン）ジヒドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジヒドロクロライド、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミジン）二硫酸塩、２，２’−アゾビス（Ｎ，Ｎ’−ジメチレンイソブチルアミジン）等が挙げられるが、これら重合開始剤は単独で使用しても、２種類以上の併用で使用してもよい。

本発明において、アクリル系共重合体（Ａ）の重量平均分子量は、３０万〜１５０万が好ましく、５０万〜１２０万がより好ましい。上記範囲とすることで、研磨部材への密着性と粘着剤層の凝集力のバランスが得やすいため、研磨工程で研磨部材と粘着層の浮きや剥がれなどが発生し難い。
なお本発明において樹脂の重量平均分子量とは、ＧＰＣ測定で求めたポリスチレン換算の重量平均分子量である。

＜粘着付与樹脂（Ｂ）＞
本発明の粘着剤は、粘着付与樹脂としての機能を有する粘着付与樹脂（Ｂ）を含有する。
粘着付与樹脂（Ｂ）の含有量は、アクリル系共重合体（Ａ）１００重量部に対し、５〜６０重量部である。上記範囲とすることで、研磨部材に対する密着性と粘着剤層の凝集力のバランスが得られる。上記の観点から、１５〜５０重量部がより好ましい。

粘着付与樹脂（Ｂ）として、好ましくは、軟化点が８０〜１５０℃の粘着付与樹脂である。
粘着付与樹脂の軟化点を上記範囲とすることで、研磨部材への密着性や耐熱性をバランスよく付与することができる。上記の観点から、軟化点が９５〜１３５℃がより好ましい。

粘着付与樹脂（Ｂ）としては、例えば、ロジンエステル、重合ロジン、水添ロジン、不均化ロジン、マレイン酸変性ロジン、フマル酸変性ロジン、ロジンフェノール樹脂などのロジン系樹脂；、α−ピネン樹脂、β−ピネン樹脂、ジペンテン樹脂、芳香族変性テルペン樹脂、水添テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、酸変性テルペン樹脂、スチレン化テルペン樹脂などのテルペン系樹脂、アルキルフェノール樹脂、クマロン系樹脂、スチレン系樹脂、石油系樹脂またはその共重合体などが挙げられるが、これらに限定するものではなく、このような粘着付与樹脂は、求められる性能を損なわない範囲で必要に応じて使用することができ、２種以上を組み合わせて使用しても良い。

これらのなかでも、好ましくは、テルペンフェノール樹脂、またはクマロン樹脂である。
テルペンフェノール樹脂、およびクマロン樹脂は、アクリル系共重合体（Ａ）への相溶性に優れるため、粘着剤層の凝集力低下を引き起こす事なく、熱ラミネートや熱プレスした際、研磨部材等への密着性がより向上する。また、テルペンフェノール樹脂とクマロン樹脂同士の相溶性も良好であるため、テルペンフェノール樹脂とクマロン樹脂を併用した場合でも、粘着付与樹脂を起因とした、粘着剤層の凝集力低下を引き起こすことなく、研磨部材等への密着性を向上させることが可能である。

テルペンフェノール樹脂として具体的には、例えば、ＹＳポリスターＵ１３０（ヤスハラケミカル社製、軟化点１３０±５℃）、ＹＳポリスターＵ１１５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１１５±５℃）、ＹＳポリスターＴ１４５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１４５±５℃）、ＹＳポリスターＴ１３０（ヤスハラケミカル社製、軟化点１３０±５℃）、ＹＳポリスターＴ１１５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１１５±５℃）、ＹＳポリスターＴ１００（ヤスハラケミカル社製、軟化点１００±５℃）、ＹＳポリスターＴ８０（ヤスハラケミカル社製、軟化点８０±５℃）、ＹＳポリスターＳ１４５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１４５±５℃）、ＹＳポリスターＧ1２５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１２５±５℃）、ＹＳポリスターＮ１２５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１２５±５℃）、ＹＳポリスターＫ１４０（ヤスハラケミカル社製、軟化点１４０±５℃）、ＹＳポリスターＫ１２５（ヤスハラケミカル社製、軟化点１２５±５℃）、ＹＳポリスターＴＨ１３０（ヤスハラケミカル社製、軟化点１３０±５℃）、などを例示することができる、

クマロン樹脂としては、例えば、クマロンＧ−９０（日塗化学社製、軟化点９０±５℃）、クマロンＶ−１２０（日塗化学社製、軟化点１２０±５℃）、クマロンＶ−１２０Ｓ（日塗化学社製、軟化点１２０±５℃）などが例示できる。

なお、テルペンフェノール樹脂およびクマロン樹脂であれば、これらに限定するものではなく、このような粘着付与樹脂は、求められる性能を損なわない範囲で必要に応じ、２種以上を組み合わせて使用しても良い。

＜イソシアネート硬化剤（Ｃ）＞
本発明の粘着剤は、イソシアネート硬化剤（Ｃ）を含有する。イソシアネート硬化剤（Ｃ）は、トリレンジイソシアネート化合物中のイソシアネート基の１０〜４０モル％が、炭素数１〜２５の単官能アルコールによって変性されてなる化合物である。

イソシアネート硬化剤（Ｃ）の含有量は、アクリル系共重合体（Ａ）１００重量部に対し、合計で２．０〜１５．０重量部が好ましい。上記範囲とすることで、アクリル系共重合体（Ａ）と硬化剤との架橋密度をコントロールし易く、研磨部材に対する密着性と粘着剤層の凝集力のバランスが得やすいため、研磨工程で研磨部材と粘着層の浮きや剥がれなどが発生し難い。上記の観点から、３．０〜１２．０重量部がより好ましい。

トリレンジイソシアネート系化合物とは、トリレンジイソシアネートはもとより、そのビュレット体、イソシアヌレート体、およびアルコール類とのアダクト体等の誘導体を包含する。トリレンジイソシアネート系化合物として好ましくは、トリレンジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体である。

また、本発明のイソシアネート硬化剤（Ｃ）は、トリレンジイソシアネート系化合物のイソシアネート基の一部が１価アルコールによって変性されてなる化合物である。なお、ここでいう変性とは、具体的には、イソシアネート基と水酸基とを反応させ、ウレタン結合を生成させることをいう。イソシアネート硬化剤（Ｃ）の変性は、イソシアネート基の１０〜４０モル％が変性されており、これにより、イソシアネート硬化剤中にウレタン結合を一定量含有させ、さらにアクリル系共重合体（Ａ）に含有される水酸基との反応によりウレタン結合が形成される事で、粘着塗膜中のウレタン結合の割合が増加し、研磨部材、特にウレタン系の研磨部材に対する密着性が向上する。ウレタン結合が少ない場合、密着性を向上させることができず、ウレタン結合が多い場合、粘着塗膜が硬くなりすぎるため、密着性が低下する。上記の観点から、イソシアネート基の１５〜３５モル％が変性されていることがより好ましい。

イソシアネート硬化剤（Ｃ）における、トリレンジイソシアネート系化合物のイソシアネート基の一部を変性する１価アルコールは炭素数１〜２５の単官能アルコールである。炭素数１〜２５の１価アルコールを用いることで、イソシアネート硬化剤とアクリル系共重合体（Ａ）との相溶性に優れたものとすることができる。上記の観点から、炭素数３〜２０の１価アルコールを用いるのがより好ましい。

このような、炭素数１〜２５の単官能アルコールとしては、脂肪族アルコール、芳香族アルコールの他、エーテル骨格、エステル骨格、カーボネート骨格を有するアルコール等が挙げられる。具体的には、例えばメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、ドデシルアルコール、ミスチルアルコール、セチルアルコール、オレイルアルコール、イソプロピルアルコール、イソオクチルアルコール、イソステアリルアルコール、ブチルデカノール、ヘキシルデカノール、デシルテトラデカノール、オクチルドデシルアルコール、などが挙げられる。これらの単官能アルコールは、単独であるいは複数組み合わせて使用することができる。
なかでも、脂肪族アルコールを用いることが好ましい。

カルボキシル基、および水酸基を有するアクリル系供重合体（Ａ）の存在下で、イソシアネート硬化剤（Ｃ）が、水酸基と架橋しウレタン結合を形成し、また、雰囲気中の水を介して自己架橋することで、剛直な骨格を有するウレア結合を形成し、研磨部材に対する密着性と、粘着剤層の凝集力をバランスよく持ち合わせることが可能となる。

更に、求めうる性能を損なわない範囲で、必要に応じて、その他のイソシアネート化合物、アジリジン化合物、金属キレート化合物、およびエポキシ化合物等を使用できる。

イソシアネート化合物としては、例えばヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネート、ポリメチレンポリフェニルイソシアネートなどのポリイソシアネート化合物、及びこれらイソシアネート化合物とトリメチロールプロパン等のポリオール化合物とのアダクト体やビュレット体、またイソシアヌレート体、更にはこれらイソシアネート化合物と公知のポリエーテルポリオールやポリエステルポリオール、アクリルポリオール、ポリブタジエンポリオール、ポリイソプレンポリオール等とのアダクト体等が挙げられる。

金属キレート化合物としては、例えば、金属錯体化合物を使用できる。金属は、ニッケル、アルミニウム、クロム、鉄、チタン、亜鉛、コバルト、マンガン、銅、スズ、ジルコニウム等が挙げられる。金属キレート化合物は、例えば第二鉄トリスアセチルアセトネート、アルミニウムトリスアセチルアセトネート、アルミニウムモノアセチルアセトネートビス（エチルアセトアセテート）、アルミニウムトリス（エチルアセトアセテート）等が挙げられるが、これらの中でのアルミニウムトリスアセチルアセトネートがより好ましい。

アジリジン化合物としては、例えば、Ｎ，Ｎ’−ヘキサメチレン−１，６−ビス（１−アジリジンカルボキシアミド、トリメチロールプロパン−トリ−β−アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルメタン４，４’−ビス（１−アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン−トリ−β−（２−メチルアジリジン）プロピオネート等が挙げられる。

エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ、エピクロルヒドリン型のエポキシ系樹脂、エチレングリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ジグリシジルアニリン、ジアミングリシジルアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシリレンジアミンおよび１，３−ビス（Ｎ，Ｎ’−ジアミングリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等が挙げられる。

これら硬化剤は、単独で用いても、２種類以上を組み合わせ用いてもよい。

＜その他添加剤＞
本発明の粘着剤には、必要に応じて公知の粘着剤に配合される充填剤、顔料、染料、希釈剤、老化防止剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、紫外線安定剤、カップリング剤等、各種添加剤を含んでもよく、また、２種類以上を用いてもよい。また、添加剤の添加量は、必要な物性が得られる量とすればよく、特に限定されるものではない。

《研磨部材固定用粘着シート》
本発明の研磨部材固定用粘着シートは、研磨に用いる目的で使用される研磨パッド等の研磨部材を研磨機に固定するために用いる粘着シートであって、基材の両面に粘着剤層を有する粘着シートであり、少なくとも研磨部材側に本発明の研磨部材固定用粘着剤を用いて形成した粘着層を有するものである。定盤側の粘着層は、従来公知の粘着剤を用いて形成した粘着層でも良く、本発明の研磨部材盤固定用粘着剤を用いて形成した粘着層であっても良い。

粘着シートとした場合、粘着剤層の厚みは、１０〜１５０μｍが好ましく、３０〜１２０μｍがより好ましい。粘着剤層を上記範囲にする事で、研磨部材の固定に優れた粘着テープを得ることが出来る。

粘着剤の塗工は、例えばロールコーター法、コンマコーター法、リップコーター法、ダイコーター法、リバースコーター法、シルクスクリーン法、グラビアコーター法等の公知の方法が使用できる。塗工後は、熱風オーブン、赤外線ヒーター等で乾燥することができる。

粘着シートを作成する際の基材には、不織布、紙、プラスチックフィルム、合成紙等粘着剤の基材として使用できる部材が使用できる。粘着シートの基材（芯材）として使用する場合は、不織布およびプラスチックフィルムが好ましい。前記プラスチックフィルムは、例えばポリエチレンおよびポロプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ナイロン、トリアセチルセルロース、シクロオレフィン、ポリイミドおよびポリアミド等をフィルムにしたものが挙げられる。

また基材は、前記プラスチックフィルムに所望塗工液を塗工した、反射防止（ＡＲ）フィルム、偏光板、位相差板など光学部材であっても良い。また、基材は、粘着剤層との密着性を高めるため易接着処理を施しても良い。前記易接着処理は、コロナ放電を行う乾式法およびアンカーコート剤と塗工する湿式法等の公知の方法を使用できる。また、基材は、帯電防止層を備えていてもよい。また、帯電防止層を備えていてもよい。帯電防止層は、上段で説明した帯電防止剤の他に、導電性カーボン粒子、導電性金属粒子および導電性ポリマー等の少なくともいずれかを、必要に応じて樹脂と配合した組成物により形成されてなることが好ましい。または基材に金属蒸着または金属メッキを施すことで帯電防止層を形成できる。
前記基材の中でも、易接着処理面の施されたフィルムを用いる事がより好ましい。易接着処理面の施されたフィルムを用いる事で、研磨部材や研磨機等に粘着成分が移行し難くなる。

基材の厚さは、特に制限されないが、５〜３００μｍが好ましい。

粘着シートを作製する際の剥離ライナーには、紙、プラスチックフィルム、合成紙等の基材に、剥離剤を塗工して形成した剥離層を有する。剥離剤は、例えばシリコーン、アルキド樹脂、メラミン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂等が挙げられる。本発明の再剥離型粘着剤は、剥離力が剥離剤の種類に依存し難い効果が得られる。なお、剥離ライナーの厚さは特に制限はないが１０〜２００μｍ程度である。

以下に、本発明を実施例によってより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお例中、「部」は「重量部」を、「％」は「重量％」を意味するものとする。

また、樹脂の重量平均分子量、粘着付与樹脂の軟化点、硬化剤のイソシアネート基量、イソシアネート基（ＮＣＯ基）の変性率（モル％）の測定方法は以下の通りである。

（樹脂の重量平均分子量）
樹脂の重量平均分子量は、ＧＰＣ測定で求めたポリスチレン換算の重量平均分子量であり、ＧＰＣ測定条件は以下のとおりである。装置：ＳＨＩＭＡＤＺＵＰｒｏｍｉｎｅｎｃｅ（（株）島津製作所製）カラム：ＴＯＳＯＨＴＳＫ−ＧＥＬＧＭＨＸＬ（東ソー（株）製）を使用。溶媒：テトラヒドロフラン、流速：０．５ｍｌ／ｍｉｎ、温度：４０℃、試料濃度：０．１ｗｔ％、試料注入量：１００μｌ。

（粘着付与樹脂の軟化点）
ＪＩＳＫ５９０２およびＪＩＳＫ２２０７に準じて測定した。

（イソシアネート基（ＮＣＯ基）量）
ＪＩＳＫ１６０３−１に準じて測定した。

（トリレンジイソシアネート系化合物中のイソシアネート基（ＮＣＯ基）の変性率（モル％））
下記式により求めた。
NCO基変性mol％＝
（変性前ＮＣＯ基mol数−変性後ＮＣＯ基mol数）÷変性前ＮＣＯ基mol数×１００

続いて、実施例および比較例で用いたアクリル系共重合体（Ａ）、および粘着剤の製造方法について説明する。

＜アクリル系共重合体（Ａ）＞
（アクリル系共重合体溶液（Ａ−１））
攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた４口フラスコに、窒素雰囲気下で、ブチルアクリレート２３．５重量部、２-エチルヘキシルアクリレート２２．４５重量部、サクサンビニル２．５重量部、アクリル酸１．５重量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート０．０５重量部、溶剤として酢酸エチル、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを適量仕込んだ。別途、滴下管に、ブチルアクリレート２３．５重量部、２-エチルヘキシルアクリレート２２．４５重量部、サクサンビニル２．５重量部、アクリル酸１．５重量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート０．０５重量部、溶剤として酢酸エチル、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを適量仕込んだ。次いでフラスコを徐々に加熱し、反応開始を確認後、滴下管から溶液を１時間かけて滴下した。さらに内温約８０℃で８時間反応を継続した。反応終了後、冷却しつつ、酢酸エチル、トルエンで希釈することで、不揮発分は４６．２％、粘度は９１００ｍＰａ・ｓ、重量平均分子量＝７８００００のアクリルポリマー溶液（Ａ−１）を得た。

（アクリル系共重合体溶液（Ａ−２〜６））
アクリルポリマー溶液（Ａ−１）の製造における、アクリルモノマーの種類、および配合量（重量部）を表１に示すように変更した以外は、アクリルポリマー溶液（Ａ−１）と同様にして、合成例２〜６のアクリル系共重合体溶液（Ａ−２〜６）を得た。

表１の略語を下記に記す。
ＢＡ：ブチルアクリレート
２ＥＨＡ：２−エチルヘキシルアクリレート
ＶＡＣ：サクサンビニル
（カルボキシル基含有モノマー）
ＡＡ：アクリル酸
（水酸基含有モノマー）
ＨＥＡ：２−ヒドロキシエチルアクリレート

＜イソシアネート硬化剤（Ｃ）＞
（イソシアネート硬化剤溶液（Ｃ−１））
攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器の反応容器内の空気を窒素ガスで置換した後、コロネートＬ（トリレンジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体、ＮＣＯ％＝１３．０％、不揮発分＝７５％、東ソー社製）１００部、次いでカルコール２００ＧＤ（オクチルドデシルアルコール（炭素数２０）、花王社製）１５．４部を仕込み、攪拌しながら窒素雰囲気下中で、この溶液を６０℃へ昇温し、７時間反応することでオクチルドデシルアルコールによって反応させた（ＮＣＯ％＝９．３９％、ＮＣＯ基の１６．７％変性）、反応終了後、冷却しつつ、適量の酢酸エチルで希釈することで、不揮発分４２．０％のイソシアネート硬化剤溶液（Ｃ−１）を得た。

（イソシアネート硬化剤溶液（Ｃ−２〜８））
イソシアネート硬化剤（Ｃ−１）の製造における、アルコールの種類、および配合量（重量部）を表２に示すように変更した以外は、イソシアネート硬化剤（Ｃ−１）と同様にして、イソシアネート硬化剤溶液（Ｃ−２〜８）を得た。
トリレンジイソシアネート系化合物中のイソシアネート基（ＮＣＯ基）の変性率（ＮＣＯ基変性mol%）も、表２に記した。

［実施例１］
（粘着剤の作製）
アクリル系共重合体溶液（Ａ−１）中のアクリルポリマーの不揮発分１００重量部に対して、粘着付与樹脂として、ＹＳポリスターＫ１２５（ヤスハラケミカル社製、テルペンフェノール樹脂、軟化点１２５℃）を３０重量部、イソシネート硬化剤溶液（Ｃ−１）（不揮発分４２.０重量％の酢酸エチル溶液）中のイソシネート硬化剤を、不揮発分換算で９．５重量部、溶剤として酢酸エチルを適量配合し、ディスパーで攪拌することで粘着剤１を得た。

［実施例２〜２０、比較例１〜６］
アクリル系共重合体、粘着付与樹脂、イソシアネート硬化剤の種類、および配合量を、表３〜５に記載したように変更する以外は、実施例１の粘着剤１と同様にして、粘着剤１〜２６を得た。

表３〜５中の略号は下記の通りである。また、配合量（重量部）は、アクリル系共重合体の固形分に対する不揮発分換算の添加量である。

＜粘着付与樹脂＞
ＹＳポリスターＫ１２５：（ヤスハラケミカル社製、テルペンフェノール樹脂、軟化点１２５℃）
ＹＳポリスターＮ１２５：（ヤスハラケミカル社製、テルペンフェノール樹脂、軟化点１２５℃）
クマロンＶ１２０：（日塗化学社製、クマロン樹脂、軟化点１２０℃）
クマロンＧ９０：（日塗化学社製、クマロン樹脂、軟化点９０℃）
ＳＹＬＶＡＲＥＳＳＡ１００：（アリゾナケミカル社製、石油系樹脂、軟化点１００℃）
ペンセルＤ１２５：（荒川化学社製、ロジン系樹脂、軟化点１２５℃）
＜イソシアネート硬化剤＞
ＴＤＩ−ＴＭＰ（変性なし）：トリレンジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体

得られた粘着剤を用いて粘着シートを形成し、以下の物性評価を行った。

＜粘着シートの作製＞
表６〜８記載の通りに、得られた粘着剤を用い、乾燥後の厚みが８０μｍになるよう２５μｍのＰＥＴフィルム基材に塗工（研磨部材側粘着剤層）し、１００℃で２分間乾燥した後、剥離ライナーを貼り合わせ、次いで得られた粘着剤を、乾燥後の厚さが５０μｍになるよう剥離ライナーに塗工（定盤側粘着剤層）し、１００℃で２分間乾燥した後、ＰＥＴフィルム基材の粘着剤が塗布されていない面に貼り合わせ、２３℃-５０％で１週間放置し、粘着シートを得た。
なお、実施例１−Ａは、研磨部材側に粘着剤１を、定盤側に粘着剤２６を用い、粘着シートを得た。

＜粘着力＞
得られた粘着シートの測定しない面の剥離ライナーを剥がし、２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた後、幅２５ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％ＲＨ雰囲気下にて、得られた試料から、２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた面と逆の剥離ライナーを剥がし、露出した粘着剤層をステンレス板に２kgのローラーで1往復圧着し、２０分または２４時間放置後、引張試験機を使用して剥離角度１８０度、剥離速度０．３ｍ／ｍｉｎの条件で粘着力を測定した。同様の方法にて両面の粘着力を測定した。

＜保持力＞
得られた粘着シートの測定しない面の剥離ライナーを剥がし、２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた後、幅２５ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％ＲＨ雰囲気下にて、得られた試料から２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた面と逆の剥離ライナーを長さ２５ｍｍ×幅２５ｍｍ剥がしステンレス板に２kgロールで１往復圧着し、２３℃−５０％の雰囲気下で２０分間放置した。その後、８０℃の雰囲気下で1ｋｇの重りを付け１８０度の方向に力が加わるようセットし、２４時間後に粘着シートが被着体から何ミリずれているか、もしくは完全にずれ落ちた落下秒数を測定した。同様の方法にて両面の保持力を測定した。ズレが小さいほど、保持力は高いといえる。

＜研磨部材粘着力＞
得られた粘着シートの定盤面側の剥離ライナーを剥がし、２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた後、幅２５ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％の雰囲気下で長さ１０ｍｍ×幅２５ｍｍの粘着シートの研磨部材面側の剥離ライナーを剥がし、研磨部材（一般市販硬質ウレタンパッド）へ熱ラミネート（ラミネート速度：１．０ｍ、ラミネート温度：９０℃、ラミネート圧力：４．０kg/cm^２）で貼着し、２３℃−５０％の雰囲気下で２４時間放置した。その後、２３℃−５０％の雰囲気下でＪＩＳＺ１５２８の測定方法に準拠して、引張試験機を使用して剥離角度１８０度、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで粘着力を測定した（研磨部材粘着力１）。数値が大きいほど粘着力が高く優れている。

＜耐アルカリ性＞
得られた粘着シートの定盤面側の剥離ライナーを剥がし、２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた後、幅２５ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％の雰囲気下で長さ１０ｍｍ×幅２５ｍｍの粘着シートの研磨部材面側の剥離ライナーを剥がし、研磨部材（一般市販硬質ウレタンパッド）へ熱ラミネート（ラミネート速度：１．０ｍ、ラミネート温度：９０℃、ラミネート圧力：４．０kg/cm^２）で貼着し、２３℃−５０％の雰囲気下で２４時間放置した。その後、水酸化ナトリウムを用いてｐＨ１１．５に調整した水溶液中に浸し、４０℃の環境下で、さらに２４時間放置した。その後、水溶液より試料を取り出し、水洗浄後、２３℃−５０％の雰囲気下にて１時間放置。その後、２３℃−５０％の雰囲気下でＪＩＳＺ１５２８の測定方法に準拠して、引っ張り試験を用いて剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで粘着力を測定した。１８０度粘着力（研磨部材粘着力１）の値に対する変化が少ないほど耐アルカリ性に優れる。

＜耐酸性＞
得られた粘着シートの定盤面の剥離ライナーを剥がし、２５μｍのＰＥＴフィルムを貼り合せた後、幅２５ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％の雰囲気下で長さ１０ｍｍ×幅２５ｍｍの粘着シートの研磨部材面側の剥離ライナーを剥がし、研磨部材（一般市販硬質ウレタンパッド）へ熱ラミネート（ラミネート速度：１．０ｍ、ラミネート温度：９０℃、ラミネート圧力：４．０kg/ cm^２）で貼着し、２３℃−５０％の雰囲気下で２４時間放置した。その後、硫酸を用いてｐＨ１．５に調整した水溶液中に浸し、４０℃の環境下で、さらに２４時間放置した。その後、水溶液より試料を取り出し、水洗浄後、２３℃−５０％の雰囲気下にて１時間放置。その後、２３℃−５０％の雰囲気下でＪＩＳＺ１５２８の測定方法に準拠して、引張り試験を用いて剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで粘着力を測定した。１８０度粘着力（研磨部材粘着力１）の値に対する変化が少ないほど耐酸性に優れる。

＜引張りせん断力＞
得られた粘着シートの定盤面側の剥離ライナーを剥がし、１８８μｍのＰＥＴフィルム（ＰＥＴ１８８）を貼り合せた後、幅１０ｍｍ・長さ１００ｍｍの大きさに準備し試料とした。次いで２３℃−５０％の雰囲気下で長さ１０ｍｍ×幅１０ｍｍの粘着シートの研磨部材側の剥離ライナーを剥がし、ステンレス板に２kgのローラーで1往復圧着し、すぐに５０℃の温水中に投入、２４時間放置する。２４時間経過後、水中より試料を取り出し、水洗浄後、２３℃−５０％の雰囲気下にて１時間放置。その後、２３℃−５０％の雰囲気下で、貼り合わせした試料の両端を引張り試験機に固定し、１８０度の方向へ引張り試験を用いて剥離速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引張り、引張りせん断力を測定した（図１）。引張りせん断力が高いほど、せん断力に優れており、長時間の研磨が可能なことを表す。

表６〜８の結果から、本発明の、研磨部材固定用粘着剤は、粘着力が高く、かつ保持力評価におけるズレも小さく、研磨部材に対する優れた密着性を発現することで、高温環境下でも浮きや剥がれが生じることがなかった。また、耐酸性や耐アルカリ性にも優れた研磨部材固定用粘着剤であることが確認できた。
なかでも、粘着付与樹脂（Ｂ）が、テルペンフェノール樹脂、またはクマロン樹脂である場合、粘着剤層の凝集力がより高く、研磨部材への粘着力、および保持力評価におけるズレが小さく、研磨部材等への密着性に優れていた。

これに対し、イソシアネート硬化剤（Ｃ）を含有しない粘着剤２１を用いて形成した粘着シートは、粘着力が小さい結果であり、とくに研磨部材に対する粘着力に問題がみられた。また、イソシアネート硬化剤（Ｃ）における、イソシアネート基の変性率が高すぎる場合には、保持力および引張せん断力が弱く、密着性に劣る結果であり、アルコールの炭素数が多すぎる場合にも、引張せん断力が弱い結果であった。

また、粘着付与樹脂（Ｂ）を含有しない粘着剤２２を用いて形成した粘着シートは、粘着力が小さいだけでなく、保持力評価におけるズレが大きく、さらに耐酸性、および耐アルカリ性も悪い結果であった。また、粘着付与樹脂（Ｂ）の含有量が多すぎる場合にも粘着力が小さい結果であった。

これらの結果より、本発明の研磨部材固定用粘着剤を用いて形成した研磨部材固定用粘着テープは、粘着力に優れているだけでなく、従来よりも長時間の研磨が可能であり、更に、従来のガラスより硬度の高いガラスの研磨にも好適に用いることができることが明らかである。

Claims

アクリル系共重合体（Ａ）、粘着付与樹脂（Ｂ）、およびイソシアネート硬化剤（Ｃ）を含有する研磨部材固定用粘着剤であって、
前記アクリル系共重合体（Ａ）が、カルボキシル基含有モノマー、および水酸基含有モノマーを含むモノマーの共重合体であり、
前記イソシアネート硬化剤（Ｃ）が、トリレンジイソシアネート系化合物中のイソシアネート基の１０〜４０モル％が、炭素数１〜２５の単官能アルコールによって変性されてなる化合物であり、
粘着付与樹脂（Ｂ）の含有量が、アクリル系共重合体（Ａ）１００重量部に対し、５〜６０重量部であることを特徴とする研磨部材固定用粘着剤。
前記粘着付与樹脂（Ｂ）の軟化点が、８０〜１５０℃である、請求項１記載の研磨部材固定用粘着剤。
前記粘着付与樹脂（Ｂ）が、テルペンフェノール樹脂およびクマロン樹脂の少なくともいずれかを含有してなる、請求項１または２記載の研磨部材固定用粘着剤。
研磨部材が、ウレタン系であることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の研磨部材固定用粘着剤。
基材上に、請求項１〜４いずれか１項記載の研磨部材固定用粘着剤から形成してなる粘着剤層を備えた、研磨部材固定用粘着シート。