JP2018057067A - 機械振動抑制機能を備えた駆動装置、及び機械振動抑制機能を備えたシステム - Google Patents
機械振動抑制機能を備えた駆動装置、及び機械振動抑制機能を備えたシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018057067A JP2018057067A JP2016186773A JP2016186773A JP2018057067A JP 2018057067 A JP2018057067 A JP 2018057067A JP 2016186773 A JP2016186773 A JP 2016186773A JP 2016186773 A JP2016186773 A JP 2016186773A JP 2018057067 A JP2018057067 A JP 2018057067A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- damper
- linear
- linear motor
- drive
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
- H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
- H02P25/06—Linear motors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0032—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
- B23Q11/0039—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine by changing the natural frequency of the system or by continuously changing the frequency of the force which causes the vibration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/002—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion characterised by the control method or circuitry
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37434—Measuring vibration of machine or workpiece or tool
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P2205/00—Indexing scheme relating to controlling arrangements characterised by the control loops
- H02P2205/01—Current loop, i.e. comparison of the motor current with a current reference
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P2205/00—Indexing scheme relating to controlling arrangements characterised by the control loops
- H02P2205/07—Speed loop, i.e. comparison of the motor speed with a speed reference
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
Abstract
【解決手段】機械振動抑制機能を備えた駆動装置が、機械ベースに固定された固定部と、可動部とを有するダンパー側リニアモータと、ダンパー側リニアモータの可動部に固定された固定部と、可動部とを有する駆動側リニアモータと、機械ベースに対する駆動側リニアモータの可動部の位置である第1位置を検出する第1検出手段と、機械ベースに対するダンパー側リニアモータの可動部の位置である第2位置を検出する第2検出手段と、ダンパー側リニアモータの可動部に対する駆動側リニアモータの可動部の位置である第3位置を検出する第3検出手段と、第1位置と第3位置とに基づいて駆動側リニアモータの制御を行う駆動側制御手段と、第2位置に基づいてダンパー側リニアモータの制御を行うことでダンパー側リニアモータをダンパーとして機能させるダンパー側制御手段と、を備える。
【選択図】図1
Description
特許文献1に開示の技術では、リニアモータにより駆動するスライダを2つ用意し、この2つのスライダを、ベース上に設置された直線的に延びる軌道レール上に、背中合わせに配置する。そして、これら2つのスライダを、互いに反対方向に軌道レール上で往復移動させることにより、これら2つのスライダの往復移動で発生する加速度による反力を打ち消すようにする。
具体的には、2つのスライダそれぞれに指令を与えることにより、2つのスライダを、軌道レール上を互いに離れる方向に同時に移動させたり、軌道レール上を互いに接近する方向に同時に移動させたりする。これによって、両スライダにそれぞれ発生する反力が打ち消し合うことになるので、両スライダに発生する反力を低減でき、両スライダに発生する反力に起因して発生する騒音や振動が抑制できる。
しかしながら、これらの技術を利用するためには、2つのリニア可動部それぞれに対応した、それぞれ異なる2つの指令を与え続ける必要があった。
本実施形態は、リニアモータを2段(以下、上段を「リニア軸」と呼ぶ。また、下段を「ダンパー軸」と呼ぶ。)に重ねることで、リニア軸で発生した力をダンパー軸で吸収する。これにより、各リニアモータの往復運動により発生する反力を、リニアモータを設置した機械ベースに伝達しないようにする。また、特にリニア軸の高周波揺動において高速化により高周波運動となる場合の、高加速による機械ベースの振動を低減する。
結果、本実施形態は、ダンパー軸に同期指令を与えることなく、リニア軸駆動時の反力を機械ベースに与えないようになることから、機械振動を抑制することが可能となる。すなわち、本実施形態は、[発明が解決しようとする課題]の欄で述べた「複雑な同期指令による制御を要することなく、機械の動作に伴って発生する振動を抑制する」という課題を解決することが可能となる。
以上が本実施形態の概略である。
図1に示すように本実施形態は、ダンパー軸として、機械ベース400の上に設置されたリニアモータである、ダンパー固定部230と、ダンパー固定部230に設けられたリニアガイドに沿ってX軸方向に往復運動を行うダンパー可動部220を備える。また、リニア軸として、ダンパー可動部220に設置されたリニアモータである、リニア固定部130と、リニア固定部130に設けられたリニアガイドに沿ってX軸方向に往復運動を行うリニア可動部120を備える。すなわち、本実施形態は、リニア軸となるリニアモータと、ダンパー軸となるリニアモータを二段重ねた構成をとる。
かかるリニア側制御部110の制御を行うためには、リニア側制御部110に、機械ベース400に対するリニア可動部120の現在位置と、ダンパー可動部220に対するリニア可動部120の現在位置とを通知する必要がある。
これにより、上位制御装置111が与えたリニア側位置指令に応じた位置及び速度でリニア可動部120が移動することになり、工作物をユーザ等の設定に基づいた所望の形状に加工することが可能となる。
かかるダンパー側制御部210の制御を行うためには、ダンパー側制御部210に、機械ベース400に対するダンパー可動部220の現在位置を通知する必要がある。
ダンパー側ゼロ値出力部211は、ダンパー側位置指令を出力する。しかしながら、形式上ダンパー側位置指令とは呼ぶものの、本実施形態では、状況に応じたダンパー側位置指令を生成して出力するのではなく、ダンパー側位置指令として常にゼロを出力する。つまり、本実施形態では、実質的にダンパー側位置指令を生成する必要はない。すなわち、リニア軸とダンパー軸とを同期させるための同期指令を生成する必要はない。これは、本実施形態の説明の冒頭に述べた通りである。なお、図中ではダンパー側ゼロ値出力部211に対応する機能ブロックに、出力に対応するゼロを記載する。
ここで、図2のリニア側位置制御部11、リニア側速度制御部13及びリニア側微分回路19は、図1のリニア側位置速度部112に相当する部分である。また、図2のリニア側電流制御部15及びリニア側電流増幅器16は、図1のリニア側電流駆動部113に相当する部分である。
また、同様に、図2ダンパー側位置制御部21、ダンパー側速度制御部23及びダンパー側微分回路29は、図1のダンパー側位置速度部212に相当する部分である。また、図2のダンパー側電流制御部25及びダンパー側電流増幅器26は、図1のダンパー側電流駆動部213に相当する部分である。
リニア側位置制御部11よりも後段の各部は、このリニア側位置指令を読みとり、所定周期毎に、位置制御、速度制御、及び電流制御を行い、リニア固定部130の磁極を切り替えてリニア可動部120を駆動する。
また、この減算器10は、減算後の値をリニア側位置制御部11に対して出力する。ここで、かかる減算後の値は、リニア側位置偏差量となる。
そして、リニア側電流制御部15は、生成したリニア側電圧指令をリニア側電流増幅器16に対して出力する。
ここで、推力F1は、推力定数Ktと、リニア側駆動電流の値iを乗算することにより算出できる。この推力定数Ktは、単位電流あたりで発生する推力の大きさであり、リニアモータの種類により定まる。
推力F1は、分岐してリニア固定部130とダンパー側機構部28に出力される。なお、ここで推力F1がダンパー側機構部28に出力されるというのは、推力F1がダンパー軸に対して反力として作用することを表す。
また、推力F1の分岐点とリニア固定部130の間には減算器17が配置される。そして、この減算器17により、推力F1から、外乱FLoadが減算される。また、この減算器17は、この減算後の値をリニア固定部130に出力する。そして、リニア固定部130は、この減算後の推力によりリニア可動部120を動作させる。
現実には、リニア側駆動電流は直接リニア固定部130に供給され、これによりリニア可動部120が推力F1で駆動しようとすると、外乱FLoadにより、この推力F1が物理的に影響を受け、この影響を受けた後の推力にてリニア可動部120が駆動をする。ここで、外乱FLoadは、リニア可動部120の駆動に伴って駆動する工具と、工作物とが接触することにより、リニア可動部120に作用する反力である。
つまり、リニア側駆動電流そのものが直接推力F1となり、そこから実在の減算器にて外乱FLoadが減算されてからリニア固定部130に入力されるわけではない。しかしながら、図2では説明を容易とするため、概念的に分岐点を設けて推力F1ダンパー軸に対して反力として作用することや、概念的に減算器を設けて外乱FLoadの影響を受けることを図示するものとする。
すると、第3検出器330が、駆動後の新たなリニア側磁極位置を検出する。検出した新たなリニア側磁極位置は、リニア側速度制御部13とリニア側電流制御部15の間に配置された減算器14に対して出力される。
また、減算器10の前段においてリニア側位置フィードバックは分岐され、リニア側微分回路19にも出力される。
まず、ダンパー側ゼロ値出力部211は、ダンパー側位置指令を出力する。図1を参照して上述したが、このダンパー側位置指令は、常にゼロである。つまり、ダンパー側制御部210では、実質的に位置指令を与えずに、ダンパー可動部220が位置指令に応じた能動的な移動をせず、所定の位置に留まるようにする。これにより、リニア側の移動に伴う応力によりダンパー軸が動いた場合に、ダンパー軸は元の位置に戻ろうとすることとなる。
また、この減算器20は、減算後の値をダンパー側位置制御部21に対して出力する。ここで、かかる減算後の値は、ダンパー側位置偏差量となる。
そして、ダンパー側電流制御部25は、生成したダンパー側電圧指令をダンパー側電流増幅器26に対して出力する。
ここで、推力F2は、推力F1と同様に推力定数Ktと、ダンパー側駆動電流の値iを乗算することにより算出できる。推力F2は、ダンパー固定部230に出力される。
ダンパー側電流増幅器26とダンパー固定部230の間には減算器27が配置される。そして、この減算器27により、推力F2から、推力F1が減算される。これは、推力F1がダンパー軸に対して反力として作用することを表す。
また、この減算器27は、この減算後の値をダンパー固定部230に出力する。そして、ダンパー固定部230は、この減算後の推力によりダンパー可動部220を動作させる。
現実には、ダンパー側駆動電流は直接ダンパー固定部230に供給され、これによりダンパー可動部220が推力F2で駆動しようとすると、
推力F1で動作するリニア軸により、この推力F2が物理的に影響を受け、この影響を受けた後の推力にてダンパー可動部220が駆動をする。
つまり、ダンパー側駆動電流そのものが直接推力F2となり、そこから実在の減算器にて推力F1が減算されてからダンパー固定部230に入力されるわけではない。しかしながら、図2では説明を容易とするため、概念的に減算器を設けて推力F1の影響を受けることを図示するものとする。
すると、第2検出器320が、機械ベース400に対するダンパー可動部220の駆動後の新たな現在位置を検出する。検出した新たな現在位置は、ダンパー側ゼロ値出力部211とダンパー側位置制御部21の間に配置された減算器20にダンパー側位置フィードバックとして出力される。これにより、位置ループ制御が実現される。
ダンパー側微分回路29は、このダンパー側位置フィードバックを微分することにより、新たなダンパー側速度フィードバックを生成する。そして、ダンパー側微分回路29は生成した新たなダンパー側速度フィードバックを、ダンパー側位置制御部21と、ダンパー側速度制御部23の間に配置される減算器22に出力する。これにより、速度ループ制御が実現される。
具体的には、リニア軸が推力F1により生じる反力に伴う振動が直接機械ベース400に伝達するのではなく、ダンパー軸の推力F2により減算された反力に伴う振動が機械ベース400に伝達することになり、機械ベース400に伝達する振動を抑制することができる、という効果を奏する。更に、この場合に、位置指令としてはゼロを与え続ければよいため、複雑な同期指令を生成して制御をする必要がない、という効果も奏する。
また、複雑な同期指令を生成する必要がないので、リニア軸とダンパー軸とで重さが違うようにした場合に、特許文献2に開示の技術のようにリニア軸とダンパー軸との重量比を考慮して複雑な同期指令を生成しなければならないという問題も生じない。そのため、例えばダンパー軸の重さをリニア軸よりも重くすることにより、リニア軸で発生した力をダンパー軸でより吸収しやすくするようなことも容易に実現することができる。
ダンパー軸の特性をこのような周波数特性とすることにより、ダンパー軸が高周波揺動に対しては自由運動となる。そのため、例えば100ヘルツ等の高周波で揺動するダンパー軸とは反対側の方向に動くことになるので、リニア軸で発生した力をダンパー軸でより吸収しやすくなる。
一方で、低周波に対しては高いゲインで応答するため同じ位置に位置決めができるようになる。そのため、ダンパー可動部220が特定の位置に留まるようになる。また、低周波である場合には、ダンパー軸は低加速で移動するので振動は微小である。そのため、これに対してダンパー軸が高いゲインで応答して特定の位置に留まるようにしても機械ベース400に振動が生じるような問題は起きない。
また、他にも例えば速度ループ制御における積分ゲインや比例ゲインも調整するようにしてもよい。
つまり、以上をまとめると、ダンパー側制御部210が高いゲインで応答する周波数帯域(本発明の「ダンパー側制御手段の応答帯域」に相当。)は、リニア側制御部110に与えられる指令周波数の帯域(本発明の「駆動側制御手段に与えられる指令周波数の帯域」に相当。)もしくは、リニア側制御部110が高いゲインで応答する周波数帯域(本発明の「駆動側制御手段の応答帯域」に相当。)よりも低い応答帯域にするとよい、ということになる。
図3には、リニア固定部500、リニア可動部510、バイト511、ピストン600及び回転機構700を図示する。リニア固定部500は、リニア固定部130に相当する。リニア可動部510は、リニア可動部120に相当する。リニア可動部510には、工作物であるピストン600を加工するためのバイト511が取り付けられている。リニア可動部510は、X軸方向に高速揺動しこれに伴いバイト511もX軸方向に高速揺動する。一方で、ピストン600は回転機構700に取り付けられる。そして、回転機構700により、X軸と直交して高さ方向に伸びる軸であるZ軸方向に上下移動する。また、Z軸を軸として一定の速度で高速に回転する。このようにリニア可動部510によるX軸方向の高速揺動と、Z軸方向に上下移動と、Z軸を軸とした高速回転を、数値制御装置等の制御により行うことにより、ピストン600に対する加工を行うことができる。
しかしながら、リニア可動部510をX軸方向に高速揺動する場合には、振動が発生し、機械ベースにこの振動が伝達してしまう。そこで、上述したようなダンパー軸を設ける本実施形態の構成を図3及び図4の構成に適用することにより、機械ベースへの振動の伝達を抑制することができる。
なお、このようなリニア可動部510をX軸方向に高速揺動する用途としては、他にも例えば筒状のパイプの内径のねじ切り加工等が挙げられる。
しかしながら、上述の実施形態を変形することにより、第3リニアスケール123と第3検出器330を省略することができる。この構成について図5を参照して説明をする。
そして、減算器30は、第1検出器310の出力から第2検出器320の出力を減算することにより、両者の差分を算出し、この差分を第3検出器330の出力に代えてリニア側電流制御部15に出力する。
つまり、本実施形態では、第1検出器310が検出した「機械ベース400に対するリニア可動部120の現在位置」と、第2検出器320が検出した「機械ベース400に対するダンパー可動部220の現在位置」の差分を、第3検出器330が検出する「ダンパー可動部220に対するリニア可動部120の現在位置(すなわち、リニア側磁極位置)」として取り扱う。
プログラムは、様々なタイプのコンピュータ可読媒体(computer readable medium)を用いて格納され、コンピュータに供給することができる。コンピュータ可読媒体は、様々なタイプの実体のある記録媒体(tangible storage medium)を含む。コンピュータ可読媒体の例は、磁気記録媒体(例えば、フレキシブルディスク、磁気テープ、ハードディスクドライブ)、光磁気記録媒体(例えば、光磁気ディスク)、CD−ROM(Read Only Memory)、CD−R、CD−R/W、半導体メモリ(例えば、マスクROM、PROM(Programmable ROM)、EPROM(Erasable PROM)、フラッシュROM、RAM(random access memory))を含む。
11 リニア側位置制御部
13 リニア側速度制御部
15 リニア側電流制御部
16 リニア側電流増幅器
18 リニア側機構部
19 リニア側微分回路
21 ダンパー側位置制御部
23 ダンパー側速度制御部
25 ダンパー側電流制御部
26 ダンパー側電流増幅器
28 ダンパー側機構部
29 ダンパー側微分回路
110 リニア側制御部
111 上位制御装置
112 リニア側位置速度部
113 リニア側電流駆動部
121 第1リニアスケール
123 第3リニアスケール
120 リニア可動部
130 リニア固定部
210 ダンパー側制御部
211 ダンパー側ゼロ値出力部
212 ダンパー側位置速度部
213 ダンパー側電流駆動部
222 第2ダンパースケール
220 ダンパー可動部
230 ダンパー固定部
310 第1検出器
320 第2検出器
330 第3検出器
400 機械ベース
500 リニア固定部
510 リニア可動部
511 バイト
600 ピストン
700 回転機構
Claims (8)
- 機械ベースに固定された固定部と、可動部とを有するダンパー側リニアモータと、
前記ダンパー側リニアモータの可動部に固定された固定部と、可動部とを有する駆動側リニアモータと、
前記機械ベースに対する前記駆動側リニアモータの可動部の位置である第1位置を検出する第1検出手段と、
前記機械ベースに対する前記ダンパー側リニアモータの可動部の位置である第2位置を検出する第2検出手段と、
前記ダンパー側リニアモータの可動部に対する前記駆動側リニアモータの可動部の位置である第3位置を検出する第3検出手段と、
前記第1検出手段が検出した第1位置と、前記第3検出手段が検出した第3位置とに基づいて前記駆動側リニアモータの制御を行う駆動側制御手段と、
前記第2検出手段が検出した第2位置に基づいて前記ダンパー側リニアモータの制御を行うことにより、前記ダンパー側リニアモータをダンパーとして機能させるダンパー側制御手段と、
を備える機械振動抑制機能を備えた駆動装置。 - 前記ダンパー側制御手段の応答帯域は、前記駆動側制御手段に与えられる指令周波数の帯域、もしくは前記駆動側制御手段の応答帯域と比較して、低い応答帯域である請求項1に記載の機械振動抑制機能を備えた駆動装置。
- 前記ダンパー側制御手段の応答帯域は、前記駆動側制御手段に与えられる指令周波数の帯域、もしくは前記駆動側制御手段の応答帯域に応じて調整が可能である請求項1又は2に記載の機械振動抑制機能を備えた駆動装置。
- 前記調整は、前記ダンパー側制御手段が前記ダンパー側リニアモータの制御を行うために用いるパラメータを調整することにより行う請求項3に記載の機械振動抑制機能を備えた駆動装置。
- 前記第3検出手段は、前記第1検出手段が検出した第1位置と、前記第2検出手段が検出した第2位置との差分を算出し、該算出した差分から前記第3位置を検出する請求項1から4いずれかに記載の機械振動抑制機能を備えた駆動装置。
- 前記駆動側リニアモータの重量よりも、前記ダンパー側リニアモータの重量が重い請求項1から5いずれかに記載の機械振動抑制機能を備えた駆動装置。
- 前記駆動側リニアモータを駆動させることにより、当該機械振動抑制機能を備えた駆動装置を工作機械として機能させる請求項1から6いずれかに記載の機械振動抑制機能を備えた駆動装置。
- 請求項1から7いずれかに記載の機械振動抑制機能を備えた駆動装置と、上位制御装置とを備えた機械振動抑制機能を備えたシステムであって、
前記駆動側制御手段と、前記ダンパー側制御手段は、それぞれがフィードバック制御を行う制御手段であり、
前記上位制御装置は、前記駆動側制御手段に位置指令を与えるが、前記ダンパー側制御手段には位置指令を与えない機械振動抑制機能を備えたシステム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016186773A JP6423839B2 (ja) | 2016-09-26 | 2016-09-26 | 機械振動抑制機能を備えた駆動装置、及び機械振動抑制機能を備えたシステム |
DE102017216616.9A DE102017216616B4 (de) | 2016-09-26 | 2017-09-20 | Antriebsvorrichtung mit einer Funktion zum Unterdrücken von mechanischen Vibrationen und System mit einer Funktion zum Unterdrücken von mechanischen Vibrationen |
US15/711,466 US10166642B2 (en) | 2016-09-26 | 2017-09-21 | Drive apparatus comprising mechanical vibration suppression function, and system comprising mechanical vibration suppression function |
CN201710858491.7A CN107866691B (zh) | 2016-09-26 | 2017-09-21 | 具备机械振动抑制功能的驱动装置以及系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016186773A JP6423839B2 (ja) | 2016-09-26 | 2016-09-26 | 機械振動抑制機能を備えた駆動装置、及び機械振動抑制機能を備えたシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018057067A true JP2018057067A (ja) | 2018-04-05 |
JP6423839B2 JP6423839B2 (ja) | 2018-11-14 |
Family
ID=61564381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016186773A Active JP6423839B2 (ja) | 2016-09-26 | 2016-09-26 | 機械振動抑制機能を備えた駆動装置、及び機械振動抑制機能を備えたシステム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10166642B2 (ja) |
JP (1) | JP6423839B2 (ja) |
CN (1) | CN107866691B (ja) |
DE (1) | DE102017216616B4 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3544279A1 (en) | 2018-03-23 | 2019-09-25 | Kyocera Document Solutions Inc. | Image processing apparatus |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05234865A (ja) * | 1992-02-21 | 1993-09-10 | Canon Inc | 複合位置決め装置 |
US5504407A (en) * | 1992-02-21 | 1996-04-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage driving system |
JP2001195130A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Canon Inc | 位置決め装置、半導体露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2001345244A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Canon Inc | ステージ制御方法、ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2003045939A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Canon Inc | 移動ステージ装置 |
JP2003195945A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-11 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 直動アクチュエータ |
WO2008066035A1 (fr) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Mitsubishi Electric Corporation | Système de commande d'isolation sismique |
JP2016045753A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | 株式会社ソディック | 加工装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001093798A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-06 | Canon Inc | ステージ装置 |
JP4144980B2 (ja) * | 1999-09-22 | 2008-09-03 | オリンパス株式会社 | ステージ装置 |
JP4638980B2 (ja) * | 2000-11-24 | 2011-02-23 | 西部電機株式会社 | スライダを背中合わせに備えた複列の加工機 |
US20040231374A1 (en) * | 2003-05-20 | 2004-11-25 | Chang Jae Won | Damper for washing machine |
JP2005153047A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Fanuc Ltd | ロボットの関節装置。 |
JP5177674B2 (ja) * | 2006-02-21 | 2013-04-03 | 株式会社ニコン | 測定装置及び方法、パターン形成装置及び方法、並びにデバイス製造方法 |
TW200830057A (en) * | 2006-09-08 | 2008-07-16 | Nikon Corp | Mask, exposure apparatus and device manufacturing method |
US8035805B2 (en) * | 2007-10-17 | 2011-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus and exposure apparatus, and device fabrication method |
JP5671306B2 (ja) * | 2010-11-10 | 2015-02-18 | カヤバ工業株式会社 | サスペンション装置 |
CN104678711B (zh) * | 2013-11-26 | 2017-06-27 | 上海微电子装备有限公司 | 运动台反力抵消装置 |
JP6046182B2 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-12-14 | ファナック株式会社 | 振動を抑制する機能を備えたモータ制御装置 |
JP6602044B2 (ja) * | 2015-05-08 | 2019-11-06 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置、制御装置及び医用システム |
-
2016
- 2016-09-26 JP JP2016186773A patent/JP6423839B2/ja active Active
-
2017
- 2017-09-20 DE DE102017216616.9A patent/DE102017216616B4/de active Active
- 2017-09-21 US US15/711,466 patent/US10166642B2/en active Active
- 2017-09-21 CN CN201710858491.7A patent/CN107866691B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05234865A (ja) * | 1992-02-21 | 1993-09-10 | Canon Inc | 複合位置決め装置 |
US5504407A (en) * | 1992-02-21 | 1996-04-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage driving system |
JP2001195130A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Canon Inc | 位置決め装置、半導体露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2001345244A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Canon Inc | ステージ制御方法、ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2003045939A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Canon Inc | 移動ステージ装置 |
JP2003195945A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-11 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 直動アクチュエータ |
WO2008066035A1 (fr) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Mitsubishi Electric Corporation | Système de commande d'isolation sismique |
JP2016045753A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | 株式会社ソディック | 加工装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3544279A1 (en) | 2018-03-23 | 2019-09-25 | Kyocera Document Solutions Inc. | Image processing apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102017216616B4 (de) | 2020-03-26 |
US20180085872A1 (en) | 2018-03-29 |
DE102017216616A1 (de) | 2018-03-29 |
CN107866691B (zh) | 2019-06-25 |
US10166642B2 (en) | 2019-01-01 |
JP6423839B2 (ja) | 2018-11-14 |
CN107866691A (zh) | 2018-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10353374B2 (en) | Servo controller, control method, and computer-readable recording medium for machine tool used for oscillating cutting | |
JP5566469B2 (ja) | 数値制御方法 | |
KR20070096821A (ko) | 서보모터의 제어방법 | |
JP5875714B2 (ja) | サーボ制御装置およびサーボ制御方法 | |
JP2009110492A (ja) | 位置制御装置 | |
Dong et al. | An experimental investigation of the effects of the compliant joint method on feedback compensation of pre-sliding/pre-rolling friction | |
JPWO2013054662A1 (ja) | サーボ制御装置 | |
JP2004507827A5 (ja) | ||
JP6423839B2 (ja) | 機械振動抑制機能を備えた駆動装置、及び機械振動抑制機能を備えたシステム | |
US20160370786A1 (en) | Trajectory measuring device, numerical control device, and trajectory measuring method | |
JP2018033205A (ja) | モータ制御装置、モータ制御方法及びモータ制御用プログラム | |
US10579044B2 (en) | Computer readable information recording medium, evaluation method, and control device | |
JP6850700B2 (ja) | 位置制御装置 | |
JP2018118362A (ja) | 工作機械および振動抑制方法 | |
JP2007075915A (ja) | 切削加工方法および切削加工装置 | |
JP2012137990A (ja) | 数値制御装置、移動制御方法、移動制御プログラム及び記憶媒体 | |
JP2008087146A (ja) | 加工装置 | |
JP2017033587A (ja) | 送り駆動系及び送り駆動系の設計方法 | |
JP5642104B2 (ja) | レンズ駆動システムおよびレーザ加工装置 | |
JP4880763B2 (ja) | モータ制御方法及び装置 | |
JP2003208230A (ja) | 機械の制振制御方法,装置および制振制御型機械 | |
CN107077127B (zh) | 进给轴控制方法及数值控制机床 | |
JP7497968B2 (ja) | 数値制御装置、工作機械システム及び数値制御方法 | |
JP2023021555A (ja) | 制御装置、制御方法およびプログラム | |
Sencer et al. | Smooth polynomial interpolation for point-to-point trajectories with vibration avoidance |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180817 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180821 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180925 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6423839 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |