JP2018049002A - 試料ホルダーおよびｘ線分析方法 - Google Patents

Abstract

【課題】セパレータを挟んで正極と負極を積層した電池要素を密封したラミネートセルのｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析に用いられる試料ホルダーにおいて、Ｘ線の入射光軸が試料台に対して傾きをもつ場合でも、Ｓ／Ｎ比が良好な分析データが得られるようにする。【解決手段】ラミネートセルを両側から挟んで支持する第１支持部材および第２支持部材と、これらの支持部材を押さえる押さえ手段と、を備える試料ホルダーである。第１支持部材は、試料ホルダーの取付基準面が形成されたベース部と、取付基準面に対して所定の角度で傾いてベース部から立ち上がる立ち上がり部とを有し、立ち上がり部の一方の主面が支持面で、この支持面内にＸ線透過用孔が形成されており、第２支持部材は、立ち上がり部と対向する向きで第１支持部材に取り付けられるとともに、立ち上がり部と対向する側の主面がラミネートセルを支持するための支持面で、この支持面内にＸ線透過用孔が形成されている。【選択図】図３

Description

本発明は、充放電過程における二次電池の電子状態や構造変化などを測定するために用いて好適なＸ線分析用の試料ホルダー、およびＸ線分析方法に関する。

二次電池のなかでも、特にリチウムイオン二次電池は、エネルギー密度が高く、作動電圧が高い電池として知られている。このため、リチウムイオン二次電池は、携帯電話やノート型パーソナルコンピュータといった携帯型の電子機器のほか、ハイブリッド自動車や電気自動車の電源などに広く用いられている。

一般に、リチウムイオン二次電池は、正極活物質を主要構成成分とする正極と、負極活物質を主要構成成分とする負極と、正極と負極を分離するセパレータと、非水系電解質などから構成されている。これらの構成材料は、金属缶やアルミラミネートフィルムなどの外装材で封止されている。外装材に金属缶を用いたものはハードパック型と呼ばれ、アルミラミネートフィルムを用いたものはソフトパック型またはラミネートセルとも呼ばれている。

電池材料の開発においては、電池材料を評価するためにＸ線分析が利用されている。Ｘ線分析、特にＸ線回折（Ｘ−ｒａｙ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ：以下、ＸＲＤ）測定は、結晶構造、構成元素それぞれの価数や局所構造（配位数、原子間距離）といった情報を与える分析手法であり、電池材料の評価に広く利用されている。

電池材料のＸ線分析は、ｅｘ−ｓｉｔｕＸ線分析とｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析に大別される。ｅｘ−ｓｉｔｕＸ線分析は、充放電を行った電池セルを分解し、正極などの構成材料を取り出してＸ線分析を行うものである。ｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析は、電池を分解せずに充放電を行ったままＸ線分析を行うものである。リチウムイオン二次電池などの非水系電解質を用いる二次電池の場合、ｅｘ−ｓｉｔｕＸ線分析では、電池の外装材の中から正極などの構成材料を取り出して大気中に暴露すると、正極中の正極活物質の状態が変化してしまう場合がある。このため近年では、実際の電池反応に近い状態を評価できるｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析が主流になりつつある。

ｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析に関しては、たとえば特許文献１に記載されているように、電池要素を含むラミネートセルを一対の支持部材により両側から挟んで支持し、かつ、一対の支持部材が離間しないように一対の支持部材を押さえ手段で押さえて、ラミネートセルのＸ線分析を行う技術が知られている。

特開２０１５−１１７９７３号公報

上記特許文献１に記載の技術では、セパレータを挟んで正極と負極を積層した電池要素を密封したラミネートセルのｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析において、ラミネートセル内に充放電の繰り返しによってガスが発生する場合でも、ラミネートセルの膨らみを抑制することができる。したがって、ラミネートセル内で正極と負極の電気的な接続状態を良好に維持し、ラミネートセルの充放電の状態を正しく反映した分析データを得ることができる。
ただし、上記特許文献１に記載の技術には、下記のとおり、更に改善すべき点があることを本発明者は見出した。
特許文献１に記載の技術では、一対の支持部材を備える試料ホルダーをＸ線分析装置の試料台に取り付けることにより、試料台の上にラミネートセルを垂直に立てて支持するようになっている。このため、たとえばＸ線分析装置の仕様等により、試料台に向かうＸ線の光軸（以下、「入射光軸」という。）が、試料台に対して斜めに傾いて設定されている場合は、試料台と平行に設定されている場合に比べて、ラミネートセルに入射するＸ線の侵入深さが深くなり、Ｘ線のエネルギー損失の割合が多くなってしまう。その結果、回折ピークの強度が低下し、回折Ｘ線のＳ／Ｎ比（signal-noise ratio）が悪化するおそれがある。

本発明の目的は、セパレータを挟んで正極と負極を積層した電池要素を密封したラミネートセルのｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析に用いられる試料ホルダーにおいて、ラミネートセル内に充放電の繰り返しによってガスが発生する場合でも、ラミネートセルの膨らみを抑制して正極と負極の電気的な接続状態を良好に維持し、かつ、Ｘ線の入射光軸が試料台に対して傾きをもつ場合でも、Ｓ／Ｎ比が良好な分析データを得ることができる試料ホルダー、およびＸ線分析方法を提供することにある。

（第１の態様）
本発明の第１の態様は、
セパレータを間に挟んで正極と負極を積層してなる電池要素を、電解液とともにラミネートフィルムにより密封した薄板状のラミネートセルを試料とし、前記ラミネートセルにＸ線を照射して分析データを得るｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析に用いられる試料ホルダーであって、
前記ラミネートセルを両側から挟んで支持する第１支持部材および第２支持部材と、
前記第１支持部材および前記第２支持部材を互いに離間しないように押さえる押さえ手段と、を備え、
前記第１支持部材は、前記試料ホルダーの取付基準面が形成されたベース部と、前記取付基準面に対して所定の角度で傾いて前記ベース部から立ち上がる立ち上がり部とを有し、前記立ち上がり部の一方の主面が前記ラミネートセルを支持するための支持面になっていて、この支持面内にＸ線透過用孔が形成されており、
前記第２支持部材は、前記立ち上がり部と対向する向きで前記第１支持部材に取り付けられるとともに、前記立ち上がり部と対向する側の主面が前記ラミネートセルを支持するための支持面になっていて、この支持面内にＸ線透過用孔が形成されている
ことを特徴とする試料ホルダーである。
（第２の態様）
本発明の第２の態様は、
前記立ち上がり部の支持面内に形成されたＸ線透過用孔は、前記支持面から遠ざかるにつれて孔の大きさが拡大するように、前記ベース部から遠い側の孔内面が前記支持面に対してテーパー状に傾いて形成されている
ことを特徴とする上記第１の態様に記載の試料ホルダーである。
（第３の態様）
本発明の第３の態様は、
前記取付基準面に対する前記立ち上がり部の傾き角度を調整可能な傾き調整機構を備える
ことを特徴とする上記第１または第２の態様に記載の試料ホルダーである。
（第４の態様）
本発明の第４の態様は、
前記傾き調整機構は、前記ベース部上で前記立ち上がり部の傾き角度が変化する方向に前記立ち上がり部を回動可能に支持する回動支持部と、前記立ち上がり部の傾き角度が所定の角度となるように前記立ち上がり部の姿勢を保持する姿勢保持部と、を備える
ことを特徴とする上記第３の態様に記載の試料ホルダーである。
（第５の態様）
本発明の第５の態様は、
前記傾き調整機構は、前記立ち上がり部の傾き角度を目視確認するための目印を有する ことを特徴とする上記第３または第４の態様に記載の試料ホルダーである。
（第６の態様）
本発明の第６の態様は、
セパレータを間に挟んで正極と負極を積層してなる電池要素を、電解液とともにラミネートフィルムにより密封した薄板状のラミネートセルを試料とし、前記ラミネートセルにＸ線を照射して分析データを得るｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析に際して、
前記ラミネートセルを第１支持部材および第２支持部材により両側から挟んで支持するとともに、前記第１支持部材および前記第２支持部材を互いに離間しないように押さえ、かつ、前記Ｘ線の入射光軸の傾き角度に合わせて前記ラミネートセルを所定の角度で傾けて支持することにより、前記ラミネートセルの主面にＸ線を垂直に入射させる
ことを特徴とするＸ線分析方法である。

本発明によれば、セパレータを挟んで正極と負極を積層した電池要素を密封したラミネートセルのｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析に用いられる試料ホルダーにおいて、ラミネートセル内に充放電の繰り返しによってガスが発生する場合でも、ラミネートセルの膨らみを抑制して正極と負極の電気的な接続状態を良好に維持し、かつ、Ｘ線の入射光軸が試料台に対して傾きをもつ場合でも、Ｓ／Ｎ比が良好な分析データを得ることができる。

Ｘ線分析装置の一例として透過型のＸ線回折測定装置の構成例を示す概略図である。 Ｘ線分析の対象試料の一例となるラミネートセルの構成を示す概略断面図である。 本発明の実施形態に係る試料ホルダーの一構成例を説明する側断面図である。 第１支持部材を正面から見た図である。 第１支持部材を正面側から見た斜視図である。 第１支持部材を背面側から見た斜視図である。 第２支持部材を正面から見た図である。 第２支持部材を正面側から見た斜視図である。 押さえ手段の具体的な構成例を説明する図（その１）である。 押さえ手段の具体的な構成例を説明する図（その２）である。 本発明の他の実施形態に係る試料ホルダーの構成例を説明する部分側断面図である。 試料ホルダーを正面から見たときの傾き調整機構の構成を示す部分断面図である。 傾き調整機構に目印を設けた態様を説明する図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
本発明の実施形態においては、次の順序で説明を行う。
１．Ｘ線分析装置の構成
２．ラミネートセルの構成
３．試料ホルダーの構成
４．Ｘ線分析方法
５．実施形態の効果
６．他の実施形態
７．変形例等

＜１．Ｘ線分析装置の構成＞
図１はＸ線分析装置の一例として透過型のＸ線回折測定装置の構成例を示す概略図である。
Ｘ線回折測定装置は、Ｘ線源１と、モノクロメータ２と、試料台３と、Ｘ線検出器４とを備える。Ｘ線源１は、Ｘ線を出射するものである。Ｘ線源１としては、たとえば銅のターゲットに電子を衝突させてＸ線を発生させる銅管球を用いることができる。モノクロメータ２は、Ｘ線源１が発生するＸ線から所定の波長成分を除去するものである。モノクロメータ２としては、たとえばヨハンソン型モノクロメータを用いることができる。Ｘ線源１として銅管球を用いた場合は、モノクロメータ２によってＣｕｋα２線を除去（分離）することができる。試料台３は、Ｘ線分析の対象となる試料を保持する試料ホルダーを取り付ける部分となる。試料ホルダーは試料台３の上面に取り付けられる。試料台３の上面は、平面視四角形に形成されるとともに、水平に配置されている。本実施形態においては、後述するラミネートセルを試料とする。Ｘ線検出器４は、試料で回折したＸ線の強度を検出するものである。図中の「２θ」は、Ｘ線の回折角を示している。以降の説明では、試料で回折したＸ線を「回折Ｘ線」ともいう。

上記構成からなるＸ線回折測定装置においては、試料台３に試料ホルダーを用いた試料をセットした後、Ｘ線源１からＸ線を出射する。Ｘ線源１から出射されたＸ線はモノクロメータ２を経由して試料に入射する。その際、Ｘ線検出器４は図中矢印方向に一定の間隔で移動（掃引）しながらＸ線の強度を検出する。これにより、試料のＸ線回折プロファイルを求めることができる。Ｘ線回折プロファイルは、縦軸にＸ線の強度、横軸にＸ線の回折角（２θ）をとったグラブで表されるものである。

このようなＸ線回折測定において、Ｘ線源１が出射するＸ線には、波長の近いＣｕｋα１線とＣｕｋα２線が含まれる。このため、Ｘ線源１で発生させたＸ線を、たとえば結晶性の高い試料に入射してＸ線の強度をＸ線検出器４で検出すると、回折Ｘ線プロファイルにおいて、Ｃｕｋα１線の回折ピークとＣｕｋα２線の回折ピークが回折角の近似した位置に現れてしまう。これに対して、モノクロメータ２はＸ線からＣｕｋα２線を除去して試料に入射させる。このため、Ｘ線検出器４の検出結果に基づくＸ線回折プロファイルには、Ｃｕｋα２線の回折ピークを除いたＣｕｋα１線の回折ピークのみが現れる。したがって、Ｃｕｋα１線の回折ピークとＣｕｋα２線の回折ピークの重なりを避けることができる。

ただし、モノクロメータ２でＣｕｋα２線を除去するには、Ｘ線源１からモノクロメータ２に向けてＸ線を斜めに入射する必要があり、これによってモノクロメータ２から試料台３に向かうＸ線も斜めに進行する。このため、Ｘ線源１で発生させたＸ線をモノクロメータ２を経由して試料に入射させようとすると、モノクロメータ２から試料台３に向かうＸ線の入射光軸が斜めに傾いてしまう。ここで記述する「斜め」とは、モノクロメータ２から試料台３に向かうＸ線の入射光軸が、水平に配置された試料台３の上面に対して傾きをもつことをいう。本実施形態に係る試料ホルダーは、Ｘ線の入射光軸の傾きに応じてラミネートセルを適切な角度で支持し得る構成になっている。試料ホルダーの具体的な構成は後で詳しく述べる。

＜２．ラミネートセルの構成＞
図２はＸ線分析の対象試料の一例となるラミネートセルの構成を示す概略断面図である。図２ではラミネートセルの幅方向（図の奥行き方向）の中心部を縦方向に断面した状態を示している。
図示したラミネートセル１０は、正極１１と、負極１２と、セパレータ１３とを有する電池要素１４を備える。正極１１は、ラミネートセル１０の正面方向（図の左右方向）から見て矩形のシート状に形成されている。正極１１の片面には正極活物質層１５が形成されている。正極活物質層１５は、たとえば、ニッケル酸リチウムと、導電助剤と、結着剤とを用いて、塗膜形成されている。負極１２は、正極１１と同様に、ラミネートセル１０の正面方向から見て矩形のシート状に形成されている。負極１２の片面には負極活物質層１６が形成されている。負極活物質層１６は、たとえば、グラファイトと、結着剤とを用いて、塗膜形成されている。セパレータ１３は、上記正極１１および負極１２と同様に、ラミネートセル１０の正面方向から見て矩形のシート状に形成されている。電池要素１４は、セパレータ１３を間に挟んで正極１１と負極１２を積層した構造になっている。電池要素１４の積層構造においては、正極１１の正極活物質層１５と負極１２の負極活物質層１６とが、セパレータ１３を介して対向する状態に配置されている。

また、電池要素１４は、図示しない電解液とともにラミネートフィルム１７によって密封されている。ただし、正極１１につながる端子（不図示）と負極１２につながる端子（不図示）は、それぞれ充放電のための端子（不図示）を接続するために、ラミネートフィルム１７の外側に引き出される。ラミネートフィルム１７は、ラミネートセル１０の正面方向から見て矩形の袋状に形成されている。ラミネートフィルム１７の内部には、非水系電解液からなる適量の電解液が注入されている。これにより、ラミネートセル１０は、ラミネートシート型のリチウムイオン二次電池を構成している。また、ラミネートセル１０は、Ｘ線分析を行うにあたって、できるだけ多くのＸ線を透過するように、正極１１、負極１２およびセパレータ１３をそれぞれ単一のシートで構成した薄板状の構造になっている。なお、図２においては、説明の便宜上、ラミネートセル１０の厚みを見かけ上厚く表現しているが、実際の厚みは１ｍｍ程度である。

＜３．試料ホルダーの構成＞
図３は本発明の実施形態に係る試料ホルダーの一構成例を説明する側断面図である。
図示した試料ホルダー２０は、上述したラミネートセル１０を試料としてＸ線分析を行う際に用いられるものである。ここで記述する「Ｘ線分析」とは、ラミネートセル１０にＸ線を入射して分析データを得るｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析をいう。また、「ｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析」とは、リチウムイオン二次電池を構成するラミネートセル１０を分解することなくＸ線分析を行うことをいう。

試料ホルダー２０は、ラミネートセル１０を両側から挟んで支持する第１支持部材２１および第２支持部材２２と、第１支持部材２１および第２支持部材２２が互いに離間しないように第１支持部材２１および第２支持部材２２を押さえる押さえ手段２３と、を備えている。第１支持部材２１および第２支持部材２２は、機械的には高い剛性を有し、電気的には絶縁性を有し、光学的には高い光透過性を有する材料によって構成されている。ここで記述する「高い剛性」とは、第１支持部材２１および第２支持部材２２でラミネートセル１０を挟んで支持した場合に、ラミネートセル１０内でのガスの発生に伴う圧力に屈して変形しない程度の剛性をいう。また、「高い光透過性」とは、第１支持部材２１および第２支持部材２２をそれぞれ厚み方向の一方から他方を透かして見たときに、他方側に存在する物を目視で確認できる程度の光透過性をいう。上記の性質を満足する第１支持部材２１および第２支持部材２２の構成材料としては、好ましくはアクリル樹脂を挙げることができる。なお、図３では押さえ手段２３を抽象的に示し、その具体的な構成はあとで説明する。

（第１支持部材）
図４は第１支持部材を正面から見た図であり、図５は第１支持部材を正面側から見た斜視図であり、図６は第１支持部材を背面側から見た斜視図である。なお、図１における第１支持部材の断面は、図４のＡ−Ａ位置での断面を示している。また、以降の説明では図４の左右方向を第１支持部材２１の幅方向という。

第１支持部材２１は、試料台３に固定されるものであって、ベース部２４と、立ち上がり部２５と、一対の脚部２６と、を有する。ベース部２４、立ち上がり部２５および脚部２６は、一体構造になっている。ベース部２４は、試料台３の上面の平面視形状に対応して平面視四角形（正方形、長方形など）の板状に形成されている。ベース部２４には、第１支持部材２１を試料台３に固定するための固定用孔２７が４つ設けられている。試料台３の上面には、ベース部２４の４つの固定用孔２７に対応して４つのネジ孔（不図示）が設けられている。ベース部２４の一方の主面である、ベース部２４の下面は、試料ホルダー２０の取付基準面２８を形成している。

第１支持部材２１を試料台３に固定する場合は、ベース部２４の取付基準面２８を試料台３の上面に載置する。そして、ベース部２４の４つの固定用孔２７にそれぞれボルト（不図示）を挿入するとともに、挿入したボルトを試料台３のネジ孔に螺合して締め付ける。これにより、試料台３の上面とベース部２４の取付基準面２８とをボルトの締め付け力により密着させ、第１支持部材２１を試料台３に固定することができる。

立ち上がり部２５は、ベース部２４の他方の主面である、ベース部２４の上面から斜めに立ち上がっている。立ち上がり部２５は板状に形成されている。立ち上がり部２５の基端部（下端部）は他の部分よりも厚みが大きくなっている。立ち上がり部２５の一方の主面は、ラミネートセル１０を押さえるための支持面３１になっている。

立ち上がり部２５は、ベース部２４の取付基準面２８に対して所定の角度で傾いており、これと同じ傾斜角で支持面３１も傾いている。取付基準面２８に対して立ち上がり部２５（支持面３１）が傾いているとは、取付基準面２８に対する立ち上がり部２５の傾き角度θｂが、０°超９０°未満、好ましくは１０°以上８０°以下、より好ましくは１５°以上７５°以下、さらに好ましくは２０°以上７０°未満の場合をいう。ここで記述する「所定の角度」は、図１に示すように試料台３の上を斜めに通過しようとするＸ線の入射光軸Ｊに対して立ち上がり部２５の支持面３１が垂直（直角）の向きで配置されるよう、Ｘ線の入射光軸Ｊの傾き角に対応して設定される角度である。たとえば、試料台３の上面に対してＸ線の入射光軸Ｊがθａ＝３０°の傾きを有する場合は、ベース部２４の取付基準面２８を基準とした立ち上がり部２５の傾き角度θｂを６０°に設定する。これにより、Ｘ線の入射光軸Ｊに対して立ち上がり部２５の支持面３１が垂直の向きで配置される。取付基準面２８に対する立ち上がり部２５の傾き角θｂは、立ち上がり部２５の支持面３１で規定される。

なお、本記実施形態においては、試料台３の上を通過するＸ線の傾き角度θａが３０°である場合を想定したが、Ｘ線の傾き角度θａは３０°に限らず、他の角度であってもよい。たとえば、Ｘ線の傾き角度θａが４５°であれば、これに対応して立ち上がり部２５の傾き角度θｂを４５°に設定することにより、ラミネートセル１０に垂直にＸ線を入射させることができる。

立ち上がり部２５にはＸ線透過用孔３２が設けられている。Ｘ線透過用孔３２は、Ｘ線を透過させるために設けられたものである。Ｘ線透過用孔３２は、立ち上がり部２５を厚み方向に貫通するように、支持面３１内に１つ形成されている。Ｘ線透過用孔３２は、正面方向から見て横長の長方形に形成されるとともに、立ち上がり部２５の中央部に形成されている。Ｘ線透過用孔３２は、２つの孔内面３２ａ，３２ｂを有している。２つの孔内面３２ａ，３２ｂは、立ち上がり部２５の幅方向と直交する方向で互いに対向している。孔内面３２ａは、孔内面３２ｂよりもベース部２４から遠い側に配置されている。また、孔内面３２ａは支持面３１に対してテーパー状に傾いて形成され、孔内面３２ｂは支持面３１に対して垂直に形成されている。これにより、Ｘ線透過用孔３２は、支持面３１から遠ざかるにつれて孔の大きさが所定の方向に拡大するように形成されている。ここで記述する「所定の方向」とは、上記図１に示すＸ線の回折角（２θ）の方向をいう。また、孔内面３２ｂに対する孔内面３２ａの傾き角度θｃは、試料で回折したＸ線がＸ線透過用孔３２に干渉しないよう、たとえば６０°に設定されている。傾き角度θｃは、試料となるラミネートセル１０で回折したＸ線の強度をＸ線検出器４で測定する際の測定範囲に応じて適宜設定または変更することが可能である。

立ち上がり部２５には４つの連結用孔３３が設けられている。連結用孔３３は、第１支持部材２１および第２支持部材２２を互いに連結するために設けられたものである。連結用孔３３は、立ち上がり部２５を厚み方向に貫通するように設けられている。また、連結用孔３３は、第１支持部材２１に対する第２支持部材２２の取付位置に対応して、立ち上がり部２５の幅方向の両端部に２つずつ設けられている。

一対の脚部２６は、ベース部２４から立ち上がる立ち上がり部２５を支持するものである。一対の脚部２６は、第１支持部材２１の幅方向の一方と他方に分けて配置されている。一対の脚部２６の間隔は、Ｘ線透過用孔３２を透過したＸ線との干渉を避けるために、Ｘ線透過用孔３２の長手寸法と同じ寸法に設定されている。各々の脚部２６は、ベース部２４の上面から垂直に起立している。また、各々の脚部２６の上端部は立ち上がり部２５の上端部につながっている。これにより、第１支持部材２１を幅方向の一方から見ると、ベース部２４、立ち上がり部２５および脚部２６が、直角三角形に配置されている（図３参照）。

ここで、試料台３の上面とベース部２４の取付基準面２８が、たとえば互いに同一寸法の長方形であって、試料台３上面の中心点から直上に所定の寸法Ｌｈ（図３参照）だけ離れた位置ＰをＸ線が通過するものとすると、第１支持部材２１は上記の位置Ｐを中心（基点）として設計されている。たとえば、立ち上がり部２５の支持面３１においては、上記の位置Ｐを中心にＸ線透過用孔３２が開口するよう、Ｘ線透過用孔３２の位置および寸法が設定されている。また、立ち上がり部２５の支持面３１においては、上記の位置Ｐから各々の連結用孔３３までの距離が等しくなるように、４つの連結用孔３３の位置が設定されている。

（第２支持部材）
図７は第２支持部材を正面から見た図であり、図８は第２支持部材を正面側から見た斜視図である。なお、図１における第２支持部材２２の断面は、図７のＢ−Ｂ位置での断面を示している。

第２支持部材２２は、第１支持部材２１の立ち上がり部２５との間にラミネートセル１０を挟んで支持するものである。第２支持部材２２は、正面視矩形の板状に形成されている。第２支持部材２２の一方の主面は、ラミネートセル１０を押さえるための支持面３６になっている。また、第２支持部材２２にはＸ線透過用孔３７が設けられている。Ｘ線透過用孔３７は、第２支持部材２２を厚み方向に貫通するように、支持面３６内に１つ形成されている。Ｘ線透過用孔３７は、正面方向から見て横長の長方形に形成されるとともに、第２支持部材２２の中央部に形成されている。Ｘ線透過用孔３７の大きさは、第２支持部材２２の２つの主面でそれぞれ同一になっている。

Ｘ線透過用孔３２，３７を横長の長方形に形成した理由は、試料のＸ線分析に用いるＸ線の断面形状に適合させるためである。本実施形態では、断面形状が線状（横長形状）のＸ線を用いて試料のＸ線分析を行う場合を想定し、Ｘ線の断面形状にあわせてＸ線透過用孔３２，３７の形状をそれぞれ横長の長方形にしている。Ｘ線の断面形状を線状とした場合は、点状の断面形状とする場合に比べてＸ線の断面積が大きくなる。このため、Ｘ線検出器４で検出されるＸ線の強度が相対的に大きくなり、Ｓ／Ｎ比が向上する。

第２支持部材２２には４つの連結用孔３８が設けられている。連結用孔３８は、第２支持部材２２を厚み方向に貫通する状態で、第２支持部材２２の四隅に１つずつ設けられている。４つの連結用孔３８は、上記第１支持部材２１の立ち上がり部２５に形成された４つの連結用孔３３に対応して設けられたものである。このため、４つの連結用孔３８の位置関係は、４つの連結用孔３３の位置関係と同じになっている。

（窓部材）
上記構成からなる第１支持部材２１および第２支持部材２２には、それぞれ窓部材４１，４２が貼り付けられている。窓部材４１は第１支持部材２１の支持面３１にＸ線透過用孔３２の開口を塞ぐように貼り付けられ、窓部材４２は第２支持部材２２の支持面３６にＸ線透過用孔３７の開口を塞ぐように貼り付けられている。窓部材４１，４２は、それぞれＸ線を透過する性質を有する。また、窓部材４１，４２は、第１支持部材２１および第２支持部材２２でラミネートセル１０を挟んだ場合に、ラミネートセル１０に直接、接触する。

各々の窓部材４１，４２は、互いに同じ材料を用いて、同じ形状および寸法に形成されている。さらに記述すると、窓部材４１，４２は、第２支持部材２２よりも薄く、かつ、第２支持部材２２よりも幅寸法（短手寸法）が小さい平面視矩形のシート状に形成されている。また、窓部材４１，４２は、所定のＸ線透過率と剛性とを併せ持つ材料、好ましくは、炭素繊維強化プラスチックで構成されている。

（押さえ手段）
押さえ手段２３は、第１支持部材２１および第２支持部材２２によってラミネートセル１０を挟んで支持する場合に、それらが離間しないように第１支持部材２１および第２支持部材２２を押さえるものである。押さえ手段２３は、第１支持部材２１および第２支持部材２２の各Ｘ線透過用孔３２，３７を通るＸ線と干渉しないように、Ｘ線透過用孔３２，３７の形成部位以外の箇所で第１支持部材２１と第２支持部材２２を押さえる。

押さえ手段２３の具体的な構成としては、たとえば、ネジとナットを用いた締め付け機構を採用することができる。より具体的には、第１支持部材２１に設けられた４つの連結用孔３３と、第２支持部材２２に設けられた４つの連結用孔３８とを互いに位置合わせする。そして、図９に示すように、対応する連結用孔３３，３８にネジ４５を挿入するとともに、ネジ４５にナット４６を螺合させて締め付ける。これにより、第１支持部材２１および第２支持部材２２を互いに離間しないように押さえることができる。

なお、押さえ手段２３は、ネジ４５とナット４６を用いた締め付け機構以外にも、たとえば図１０に示すように、一対の加圧子４７ａ，４７ｂを有するクランプ機構を用いて構成することも可能である。

一対の加圧子４７ａ，４７ｂは、たとえばクランプ機構が備えるネジ式の操作棒（不図示）を回転操作することにより、互いに接近又は離間する方向に移動可能になっている。この構成においては、第１支持部材２１の立ち上がり部２５と第２支持部材２２との間にラミネートセル１０を挟んで支持するときに、クランプ機構の操作棒を適宜回転操作することにより、立ち上がり部２５と第２支持部材２２を一対の加圧子４７ａ，４７ｂでクランプする。実際にクランプする場所は、４つの連結用孔３３，３８の孔位置よりもＸ線透過用孔３２，３７に近い場所、たとえば、試料ホルダー２０の幅方向でＸ線透過用孔３２，３７を間に挟む左右両側の位置に設定するとよい。これにより、第１支持部材２１および第２支持部材２２を互いに離間しないように押さえることができる。

なお、押さえ手段２３は、ネジ４５とナット４６を用いた締め付け機構のみ、あるいは、一対の加圧子４７ａ，４７ｂを有するクランプ機構のみによって構成してもよいし、締め付け機構とクランプ機構を併用して構成してもよい。ｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析において、充放電の繰り返しによるラミネートセル１０の膨らみをより効果的に抑制するうえでは、締め付け機構とクランプ機構を併用して押さえ手段２３を構成することが好ましい。

＜４．Ｘ線分析方法＞
次に、本発明の実施形態に係る試料ホルダーを用いたＸ線分析方法について説明する。本実施形態においては、Ｘ線分析方法の一例として、あらかじめ決められた測定条件にしたがってラミネートセル１０の充放電を繰り返し行うとともに、この充放電を行ったまま、ラミネートセル１０にＸ線を照射し、そこで回折したＸ線の強度を測定することにより、ラミネートセル１０のＸ線回折プロファイルに関する分析データを得る方法について説明する。

まず、試料台３の上に試料ホルダー２０をセットするとともに、試料ホルダー２０にラミネートセル１０をセットする。これらの作業は、どちらを先に行ってもかまわない。

試料台３の上に試料ホルダー２０をセットする場合は、第１支持部材２１のベース部２４の取付基準面２８を試料台３の上面に載置した後、ベース部２４の４つの固定用孔２７にそれぞれボルト（不図示）を挿入し、かつ、挿入したボルトを試料台３のネジ孔に螺合して締め付ける。これにより、試料台３の上面とベース部２４の取付基準面２８とをボルトの締め付け力により密着させ、第１支持部材２１を試料台３に固定することができる。

試料ホルダー２０にラミネートセル１０をセットする場合は、まず、第１支持部材２１の立ち上がり部２５と第２支持部材２２との間にラミネートセル１０を挟む。これにより、立ち上がり部２５の支持面３１に貼り付けられている窓部材４１は、ラミネートセル１０の一方の主面に接触し、第２支持部材２２の支持面３６に貼り付けられている窓部材４２は、ラミネートセル１０の他方の主面に接触する。

次に、第２支持部材２２の四隅に設けられた４つの連結用孔３８とこれに対応して第１支持部材２１の立ち上がり部２５に設けられた４つの連結用孔３３にそれぞれネジ４５とナット４６を取り付けて適度な力で締め付ける。また、第２支持部材２２と立ち上がり部２５を一対の加圧子４７ａ，４７ｂで両側から挟んでクランプする。これにより、第２支持部材２２と立ち上がり部２５との間に挟んだラミネートセル１０を、ネジ４５とナット４６による締め付け力および一対の加圧子４７ａ，４７ｂによるクランプ力で両側から押さえ込むことができる。したがって、後述する充放電の繰り返しによってラミネートセル１０内にガスが発生しても、ラミネートセル１０の膨らみを抑制することができる。

次に、ラミネートセル１０の外側に引き出されている端子Ｔに、充放電のための端子を接続する。次に、あらかじめ決められた条件でラミネートセル１０の充放電を開始し、以後、充放電を繰り返す。そして、充放電期間中にラミネートセル１０にＸ線を照射して分析データを得る。その際、Ｘ線源１から出射されたＸ線は、上記図１に示すようにモノクロメータ２を経由して試料台３の上に達する。試料台３の上に達したＸ線は、Ｘ線透過用孔３７と窓部材４２を順に透過してラミネートセル１０に入射する。このとき、モノクロメータ２から試料台３の上に達するＸ線の入射光軸は上記θａの傾き角度を有し、ラミネートセル１０は第１支持部材２１の立ち上がり部２５と同じ傾き角度θｂで支持される。このため、たとえばＸ線の傾き角度θａが３０°であるとすると、立ち上がり部２５の傾き角度θｂを６０°の条件で試料ホルダー２０を構成することにより、ラミネートセル１０の主面に垂直にＸ線を入射させることができる。したがって、試料台３の上にラミネートセル１０を垂直に立てて支持する場合に比べて、ラミネートセルに入射するＸ線の侵入深さが浅くなり、Ｘ線のエネルギー損失の割合が少なくなる。

一方、ラミネートセル１０で回折したＸ線は、窓部材４１とＸ線透過用孔３２を順に透過した後、Ｘ線検出器４で検出される。Ｘ線検出器４は、上記図１に示す矢印方向に一定間隔で移動しながら各々の回折角（２θ）に対応する位置で回折Ｘ線を取り込み、Ｘ線の強度を検出する。これにより、ラミネートセル１０のＸ線回折プロファイルを示す分析データを得ることができる。

本実施形態では、Ｘ線透過用孔３２の大きさが、孔内面３２ａの傾き角度θｃにしたがって回折角（２θ）の方向に拡大している。このため、ラミネートセル１０で回折したＸ線を、第１支持部材２１の立ち上がり部２５に干渉させることなく、Ｘ線検出器４で検出することができる。また、立ち上がり部２５のＸ線透過用孔３２を透過したＸ線は、一対の脚部２６の間を通過してＸ線検出器４に向かう。このため、ラミネートセル１０で回折したＸ線を、第１支持部材２１の脚部２６に干渉させることなく、Ｘ線検出器４で検出することができる。

上記Ｘ線回折測定に基づく分析データによれば、たとえば、リチウムイオン二次電池の充放電にともなう正極活物質の結晶構造の変化（結晶の面間隔の変化など）を、六方晶（００３）ピークの低角側へのシフト等により把握し、これに基づいて電池材料の評価を行うことが可能となる。ちなみに、リチウムイオン二次電池を構成するラミネートセル１０を対象にＸ線回折測定を行うと、これによって得られるＸ線回折プロファイルでは２θ＝６０°の範囲内に主たるピークが現れる。このため、電池材料の評価を適切に行うには、Ｘ線回折測定によって２θ＝６０°の範囲内の分析データが得られれば十分である。

＜５．実施形態の効果＞
本発明の実施形態においては、試料台３の上をＸ線が斜めに通過する場合でも、Ｘ線の傾き角度に対応する角度で第１支持部材２１の立ち上がり部２５を傾けた構成とし、この立ち上がり部２５の支持面３１と第２支持部材２２の支持面３６との間にラミネートセル１０を挟んで押さえ手段２３により押さえることにより、ラミネートセル１０の主面に垂直にＸ線を入射させることができる。このため、試料台３の上にラミネートセル１０を垂直に立てて支持する場合に比べて、Ｘ線のエネルギー損失の割合が少なくなる。したがって、Ｘ線の入射光軸が試料台３に対して傾きをもつ場合でも、回折ピークの強度が高く、Ｓ／Ｎ比が良好な分析データを得ることが可能となる。また、充放電の繰り返しによってラミネートセル１０内にガスが発生しても、ラミネートセル１０の両面を第１支持部材２１と第２支持部材２２によって押さえているため、ラミネートセル１０の膨らみを抑制して正極と負極の電気的な接続状態を良好に維持することができる。このため、ラミネートセル１０の充放電の状態を正しく反映した分析データを得ることが可能となる。

また、本発明の実施形態においては、立ち上がり部２５の支持面３１内に形成されたＸ線透過用孔３２の孔内面３２ａを支持面３１に対してテーパー状に傾けて形成することにより、Ｘ線透過用孔３２の大きさを支持面３１から遠ざかるにつれて拡大させた構成を採用している。このため、Ｘ線回折測定を行う場合に、ラミネートセル１０で回折したＸ線を立ち上がり部２５に干渉させることなくＸ線検出器４で検出することができる。したがって、Ｘ線回折測定に際して精度の高い分析データを得ることが可能となる。

＜６．他の実施形態＞
図１１は本発明の他の実施形態に係る試料ホルダーの構成例を説明する部分側断面図である。
本実施形態においては、先述した実施形態に係る試料ホルダーと同様の部分に同じ符号を付し、重複する説明は省略する。

図示した試料ホルダー２０は、先述した実施形態（図３）と比較して第１支持部材２１の構成が異なる。第１支持部材２１は、ベース部２４と、立ち上がり部２５と、傾き調整機構５０と、を備える。ベース部２４と立ち上がり部２５は、互いに別体構造になっている。「別体構造」とは、一体構造と反対の意味、すなわち別々の構造という意味である。したがって、別体構造であるベース部２４と立ち上がり部２５は、構造的に一体につながっておらず、たとえばネジ等の連結用部品を取り外すことで分離可能な構造になっている。

（傾き調整機構）
傾き調整機構５０は、試料ホルダー２０を正面（図１１の左側）から見たときに左右両側に設けられるもので、取付基準面２８に対する立ち上がり部２５の傾き角度θｂ（図３参照）を調整可能な機構である。図１２は試料ホルダーを正面から見たときの傾き調整機構の構成を示す部分断面図である。傾き調整機構５０は、立ち上がり部２５を回動可能に支持する回動支持部５２と、立ち上がり部２５の姿勢を保持する姿勢保持部５３と、を備える。回動支持部５２および姿勢保持部５３は、いずれも固定部５１を用いて構成されている。

（固定部）
固定部５１は、ベース部２４の上面に固定されている。ベース部２４に固定部５１を固定する手段としては、ベース部２４と固定部５１を一体構造とする、あるいは接着、ネジ等で固定する、などの手段を採用することが可能である。固定部５１は、板状に形成されるとともに、ベース部２４の上面から垂直に起立するように配置されている。

（回動支持部）
回動支持部５２は、ベース部２４上で立ち上がり部２５の傾き角度が変化する方向に立ち上がり部２５を回動可能に支持するもので、固定部５１に取り付けられた軸部材によって構成されている。回動支持部５２を構成する軸部材は、円形の断面形状を有するピン状の部材であって、たとえば固定部５１に圧入、接着等によって固定されている。回動支持部５２の軸方向（長さ方向）の一端側は、固定部５１の内側の面から横方向に突出し、その突出部分が立ち上がり部２５の下端部に嵌合されている。立ち上がり部２５の下端部には、回動支持部５２の外径に対応した内径を有する孔２５ａが形成されている。回動支持部５２は、立ち上がり部２５の孔２５ａに嵌合されている。これにより、立ち上がり部２５は、回動支持部５２を構成するピン状部材の軸を中心に回動可能（時計回りおよび反時計回りの両方向に回転可能）に支持されている。なお、回動支持部５２は、立ち上がり部２５を回動可能に支持するものであれば、他の構成を採用してもよい。

（姿勢保持部）
姿勢保持部５３は、立ち上がり部２５の傾き角度が所定の角度となるように立ち上がり部２５の姿勢を保持する。所定の角度に関しては、先述したとおりである。立ち上がり部２５の姿勢とは、回動支持部５２の軸を中心に立ち上がり部２５を所定の角度に傾けるときの姿勢であって、たとえば取付基準面２８に対する立ち上がり部２５の傾き角度θｂを６０°とする場合は、θｃ＝６０°の条件を満たす立ち上がり部２５の姿勢をいう。また、立ち上がり部２５の姿勢を保持するとは、立ち上がり部２５の姿勢が変化しないように、立ち上がり部２５を固定状態に維持することをいう。このため、立ち上がり部２５の姿勢を保持した場合は、立ち上がり部２５の傾き角度が一定に保たれる。

姿勢保持部５３は、固定部５１の長孔５４に挿入された調整用ネジ５５と、２つの座金５６，５７と、を有する。固定部５１の長孔５４は、試料ホルダー２０を側面から見たときに円弧状に形成されている。長孔５４の円弧の中心は、回動支持部５２の軸中心に存在する。調整用ネジ５５は、頭部５５ａと、ネジ部５５ｂと、を有する。調整用ネジ５５のネジ部５５ｂは、立ち上がり部２５に設けられたネジ孔２５ｂに螺合されている。座金５６は、調整用ネジ５５の頭部５５ａと固定部５１との間に配置されている。座金５７は、固定部５１と立ち上がり部２５との間に配置されている。

上記構成からなる姿勢保持部５３においては、調整用ネジ５５を締め付けたり緩めたりすることにより、立ち上がり部２５の姿勢を保持したり傾き角度を変えたりすることができる。具体的には、調整用ネジ５５を締め付けた状態にすると、その締め付け力によって２つの座金５６，５７が強く挟み込まれ、回動支持部５２の軸を中心とした立ち上がり部２５の回動動作が規制（阻止）される。このため、立ち上がり部２５の姿勢を保持することができる。また、調整用ネジ５５を緩めた状態にすると、２つの座金５６，５７の挟み込みが解除され、回動支持部５２の軸を中心とした立ち上がり部２５の回動動作が許容される。このため、長孔５４の円弧長方向に調整用ネジ５５を動かすことにより、立ち上がり部２５を図１３の矢印方向に回動させ、立ち上がり部２５の傾き角度を任意に変えることができる。ちなみに、上記図３に示すように、立ち上がり部２５の傾き角度をθｂと規定する場合、回動支持部５２の直上位置を長孔５４が横切るように、長孔５４の円弧長を長く確保することにより、傾き角度θｂを９０°未満、９０°、９０°超のいずれにも設定することが可能となる。

傾き調整機構５０は、図１３に示すように、立ち上がり部２５の傾き角度を目視確認するための目印６０〜６３を有する。各々の目印６０〜６３は、たとえば図示のように三角形に形成される。また、目印６０〜６３は、たとえば、印刷、シール貼り、凹凸による刻印などの手法によって形成される。目印６０は、立ち上がり部２５の側端面に設けられている。目印６１〜６３は、固定部５１の外側の面に設けられている。目印６１〜６３は、それぞれに異なる立ち上がり部２５の傾き角度に対応した位置に設けられている。たとえば、目印６１は、立ち上がり部２５の傾き角度＝６０°に対応した位置に設けられている。また、目印６２は、立ち上がり部２５の傾き角度＝４５°に対応した位置に設けられ、目印６３は、立ち上がり部２５の傾き角度＝３０°に対応した位置に設けられている。このため、立ち上がり部２５の傾き角度を６０°に設定したい場合は、立ち上がり部２５の目印６０を目印６１の位置に合わせ、４５°に設定した場合は目印６２の位置に合わせ、３０°に設定する場合は目印６３の位置に合わせて、調整用ネジ５５を締め付ければよい。

なお、各々の目印６０〜６３の形状は、立ち上がり部２５の傾き角度を目視確認できるものであれば、どのような形状であってもよい。また、目印６０〜６３の色を変えてもよいし、立ち上がり部２５の傾き角度を表す数字を各々の目印６１〜６３の近傍に付加してもよい。また、固定部５１に設ける目印の数は１つでも複数でもよいし、目印として目盛り（不図示）を設けてもよい。

本発明の他の実施形態に係る試料ホルダー２０においては、ベース部２４の取付基準面２８に対し、立ち上がり部２５の傾き角度を調整可能な傾き調整機構５０を備えた構成を採用している。このため、Ｘ線の入射光軸が試料台３に対して傾きをもつ場合に、入射光軸の傾きに応じて立ち上がり部２５の傾き角度を調整することができる。これにより、たとえば、試料台３に向かうＸ線の入射光軸の傾きが異なる場合でも、１つの試料ホルダー２０で対応することが可能となる。

また、傾き調整機構５０に目印６０〜６３を設けることにより、立ち上がり部２５の傾き角度を目視確認によって精度良く設定することが可能となる。

＜７．変形例等＞
本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。

たとえば、上記実施形態においては、Ｘ線透過用孔３２の孔内面３２ａ，３２ｂのうち、一方の孔内面３２ａだけを支持面３１に対してテーパー状に傾けて形成したが、これに限らず、孔内面３２ａ，３２ｂの両方をテーパー状に傾けて形成してもかまわない。また、第２支持部材２２に形成されたＸ線透過用孔３７についても、支持面３６から遠ざかるにつれて孔の大きさが拡大するように、孔内面をテーパー状に傾けて形成してもかまわない。

また、先述した実施形態においては、第１支持部材２１の立ち上がり部２５を一対の脚部２６で支持する構成を採用したが、第１支持部材２１の構成材料の特性等により立ち上がり部２５が高い剛性を有する場合は、一対の脚部２６を設ける必要はない。すなわち、一対の脚部２６は必要に応じて設ければよい。また、立ち上がり部２５を支持するための形状は、一対の脚部２６のような形状に限らず、種々の形状を採用することが可能である。

また、上記実施形態においては、第１支持部材２１および第２支持部材２２に、それぞれ窓部材４１，４２を貼り付けた構成を採用しているが、これに限らず、窓部材４１，４２は必要に応じて使用すればよい。

また、上記実施形態においては、試料のＸ線分析に用いるＸ線の断面形状が線状である場合を想定してＸ線透過用孔３２，３７の形状を長方形にしたが、試料のＸ線分析に用いるＸ線の断面形状が異なる形状（たとえば、円形など）になる場合は、それにあわせてＸ線透過用孔３２，３７の形状を変えればよい。

１…Ｘ線源
２…モノクロメータ
３…試料台
４…Ｘ線検出器
１０…ラミネートセル
２０…試料ホルダー
２１…第１支持部材
２２…第２支持部材
２３…押さえ手段
２４…ベース部
２５…立ち上がり部
２６…脚部
２８…取付基準面
３１，３６…支持面
３２，３７…Ｘ線透過用孔
４５…ネジ
４６…ナット
４７ａ，４７ｂ…加圧子
５０…傾き調整機構
５１…固定部
５２…回動支持部
５３…姿勢保持部
６０〜６３…目印

Claims (6)

1. セパレータを間に挟んで正極と負極を積層してなる電池要素を、電解液とともにラミネートフィルムにより密封した薄板状のラミネートセルを試料とし、前記ラミネートセルにＸ線を照射して分析データを得るｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析に用いられる試料ホルダーであって、
   前記ラミネートセルを両側から挟んで支持する第１支持部材および第２支持部材と、
   前記第１支持部材および前記第２支持部材を互いに離間しないように押さえる押さえ手段と、を備え、
   前記第１支持部材は、前記試料ホルダーの取付基準面が形成されたベース部と、前記取付基準面に対して所定の角度で傾いて前記ベース部から立ち上がる立ち上がり部とを有し、前記立ち上がり部の一方の主面が前記ラミネートセルを支持するための支持面になっていて、この支持面内にＸ線透過用孔が形成されており、
   前記第２支持部材は、前記立ち上がり部と対向する向きで前記第１支持部材に取り付けられるとともに、前記立ち上がり部と対向する側の主面が前記ラミネートセルを支持するための支持面になっていて、この支持面内にＸ線透過用孔が形成されている
   ことを特徴とする試料ホルダー。
2. 前記立ち上がり部の支持面内に形成されたＸ線透過用孔は、前記支持面から遠ざかるにつれて孔の大きさが拡大するように、前記ベース部から遠い側の孔内面が前記支持面に対してテーパー状に傾いて形成されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の試料ホルダー。
3. 前記取付基準面に対する前記立ち上がり部の傾き角度を調整可能な傾き調整機構を備える
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の試料ホルダー。
4. 前記傾き調整機構は、前記ベース部上で前記立ち上がり部の傾き角度が変化する方向に前記立ち上がり部を回動可能に支持する回動支持部と、前記立ち上がり部の傾き角度が所定の角度となるように前記立ち上がり部の姿勢を保持する姿勢保持部と、を備える
   ことを特徴とする請求項３に記載の試料ホルダー。
5. 前記傾き調整機構は、前記立ち上がり部の傾き角度を目視確認するための目印を有する ことを特徴とする請求項３または４に記載の試料ホルダー。
6. セパレータを間に挟んで正極と負極を積層してなる電池要素を、電解液とともにラミネートフィルムにより密封した薄板状のラミネートセルを試料とし、前記ラミネートセルにＸ線を照射して分析データを得るｉｎ−ｓｉｔｕＸ線分析に際して、
   前記ラミネートセルを第１支持部材および第２支持部材により両側から挟んで支持するとともに、前記第１支持部材および前記第２支持部材を互いに離間しないように押さえ、かつ、前記Ｘ線の入射光軸の傾き角度に合わせて前記ラミネートセルを所定の角度で傾けて支持することにより、前記ラミネートセルの主面にＸ線を垂直に入射させる
   ことを特徴とするＸ線分析方法。
   

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