JP2018049001A - 試料の熱分析時における温度調整の較正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光熱測定システム18、20、22による光熱測定を、装置10における複数個の試料ホルダ14−1〜14−4に順次に保持させた特定の試料P1〜P4に対して実施するステップと、該ステップの光熱測定に際して、各試料P1〜P4の第1側に対して電磁励起パルスを照射し、該励起パルスに起因して試料P1〜P4の第1側とは反対側の第2側から放出された熱放射を検出し、複数個の試料ホルダ14−1〜14−4に対する光熱測定の結果を比較するステップと、各試料ホルダ14−1〜14−4における少なくとも1つの補正パラメータを、比較結果に基づいて算出するステップと、装置10における温度測定システム26−1〜26−4及び/又は温度調整システム16−1〜16−4を、算出した補正パラメータに基づいて較正するステップとを含む。
【選択図】図1
Description
・試料を保持するよう構成された複数個の試料ホルダを有する試料チャンバと、
・複数個の試料ホルダのそれぞれに割り当てられると共に、それぞれの試料ホルダに保持された試料を温度調整するための制御可能な温度調整システム(この場合「小型の管状炉」)と、
・試料温度を測定するための温度測定システム(この場合、各試料ホルダに割り当てられた複数個の熱電対を有する)と、
・試料の第1側を電磁励起パルスで照射し、その電磁励起パルスによって試料の第1側とは反対側の第2側から放出された熱放射を検出するための光熱測定システムと、
・温度調整システム及び光熱測定システムを制御すると共に、試料の温度以外の少なくとも1つの物理的特性(この場合、温度伝導率及び/又は特定の熱容量)を、試料温度の関数として表す測定データを記録するための制御・評価システムと、
を備える。
・光熱測定システム(この場合、レーザー18、検出器20、信号増幅器22)による光熱測定を、(i)複数個の試料ホルダ14‐1〜14‐4に順次に保持させた特定の試料に対して実施するか、又は(ii)複数個の試料ホルダ14‐1〜14‐4のそれぞれに保持させた複数個の同様の試料に対して実施するステップと、を含み、
該ステップの光熱測定に際して、各試料の第1側に対して電磁励起パルスを照射し、該励起パルスに起因してその試料の第1側とは反対側の第2側から放出された熱放射を検出し、
・複数個の試料ホルダ14‐1〜14‐4に対する光熱測定の結果を比較するステップと、
・各試料ホルダ14‐1〜14‐4又は各試料位置PA〜PDにおける少なくとも1つの補正パラメータを、比較結果に基づいて算出するステップと、
・温度測定システム(この場合、温度測定センサ26‐1〜26‐4)及び/又は温度調整システム16‐1〜16‐4を、算出した補正パラメータに基づいて較正するステップと、
を含む。
・装置10における試料交換システム24を制御し、これにより各試料ホルダ14‐1〜14‐4をそれら試料ホルダ14‐1〜14‐4に保持させた試料の光熱測定にとって適切な光熱測定システムに対する相対位置(図1の左側)に順次に移動させるステップと、
・複数回に亘る光熱測定において、(i)各試料を所定の温度Tに調整するために各温度調整システム16‐1〜16‐4を制御すると共に、試料の第1側を所定の電磁励起パルスで(好適には、各光熱測定において完全に同じように)照射するために光熱測定システムを制御し、(ii)温度測定システム26‐1〜26‐4により、試料温度を測定し、(iii)試料の第2側から放出された熱放射の時間依存的な変化を表す測定データ(図3のI(t)を参照)を記録するステップと、
・複数個の試料ホルダ14‐1〜14‐4に対する光熱測定の結果を比較するステップと、
・各試料ホルダ14‐1〜14‐4における少なくとも1つの補正パラメータを、比較結果に基づいて算出するステップと、
・(制御・評価システム30と関連させて)温度測定システム26‐1〜26‐4及び/又は(制御・評価システム30と関連させて)温度調整システム16‐1〜16‐4を、算出した補正パラメータに基づいて較正するステップと、
を行うよう構成されている。
Claims (7)
- 試料を熱分析するための装置(10)の較正方法であって、前記装置(10)は、
・試料(P1,P2,P3,P4)を保持するよう構成された複数個の試料ホルダ(14‐1,14‐2,14‐3,14‐4)を有する試料チャンバ(12)と、
・前記複数個の試料ホルダ(14‐1〜14‐4)に保持された試料(P1,P2,P3,P4)の温度を調整するために、前記複数個の試料ホルダ(14‐1〜14‐4)に割り当てられると共に、制御可能な温度調整システム(16‐1,16‐2,16‐3,16‐4)と、
・前記試料(P1〜P4)の温度を測定するための温度測定システム(26‐1,26‐2,26‐3,26‐4)と、
・前記試料(P1〜P4)の第1側を電磁励起パルスで照射し、前記電磁励起パルスによって前記試料(P1〜P4)の第1側とは反対側の第2側から放出された熱放射を検出するための光熱測定システム(18,20,22)と、
・前記温度調整システム(16‐1〜16‐4)及び前記光熱測定システム(18,20,22)を制御すると共に、前記試料(P1〜P4)の温度以外の前記試料(P1〜P4)の少なくとも1つの物理的特性を、前記試料(P1〜P4)の温度の関数として表す測定データを記録するための制御・評価システム(30)と、
を備える装置の較正方法において、
・前記光熱測定システム(18、20、22)による光熱測定を、(i)前記複数個の試料ホルダ(14‐1〜14‐4)に順次に保持させた特定の前記試料に対して実施するか、又は(ii)前記複数個の試料ホルダ(14‐1〜14‐4)のそれぞれに保持させた複数個の同様の試料に対して実施するステップと、を含み、
前記ステップの前記光熱測定に際して、前記各試料の第1側に対して電磁励起パルスを照射し、前記励起パルスに起因して前記試料の第1側とは反対側の第2側から放出された熱放射を検出し、
・前記複数個の試料ホルダ(14‐1〜14‐4)に対する前記光熱測定の結果を比較するステップと、
・前記各試料ホルダ(14‐1〜14‐4)における少なくとも1つの補正パラメータを、比較結果に基づいて算出するステップと、
・前記温度測定システム(26‐1〜26‐4)及び/又は前記温度調整システム(16‐1〜16‐4)を、算出した補正パラメータに基づいて較正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の較正方法であって、前記装置(10)は、制御可能な試料交換システム(24)を更に備え、前記試料交換システム(24)により、前記各試料ホルダ(14‐1〜14‐4)を、前記試料ホルダ(14‐1〜14‐4)に保持させた試料の光熱測定にとって適切な前記光熱測定システム(18,20,22)に対する相対位置に順次に移動させる較正方法。
- 請求項1又は2に記載の較正方法であって、各温度調整システム(16‐1〜16‐4)は、前記試料ホルダ(14‐1〜14‐4)に割り当てられた電気作動式の加熱ジャケットを有する、較正方法。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の較正方法であって、前記温度測定システム(26‐1〜26‐4)は、前記試料チャンバ(12)内に配置されると共に、前記複数個の試料ホルダ(14‐1〜14‐4)に共有される温度センサを有する較正方法。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の較正方法であって、前記温度測定システム(26‐1〜26‐4)は、前記試料チャンバ(12)内に配置されると共に、試料ホルダ(14‐1〜14‐4)のそれぞれに割り当てられた温度センサを有する、較正方法。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載の較正方法であって、前記制御・評価システム(30)は、前記較正方法を実施するために、
・任意に、前記装置(10)における試料交換システム(24)を制御し、これにより前記各試料ホルダ(14‐1〜14‐4)を、前記試料ホルダ(14‐1〜14‐4)に保持させた試料の前記光熱測定にとって適切な前記光熱測定システム(18,20,22)に対する相対位置に順次に移動させるステップと、
・複数回に亘る前記光熱測定において、(i)各前記試料を所定の温度に調整するために前記温度調整システム(16‐1〜16‐4)のそれぞれを制御すると共に、前記試料の前記第1側を所定の電磁励起パルスで照射するために前記光熱測定システム(18,20,22)を制御し、(ii)前記温度測定システム(26‐1〜26‐4)により、前記試料の温度を測定し、(iii)前記試料の前記第2側から放出された前記熱放射の時間依存的な変化を表す測定データを記録するステップと、
・前記複数個の試料ホルダ(14‐1〜14‐4)に対する前記光熱測定の結果を比較するステップと、
・各前記試料ホルダ(14‐1〜14‐4)における少なくとも1つの補正パラメータを、前記比較の結果に基づいて算出するステップと、
・前記温度測定システム(26‐1〜26‐4)及び/又は前記温度調整システム(16‐1〜16‐4)を、算出した前記補正パラメータに基づいて較正するステップと、
を行うよう構成されている、較正方法。 - 請求項1〜6の何れか一項に記載の方法であって、前記光熱測定の前記比較結果は、放出された前記熱放射の時間依存的な変化の過程で到達した各最大値(Imax)の比較を含む方法。
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