JP2018036543A - スキャナミラー - Google Patents

Abstract

【課題】受光面を有する反射部の変位に応じた受光素子の受光量の変動幅（受光量の極小値と極大値との差）が顕著になるのを抑制することが可能なスキャナミラーを提供する。【解決手段】このスキャナミラー３０は、各々の受光面５１ａおよび５２ａが所定の交差角度αを有して、同一の揺動軸１５０上に配置される受光用ミラー５１および５２と、受光用ミラー５１および５２を所定の角度範囲で揺動させるミラー駆動部６０とを備える。【選択図】図２

Description

この発明は、スキャナミラーに関し、特に、受光面を有する反射部を備えたスキャナミラーに関する。

従来、光源からの光を反射させるミラーを備えたスキャナミラーが知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、回転軸（揺動軸）となる１本の捻り梁に２枚の可動ミラーが横に並んで配置されて固定された状態で共振駆動される振動ミラーモジュール（スキャナミラー）を備えた光走査装置が開示されている。この特許文献１に記載の光走査装置は、電子写真方式の画像形成装置に搭載されており、振動ミラーモジュールにおける２枚の可動ミラーは、反射面が同一面内に揃えられた状態（２つの反射面が互いに平行な状態）で捻り梁に固定されている。そして、光源ユニットから出射された光ビーム（出射光）がポリゴンミラーを介して振動ミラーモジュールに入射されて、この２枚の可動ミラーを介して感光体ドラムに向けて出射（反射）されるように構成されている。なお、２枚の可動ミラーは、反射面が同一面内に揃えられた状態で共振駆動されることにより、光ビームが感光体ドラムの表面を走査されるように構成されている。

特開２００７−１６４１３７号公報

上記特許文献１に記載された振動ミラーモジュールは、光源ユニットからの光ビーム（出射光）を感光体ドラムの表面に向けて出射（反射）させる光走査装置用のデバイスとして用いられている。一方、この振動ミラーモジュールを、たとえば、測距装置などにおいて対象物からの反射光を受光するとともに受光素子（光検出部）に向けて反射／導光させるデバイスに適用した場合、対象物の存在する領域に向けて走査中の出射光に同期するように２枚の受光用ミラーを揺動させるとともに、２枚の受光用ミラーは、対象物から反射された反射光を受光しつつ受光素子（光検出部）に反射させる役割を担うことになる。この際、２枚の受光用ミラーが各々の反射面を同一面内に揃えた状態で捻り梁を回転軸として揺動されるため、１回のスキャン動作における反射光の入射角度の変化（受光用ミラーの変位）に応じて、受光用ミラーが受ける反射光の受光面積も必然的に増減する。換言すると、受光用ミラーの変位に応じて受光素子から見た場合の受光用ミラーの有効な受光面積が増減を繰り返すことになる。

このように、上記特許文献１の振動ミラーモジュールを測距装置における受光用のデバイス（スキャナミラー）に適用した場合、２枚の受光用ミラー（反射部）が実質的に単一の反射面（受光面）となった状態で一体的に揺動することに起因して、光検出部（受光素子）に到達する受光量が、極小値と極大値との間で大きく変動する（極小値と極大値との差が顕著になる）という問題点がある。また、光検出部（受光素子）の受光量が変動を繰り返すことは、受光素子におけるＳ／Ｎ比（信号対雑音比）の変動（ばらつき）を引き起こすため、測距装置の測定精度が不安定になる要因となる。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、受光面を有する反射部の変位に応じた光検出部の受光量の変動幅（受光量の極小値と極大値との差）が顕著になるのを抑制することが可能なスキャナミラーを提供することである。

上記目的を達成するために、この発明の一の局面によるスキャナミラーは、各々の受光面が相対的位置関係を有して、同一の搖動軸上に配置される第１反射部および第２反射部と、第１反射部および第２反射部を所定の角度範囲で揺動させる駆動部とを備える。

この発明の一の局面によるスキャナミラーは、上記のように、各々の受光面が相対的位置関係を有して、同一の搖動軸上に配置される第１反射部および第２反射部を備える。これにより、第１反射部および第２反射部は、各々の受光面間に相対的位置関係を有し他状態（たとえば、所定の交差角度を有した状態）で同一（共通）の揺動軸まわりに揺動されるので、反射光の１回のスキャン動作において、光検出部から見た場合の第１反射部および第２反射部のいずれか一方の反射部の有効な受光面積（たとえば第１反射部の光検出部に対する反射光の投影面積）が減少して光検出部に導かれる反射光の受光量が減少する場合であっても、第１反射部および第２反射部のいずれか他方の反射部の有効な受光面積（たとえば第２反射部の光検出部に対する反射光の投影面積）が増加してこの光検出部に導かれる反射光の受光量を増加させることができる。

したがって、単一の受光面を有する反射部または受光面が同一面内に揃えられた２つの反射部により反射光を受光して光検出部に集光させる場合と比較して、各々の受光面が互いに相対的位置関係を有して配置された第１反射部および第２反射部を介して光検出部に導かれる反射光の合計受光量の変化幅（変動幅）を減少させることができる。この結果、反射部の変位に応じた光検出部の受光量の変動幅（受光量の極小値と極大値との差）が顕著になるのを抑制することができる。また、光検出部の受光量の変動幅を低減させる（反射部の揺動角度範囲に亘って光検出部の受光量を平準化させる）ことは、光検出部におけるＳ／Ｎ比（信号対雑音比）のばらつきを低減させることにつながる。これにより、反射部の揺動角度範囲（スキャン角度）に関係なく光検出部の測定誤差を均一化させることができる。

上記一の局面によるスキャナミラーにおいて、好ましくは、第１反射部および第２反射部は、相対的位置関係が略一定に維持された状態で揺動されるように構成されている。このように構成すれば、第１反射部と第２反射部とが略一定値の相対的位置関係（たとえば、交差角度）を維持した状態で一体的に揺動されるので、第１反射部および第２反射部を介して光検出部に導かれる反射光の合計受光量の変動幅を略一定値に維持することができる。

上記一の局面によるスキャナミラーにおいて、好ましくは、相対的位置関係は、第１反射部の受光面と第２反射部の受光面とがなす角度が７５度以上１０５度以下となることである。このように構成すれば、１回の反射光のスキャン動作における第１反射部および第２反射部の変位に応じた光検出部の受光量の変動幅（受光量の極小値と極大値との差）が顕著になるのを確実に抑制することができる。なお、この効果は、後述する「従来のスキャナミラーとの対比および考察」において確認済みである。すなわち、図９に示すように、第１反射部の受光面と第２反射部の受光面とがなす角度は、受光量が比較的多く、かつ、変動幅が比較的小さい、７５度以上１０５度以下（特性Ｆから特性Ｈまでの間）であるのが好ましいことを確認済みである。

この場合、好ましくは、相対的位置関係は、第１反射部の受光面と第２反射部の受光面とがなす角度が８５度以上９５度以下となることである。このように構成すれば、１回の反射光のスキャン動作における第１反射部および第２反射部の変位に応じた光検出部の受光量の変動幅（受光量の極小値と極大値との差）を効果的に低減することができる。なお、この効果は、後述する「従来のスキャナミラーとの対比および考察」において確認済みである。すなわち、図９に示すように、第１反射部の受光面と第２反射部の受光面とがなす角度は、変動幅が最も小さい、９０度（特性Ｇ）が最も好ましく、９０度の近傍の範囲である±５度の範囲内である８５度以上９５度以下に第１反射部の受光面と第２反射部の受光面とがなす角度を構成することにより、変動幅（受光量の極小値と極大値との差）を効果的に低減できることを確認済みである。

上記一の局面によるスキャナミラーにおいて、好ましくは、第１反射部の受光面の面積と、第２反射部の受光面の面積とは、略等しい。このように構成すれば、第１反射部が反射する光量特性（光検出部から見た場合の第１反射部の変位に伴う有効な受光面積の変化の特性）と第２反射部が反射する光量特性（光検出部から見た場合の第２反射部の変位に伴う有効な受光面積の変化の特性）とを互いに略等しくすることができる。したがって、第１反射部および第２反射部のいずれか一方の反射光量が少ない場合に他方の反射光量を多くして光検出部に導かれる反射光の合計受光量を相互に補完し合うという作用を有効に生じさせることができる。

上記一の局面によるスキャナミラーにおいて、好ましくは、光源と、光源からの光を反射させる第３反射部とを備え、第３反射部は、搖動軸上に搖動可能に支持される。このように構成すれば、第１反射部および第２反射部が配置されている揺動軸を利用して第３反射部を揺動させることができる。したがって、第３反射部の揺動軸を別途設ける場合と異なり、スキャナミラーが搭載される測距装置の部品点数が増加するのを抑制することができる。また、第１反射部および第２反射部の揺動に同期させて第３反射部を揺動させることができるので、第３反射部の駆動部を別途設ける場合と異なり、スキャナミラーが搭載される測距装置の構成を簡素化させることができる。

上記第３反射部をさらに備える構成において、好ましくは、揺動軸方向の一方に、第１反射部、第３反射部、および第２反射部の順に配置されている。このように構成すれば、第３反射部を第１反射部と第２反射部との間に配置することができるので、第３反射部から対象物を含む所定領域に向けて出射される出射光の光軸と、所定領域内に存在する対象物から反射された反射光の反射光軸（受光光軸）とを極力近付けることができる。したがって、パララックス（視差）を緩和することができるので、対象物までの距離が相対的に近い（短い）場合においても、その対象物までの距離を精度よく計測することが可能な測距装置を得ることができる。

上記第３反射部をさらに備える構成において、好ましくは、揺動軸方向の一方に、３反射部、第１反射部、および第２反射部の順に配置されている。このように構成すれば、本発明のスキャナミラーが搭載される測距装置などにおいては、第３反射部を含む出射光側の光学系と、第１反射部および第２反射部を含む反射光側の光学系とを互いに分離して配置することができるので、測距装置内の光学設計を容易に調整することができる。

上記第３反射部をさらに備える構成において、好ましくは、第１反射部および第２反射部の各々の受光面の面積は、第３反射部の反射面の面積よりも大きい。このように構成すれば、所定領域内に存在する対象物から反射された反射光を第１反射部および第２反射部により確実に受光するとともに、光検出部に確実に反射（導光）させることができる。

上記一の局面によるスキャナミラーにおいて、好ましくは、第１反射部および第２反射部を支持する支持部と、支持部の揺動軸方向の端部と、支持部と端部との間に位置するミアンダ構造の捻れ部とを備える。このように構成すれば、ミアンダ構造を有する捻れ部により、支持部を端部に対して容易に揺動させることができる。その結果、支持部に支持された第１反射部および第２反射部を、相対的位置関係を有した状態で、所定の角度範囲で揺動させることができる。

本発明によれば、上記のように、受光面を有する反射部の変位に応じた光検出部（受光素子）の受光量の変動幅（受光量の極小値と極大値との差）が顕著になるのを抑制することができる。

本発明の第１実施形態による測距装置の構成を示したブロック図である。 本発明の第１実施形態による測距装置に搭載されるスキャナミラーの全体構成を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態による測距装置に搭載されるスキャナミラーの詳細な構成を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態による測距装置に搭載されるスキャナミラーの詳細な構成を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態による測距装置に搭載されるスキャナミラーの光学系を説明するための図である。 本発明の第１実施形態によるスキャナミラーに対する比較例としてのスキャナミラーの概略的な構成を示した図である。 本発明の第１実施形態によるスキャナミラーに対する比較例としてのスキャナミラーの動作状態を説明するための模式図である。 本発明の第１実施形態による測距装置に搭載されるスキャナミラーの動作状態を説明するための模式図である。 本発明の第１実施形態による測距装置に搭載されるスキャナミラーの効果を説明するための図である。 本発明の第２実施形態による測距装置に搭載されるスキャナミラーの構成を示した斜視図である。 本発明の第３実施形態による測距装置に搭載されるスキャナミラーの構成を示した斜視図である。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

［第１実施形態］
まず、図１〜図５を参照して、本発明の第１実施形態による測距装置１００（スキャナミラー３０）の構成について説明する。

（測距装置の概略構成）
本発明の第１実施形態による測距装置１００は、図１に示すように、対象物１（物体）までの距離および存在方向を検出する機能を有する。すなわち、測距装置１００から出射されたレーザ光３の往復する時間に基づいて対象物１（物体）までの距離を計測するための計測装置である。この場合、測距装置１００の前方のスキャン領域２に対して所定の角度範囲でレーザ光３が２次元的に走査（スキャン）される。そして、走査（スキャン）されたレーザ光３が対象物１によって反射されて測距装置１００がこの反射光４を受光することにより、対象物１（物体）までの距離および存在方向が検出されるように構成されている。なお、スキャン領域２は、特許請求の範囲の「所定領域」の一例である。

測距装置１００は、ＬＤ（レーザダイオード）部１０と、出射用ミラー２０と、スキャナミラー３０（二点鎖線枠内）と、光検出部４０と、主制御部９０とを備える。また、これらの構成要素は、図示しない筐体内に収容されている。そして、筐体（図示せず）の内部には、レーザ光３を出射するための光学系１０１と、反射光４を受光するための光学系１０２（詳細は図５参照）とが設けられている。なお、ＬＤ部１０は、特許請求の範囲の「光源」の一例である。また、出射用ミラー２０は、特許請求の範囲の「第３反射部」の一例である。

（各構成要素の説明）
ＬＤ部１０は、レーザ光３を出射（射出）する機能を有する。また、出射側の光学系１０１を構成する出射用ミラー２０は、ＬＤ部１０から出射されるとともにコリメートレンズ１１により平行光にされたレーザ光（出射光）３を反射させる機能を有する。なお、出射用ミラー２０は、後述するミラー駆動制御部９２により揺動されることによって、レーザ光３を測距装置１００からスキャン領域２に向けて走査（スキャン）しながら出射するように構成されている。また、スキャナミラー３０（二点鎖線枠内）は、対象物１によって反射された反射光４を受光するとともに光検出部４０に向けて反射（導光）させる機能を有する。また、スキャナミラー３０は、１つのスキャンデバイスとして構成されており、スキャナミラー３０は、反射用ミラー部５０と、ミラー駆動部６０とを含んでいる。そして、光検出部４０は、ＡＰＤ（アバランシェ・フォトダイオード）からなり、スキャナミラー３０からの反射光４（後述する反射光４ａおよび反射光４ｂ（図５参照））を実際に受光するとともに電気信号に変換する機能を有する。なお、ミラー駆動部６０は、特許請求の範囲の「駆動部」の一例である。

主制御部９０は、測距装置１００の制御処理を統括する役割を有する。また、測距装置１００は、レーザ駆動部９１と、ミラー駆動制御部９２と、ミラー駆動制御部９３と、信号処理部（距離演算部）９４と、表示部９５と、メモリ部９６と、外部ＩＦ（インターフェース）部９７とを備える。これらの構成要素は、主制御部９０の指令に基づいて動作制御されるように構成されている。

レーザ駆動部９１は、ＬＤ部１０を駆動する役割を有する。また、ミラー駆動制御部９２は、出射用ミラー２０を駆動する役割を有する。また、ミラー駆動制御部９３は、後述する電磁駆動用コイル６２（ミラー駆動部６０）を駆動することにより反射用ミラー部５０を駆動する役割を有する。そして、信号処理部（距離演算部）９４は、光検出部４０により変換された電気信号に基づいて対象物１（物体）までの距離および存在方向を演算する役割を有する。また、信号処理部９４による演算結果は、表示部９５に表示されるように構成されている。また、メモリ部９６内の所定領域には、主制御部９０が実行する制御プログラムなどが格納されている。また、メモリ部９６は、制御プログラムが実行される際に用いられる制御上のパラメータを一時的に保存する作業用メモリとしても用いられる。外部ＩＦ部９７は、測距装置１００に接続される外部機器（たとえばＰＣなど）とのインターフェースの役割を有する。

（スキャナミラーの詳細な構成）
ここで、第１実施形態では、図２に示すように、反射用ミラー部５０は、一対の受光用ミラー５１および５２と、ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）技術により形成された金属製の基材部５３とを含んでいる。なお、以下の説明において、基材部５３の延びる方向（揺動軸１５０の延びる方向；揺動軸方向）をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する受光用ミラー５２の延びる方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に共に直交する方向をＺ軸方向として説明を行う。なお、受光用ミラー５１および５２は、それぞれ、特許請求の範囲の「第１反射部」および「第２反射部」の一例である。また、基材部５３は、特許請求の範囲の「支持部」の一例である。

基材部５３は、図３に示すように、Ｘ軸方向のＸ１側の端部に形成された固定部５４ａおよびＸ２側の端部に形成された固定部５４ｂと、固定部５４ａを起点としてＹ軸方向に沿って矢印Ｙ１方向および矢印Ｙ２方向に往復蛇行しながら矢印Ｘ２方向に延びる捻れ部５５ａと、固定部５４ｂを起点としてＹ軸方向に沿って矢印Ｙ１方向および矢印Ｙ２方向に往復蛇行しながら矢印Ｘ１方向に延びる捻れ部５５ｂとを有する。捻れ部５５ａおよび５５ｂは、ミアンダ構造を構成しており、捻れ部５５ａおよび５５ｂは、全体として矢印Ｚ１方向および矢印Ｚ２方向に弾性変形可能に構成されている。また、基材部５３は、上記に加えて、捻れ部５５ａの固定部５４ａとは反対側（Ｘ２側）の部分と、捻れ部５５ｂの固定部５４ｂとは反対側（Ｘ１側）の部分とを揺動軸１５０に沿って連結する板状部５６とを有する。また、基材部５３は、受光用ミラー５１（図２参照）を支持するための支持部５７と、受光用ミラー５２（図２参照）を支持するための支持部５８とをさらに有する。なお、支持部５７は、Ｚ軸方向に平行に延びる２本の腕部５７ａおよび５７ｂを有するとともに、支持部５８は、Ｙ軸方向に平行に延びる４本の腕部５８ａ〜５８ｄを有する。この場合、腕部５７ａおよび５７ｂは、基材部５３の形成時には腕部５８ａ〜５８ｄと同じＹ軸方向に延びているのであるが、その後、腕部５７ａおよび５７ｂの板状部５６との接続部分（根元部分）において板状部５６に対して略９０度交差するＺ軸方向に折り曲げられて構成されている。なお、固定部５４ａおよび固定部５４ｂは、特許請求の範囲「端部」の一例である。また、板状部５６は、特許請求の範囲の「支持部」の一例である。

これにより、第１実施形態では、図４に示すように、Ｘ１側の支持部５７（腕部５７ａおよび５７ｂ）に対して受光用ミラー５１の裏面（Ｙ２側の面）が接着されているとともに、Ｘ２側の支持部５８（腕部５８ａ〜５８ｄ）に対して受光用ミラー５２の裏面（Ｚ２側の下面）が接着されている。なお、受光用ミラー５１および５２は、薄いガラス板材の表面上に反射膜が蒸着されている。そして、この反射膜が蒸着されていることによって、受光用ミラー５１および５２は、受光面５１ａおよび５２ａを有している。また、受光用ミラー５１の受光面５１ａと受光用ミラー５２の受光面５２ａとは、Ｘ軸方向に見て、揺動軸１５０まわりに互いに略９０度の交差角度αを有して互いに交差する関係を有している。なお、交差角度αは、特許請求の範囲の「相対的位置関係」の一例である。

また、受光用ミラー５１は、揺動軸１５０と直交する幅方向（Ｚ軸方向）の中央線１６０を揺動軸１５０に略一致させた状態で基材部５３に支持されている。同様に、受光用ミラー５２は、揺動軸１５０と直交する幅方向（Ｙ軸方向）の中央線１６５を揺動軸１５０に略一致させた状態で基材部５３に支持されている。したがって、受光用ミラー５１は、揺動軸１５０からＺ１側の端部までの距離Ｌ１と、揺動軸１５０からＺ２側の端部までの距離Ｌ２とが略等しい（Ｌ１＝Ｌ２）。同様に、受光用ミラー５２は、揺動軸１５０からＹ１側の端部までの距離Ｌ３と、揺動軸１５０からＹ２側の端部までの距離Ｌ４とが略等しい（Ｌ３＝Ｌ４）。また、受光用ミラー５１の受光面５１ａの面積Ｓ１と、受光用ミラー５２の受光面５２ａの面積Ｓ２とは、互いに略等しい（Ｓ１＝Ｓ２）。したがって、受光用ミラー５１と受光用ミラー５２とは、大きさ（受光面積）および外形形状および厚みが略同じであって、これらの基材部５３に対する取付方向が互いに略９０度だけ異なっている。

また、図２に示すように、ミラー駆動部６０は、永久磁石６１と、電磁駆動用コイル６２とを含んでいる。永久磁石６１は、受光用ミラー５１のＺ２側の端部５１ｂに固定されている。なお、永久磁石６１の固定位置は、端部５１ｂのうちの最もＸ２側（受光用ミラー５２に最も近い側）に位置している。したがって、永久磁石６１は、基材部５３における受光用ミラー５１および５２が固定されたＸ軸方向に沿った領域の略中央に対応した位置に配置されている。

そして、電磁駆動用コイル６２は、永久磁石６１に対して矢印Ｚ２方向に所定の隙間を隔てて配置されている。また、永久磁石６１の一方端部６１ａ（Ｙ１側）はＮ極を有し、他方端部６１ｂ（Ｙ２側）はＳ極を有する。そして、ミラー駆動制御部９３（図１参照）によって電磁駆動用コイル６２の極性が所定の周波数で周期的に切り替えられることによって、永久磁石６１のＮ極側（一方端部６１ａ）が電磁駆動用コイル６２に引き寄せられる状態と、永久磁石６１のＳ極側（他方端部６１ｂ）が電磁駆動用コイル６２に引き寄せられる状態とが、所定の周波数で交互に繰り換えられる。これにより、受光用ミラー５１が矢印Ｐ１方向および矢印Ｐ２方向に揺動されるように構成されている。また、受光用ミラー５１の揺動に伴って、基材部５３に固定（支持）されている受光用ミラー５２も矢印Ｐ１方向および矢印Ｐ２方向に揺動されるように構成されている。

なお、固定部５４ａ（５４ｂ）と板状部５６との間にミアンダ構造の捻れ部５５ａ（５５ｂ）が設けられていることによって、受光用ミラー５１と受光用ミラー５２とが揺動軸１５０まわりに矢印Ｐ１方向および矢印Ｐ２方向に一体的に揺動されるように構成されている。この場合、第１実施形態では、基材部５３に支持されている受光用ミラー５１および５２は、受光面５１ａおよび５２ａ間の所定の交差角度αが略一定値に維持された状態で、同一（共通）の揺動軸１５０まわりに矢印Ｐ１方向および矢印Ｐ２方向に揺動されるように構成されている。

また、受光側の光学系１０２としては、図５に示すように、スキャナミラー３０と光検出部４０との間に、固定的に設置された一対の反射ミラー８１および８２と、固定的に設置された一対の集光レンズ８３および８４とが設けられている。反射ミラー８１は、受光用ミラー５１からの反射光４ａを単一の光検出部４０に向けて反射させる役割を有する。また、反射ミラー８２は、受光用ミラー５２からの反射光４ｂを単一の光検出部４０に向けて反射させる役割を有する。また、集光レンズ８３は、反射ミラー８１と単一の光検出部４０との間に配置され、反射ミラー８１により反射された反射光４ａを集光する役割を有する。また、集光レンズ８４は、反射ミラー８２と単一の光検出部４０との間に配置され、反射ミラー８２により反射された反射光４ｂを集光する役割を有する。そして、受光用ミラー５１からの反射光４ａが反射ミラー８１および集光レンズ８３を介して光検出部４０に入射されるとともに、受光用ミラー５２からの反射光４ｂが反射ミラー８２および集光レンズ８４を介して光検出部４０に入射されるように構成されている。

（従来のスキャナミラーとの対比および考察）
次に、図１および図５〜図９を参照して、本発明の第１実施形態によるスキャナミラー３０を測距装置１００に適用した場合の利点について説明する。このために、まず、比較例としての従来のスキャナミラー９３０の構成および受光量の特性を説明し、その後、本発明の第１実施形態によるスキャナミラー３０の受光量の特性について説明する。

まず、比較例としての従来のスキャナミラー９３０は、図６に示すように、枠状の支持体９０１に１本の揺動軸９０２が形成されている。そして、揺動軸９０２の一方側に出射用ミラー９２０が固定されるとともに他方側に１枚の受光用ミラー９５３が固定されている。なお、実際には、出射用ミラー９２０と受光用ミラー９５３との間には、レーザ光３と反射光４との混合を防ぐための遮光壁（図示せず）が設けられている。そして、ＬＤ部９１０から出射されたレーザ光３が出射用ミラー９２０を介してスキャン領域２に向けて出射されるとともに、対象物１によって反射された反射光４が１枚の受光用ミラー９５３により受光（反射）されて光検出部９４０へと導かれるように構成されている。そして、出射用ミラー９２０および受光用ミラー９５３は、揺動軸１９０まわりに矢印Ｐ１方向および矢印Ｐ２方向に揺動される。この場合、光学スキャン角度が「±０度」（中立）を中心に一方側に「−４５度」でかつ他方側に「＋４５度」の角度範囲で揺動される。なお、光学スキャン角度が「±４５度」の場合、スキャナミラー９３０の機械的スキャン角度は、０度を中心に「±２２．５度」になる。

比較例としての測距装置（図示せず）に搭載されたスキャナミラー９３０は、図７に示すように揺動される。ここで、図７は、スキャナミラー９３０を揺動軸１９０に沿って見た場合の図である。また、図７における中央枠内の模式図を光学スキャン角度が「±０度」（対象物１からの反射光４が受光用ミラー９５３の受光面９５３ａに対して４５度で入射する状態）とした場合に、図７における左枠内の模式図が、光学スキャン角度が「−４５度」の状態に対応するとともに、図７における右枠内の模式図が、光学スキャン角度が「＋４５度」の状態に対応している。

そして、光学スキャン角度が「＋４５度」の状態（図７の右枠内）において光検出部９４０が受光する受光量を１００％（基準値）とした場合、光学スキャン角度が「±０度」の状態（図７の中央枠内）では、受光用ミラー９５３が反時計回りに２２．５度回動されるので、光検出部９４０から見た場合の受光用ミラー９５３の有効な受光面積の比率（受光面９５３ａの光検出部９４０への投影面積の比率（百分率））は、約７７％になる。したがって、光検出部９４０が受光する受光量も約７７％になる。そして、光学スキャン角度が「−４５度」の状態（図７の左枠内）では、受光用ミラー９５３が反時計回りにさらに２２．５度回動されるので、光検出部９４０から見た場合の受光用ミラー９５３の有効な受光面積の比率（百分率）は、約４１％になる。したがって、光検出部９４０が受光する受光量も約４１％になる。

このことから、１枚の受光用ミラー９５３しか有しないスキャナミラー９３０では、光学スキャン角度が−４５度〜＋４５度までの間で、光検出部９４０が受光する受光量が約４１％〜１００％の間で変動することになる。したがって、光検出部９４０に到達する受光量が、極小値（約４１％）と極大値（１００％）との間でその変動幅が約５９％を有して大きく変動する。また、この特性は、図９における特性Ａ（太い破線）として示される。

一方、第１実施形態によるスキャナミラー３０では、図８に示すように、互いに９０度で交差する受光用ミラー５１および５２を備えている。ここで、受光用ミラー５１の受光面５１ａの面積Ｓ１（図４参照）および受光用ミラー５２の各々の受光面５２ａの面積Ｓ２（図４参照）は、比較例における受光用ミラー９５３の受光面９５３ａ（図６参照）の面積Ｓ９の半分であることを前提としている。これにより、光学スキャン角度が「±０度」の状態（図８の中央枠内）では、単一の光検出部４０から見た場合の受光用ミラー５１の有効な受光面積の比率（受光面５１ａの光検出部４０に対する投影面積の比率（百分率））および受光用ミラー５２の有効な受光面積の比率（受光面５２ａの光検出部４０に対する投影面積の比率（百分率））は、共に、約７７％になるので、光検出部４０が受光する受光量も約７７％になる。そして、光学スキャン角度が「＋４５度」の状態（図８の右枠内）では、受光用ミラー５２の有効な受光面積の比率が相対的に増加する一方、受光用ミラー５１の有効な受光面積の比率が相対的に減少する結果、全体として光検出部４０から見た場合のスキャナミラー３０の有効な受光面積の比率は、約７１％になり、光検出部４０が受光する受光量も約７１％になる。また、光学スキャン角度が「−４５度」の状態（図８の左枠内）では、受光用ミラー５２の有効な受光面積の比率（百分率）が相対的に減少する一方、受光用ミラー５１の有効な受光面積の比率（百分率）が相対的に増加する結果、全体として光検出部４０から見た場合のスキャナミラー３０の有効な受光面積の比率（百分率）は、約７１％になり、光検出部４０が受光する受光量も約７１％になる。

このことから、スキャナミラー３０では、光学スキャン角度が−４５度〜＋４５度までの間で、光検出部４０が受光する受光量が約７１％〜約７７％の間で変動することになる。したがって、光検出部４０に到達する受光量が、極小値（約７１％）と極大値（約７７％）との間でその変動幅が約６％を有して僅かに変動する程度にとどまる。また、この特性は、図９における特性Ｇ（太い実線）として示される。

以上から、比較例としての従来のスキャナミラー９３０の場合に光検出部９４０に到達する受光量の変動幅が約５９％であったものが、第１実施形態によるスキャナミラー３０では変動幅が約６％へと大幅に改善されているという知見が得られる。また、スキャナミラー９３０では受光量の極小値が約４１％であったものが、スキャナミラー３０では受光量の極小値が約７１％へと、約３０％の向上につながる点も特筆すべきことである。これにより、第１実施形態によるスキャナミラー３０を用いた場合に光検出部４０に到達する受光量が約６％の変動幅にとどめられるので、光検出部４０におけるＳ／Ｎ比（信号対雑音比）のばらつきも従来のスキャナミラー９３０を用いた場合よりも大幅に低減される。

なお、図９には、上記説明したスキャナミラー９３０およびスキャナミラー３０の各々の特性（特性Ａおよび特性Ｇ）に加えて、受光用ミラー５１と受光用ミラー５２との交差角度αを１５度〜１２０度まで１５度刻みで変化させた場合の、各々の光学スキャン角度における有効な受光面積の比率（光検出部４０が受光する受光量）を算出した結果を示す。

図９に示すように、特性Ａに加えて、特性Ｂ（交差角度α＝１５度）、特性Ｃ（交差角度α＝３０度）、特性Ｄ（交差角度α＝４５度）、特性Ｅ（交差角度α＝６０度）および特性Ｆ（交差角度α＝７５度）では、特性Ａ（交差角度α＝９０度：第１実施形態）よりも光検出部４０が受光する受光量が全体的に低下する傾向にある。また、特性Ｈ（交差角度α＝１０５度）および特性Ｉ（交差角度α＝１２０度）では、特性Ａ（交差角度α＝９０度：第１実施形態）よりも光検出部４０が受光する受光量が全体的に増加するものの、光学スキャン角度範囲（−４５度〜＋４５度）における有効な受光面積の比率（受光量）の極小値と極大値との差分（変動幅）が、特性Ａの約６％よりも大きくなる傾向にある。

このことから、受光用ミラー５１と受光用ミラー５２との交差角度αは９０度に設定されるのが最も好ましい。また、交差角度αに許容範囲を設けるならば、交差角度αは、７５度以上１０５度以下（特性Ｆから特性Ｈまでの間）であるのが好ましい。なお、より好ましい交差角度αの範囲としては、８５度以上９５度以下（特性Ｇの近傍の値；±５度）に設定することが望まれる。このようにして、第１実施形態による測距装置１００およびこれに搭載されるスキャナミラー３０は構成されている。

（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第１実施形態では、上記のように、揺動軸１５０まわりに各々の受光面５１ａおよび５２ａが互いに交差角度αを有した状態で（相対的位置関係を有して）対象物１からの反射光４をそれぞれ受光する受光用ミラー５１および５２を備える。これにより、受光用ミラー５１および５２は、各々の受光面５１ａおよび５２ａ間に交差角度αを有した状態で同一（共通）の揺動軸１５０まわりに揺動されるので、反射光４の１回のスキャン動作において、光検出部４０から見た場合の受光用ミラー５１および５２のいずれか一方の有効な受光面積（たとえば受光用ミラー５１の光検出部４０に対する投影面積）が減少して光検出部４０に導かれる反射光の受光量が減少する場合であっても、受光用ミラー５１および５２のいずれか他方の受光面積（たとえば受光用ミラー５２の光検出部４０に対する投影面積）が増加して、光検出部４０に導かれる反射光の受光量を増加させることができる。

したがって、単一の受光面を有する受光用ミラーまたは受光面が同一面内に揃えられた２つの受光用ミラーにより反射光を受光して光検出部に集光させる場合と比較して、受光面５１ａおよび５２ａが互いに交差角度αを有して配置された受光用ミラー５１および５２を介して光検出部４０に導かれる反射光の合計受光量の変化幅（変動幅）を減少させることができる。この結果、受光用ミラー（受光用ミラー５１および５２）の変位に応じた光検出部４０の受光量の変動幅（受光量の極小値と極大値との差）が顕著になるのを抑制することができる。また、光検出部４０の受光量の変動幅を低減させる（受光用ミラー５１および５２の揺動角度範囲（光学スキャン角度）に亘って光検出部４０の受光量を平準化させる）ことは、光検出部４０におけるＳ／Ｎ比（信号対雑音比）のばらつきを低減させることにつながる。これにより、受光用ミラー５１および５２の揺動角度範囲（光学スキャン角度）に関係なく光検出部４０の測定誤差を均一化させることができる。また、このような効果を奏する測距装置１００を容易に得ることができる。

また、第１実施形態では、受光用ミラー５１および５２を、受光面５１ａおよび５２ａ間の所定の交差角度αが略一定値である略９０度に維持した状態で揺動するように構成する。これにより、受光用ミラー５１と受光用ミラー５２とが略一定値の交差角度α（略９０度）を維持した状態で一体的に揺動されるので、受光用ミラー５１および５２を介して光検出部４０に導かれる反射光４ａおよび４ｂの合計受光量の変動幅を略一定値に維持することができる。

また、第１実施形態では、交差角度αを７５度以上１０５度以下に設定する。これにより、１回の反射光のスキャン動作における受光用ミラー５１および５２の変位に応じた光検出部４０の受光量の変動幅（受光量の極小値と極大値との差）が顕著になるのを確実に抑制することができる。なお、この効果は、上記した「従来のスキャナミラーとの対比および考察」において確認済みである。すなわち、図９に示すように、受光用ミラー５１および５２とがなす交差角度αは、受光量が比較的多く、かつ、変動幅が比較的小さい、７５度以上１０５度以下（特性Ｆから特性Ｈまでの間）であるのが好ましいことを確認済みである。

また、第１実施形態では、交差角度αを８５度以上９５度以下に設定する。これにより、１回の反射光のスキャン動作における受光用ミラー５１および５２の変位に応じた光検出部４０の受光量の変動幅（受光量の極小値と極大値との差）が顕著になるのをより効果的に抑制することができる。なお、この効果は、上記した「従来のスキャナミラーとの対比および考察」において確認済みである。すなわち、図９に示すように、受光用ミラー５１および５２とがなす交差角度αは、変動幅が最も小さい、９０度（特性Ｇ）が最も好ましく、９０度の近傍の範囲である±５度の範囲内である８５度以上９５度以下に交差角度αを構成することにより、変動幅（受光量の極小値と極大値との差）を効果的に低減できることを確認済みである。

また、第１実施形態では、受光用ミラー５１の受光面５１ａの面積Ｓ１と受光用ミラー５２の受光面５２ａの面積Ｓ２とを略等しく構成する。これにより、受光用ミラー５１が反射する光量特性（光検出部４０から見た場合の受光用ミラー５１の変位に伴う有効な受光面積の変化の特性）と受光用ミラー５２が反射する光量特性（光検出部４０から見た場合の受光用ミラー５２の変位に伴う有効な受光面積の変化の特性）とを互いに略等しくすることができる。したがって、受光用ミラー５１および５２のいずれか一方の反射光量が少ない場合に他方の反射光量を多くして光検出部４０に導かれる反射光４ａおよび４ｂの合計受光量を相互に補完し合うという作用を有効に生じさせることができる。

また、第１実施形態では、スキャナミラー３０に、受光用ミラー５１および５２を支持する基材部５３（板状部５６）と、固定部５４ａおよび５４ｂと、板状部５６と固定部５４ａおよび５４ｂとの間に位置するミアンダ構造の捻れ部５５ａおよび５５ｂとを備える。これにより、ミアンダ構造を有する捻れ部５５ａおよび５５ｂによって、板状部５６を固定部５４ａおよび５４ｂに対して容易に揺動させることができる。その結果、板状部５６に支持された受光用ミラー５１および５２を、交差角度αを有した状態で、所定の角度範囲で揺動させることができる。

［第２実施形態］
次に、図１、図２および図１０を参照して、第２実施形態について説明する。この第２実施形態では、出射用ミラー５９を基材部２５３に固定して（支持させて）スキャナミラー２３０を構成した例について説明する。なお、図中において、上記第１実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。

本発明の第２実施形態による測距装置２００（図１参照）では、図１０に示すように、スキャナミラー２３０を備える。また、スキャナミラー２３０は、反射用ミラー部２５０と、ミラー駆動部６０（図１参照）とを含んでいる。そして、スキャナミラー２３０においては、基材部２５３に対して、出射用ミラー５９と、受光用ミラー５１と、受光用ミラー５２とが固定されて構成されている。この場合、基材部２５３における同一（共通）の揺動軸１５０に沿った一方側（Ｘ１側）から他方側（Ｘ２側）に向かって、出射用ミラー５９、受光用ミラー５１および５２の順に配置されている。なお、基材部２５３は、特許請求の範囲の「支持部」の一例である。また、出射用ミラー５９は、特許請求の範囲の「第３反射部」の一例である。

また、第２実施形態では、出射用ミラー５９の反射面５９ａは、交差角度α（略９０度）を有して互いに交差する受光用ミラー５１の受光面５１ａと受光用ミラー５２の受光面５２ａとの間の角度範囲内に位置している。この場合、出射用ミラー５９の反射面５９ａは、受光用ミラー５２の受光面５２ａと略同一面内に揃えられている。また、受光用ミラー５１および５２の各々の受光面５１ａおよび５２ａの面積Ｓ１およびＳ２は、出射用ミラー５９の反射面５９ａの面積Ｓ３よりも大きい（Ｓ１＝Ｓ２＞Ｓ３）。そして、出射用ミラー５９と受光用ミラー５１と受光用ミラー５２とが一体となって揺動軸１５０まわりに矢印Ｐ１方向および矢印Ｐ２方向に揺動されるように構成されている。なお、スキャナミラー２３０における出射用ミラー５９と受光用ミラー５１との間には、出射用ミラー５９から出射されるレーザ光３が受光用ミラー５１および５２に回り込むのを防止するための遮光壁５（破線で示す）が設けられている。なお、第２実施形態における測距装置２００のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、上記のように、光を射出するＬＤ部１０からのレーザ光３をスキャン領域２に向けて反射させる出射用ミラー５９をスキャナミラー２３０に設ける。そして、出射用ミラー５９を基材部２５３に支持させる。これにより、受光用ミラー５１および５２が支持（固定）された基材部２５３を利用して出射用ミラー５９を揺動させることができる。したがって、出射用ミラー５９の揺動軸を別途設ける場合と異なり、基材部２５３が出射用ミラー５９の揺動軸を兼ねる分、スキャナミラー２３０が搭載される測距装置２００の部品点数が増加するのを抑制することができる。また、受光用ミラー５１および５２の揺動に同期させて出射用ミラー５９を揺動させることができるので、出射用ミラー５９のミラー駆動部を別途設ける場合と異なり、スキャナミラー２３０が搭載される測距装置２００の構成を簡素化させることができる。

また、第２実施形態では、基材部２５３における同一（共通）の揺動軸１５０の（に沿った）一方側（Ｘ１側）から他方側（Ｘ２側）に向かって、出射用ミラー５９、受光用ミラー５１、および、受光用ミラー５２の順に配置してスキャナミラー２３０を構成する。これにより、スキャナミラー２３０が搭載される測距装置２００においては、出射用ミラー５９を含む出射光側の光学系１０１（図１参照）と、受光用ミラー５１および５２を含む反射光側の光学系１０２（図１参照）とを互いに分離して配置することができるので、測距装置２００内の光学設計を容易に調整することができる。

また、第２実施形態では、受光用ミラー５１および５２の各々の受光面５１ａおよび５２ａの面積Ｓ１および面積Ｓ２を、出射用ミラー５９の反射面５９ａの面積Ｓ３よりも大きく構成する。これにより、スキャン領域２内に存在する対象物１から反射された反射光４（４ａおよび４ｂ）を受光用ミラー５１および５２により確実に受光するとともに、光検出部４０に確実に反射（導光）させることができる。なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

［第３実施形態］
次に、図１、図２、図１０および図１１を参照して、第３実施形態について説明する。この第３実施形態では、出射用ミラー５９を、受光用ミラー５１と受光用ミラー５２との間に配置してスキャナミラー３３０を構成した例について説明する。なお、図中において、上記第１実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。

本発明の第３実施形態による測距装置３００（図１参照）では、図１１に示すように、スキャナミラー３３０を備える。また、スキャナミラー３３０は、反射用ミラー部３５０と、ミラー駆動部６０とを含んでいる。そして、スキャナミラー３３０においては、基材部３５３における同一（共通）の揺動軸１５０に沿った一方側（Ｘ１側）から他方側（Ｘ２側）に向かって、受光用ミラー５１、出射用ミラー５９および受光用ミラー５２の順に各構成要素が配置されている。すなわち、出射用ミラー５９が受光用ミラー５１と受光用ミラー５２との間に配置されている。なお、基材部３５３は、特許請求の範囲の「支持部」の一例である。

これにより、測距装置３００においては、出射用ミラー５９から対象物１（図１参照）を含むスキャン領域２（図１参照）に向けて出射されるレーザ光３（図１参照）の光軸と、スキャン領域２内に存在する対象物１から反射された反射光４（４ａおよび４ｂ）（図１参照）の反射光軸（受光光軸）とを極力近付けることが可能に構成されている。そして、受光用ミラー５１と出射用ミラー５９と受光用ミラー５２とが一体となって揺動軸１５０まわりに矢印Ｐ１方向および矢印Ｐ２方向に揺動されるように構成されている。なお、スキャナミラー３３０における受光用ミラー５１と出射用ミラー５９との間、および、出射用ミラー５９と受光用ミラー５２との間には、出射用ミラー５９から出射されるレーザ光３が受光用ミラー５１および５２に回り込むのを防止するための遮光壁（図示せず）がそれぞれ設けられている。この一対の遮光壁は、上記第２実施形態において説明した遮光壁５（図１０参照）と同様に構成されている。なお、図１１においては、スキャナミラー３３０自体の構成を明確に図示するために、この一対の遮光壁の図示を便宜的に省略している。なお、第３実施形態における測距装置３００のその他の構成は、上記第２実施形態と同様である。

（第３実施形態の効果）
第３実施形態では、上記のように、基材部３５３における同一（共通）の揺動軸１５０の（に沿った）一方側（Ｘ１側）から他方側（Ｘ２側）に向かって、受光用ミラー５１、出射用ミラー５９および受光用ミラー５２の順に配置してスキャナミラー３３０を構成する。これにより、出射用ミラー５９を受光用ミラー５１と受光用ミラー５２との間に配置することができるので、出射用ミラー５９から対象物１（図１参照）を含むスキャン領域２（図１参照）に向けて出射されるレーザ光３（図１参照）の光軸と、スキャン領域２内に存在する対象物１から反射された反射光４（４ａおよび４ｂ）（図１参照）の反射光軸（反射光４ａの光軸および反射光４ａの光軸）とを、極力近付けることができる。したがって、パララックス（視差）を緩和することができるので、対象物１までの距離が相対的に近い（短い）場合においても、その対象物１までの距離を精度よく計測することが可能な測距装置３００を得ることができる。なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第２実施形態と同様である。

［変形例］
今回開示された実施形態は、全ての点で例示であり制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記第１〜第３実施形態では、ＬＤ（レーザダイオード）部１０を用いて特許請求の範囲の「光源」を構成したが、本発明はこれに限られない。たとえば、揺動する出射用ミラー２０および５９を用いることなく、ＬＥＤ（発光ダイオード）を「光源」に用いるとともに細長いかまぼこ型の凸レンズ（シリンドリカルレンズ）を並べてシート状にしたレンチキュラーレンズによってＬＥＤ光をスキャン領域２に拡散させるように光学系１０１を構成してもよい。そして、拡散光のうち対象物１によって反射された反射光４を受光する際に、一対の受光用ミラー５１および５２を一体的に揺動させるスキャナミラー３０を用いてこの反射光４を受光するように測距装置を構成してもよい。このような構成においても、受光用ミラー５１および５２の揺動角度範囲（光学スキャン角度）に亘って光検出部４０の受光量を平準化させることができるとともに、受光用ミラー５１および５２の揺動角度範囲（光学スキャン角度）に関係なく光検出部４０の測定誤差を均一化させることができる。

また、上記第１〜第３実施形態では、ミラー駆動部６０を永久磁石６１と、電磁力により永久磁石６１を揺動させる電磁駆動用コイル６２とによって構成したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基材部５３におけるミアンダ構造を有する捻れ部５５ａおよび５５ｂの部分に圧電体（電圧が印加されると極性に応じてＺ１側またはＺ２側がＺ軸方向に伸縮変形を起こす圧電素子）を組み込んでもよい。そして、所定のパターンに制御された電圧を圧電体に印加することによって、基材部５３に支持されている受光用ミラー５１および５２を所定の角度範囲で揺動させるようにスキャナミラー３０（２３０、３３０）を構成してもよい。

また、上記第１〜第３実施形態では、受光用ミラー５１の受光面５１ａと受光用ミラー５２の受光面５２ａとを揺動軸１５０まわりに互いに略９０度だけ交差させたが、本発明はこれに限られない。すなわち、図９に示した受光量の特性（試算結果）からも明らかなように、本発明では、受光面５１ａと受光面５２ａとの交差角度αが、７５度以上１０５度以下であればよい。また、より好ましくは、８５度以上９５度以下であればよい。受光面５１ａと受光面５２ａとの交差角度αがこれらの角度範囲内であれば、本発明の効果を十分に得ることができる。

また、上記第２および第３実施形態では、出射用ミラー５９の反射面５９ａを受光用ミラー５２の受光面５２ａと略同一面内に揃えてスキャナミラー２３０（３３０）を構成したが、本発明はこれに限られない。本発明では、交差角度α（９０度）を有して互いに交差する受光面５１ａと受光面５２ａとの間の角度範囲内であるのならば、出射用ミラー５９の反射面５９ａを受光面５１ａまたは受光面５２ａと略同一面内に揃えなくてもよい。

また、上記第１〜第３実施形態では、光学スキャン角度が「±４５度」（機械的スキャン角度が±２２．５度）に設定されたスキャナミラー３０（２３０、３３０）に対して本発明を適用したが、本発明はこれに限られない。機械的スキャン角度が±２２．５度以外の機械的スキャン角度に設定されたスキャナミラーに対して本発明を適用してもよい。

また、上記第１〜第３実施形態では、受光用ミラー５１および５２を用いて特許請求の範囲の「第１反射部」および「第２反射部」を構成し、出射用ミラー２０および５９を用いて特許請求の範囲の「第３反射部」を構成したが、本発明はこれに限られない。すなわち、「ミラー」以外の反射部により、第１〜第３反射部を構成してもよい。

１０ ＬＤ部（光源）
２０、５９ 出射用ミラー（第３反射部）
３０、２３０、３３０ スキャナミラー
５１ 受光用ミラー（第１反射部）
５１ａ、５２ａ 受光面
５２ 受光用ミラー（第２反射部）
５３、２５３、３５３ 基材部（支持部）
５４ａ、５４ｂ 固定部（端部）
５５ａ、５５ｂ 捻れ部
５６ 板状部（支持部）
６０ ミラー駆動部（駆動部）
１５０ 揺動軸
α 交差角度（第１反射部の受光面と第２反射部の受光面とがなす角度、相対的位置関係）

Claims (10)

1. 各々の受光面が相対的位置関係を有して、同一の搖動軸上に配置される第１反射部および第２反射部と、
   前記第１反射部および前記第２反射部を所定の角度範囲で揺動させる駆動部と、を備える、スキャナミラー。
2. 前記第１反射部および前記第２反射部は、前記相対的位置関係が略一定に維持された状態で揺動されるように構成されている、請求項１に記載のスキャナミラー。
3. 前記相対的位置関係は、前記第１反射部の受光面と前記第２反射部の受光面とがなす角度が７５度以上１０５度以下となることである、請求項１または２に記載のスキャナミラー。
4. 前記相対的位置関係は、前記第１反射部の受光面と前記第２反射部の受光面とがなす角度が８５度以上９５度以下となることである、請求項３に記載のスキャナミラー。
5. 前記第１反射部の受光面の面積と、前記第２反射部の受光面の面積とは、略等しい、請求項１〜４のいずれか１項に記載のスキャナミラー。
6. 光源と、
   前記光源からの光を反射させる第３反射部とを備え、
   前記第３反射部は、前記搖動軸上に搖動可能に支持される、請求項１〜５のいずれか１項に記載のスキャナミラー。
7. 前記揺動軸方向の一方に、前記第１反射部、前記第３反射部、および前記第２反射部の順に配置されている、請求項６に記載のスキャナミラー。
8. 前記揺動軸方向の一方に、前記第３反射部、前記第１反射部、および前記第２反射部の順に配置されている、請求項６に記載のスキャナミラー。
9. 前記第１反射部および前記第２反射部の各々の前記受光面の面積は、前記第３反射部の反射面の面積よりも大きい、請求項６〜８のいずれか１項に記載のスキャナミラー。
10. 前記第１反射部および前記第２反射部を支持する支持部と、前記支持部の前記揺動軸方向の端部と、前記支持部と前記端部との間に位置するミアンダ構造の捻れ部とを備える、請求項１〜９のいずれか１項に記載のスキャナミラー。

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