JP2018027588A - 研削装置のアイドリング方法 - Google Patents
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Images
Landscapes
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Abstract
Description
12 基台
14 チャックテーブルユニット
16 ターンテーブル
18、20、22 チャックテーブル
24 支持基台
25 連通路
26 セラミックス体
28 環状セラミックス
30 ポーラスセラミックス
32 保持面
34 吸引源
36 圧縮空気供給源
38 定温水供給装置
39 水供給源
40a 第1昇降部
40b 第2昇降部
42a 第1垂直基台
42b 第2垂直基台
44、46 ガイドレール
48 ブラケット
50 ボルト
52 昇降用モータ
60a 第1研削ユニット
60b 第2研削ユニット
62a 第1モータ
64a 第1モータ固定冶具
66a 第1研削砥石
66b 第2研削砥石
68a 研削面
80a 第1研削水ノズル
80b 第2研削水ノズル
82 研削水供給路
84 研削水
86 加工室カバー
88 加工室
90、92 カセット
94 位置合わせ部
96 搬入部
98 搬出部
100 洗浄部
102 搬出入部
104 ハンド
110 制御部
120 温調水供給路
122 温調水
R1 第1進退方向
R2 第2進退方向
D デバイス
T 保護部材
W 板状ワーク
W1 デバイス領域
W2 余剰領域
W3 凹形状部
W4 補強部
Wa 表面
Wb 裏面
Claims (3)
- 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に研削加工を施す研削ユニットと、を備えた研削装置のアイドリング方法であって、
研削加工運転中に該チャックテーブルの保持面で保持する被加工物に供給する研削水より所定温度高い水温の温調水を該チャックテーブルの内部に供給しながらアイドリング運転を実施し、該チャックテーブルの状態を該被加工物の研削の際に生じる加工熱の影響を受けた状態にすることを特徴とする研削装置のアイドリング方法。 - 該研削水より所定温度高い水温の温調研削水を該保持面に供給しながらアイドリング運転を実施し、該チャックテーブルと該研削ユニットとを収容する加工室の温度を、該被加工物の研削の際に生じる加工熱の影響を受けた状態にすることを特徴とする請求項1に記載の研削装置のアイドリング方法。
- 該温調水は、該チャックテーブルの内部を通過して該保持面から噴出し、該チャックテーブルの該保持面に該被加工物が載置される前まで供給されることを特徴とする請求項1又は2に記載の研削装置のアイドリング方法。
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