JP2018024933A - Cu−Gaスパッタリングターゲット及びCu−Gaスパッタリングターゲットの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属成分として、Gaを5原子%以上60原子%以下の範囲で含有し、さらにK、Rb、Csからなる群より選ばれる少なくとも1種の添加元素を0.01原子%以上5原子%以下の範囲で含有し、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有し、前記添加元素の全部または一部が、F、Cl、BrおよびIからなる群より選ばれる少なくとも1種のハロゲンを含むハロゲン化物粒子の状態で存在し、前記ハロゲン化物粒子の最大粒子径が15μm以下とされていて、酸素濃度が1000質量ppm以下とされているCu−Gaスパッタリングターゲット。
【選択図】図1
Description
ここで、Cu−In−Ga−Se四元系合金薄膜からなる光吸収層を形成する方法として、蒸着法により成膜する方法が知られている。蒸着法によって成膜された光吸収層を備えた太陽電池は、エネルギー交換効率が高いといった利点を有しているものの、大面積化に不向きであり、生産効率が低いといった問題があった。
スパッタ法においては、まず、Inスパッタリングターゲットを用いてIn膜を成膜し、このIn膜の上にCu−Gaスパッタリングターゲットを用いてCu−Ga膜を成膜して、In膜とCu−Ga膜との積層膜を形成する。そして、この積層膜をSe雰囲気中で熱処理して、積層膜をセレン化することにより、Cu−In−Ga−Se四元系合金薄膜を形成する。
そこで、Cu−In−Ga−Se四元系合金薄膜にアルカリ金属を添加する手段として、例えば特許文献1には、Cu−Ga膜を成膜する際に用いられるCu−Gaスパッタリングターゲットにアルカリ金属を添加する方法が開示されている。
そして、添加元素であるK、Rb、Csが、最大粒子径が15μm以下とされたハロゲン化物粒子として含有されているので、スパッタ時の異常放電を抑制することができる上に、K、Rb、Csが均一に分散されたCu−Ga膜を安定して成膜することができる。
さらに、酸素濃度が1000質量ppm以下とされているので、電気抵抗の高い酸化物が少なく、スパッタ時の異常放電をより確実に抑制することができる。
この場合は、添加元素であるK、Rb、Csの含有量のばらつきが0.05%以下と小さいので、K、Rb、Csが均一に分散されたCu−Ga膜を確実に成膜することができる。
この場合、K、Rb、Csと共に、アルカリ金属であるNaが均一に分散されたCu−Ga膜を安定して成膜することができる。
本実施形態に係るスパッタリングターゲットは、例えばCIGS系薄膜太陽電池においてCu−In−Ga−Se四元系合金薄膜からなる光吸収層を形成するために、Cu−Ga膜をスパッタによって成膜する際に用いられるものである。
ここで、アルカリ金属である前記添加元素(K、Rb、Cs)は、Cu−Gaスパッタリングターゲットによって成膜されたCu−Ga膜中に含有され、CIGS系薄膜太陽電池の変換効率を向上させる作用を有する元素である。本実施形態では、前記添加元素を0.01原子%以上5原子%以下と比較的多く含んでいる。
まず、Cu−Gaスパッタリングターゲットの45箇所の位置から試料片を取り出す。
試料片は、例えば、次のようにして取り出すことができる。CuGaスパッタリングターゲットを、スパッタ面における縦方向に3等分し、横方向に5等分して計15個のブロックに分ける。次いで、得られたブロックを、さらに厚み方向に5等分して薄型ブロックを得る。そして5等分した薄型ブロックのうちの最上部と最下部と中間部の3箇所の計45個の薄型ブロックをそれぞれ試料片として取り出す。
次いで、取り出した計45個の試料片に含まれる前記添加元素の含有量をそれぞれ測定する。測定された前記添加元素のそれぞれの含有量の平均値を算出し、測定された前記添加元素のそれぞれの含有量の最大値から前記添加元素のそれぞれの含有量の平均値を引いた値(上部)と、前記添加元素のそれぞれの含有量の平均値から測定された前記添加元素のそれぞれの含有量の最小値を引いた値(下部)とをそれぞればらつきとして求める。なお、前記添加元素含有量の単位は試料片の質量を基準とした質量%である。
本実施形態に係るCu−Gaスパッタリングターゲットの製造方法は、図2に示すように、Cu−ハロゲン化物混合粉末作製工程S01と、Cu−Na化合物混合粉末作製工程S02と、Cu−Ga合金粉末作製工程S03と、混合工程S04と、充填工程S05と、焼結工程S06と、加工工程S07とを備えている。
Cu−ハロゲン化物混合粉末作製工程S01では、ハロゲン化物粉末とCu粉末とを粉砕混合して、ハロゲン化物粉末の最大粒子径が15μm以下とされているCu−ハロゲン化物混合粉末を作製する。
水分含有量(質量%)=加熱処理によるハロゲン化物粉末の質量減少量(g)/加熱処理前のハロゲン化物粉末の質量(g)×100
ハロゲン化物粉末は、真空下で200℃の乾燥処理を2時間行うことで、吸着した水分を除去することが可能である。このような乾燥処理を事前に行うことが考えられるが、乾燥処理によって得られた粉末を使用する場合、乾燥装置の外の環境は、装置内よりも水分量が多くなってしまうため、乾燥した粉末は水分を急激に吸着する場合がある。急激に水分が吸着した結果、粉末の表面に形成された飽和水溶液が薄まり、さらに粉末を溶かしてしまう、いわゆる潮解現象が容易に生じてしまう。したがって露点が−20℃より高い環境においては、このような乾燥処理を行う操作は逆効果となってしまうことがある。このため、本実施形態において、ハロゲン化物粉末の乾燥を行う場合は、露点が−20℃以下の環境で行うことが好ましい。
Cu−Na化合物混合粉末作製工程S02では、Na化合物粉末とCu粉末とを混合して、Cu−Na化合物混合粉末を作製する。Na化合物混合粉末中のNa化合物粉末の最大粒子径は、15μm以下とされていることが好ましい。
Na化合物粉末とCu粉末の混合比率は、Na化合物粉末の含有量が10質量%以下となる比率であることが好ましい。なお、Cu−Na化合物混合粉末中のNa化合物粉末の含有量は、1質量%以上であることが好ましい。
得られたCu−Na化合物混合粉末中のNa化合物粉末は、最大粒子径が15μm以下とされていることが好ましい。
Cu−Ga合金粉末作製工程S03では、Cu−Ga合金粉末を以下のような手順で作製する。
まず、塊状のCu原料及びGa原料を所定の組成となるように秤量し、カーボン製のるつぼに入れてガスアトマイズ装置にセットする。真空排気を行って1000℃以上1200℃の温度条件で1分以上30分以下保持して原料を溶解した後、孔径1mm以上3mm以下のノズルから溶湯を落下させながら、噴射ガス圧1MPa以上5Mpa以下の条件でArガスを噴射させ、ガスアトマイズ粉を作製する。冷却後、得られたガスアトマイズ粉を90〜500μmのふるいで分級することにより、所定の粒径のCu−Ga合金粉末を得る。
次に、上述のようにして作製した、Cu−ハロゲン化物混合粉末、Cu−Na化合物混合粉末およびCu−Ga合金粉末を、所定の組成になるように秤量し、混合装置を用いて、混合して原料混合粉末を得る。混合装置としては、ボールミル装置やヘンシェルミキサー等の粉砕機能を有する混合装置を用いることが好ましい。ボールミル装置を用いて混合する際の条件は、例えば10L容量のボールミル容器に対して、容器内に酸素濃度が100ppm以下になるまでArガスもしくはN2ガスを充填させた後、φ5mmのジルコニア製ボール5〜10kg、原料粉末(Cu−ハロゲン化物混合粉末、Cu−Na化合物混合粉末、Cu−Ga合金粉末)を合計で3〜5kg投入し、85〜100rpmで運転時間20〜40時間とすることが好ましい。なお、V型混合機やロッキングミキサー等の混合を主体とする粉砕混合装置は、ハロゲン化物粉末が凝集するおそれがあるため、好ましくない。
次に、上記のようにして得られた原料混合粉末を、所定の型に充填する。
次に、上記の型に充填した原料混合粉末を、真空又は不活性ガス雰囲気中又は還元雰囲気中で焼結を行う。焼結工程S06における焼結温度は、得られる焼結体の母相であるCu−Ga合金および添加元素であるK、Rb、Csのハロゲン化物の中で最も低い融点Tmに応じて設定することが好ましく、具体的には、(Tm−70)℃以上(Tm−20)℃以下の範囲内とすることが好ましい。また、焼結は、加圧下にて行うことが好ましい。加圧の圧力は1MPa以上60MPa以下の範囲内とすることが好ましい。焼結方法として、常圧焼結、ホットプレス、熱間静水圧プレスを適用することが可能である。
焼結工程S07では、得られた焼結体に対して切削加工又は研削加工を施すことにより、所定形状のスパッタリングターゲットに加工する。
なお、ハロゲン化物は水に溶解し易いことから、加工工程S07においては、冷却液を使用しない乾式法を適用することが好ましい。
但し、充填工程S05は、極短時間であれば、大気中にて実施してもよい。なお、ここでいう極短時間とは、例えば温度25℃で湿度40%(露点10℃)の環境下では3分間である。
さらに、酸素濃度が1000質量ppm以下とされているので、電気抵抗の高い酸化物が少なく、ノジュールの発生を低減でき、スパッタ時の異常放電をより確実に抑制することができる。
例えば、本実施形態では、Na化合物を含むCu−Gaスパッタリングターゲットの製造方法を説明したが、本発明のCu−GaスパッタリングターゲットはNa化合物を含まなくてもよい。また、本実施形態では、添加元素であるK、Rb、Csの全部がハロゲン化物粒子の状態で存在しているものとして説明したが、本発明のCu−Gaスパッタリングターゲットでは、添加元素の一部は、ハロゲン化物粒子以外の状態で存在していてもよい。
さらに、本実施形態のCu−Gaスパッタリングターゲットの製造方法では、Na化合物粉末を、Cu−Na化合物混合粉末作製工程S02で作成したCu−Na化合物混合粉末として、混合工程S04で使用したが、これに限定されることはなく、Na化合物粉末単独で使用してもよい。さらにまた、Cu−Ga合金粉末作製工程S03を実施せずに、市販のCu−Ga合金粉末を使用してもよい。
なお、本実施例において、添加元素であるK、Rb、Csを含むハロゲン化物粉末、Na化合物粉末、Cu粉末の平均粒子径は、レーザー回折式粒子径分布測定装置を用いて測定した。ハロゲン化物粉末とNa化合物粉末の平均粒子径は乾式で測定し、Cu粉末の平均粒子径は湿式で測定した。
Cu粉末の比表面積は、全自動比表面積(BET)測定装置(Macsorb社製 HM−model−1201)を用いて測定した。
<スパッタリングターゲットの作製>
Cu−Kハロゲン化物混合粉末と、Cu−Na化合物混合粉末と、Cu−Ga合金粉末を、次のようにして作製した。
次に、10L容量のボールミル容器に、秤量したKハロゲン化物粉末とCu粉末の全量(3kg)と、φ5mmのジルコニア製ボール10kgとを投入し、容器内にArガスを充填させた後、回転数85rpmで20時間粉砕混合して、Cu−Kハロゲン化物混合粉末を作製した。作製したCu−Kハロゲン化物混合粉末中のKハロゲン化物粉末の最大粒子径を次のようにして測定した。その結果を、表1の「混合後のKハロゲン化物最大粒子径」の欄に示す。
Cu−Kハロゲン化物混合粉末を、焼結させて焼結体を得た。得られた焼結体の表面を#500の紙やすりで乾式研磨した。研磨した表面のうちの任意に選択された50mm×50mmの範囲に対して、SEMを用いて観察し、粒子径が最も大きなKハロゲン化物粒子の外接円相当径を測定した。
次に、10L容量のボールミル容器に、秤量したNa化合物粉末とCu粉末の全量(3kg)と、φ5mmのジルコニア製ボール10kgを投入し、容器内にArガスを充填させた後、回転数85rpmで20時間粉砕混合して、Cu−Na化合物混合粉末を作製した。
次に、カーボン製のるつぼをガスアトマイズ装置にセットして、真空排気を行って1100℃で5分保持して原料を溶解した後、孔径1.5mmのノズルから溶湯を落下させながら、噴射ガス圧2.5MPaでArガスを噴射させ、ガスアトマイズ粉を作製した。冷却後、得られたガスアトマイズ粉を125μmのふるいで分級し、所定の粒径のCu−Ga合金粉末を得た。
次に、10L容量のボールミル容器に、秤量したCu−Kハロゲン化物混合粉末と、Cu−Na化合物混合粉末と、Cu−Ga合金粉末を全量(3kg)と、φ5mmのジルコニア製ボール10kgを投入し、容器内にArガスを充填させた後、85rpmで運転時間20時間の粉砕混合条件で粉砕混合して、原料混合粉末を得た(混合工程S04)。
次に、原料混合粉末を充填した金型を、ホットプレスを用いて、プレス圧力が20MPa、加熱温度が、母相であるCu−Ga合金の融点がKハロゲン化物の融点よりも低い場合は、Cu−Ga合金の融点に対して−60℃となる温度、母相であるCu−Ga合金の融点がKハロゲン化物の融点よりも高い場合は、Kハロゲン化物の融点に対して−20℃となる温度の条件で加熱して、原料混合粉末を焼結させて焼結体を得た(焼結工程S06)。
次に、得られた焼結体に対して研削加工を施すことにより、スパッタ面のサイズが縦127mm×横279.4mmで、厚さが10mmのCu−Gaスパッタリングターゲッを作製した(加工工程S07)。
また、本発明例1、2、4〜6、9、10、12〜15および比較例1〜3、5、6では、Kハロゲン化物粉末として水分含有量が0.1質量%以下のものを使用した。本発明例3、7、8、11および比較例4、7では、予めKハロゲン化物粉末を、露点−20℃以下で−50℃より高い空気雰囲気下で金属製の皿の上に載せ、皿の下部に設置したヒーターを用いて、金属製の皿の温度が150℃になるまで加熱し、その後10分間保持して乾燥させて、水分含有量を0.05質量%以下としたもの使用した。
作製されたCu−Gaスパッタリングターゲットについて、金属成分の含有量、Kハロゲン化物粒子とNa化合物粒子の最大粒子径、酸素濃度、K含有量のばらつき、スパッタ時の異常放電を、以下のようにして評価した。評価結果を表4に示す。
作製されたCu−Gaスパッタリングターゲットを粉砕し、酸で前処理した後、ICP−AESによってGa、K、Naの組成分析を行った。Cu成分については、Ga、K、Naを除く残部として記載した。
作製されたCu−Gaスパッタリングターゲットのスパッタ面を#500の紙やすりで乾式研磨を行った。研磨した表面のうちの任意に選択された50mm×50mmの範囲に対して、SEMを用いて観察し、粒子径が最も大きなKハロゲン化物粒子とNa化合物粒子の外接円相当径を測定した。なお、Kハロゲン化物粒子とNa化合物粒子は、EDS(エネルギー分散形X線分光器)を用いてKとNaの元素マッピング像を測定し、その元素マッピング像を用いて特定した。
JIS Z 2613「金属材料の酸素定量方法通則」に記載された赤外線吸収法によって測定した。
作製されたCuGaスパッタリングターゲットを、スパッタ面における縦方向に3等分し、横方向に5等分して計15個のブロックに分けた。次いで、得られたブロックを、さらに厚み方向に5等分して薄型ブロックを得た。そして、5等分した薄型ブロックのうちの最上部と最下部と中間部の3箇所の計45個の薄型ブロックをそれぞれ試料片として取り出した。取り出した計45個の試料片を、酸で前処理した後、ICP−AESによってKの含有量を測定した。測定されたKの含有量の平均値を算出し、測定されたKの含有量の最大値からKの含有量の平均値を引いた値をばらつきの上部として、Kの含有量の平均値から測定されたKの最小値を引いた値をばらつきの下部として、表4に示した。
作製されたCu−Gaスパッタリングターゲットを用いて下記の条件でスパッタによる成膜を行った。マグネトロンスパッタ装置により、スパッタガスとしてArガスを用いて、流量50sccm,圧力0.67Paとし、投入電力として3W/cm2(低出力)及び7W/cm2(高出力)の2種類の電力にてそれぞれ1時間のスパッタを行い、DC電源装置に備えられているアークカウント機能により、異常放電の回数を計測した。本実施例では、電源装置として、RPG−50(mks社製)を使用した。なお、スパッタを1時間継続して行うことができなかった場合は、「継続不可」とした。
Kハロゲン化物粒子の代わりに、純度が3NのRbハロゲン化物粉末および純度が3NのCsハロゲン化物粉末を用い、各原料の仕込み量、および焼結工程S06の加熱温度を変えたこと以外は、本発明例1〜15および比較例1〜6と同様にして、Cu−Gaスパッタリングターゲットを製造した。
Cu−ハロゲン化物混合粉末作製工程S01でのRbハロゲン化物粉末、Csハロゲン化物粉末およびCu粉末の仕込み量を、表5に示す。また、作製したCu−ハロゲン化物混合粉末中のハロゲン化物粉末の最大粒子径を上述の方法と同様にして測定した。その結果を、表5の「混合後のRbハロゲン化物/Csハロゲン化物の最大粒子径」の欄に示す。
混合工程S04でのCu−ハロゲン化物混合粉末と、Cu−Na化合物混合粉末と、Cu−Ga合金粉末の仕込み量を、表7に示す。
また、本発明例16〜17、19、20、22−24および比較例8、9、11〜15では、ハロゲン化物粉末として水分含有量が0.1質量%以下のものを使用した。本発明例18、21および比較例10では、予めハロゲン化物粉末を、露点―20℃以下で−50℃より高い空気雰囲気下で金属製の皿の上に載せ、皿の下部に設置したヒーターを用いて、金属製の皿の温度が150℃になるまで加熱し、その後10分間保持して乾燥させて、水分含有量を0.05質量%以下としたもの使用した。
2 ハロゲン化物粒子
Claims (4)
- 金属成分として、Gaを5原子%以上60原子%以下の範囲で含有し、さらにK、Rb、Csからなる群より選ばれる少なくとも1種の添加元素を0.01原子%以上5原子%以下の範囲で含有し、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有し、
前記添加元素の全部または一部が、F、Cl、BrおよびIからなる群より選ばれる少なくとも1種のハロゲンを含むハロゲン化物粒子の状態で存在し、
前記ハロゲン化物粒子の最大粒子径が15μm以下とされていて、
酸素濃度が1000質量ppm以下とされていることを特徴とするCu−Gaスパッタリングターゲット。 - 前記添加元素の含有量のばらつきが、0.05質量%以下であることを特徴とする請求項1に記載のCu−Gaスパッタリングターゲット。
- さらに、Naを0.01原子%以上10原子%以下の範囲で含有し、
前記Naが、F、Cl、Br、I、SおよびSeからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含むNa化合物粒子の状態で存在することを特徴とする請求項1または2に記載のCu−Gaスパッタリングターゲット。 - 請求項1に記載のCu−Gaスパッタリングターゲットを製造するCu−Gaスパッタリングターゲットの製造方法であって、
F、Cl、BrおよびIからなる群より選ばれる少なくとも1種のハロゲンとK、Rb、Csからなる群より選ばれる少なくとも1種の添加元素を含み、平均粒子径が15μm以上であるハロゲン化物粉末と、前記ハロゲン化物粉末より平均粒子径が小さく、且つ比表面積が0.15m2/g以上であるCu粉末とを前記ハロゲン化物粉末の含有量が10質量%以下となる混合比率で粉砕混合して、前記ハロゲン化物粉末の最大粒子径が15μm以下とされているCu−ハロゲン化物混合粉末を作製するCu−ハロゲン化物混合粉末作製工程と、
前記Cu−ハロゲン化物混合粉末と、Cu−Ga合金粉末とを混合して原料混合粉末を得る混合工程と、
前記原料混合粉末を型に充填する充填工程と、
前記型に充填した前記原料混合粉末を焼結して焼結体を得る焼結工程とを備えており、
前記Cu−ハロゲン化物混合粉末作製工程および前記混合工程を、露点が−20℃以下で−50℃より高いガス雰囲気下で実施することを特徴とするCu−Gaスパッタリングターゲットの製造方法。
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