JP2018024561A - 誘電体多層膜付ガラス板の製造方法及び膜付ガラス板 - Google Patents
誘電体多層膜付ガラス板の製造方法及び膜付ガラス板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018024561A JP2018024561A JP2016158420A JP2016158420A JP2018024561A JP 2018024561 A JP2018024561 A JP 2018024561A JP 2016158420 A JP2016158420 A JP 2016158420A JP 2016158420 A JP2016158420 A JP 2016158420A JP 2018024561 A JP2018024561 A JP 2018024561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- film
- dielectric multilayer
- silicon oxide
- multilayer film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】ガラス板2の上に誘電体多層膜3を形成する工程と、誘電体多層膜3の上に、厚み30nm以下の酸化ケイ素膜7を形成して膜付ガラス板10を製造する工程と、アルカリ洗浄により、酸化ケイ素膜7の厚みを薄くする工程とを備えることを特徴としている。
【選択図】図1
Description
図1に示す膜付ガラス板10を作製した。具体的には、ガラス板2の上に酸化ケイ素層4と酸化ニオブ層5を交互に形成し、最外層として酸化タンタル層6を酸化ケイ素層4の上に形成した。誘電体多層膜3の層数に関しては、酸化ケイ素層4を5層、酸化ニオブ層5を4層、酸化タンタル層6を1層形成した。酸化タンタル層6の上に、酸化ケイ素膜7を形成した。各層は、スパッタリング法より形成した。酸化ケイ素膜7の厚みは、10nmとした。ガラス板2のサイズは、28.3mm×34.3mmのものを用いた。作製したサンプル数は、16である。
酸化ケイ素膜7を形成しない以外は、実施例1と同様にして、膜付ガラス板10を作製し、アルカリ洗浄した。アルカリ洗浄後の誘電体多層膜付ガラス板1について、汚れの付着を実施例1と同様にして観察した。その結果、汚れが付着していたのは、16個中11個であった。したがって、汚れ付着の発生割合は、11/16であった。
2…ガラス板
2a,2b…第1,第2の主面
3…誘電体多層膜
4…酸化ケイ素層
5…酸化ニオブ層
6…酸化タンタル層
7…酸化ケイ素膜
10…膜付ガラス板
Claims (8)
- ガラス板の上に誘電体多層膜を形成する工程と、
前記誘電体多層膜の上に、厚み30nm以下の酸化ケイ素膜を形成して膜付ガラス板を製造する工程と、
アルカリ洗浄により、前記酸化ケイ素膜の厚みを薄くする工程とを備える、誘電体多層膜付ガラス板の製造方法。 - 膜付ガラス板を製造する工程において、厚みが、1nm以上となるように前記酸化ケイ素膜を形成する、請求項1に記載の誘電体多層膜付ガラス板の製造方法。
- 前記アルカリ洗浄により、前記酸化ケイ素膜を実質的に完全に除去する、請求項1または2に記載の誘電体多層膜付ガラス板の製造方法。
- 前記誘電体多層膜の最外層が、酸化タンタルから構成されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の誘電体多層膜付ガラス板の製造方法。
- 前記ガラス板の両方の主面上に前記誘電体多層膜及び前記酸化ケイ素膜がそれぞれ形成されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の誘電体多層膜付ガラス板の製造方法。
- ガラス板と、
前記ガラス板の上に設けられる誘電体多層膜と、
前記誘電体多層膜の上に設けられる、厚み30nm以下の酸化ケイ素膜とを備える、膜付ガラス板。 - 前記誘電体多層膜の最外層が、酸化タンタルから構成されている、請求項6に記載の膜付ガラス板。
- 前記ガラス板の両方の主面上に前記誘電体多層膜及び前記酸化ケイ素膜がそれぞれ設けられている、請求項6または7に記載の膜付ガラス板。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016158420A JP6702078B2 (ja) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | 誘電体多層膜付ガラス板の製造方法及び膜付ガラス板 |
TW106123437A TWI755408B (zh) | 2016-08-12 | 2017-07-13 | 附有介電體多層膜之玻璃板之製造方法及附有膜之玻璃板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016158420A JP6702078B2 (ja) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | 誘電体多層膜付ガラス板の製造方法及び膜付ガラス板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018024561A true JP2018024561A (ja) | 2018-02-15 |
JP6702078B2 JP6702078B2 (ja) | 2020-05-27 |
Family
ID=61193906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016158420A Active JP6702078B2 (ja) | 2016-08-12 | 2016-08-12 | 誘電体多層膜付ガラス板の製造方法及び膜付ガラス板 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6702078B2 (ja) |
TW (1) | TWI755408B (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7267880B2 (en) * | 2003-06-17 | 2007-09-11 | Cardinal Cg Company | Presence indicator for removable transparent film |
JP5796140B2 (ja) * | 2012-10-25 | 2015-10-21 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止多層膜 |
-
2016
- 2016-08-12 JP JP2016158420A patent/JP6702078B2/ja active Active
-
2017
- 2017-07-13 TW TW106123437A patent/TWI755408B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI755408B (zh) | 2022-02-21 |
JP6702078B2 (ja) | 2020-05-27 |
TW201829344A (zh) | 2018-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5509691B2 (ja) | レンズ及びその製造方法 | |
US9022561B2 (en) | Plastic optical product and plastic lens for spectacles | |
JP6112490B2 (ja) | 光学製品及びその製造方法 | |
JP6536409B2 (ja) | 反射防止膜付きガラスおよびその製造方法 | |
WO2017056598A1 (ja) | 親水性多層膜及びその製造方法、並びに、撮像システム | |
WO2013077375A1 (ja) | 光学多層膜付きガラス部材及び近赤外線カットフィルタガラス | |
JP2017068096A (ja) | 反射防止膜、光学素子、及び眼科装置 | |
JP6368941B2 (ja) | 光学多層膜付きガラス部材の製造方法 | |
JP2016218335A (ja) | 光学多層膜付きガラス部材 | |
US20060245056A1 (en) | Thin-film structure with counteracting layer | |
JP2006337672A (ja) | 反射防止フィルム | |
JP5888124B2 (ja) | 多層膜フィルタ、及び多層膜フィルタの製造方法 | |
JP6702078B2 (ja) | 誘電体多層膜付ガラス板の製造方法及び膜付ガラス板 | |
TW201344254A (zh) | 紅外截止濾光片及鏡頭模組 | |
JP2012242674A (ja) | ビームスプリッタ | |
JP2017032852A (ja) | 反射防止膜及び光学部品 | |
JP6312260B2 (ja) | 光学素子 | |
JP2014002270A (ja) | カメラ用ndフィルタ及びその製造方法 | |
JP5098815B2 (ja) | 多層膜光学素子の製造方法 | |
JP2010271404A (ja) | 反射防止膜 | |
JP2006215081A (ja) | 光学物品及び製造方法 | |
JP2005232565A (ja) | 薄膜の製造方法 | |
JP2010175838A (ja) | 光線カットフィルタ | |
JPWO2015129129A1 (ja) | 広帯域反射防止膜を有する光学部材 | |
JP2014164120A (ja) | 反射防止膜、光学系、及び光学機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200407 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200420 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6702078 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |