JP2018018856A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、従来の装置は、排気管路が一つで構成されているので、ポジティブトーン現像処理時とネガティブトーン現像処理時の両処理時におけるカップ体内の現像液のミストが同じ排気管路から排出される。したがって、一つの排気管路内で異なる種類の現像液のミストが混合する恐れがある。その結果、カップ内の雰囲気を清浄に保つことが困難になり、基板に対して処理を品質良く行うことが困難になる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を処理液で処理する基板処理装置において、基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、前記基板保持部を鉛直軸周りに回転する回転駆動部と、前記基板保持部に保持された基板に第1の処理液を供給する第1の処理液供給部と、前記基板保持部に保持された基板に第2の処理液を供給する第2の処理液供給部と、前記基板保持部の側方を囲って配置された外カップと、前記基板保持部と前記外カップとの間に配置された内カップと、を備え、前記内カップは、平面視で環状を呈する内カップ本体と、前記内カップ本体の下部に形成され、前記内カップ本体内の第1の処理液及び気体を下方へ排出する内カップ排出口と、を備え、前記外カップは、平面視で環状を呈する外カップ本体と、前記外カップ本体の底部を構成する外下カップと、前記外下カップの底面に形成され、前記内カップ排出口から排出された前記第1の処理液を排出するための第1の排液口と、前記外下カップに形成され、前記内カップ排出口から排出された気体を排出するため、前記底面から上方へ延出された中空部の上部に開口を形成されているとともに、前記基板保持部の回転方向とは逆方向に前記開口が向くように形成されている第1の排気口と、前記外下カップの底面に形成され、前記外カップ本体内の第2の処理液を排出する第2の排液口と、前記外下カップに形成され、前記外カップ本体内の気体を排出するための第2の排気口と、前記外下カップの底面に平面視で環状に立設され、前記第1の排液口と前記第2の排液口とを分離する分離隔壁と、を備え、前記内カップ本体は、前記内カップが処理液を回収する回収位置と、前記外カップが処理液を回収する退避位置とにわたって移動されることを特徴とするものである。
W … 基板
3 … 基板保持部
7 … 電動モータ
9 … 回転軸
P … 軸心
11 … 処理液供給部
13〜16 … ノズル
19 … カップ
21 … 外カップ
23 … 内カップ
A,B … 導入口
29 … 内カップ
31 … 外カップ本体
33 … 外下カップ
35 … 外側面カップ
37 … 分離隔壁
39 … 第1の排液口
41 … 第2の排液口
43 … 第1の排気口
45 … 第2の排気口
47 … 内カップ本体
39 … 内カップ排出口
51 … 案内部
53 … 隔壁収納部
59 … エアシリンダ
61 … 環状部材
71 … 中空部
73 … 開口
81 … 内周流路
83 … 外周流路
85,89 … 内周傾斜面
87,91 … 外周傾斜面
Claims (9)
- 基板を処理液で処理する基板処理装置において、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部を鉛直軸周りに回転する回転駆動部と、
前記基板保持部に保持された基板に第1の処理液を供給する第1の処理液供給部と、
前記基板保持部に保持された基板に第2の処理液を供給する第2の処理液供給部と、
前記基板保持部の側方を囲って配置された外カップと、
前記基板保持部と前記外カップとの間に配置された内カップと、
を備え、
前記内カップは、
平面視で環状を呈する内カップ本体と、
前記内カップ本体の下部に形成され、前記内カップ本体内の第1の処理液及び気体を下方へ排出する内カップ排出口と、
を備え、
前記外カップは、
平面視で環状を呈する外カップ本体と、
前記外カップ本体の底部を構成する外下カップと、
前記外下カップの底面に形成され、前記内カップ排出口から排出された前記第1の処理液を排出するための第1の排液口と、
前記外下カップに形成され、前記内カップ排出口から排出された気体を排出するため、前記底面から上方へ延出された中空部の上部に開口を形成されているとともに、前記基板保持部の回転方向とは逆方向に前記開口が向くように形成されている第1の排気口と、
前記外下カップの底面に形成され、前記外カップ本体内の第2の処理液を排出する第2の排液口と、
前記外下カップに形成され、前記外カップ本体内の気体を排出するための第2の排気口と、
前記外下カップの底面に平面視で環状に立設され、前記第1の排液口と前記第2の排液口とを分離する分離隔壁と、
を備え、
前記内カップ本体は、前記内カップが処理液を回収する回収位置と、前記外カップが処理液を回収する退避位置とにわたって移動されることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理液で処理する基板処理装置において、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部を鉛直軸周りに回転する回転駆動部と、
前記基板保持部に保持された基板に第1の処理液を供給する第1の処理液供給部と、
前記基板保持部に保持された基板に第2の処理液を供給する第2の処理液供給部と、
前記基板保持部の側方を囲って配置された外カップと、
前記基板保持部と前記外カップとの間に配置された内カップと、
を備え、
前記内カップは、
平面視で環状を呈する内カップ本体と、
前記内カップ本体の下部に形成され、前記内カップ本体内の第1の処理液及び気体を下方へ排出する内カップ排出口と、
を備え、
前記外カップは、
平面視で環状を呈する外カップ本体と、
前記外カップ本体の底部を構成する外下カップと、
前記外下カップの底面に形成され、前記内カップ排出口から排出された前記第1の処理液を排出するための第1の排液口と、
前記外下カップに形成され、前記内カップ排出口から排出された気体を排出するための第1の排気口と、
前記外下カップの底面に形成され、前記外カップ本体内の第2の処理液を排出する第2の排液口と、
前記外下カップに形成され、前記外カップ本体内の気体を排出するための第2の排気口と、
前記外下カップの底面に平面視で環状に立設され、前記第1の排液口と前記第2の排液口とを分離する分離隔壁と、
を備え、
前記内カップ本体は、前記内カップが処理液を回収する回収位置と、前記外カップが処理液を回収する退避位置とにわたって移動され、
前記外下カップの底面は、前記第1の排液口よりも内周側から前記第1の排液口に向かって次第に低くなる内周傾斜面と、前記第1の排液口よりも外周側から前記第1の排液口に向かって次第に低くなる外周傾斜面とを有することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記外下カップの底面は、前記第1の排液口よりも内周側から前記第1の排液口に向かって次第に低くなる内周傾斜面と、前記第1の排液口よりも外周側から前記第1の排液口に向かって次第に低くなる外周傾斜面とを有することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記第1の排気口は、前記外下カップに形成され、前記底面から上方へ延出された中空部の上部に開口を形成されているとともに、前記基板保持部の回転方向とは逆方向に前記開口が向くように形成されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記外下カップは、円周方向にて前記第1の排液口及び前記第2の排液口に向かって低くなる傾斜面を底面に形成されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記外下カップの底面は、親水化処理が施してあることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から6のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記内カップ本体は、基板から周囲に飛散した第1の処理液を下方に案内する案内部と、前記案内部の下部に逆U字状に形成された隔壁収納部と、
を備え、
前記内カップ本体は、前記退避位置では前記分離隔壁を前記隔壁収納部に収納し、前記回収位置では前記分離隔壁の上部のみを前記隔壁収納部に収納することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から7のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記外カップ本体は、前記分離隔壁よりも内周側に中カップを備え、
前記中カップは、下面が前記第1の排気口の開口から離間して形成され、外周面が前記分離隔壁の内周面から離間し、外周端が前記外カップ本体の底面から離間していることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項8に記載の基板処理装置において、
前記中カップは、親水化処理が施してあることを特徴とする基板処理装置。
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