JP2018006030A - ロングアーク型紫外線ランプ及び照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】口金部材と接続線との相対位置の位置決め精度を高める。【解決手段】実施形態のロングアーク型紫外線ランプは、電極と、電極に接合された金属箔と、を有し、金属箔を覆って封止した封止部が形成された発光管と；芯線と、芯線を覆う被覆部と、を有し、発光管に電力を供給する接続線と；接続線の被覆部が通される貫通穴を有し、封止部に設けられた口金部材と；絶縁材料によって筒状に形成されて口金部材の貫通穴に隣接して設けられ、接続線に対して口金部材を位置決めする位置決め部材と；を備える。【選択図】図２

Description

本発明の実施形態は、ロングアーク型紫外線ランプ及び照射装置に関する。

例えば、半導体の露光工程や、ＵＶ（ultraviolet）インクやＵＶ塗料の乾燥工程、樹脂の硬化工程等では、紫外線によって光化学反応を行う紫外線照射装置が用いられている。紫外線照射装置において、紫外線を発する光源として用いられる紫外線ランプとしては、電極間距離が相対的に長い、いわゆるロングアーク型紫外線ランプが知られている。

この種のロングアーク型紫外線ランプには、発光管の両端部に電極が設けられており、例えば、発光管の内部に、希ガスと水銀を封入した水銀ランプや、水銀に加えて他の金属及びハロゲン元素等を封入したメタルハライドランプがある。

図６は、関連技術のロングアーク型紫外線ランプの封止部近傍を示す部分断面図である。図６に示すように、関連技術のロングアーク型紫外線ランプ１０５は、内部に電極１０７が設けられた発光管１０６を有する。電極１０７は、コイル１０９が巻回された電極軸１０８を有しており、電極軸１０８に金属箔１１０が接続されている。発光管１０６の両端部には、金属箔１１０を覆って封止した封止部１１１が形成されている。封止部１１１には、口金部材１１３が接着剤１１５によって固定されており、口金部材１１３の内側から外側に引き出されたリード線１１４を介して発光管１０６に電力が供給される。リード線１１４は、芯線１１４ａが被覆部１１４ｂで覆われて形成されている。また、封止部１１１には、金属箔１１０に一端部が接続された導線１１２が設けられている。導線１１２の他端部には、リード線１１４の芯線１１４ａが、接続部１１６を介して接続されている。口金部材１１３は、円筒部１１３ａと、円筒部１１３ａの一端を塞ぐ端面部１１３ｂと、を有する。口金部材１１３は、円筒部１１３ａ内に充填された接着剤１１５を介して封止部１１１に固定されている。端面部１１３ｂには、リード線１１４の被覆部１１４ｂが通される貫通穴１１３ｃが、発光管１０６の軸方向に沿って設けられている。

特開２０１２−１６９０９０号公報

上述したロングアーク型紫外線ランプ１０５では、口金部材１１３の外側における絶縁破壊の強さが適正に確保されると共に、接着剤１１５によって封止部１１１に固定された口金部材１１３の接着強度が適正に確保されることが望ましい。

ところで、ロングアーク型紫外線ランプ１０５が装着される照射装置の装着部等の構成の都合により、ロングアーク型紫外線ランプ１０５は、発光管１０６の軸方向に対する口金部材１１３の長さが相対的に短くなる場合がある。この場合、リード線１１４の芯線１１４ａが口金部材１１３の外側へ近づくと絶縁破壊の強さの低下を招くおそれがある。また、封止部１１１が口金部材１１３の外側へ近づくと、封止部１１１に対する口金部材１１３の接着強度が低下するおそれがある。したがって、封止部１１１及びリード線１１４に対する口金部材１１３の位置決め精度によって、リード線１１４が引き出された口金部材１１３の外側における絶縁破壊の強さや、封止部１１１に対する口金部材１１３の接着強度が不十分になりやすくなるおそれがある。

そこで、本発明は、口金部材と接続線との相対位置の位置決め精度を高めることができるロングアーク型紫外線ランプ及び照射装置を提供することを目的とする。

実施形態に係るロングアーク型紫外線ランプは、電極と、前記電極に接合された金属箔と、を有し、前記金属箔を覆って封止した封止部が形成された発光管と；芯線と、前記芯線を覆う被覆部と、を有し、前記発光管に電力を供給する接続線と；前記接続線の前記被覆部が通される貫通穴を有し、前記封止部に設けられた口金部材と；絶縁材料によって筒状に形成されて前記口金部材の前記貫通穴に隣接して設けられ、前記接続線に対して前記口金部材を位置決めする位置決め部材と；を具備する。

本発明によれば、口金部材と接続線との相対位置の位置決め精度を高めることができる。

実施形態に係る照射装置及びロングアーク型紫外線ランプを示す模式図である。 実施形態に係るロングアーク型紫外線ランプの封止部近傍を示す部分断面図である。 第１の変形例のロングアーク型紫外線ランプの位置決め部材を説明するための部分断面図である。 第２の変形例のロングアーク型紫外線ランプの位置決め部材を説明するための部分断面図である。 第３の変形例のロングアーク型紫外線ランプの位置決め部材を説明するための部分断面図である。 関連技術のロングアーク型紫外線ランプの封止部近傍を示す部分断面図である。

以下で説明する実施形態に係るロングアーク型紫外線ランプは、発光管と、接続線としてのリード線と、口金部材と、位置決め部材としての第１の位置決め部材（第２の位置決め部材）と、を具備する。発光管は、電極と、電極に接合された金属箔と、を有する。発光管には、金属箔を覆って封止した封止部が形成されている。リード線は、発光管に電力を供給する。リード線は、芯線と、芯線を覆う被覆部と、を有する。口金部材は、封止部に設けられている。口金部材には、リード線の被覆部が通される貫通穴を有する。第１の位置決め部材（第２の位置決め部材）は、リード線に対して口金部材を位置決めする。第１の位置決め部材（第２の位置決め部材）は、絶縁材料によって筒状に形成されており、口金部材の貫通穴に隣接して設けられている。

また、以下で説明する実施形態に係るロングアーク型紫外線ランプにおける第１の位置決め部材は、口金部材の内側に設けられており、リード線の芯線及び被覆部を保持する。

また、以下で説明する実施形態に係るロングアーク型紫外線ランプは、導線を更に具備する。導線は、金属箔に一端部が接続されると共にリード線の芯線に他端部が接続されている。第１の位置決め部材の一端は、導線と芯線との接続部に接している。

また、以下で説明する実施形態に係るロングアーク型紫外線ランプにおける第１の位置決め部材（第２の位置決め部材）は、絶縁破壊の強さが３ｋＶ／ｍｍ以上である。

また、以下で説明する実施形態に係るロングアーク型紫外線ランプにおける位置決め部材は、口金部材の内側に配置される第１の位置決め部材と、口金部材の外側に配置される第２の位置決め部材と、を含む。

また、以下で説明する実施形態に係る照射装置は、本実施形態のロングアーク型紫外線ランプと、装着部と、を具備する。装着部には、ロングアーク型紫外線ランプが装着される。

（実施形態）
以下、実施形態に係る照射装置及びロングアーク型紫外線ランプ（以下、単に「紫外線ランプ」と称する）について、図面を参照して説明する。図１は、実施形態に係る照射装置及び紫外線ランプを示す模式図である。図１に示すように、実施形態の照射装置１は、紫外線ランプ５と、紫外線ランプ５が着脱可能に装着される装着部３と、を有する。

装着部３は、紫外線ランプ５が有する後述の一対の口金部材１３を保持する一対の保持部材４を有する。保持部材４は、導電性を有する金属材料によって形成されており、図示しない電源装置と電気的に接続されている。そして、保持部材４は、口金部材１３を介して紫外線ランプ５に電力を供給する。また、保持部材４は、口金部材１３の放熱性を高めるために、熱伝導率が高い材料によって形成されることが好ましい。

（紫外線ランプの構成）
本実施形態に係る紫外線ランプ５は、ロングアーク型の水銀ランプ、あるいはロングアーク型のメタルハライドランプであり、いわゆる高輝度放電灯（ＨＩＤ：High Intensity Discharge lamp）である。図１に示すように、紫外線ランプ５は、発光管６と、口金部材１３と、接続線としてのリード線１４と、を備える。

発光管６は、透過光性を有する石英ガラスによって円筒状に形成されており、内部に放電空間６ａを有する。放電空間６ａの内部に、アルゴンガス、高蒸気圧の水銀が封入され、これらに加えて、鉄、錫、ヨウ素等の金属ハロゲン化物が封入されている。

図１に示すように、発光管６の放電空間６ａの両端には、一対の電極７が設けられている。図２は、実施形態に係る紫外線ランプ５の封止部近傍を示す部分断面図である。図２に示すように、電極７は、電極軸８と、コイル９とを有する。電極軸８は、一端部側が放電空間６ａ側に向けられており、他端部が金属箔１０に溶接されて接合されている。コイル９は、電極軸８の一端部に巻回して設けられている。

金属箔１０は、モリブデンによって矩形状に形成されており、例えば、発光管６の長さ方向に対する長さが３０ｍｍ程度、幅が６ｍｍ程度、厚さが０．０２８ｍｍ程度に形成されている。また、金属箔１０の他端部には、導線１２の一端部が接合されている。

発光管６の両端部には、図１及び図２に示すように、金属箔１０を覆うように封止した円柱状の封止部１１が形成されている。図２に示すように、封止部１１は、電極軸８の他端部及び金属箔１０、導線１２の一端部を封止している。導線１２の他端部は、封止部１１から引き出されている。また、封止部１１の外周部には、口金部材１３が設けられている。

図２に示すように、口金部材１３は、有底円筒状に形成されており、円筒部１３ａと、端面部１３ｂとを有する。端面部１３ｂは、円筒部１３ａの一端を塞いで形成されている。端面部１３ｂには、リード線１４が通される貫通穴１３ｃが、発光管６の軸方向（長さ方向）に沿って設けられている。貫通穴１３ｃは、発光管６の軸方向に沿って設けられる構成に限定されるものではなく、発光管６の軸方向に対して傾斜して設けられてもよい。また、口金部材１３の外形形状に応じて、貫通穴１３ｃは、例えば円筒部１３ａ等の他の部分に設けられてもよい。口金部材１３は、円筒部１３ａ内に充填された接着剤１５によって、発光管６の封止部１１に接合されている。

リード線１４は、発光管６の外部に配置されており、封止部１１から引き出された導線１２の他端部に一端部が接続されている。リード線１４の一端部と導線１２の他端部は、例えば溶接により形成された接続部１６を介して接続されている。そして、紫外線ランプ５は、照射装置１の装着部３に装着されたときに、装着部３に設けられた一対の保持部材４によって口金部材１３が保持されて、リード線１４が電源部（図示せず）に接続される。

リード線１４は、芯線１４ａと、被覆部１４ｂと、を有しており、いわゆるワイヤーハーネスが用いられている。被覆部１４ｂは、絶縁材料によって形成されており、芯線１４ａを覆っている。被覆部１４ｂは、口金部材１３の貫通穴１３ｃを通り、口金部材１３の円筒部１３ａ内へ突出している。口金部材１３の円筒部１３ａ内において、被覆部１４ｂから露出された芯線１４ａの一端部は、導線１２の他端部に接続されている。芯線１４ａと導線１２は、接続部１６によって接続されている。

また、実施形態の紫外線ランプ５は、第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８を有する。第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８は、例えば、樹脂材料等の絶縁材料によって円筒状に形成されており、リード線１４に対して口金部材１３を位置決めする。第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８としては、例えば、絶縁性を有する熱収縮ゴムチューブが用いられており、単位長さ当たりの絶縁破壊の強さが３ｋＶ／ｍｍ以上に設定されている。熱収縮ゴムチューブの一例としては、絶縁破壊の強さが２０ｋＶ／ｍｍ程度から２５ｋＶ／ｍｍ程度、熱収縮率が４０％程度から５０％程度のものが用いられている。

第１の位置決め部材１７は、口金部材１３の円筒部１３ａの内側に、貫通穴１３ｃに隣接して設けられている。第１の位置決め部材１７は、内部にリード線１４を通した状態で収縮させることで、リード線１４の被覆部１４ｂと芯線１４ａとに跨って接しており、被覆部１４ｂ及び芯線１４ａを保持している。第１の位置決め部材１７が熱収縮性を有することで、第１の位置決め部材１７をリード線１４の被覆部１４ｂと芯線１４ａとにわたって取り付けた後、収縮によって第１の位置決め部材１７をリード線１４に容易に固定することができる。したがって、第１の位置決め部材１７は、口金部材１３の組み付け工程等で、リード線１４の長さ方向に対して位置がずれることが抑えられている。第２の位置決め部材１８は、口金部材１３の外側に、貫通穴１３ｃに隣接して設けられており、リード線１４の被覆部１４ｂを保持している。

（第１及び第２の位置決め部材による位置決め作用及び絶縁作用）
第１の位置決め部材１７は、図２に示すように、口金部材１３の円筒部１３ａ内で、口金部材１３の貫通穴１３ｃに隣接する端部が端面部１３ｂに接することで、口金部材１３の貫通穴１３ｃに対して、リード線１４の被覆部１４ｂが位置決めされる。このため、第１の位置決め部材１７によれば、貫通穴１３ｃと芯線１４ａとの相対位置が適正に位置決めされるので、口金部材１３の外側で適正な絶縁破壊の強さが安定して得られる。また、第１の位置決め部材１７によれば、口金部材１３とリード線１４との相対位置のバラツキが抑えられ、封止部１１に対する口金部材１３の相対位置のバラツキが抑えられるので、封止部１１に対する口金部材１３の適正な接着強度が安定して得られる。

また同様に、第２の位置決め部材１８は、口金部材１３の外側で、口金部材１３の貫通穴１３ｃに隣接する端部が端面部１３ｂに接することで、口金部材１３の貫通穴１３ｃに対して、リード線１４の被覆部１４ｂが位置決めされる。このため、第２の位置決め部材１８によれば、口金部材１３とリード線１４との相対位置のバラツキが抑えられるので、絶縁性が適正に確保され、口金部材１３の外側で適正な絶縁破壊の強さが安定して得られる。また、第２の位置決め部材１８によれば、口金部材１３とリード線１４との相対位置のバラツキが抑えられ、封止部１１に対する口金部材１３の相対位置のバラツキが抑えられるので、封止部１１に対する口金部材１３の適正な接着強度が安定して得られる。

したがって、第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８は、それぞれ共に、絶縁破壊の強さ及び口金部材１３の接着強度をそれぞれ適正にする効果に寄与する。

（口金部材の組み付け工程）
封止部１１が形成された発光管６を用意する。封止部１１から引き出された導線１２と、リード線１４の被覆部１４ｂから露出した芯線１４ａとを溶接することで、導線１２と芯線１４ａとを接続する接続部１６を形成する。第１の位置決め部材１７にリード線１４を通し、第１の位置決め部材１７を接続部１６近傍の芯線１４ａと被覆部１４ｂとに跨る位置に取り付ける。続いて、第１の位置決め部材１７を加熱し、熱収縮させることで、リード線１４の長さ方向における所定の位置に第１の位置決め部材１７を固定する。

つぎに、口金部材１３の貫通穴１３ｃにリード線１４を通し、口金部材１３を、端面部１３ｂの内側が第１の位置決め部材１７に接する位置に取り付ける。つぎに、第２の位置決め部材１８にリード線１４を通し、第２の位置決め部材１８を口金部材１３の端面部１３ｂの外側に接する位置に取り付ける。続いて、第２の位置決め部材１８を加熱し、熱収縮させることで、リード線１４の長さ方向における所定の位置に第２の位置決め部材１８を固定する。

これにより、リード線１４に固定された第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８によって、口金部材１３は、リード線１４及び封止部１１に対する相対位置が精度良く位置決めされる。最後に、口金部材１３の円筒部１３ａ内に接着剤１５を充填し、接着剤１５を硬化させることで、口金部材１３が、発光管６の封止部１１に固定される。以上により、封止部１１に口金部材１３が組み付けられる。

上述のように実施形態の紫外線ランプ５では、リード線１４に対して口金部材１３を位置決めする第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８が、絶縁材料によって筒状に形成されて口金部材１３の貫通穴１３ｃに隣接して設けられる。これにより、第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８によってリード線１４に対して口金部材１３が位置決めされるので、発光管６の軸方向において、口金部材１３とリード線１４との相対位置の位置決め精度を高めることができる。その結果、紫外線ランプ５によれば、口金部材１３の外側における絶縁破壊の強さの低下、口金部材１３の接着強度の低下を抑え、絶縁破壊の強さと、口金部材１３の接着強度とを適正に確保することができる。

また、実施形態の紫外線ランプ５が有する第１の位置決め部材１７は、口金部材１３の内側に設けられており、リード線１４の芯線１４ａ及び被覆部１４ｂを保持する。第１の位置決め部材１７を例えば熱収縮させることで、第１の位置決め部材１７によって、口金部材１３の内側で芯線１４ａと被覆部１４ｂとに跨ってリード線１４を保持することで、第１の位置決め部材１７の固定状態が安定し、リード線１４の長さ方向に対する第１の位置決め部材１７の位置決め精度を高めることができる。

また、実施形態の紫外線ランプ５が有する第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８は、絶縁破壊の強さが３ｋＶ／ｍｍ以上である。これにより、口金部材１３の外側における絶縁破壊の強さを適正に確保することができるので、口金部材１３に短絡等が発生することを抑えることができる。

また、実施形態の紫外線ランプ５は、口金部材１３の内側に配置される第１の位置決め部材１７と、口金部材１３の外側に配置される第２の位置決め部材１８と、を有する。これにより、口金部材１３が第１の位置決め部材１７と第２の位置決め部材１８とに挟み込んで位置決めされるので、リード線１４の長さ方向に対する口金部材１３の位置決め精度を更に高めることができる。

以下、実施形態の変形例の紫外線ランプについて図面を参照して説明する。なお、変形例において、実施形態と同一の構成部材には、実施形態と同一符号を付して説明を省略する。

（第１の変形例）
図３は、第１の変形例の紫外線ランプの位置決め部材を説明するための部分断面図である。第１の変形例は、第１の位置決め部材が実施形態と異なる。図３に示すように、第１の変形例の紫外線ランプ２１が有する第１の位置決め部材２７は、導線１２と芯線１４ａとの接続部１６に接する所定の長さを有する。第１の位置決め部材２７は、一端側が接続部１６に接すると共に、他端側が口金部材１３の端面部１３ｂに接する状態で固定されている。このよう第１の位置決め部材２７の両端が接続部１６と端面部１３ｂとに接する所定の長さに第１の位置決め部材２７が設定されることで、接続部１６と端面部１３ｂとの間に第１の位置決め部材２７を挟み込むことにより、封止部１１に対して口金部材１３を容易に位置決めすることが可能となる。このため、第１の位置決め部材２７によれば、発光管６の軸方向において、リード線１４に対して口金部材１３が容易に位置決めされるので、口金部材１３とリード線１４との相対位置の位置決め精度を更に高めることが可能になる。したがって、第１の変形例の紫外線ランプ２１は、口金部材１３の外側における絶縁破壊の強さの低下と、口金部材１３の接着強度の低下を更に抑えることができる。

（第２の変形例）
図４は、第２の変形例の紫外線ランプの位置決め部材を説明するための部分断面図である。第２の変形例は、第１の位置決め部材が実施形態と異なる。図４に示すように、第２の変形例の紫外線ランプ２２が有する第１の位置決め部材２９は、口金部材１３の円筒部１３ａ内で、リード線１４の被覆部１４ｂのみを保持する。必要に応じて、第１の位置決め部材２９の内部に接着剤１５を進入させてもよく、上述の第１の位置決め部材１７を収縮させた固定状態と同様に、第１の位置決め部材２９をリード線１４の芯線１４ａと被覆部１４ｂとに跨って固定することもできる。したがって、第１の位置決め部材２９及び第２の位置決め部材１８は、熱収縮性を有する部材に限定されるものではなく、リード線１４の被覆部１４ｂのみを保持するように構成されてもよい。

（第３の変形例）
図５は、第３の変形例の紫外線ランプの位置決め部材を説明するための部分断面図である。第３の変形例は、口金部材が実施形態と異なる。図５に示すように、第３の変形例の紫外線ランプ２３が有する口金部材３３は、円筒部３３ａ及び端面部３３ｂを有しており、端面部３３ｂに、リード線１４が通される貫通穴３３ｃが設けられている。端面部３３ｂの内側及び外側には、貫通穴３３ｃの周囲に、貫通穴３３ｃの貫通方向（発光管６の軸方向）に窪んだ凹部３４がそれぞれ形成されている。

口金部材３３の端面部３３ｂの内側の凹部３４には、第１の位置決め部材１７の端部が嵌め込まれて保持される。同様に、口金部材３３の端面部３３ｂの外側の凹部３４には、第２の位置決め部材１８の端部が嵌め込まれて保持される。第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８の各端部が、凹部３４に嵌め込まれることで、口金部材３３の組み付け工程で、第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８が移動することが抑えられる。このため、口金部材３３に対する第１の位置決め部材１７及び第２の位置決め部材１８の位置決め精度を更に高めることが可能となり、口金部材３３とリード線１４との相対位置の位置決め精度を更に高めることができる。したがって、第３の変形例の紫外線ランプ２３は、口金部材３３の外側における絶縁破壊の強さの低下と、口金部材３３の接着強度の低下を更に抑えることができる。

なお、実施形態及び各変形例は、第１の位置決め部材１７（２７、２９）及び第２の位置決め部材１８をそれぞれ有して構成されたが、第１の位置決め部材１７（２７、２９）及び第２の位置決め部材１８のいずれか一方のみを有して構成されてもよい。紫外線ランプ５（２１、２２、２３）は、第１の位置決め部材１７（２７、２９）及び第２の位置決め部材１８の一方のみを有する構成であっても、口金部材１３（３３）とリード線１４との相対位置の位置決め精度を高めることが可能であり、口金部材１３（３３）の外側における絶縁破壊の強さと、口金部材１３（３３）の接着強度とを適正に確保することができる。

本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、本発明の範囲を限定することを意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施することが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、本発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１ 照射装置
５ ロングアーク型紫外線ランプ
６ 発光管
７ 電極
１０ 金属箔
１１ 封止部
１２ 導線
１３ 口金部材
１３ａ 円筒部
１３ｂ 端面部
１３ｃ 貫通穴
１４ リード線（接続線）
１４ａ 芯線
１４ｂ 被覆部
１５ 接着剤
１６ 接続部
１７ 第１の位置決め部材
１８ 第２の位置決め部材

Claims (6)

1. 電極と、前記電極に接合された金属箔と、を有し、前記金属箔を覆って封止した封止部が形成された発光管と；
   芯線と、前記芯線を覆う被覆部と、を有し、前記発光管に電力を供給する接続線と；
   前記接続線の前記被覆部が通される貫通穴を有し、前記封止部に設けられた口金部材と；
   絶縁材料によって筒状に形成されて前記口金部材の前記貫通穴に隣接して設けられ、前記接続線に対して前記口金部材を位置決めする位置決め部材と；
   を具備する、ロングアーク型紫外線ランプ。
2. 前記位置決め部材は、前記口金部材の内側に設けられ、前記接続線の前記芯線及び前記被覆部を保持する、
   請求項１に記載のロングアーク型紫外線ランプ。
3. 前記ロングアーク型紫外線ランプは、前記金属箔に一端部が接続されると共に前記接続線の前記芯線に他端部が接続される導線を更に具備し、
   前記位置決め部材の一端は、前記導線と前記芯線との接続部に接している、
   請求項１または２に記載のロングアーク型紫外線ランプ。
4. 前記位置決め部材は、絶縁破壊の強さが３ｋＶ／ｍｍ以上である、
   請求項１ないし３のいずれか１項に記載のロングアーク型紫外線ランプ。
5. 前記位置決め部材は、前記口金部材の内側に配置される第１の位置決め部材と、前記口金部材の外側に配置される第２の位置決め部材と、を含む、
   請求項１ないし４のいずれか１項に記載のロングアーク型紫外線ランプ。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項に記載のロングアーク型紫外線ランプと；
   前記ロングアーク型紫外線ランプが装着される装着部と：
   を具備する照射装置。

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