JP2017224626A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2017224626A5
JP2017224626A5 JP2017153211A JP2017153211A JP2017224626A5 JP 2017224626 A5 JP2017224626 A5 JP 2017224626A5 JP 2017153211 A JP2017153211 A JP 2017153211A JP 2017153211 A JP2017153211 A JP 2017153211A JP 2017224626 A5 JP2017224626 A5 JP 2017224626A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shaft portion
discharge lamp
lamp according
outer shape
base member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017153211A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017224626A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of JP2017224626A publication Critical patent/JP2017224626A/ja
Publication of JP2017224626A5 publication Critical patent/JP2017224626A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Description

本発明は、放電ランプ関する。

Claims (22)

  1. 光を発生させる発光部を内部に有するガラス部材と、
    前記ガラス部材の第1方向の一方の側に設けられる第1口金部材と、
    前記ガラス部材の第1方向の他方の側に設けられる第2口金部材とを備える放電ランプにおいて、
    前記第1口金部材は、
    前記第1方向と直交する第2方向に突出して形成されているフランジ部と、
    前記フランジ部と前記第1口金部材の開放端との間に設けられ、前記第2方向に関する外形形状が前記フランジ部の外形形状よりも小さい第1軸部とを有し、
    前記第1軸部は、放電ランプ取り付け装置に挿入されるとともに、前記第1軸部の表面の溝部又はその表面自体と、前記放電ランプ取り付け装置の間に冷却用媒体を流す流路を形成する、放電ランプ。
  2. 請求項1に記載の放電ランプにおいて、
    前記流路は、前記冷却用媒体を前記第1方向に流す流路である、放電ランプ。
  3. 請求項1または請求項2に記載の放電ランプにおいて、
    前記第1口金部材は、前記フランジ部と前記第1口金部材の前記開放端との間に設けられ、前記第2方向に関する外形形状が前記第1軸部よりも小さい形状を有する第2軸部をさらに有する、放電ランプ。
  4. 請求項3に記載の放電ランプにおいて、
    前記第1軸部の前記第1方向の長さは、前記第2軸部の前記第1方向の長さよりも長い、放電ランプ。
  5. 請求項3または請求項4に記載の放電ランプにおいて、
    前記第1口金部材は、前記フランジ部と前記第1口金部材の前記開放端との間に設けられ、前記第2方向に関する外形形状が、前記第1軸部より小さく、かつ前記第2軸部より大きい形状を有する第3軸部をさらに有する、放電ランプ。
  6. 請求項5に記載の放電ランプにおいて、
    前記第1軸部の前記第1方向の長さは、前記第3軸部の前記第1方向の長さよりも長い、放電ランプ。
  7. 光を発生させる発光部を内部に有するガラス部材と、
    前記ガラス部材の第1方向の一方の側に設けられる第1口金部材と、
    前記ガラス部材の第1方向の他方の側に設けられる第2口金部材とを備える放電ランプにおいて、
    前記第1口金部材は、
    前記第1方向に延びる軸部分と、
    前記軸部分に隣接して配置され、前記第1方向と直交する第2方向に突出して形成され、前記第2方向における外形形状が前記軸部分よりも大きいフランジ部と、
    前記軸部分の内部に設けられ気体を前記第1方向に流す流体路と、
    前記軸部分の側面に設けられ前記流体路と連通する第1開口とを有する、放電ランプ。
  8. 請求項7に記載の放電ランプにおいて、
    前記第1開口は、前記フランジ部の近傍の前記軸部分の側面に設けられている、放電ランプ。
  9. 請求項7または請求項8に記載の放電ランプにおいて、
    前記軸部分の側面であって前記第1開口よりも前記フランジ部から遠い部分に、前記流体路と連通する第2開口を有する、放電ランプ。
  10. 請求項7から請求項9の何れか一項に記載の放電ランプにおいて、
    前記フランジ部は、前記第1開口から前記第1方向に沿った軸周りに所定角度回転した位置に位置決め部を有する、放電ランプ。
  11. 請求項7から請求項10の何れか一項に記載の放電ランプにおいて、
    前記軸部分は、
    第1軸部と、
    前記第1軸部の前記第2方向における外形形状よりも小さい外形形状を有し、前記第1方向において前記第1軸部に対して前記第2口金部材の反対側に設けられている第2軸部とを有する、放電ランプ。
  12. 請求項11に記載の放電ランプにおいて、
    前記軸部分は、
    前記第2軸部の前記第2方向における外形形状よりも大きな外形形状を有し、前記第1方向において前記第2軸部に対して前記第2口金部材の反対側に設けられている第3軸部をさらに有する、放電ランプ。
  13. 請求項12に記載の放電ランプにおいて、
    前記軸部分は、
    前記第3軸部の前記第2方向における外形形状よりも小さい外形形状を有し、前記第1方向において前記第3軸部に対して前記第2口金部材の反対側に設けられている第4軸部をさらに有する、放電ランプ。
  14. 請求項11から請求項13までのいずれか一項に記載の放電ランプにおいて、
    前記第1軸部と前記第2軸部の境界の近傍に、前記流体路と連通する第2開口を有する、放電ランプ。
  15. 請求項11から請求項14までのいずれか一項に記載の放電ランプにおいて、
    前記第1軸部の表面積は、前記第2軸部の表面積に比べて広い、放電ランプ。
  16. 光を発生させる発光部を内部に有するガラス部材と、
    前記ガラス部材の第1方向の一方の側に設けられる第1口金部材と、
    前記ガラス部材の第1方向の他方の側に設けられる第2口金部材とを備える放電ランプにおいて、
    前記第1口金部材は、
    前記第1方向に沿ってガラス部材から離れる方向に、順に、
    前記第1方向の方向と交差する第2方向に突出して形成されたフランジ部と、
    前記第2方向における外形形状が前記フランジ部よりも小さい第1軸部と、
    前記第2方向における外形形状が前記第1軸部よりも小さい第2軸部と、
    前記第2方向における外形形状が前記第1軸部以下で、前記第2軸部よりも大きい第3軸部と、を有するとともに、
    前記第1軸部またはその近傍に、前記第1軸部と空気との接触面積を増大せしめるための立体構造を有する、放電ランプ。
  17. 請求項16に記載の放電ランプにおいて、
    前記立体構造は、前記第1軸部の外周に設けられた凹凸形状である、放電ランプ。
  18. 請求項16に記載の放電ランプにおいて、
    前記立体構造は、前記第1軸部の内部に設けられた流体路である、放電ランプ。
  19. 請求項18に記載の放電ランプにおいて、
    前記第1軸部の前記フランジ部の近傍の外側面に、前記流体路に連通する第1開口が形成されている、放電ランプ。
  20. 請求項19に記載の放電ランプにおいて、
    前記第1軸部と前記第2軸部の境界の近傍に、前記流体路と連通する第2開口を有する、放電ランプ。
  21. 請求項16から請求項20までのいずれか一項に記載の放電ランプにおいて、
    前記フランジ部は、前記立体構造から前記第1方向に沿った軸周りに所定角度回転した位置に位置決め部を有する、放電ランプ。
  22. 請求項1から請求項21までのいずれか一項に記載の放電ランプにおいて、
    前記第2口金部材は、
    前記第1方向に延びる第2口金軸部と、
    気体を流入させる流通孔を有し、前記第2口金軸部の少なくとも前記ガラス部材側とは反対側の端部を覆い、前記流通孔から流入する気体を前記ガラス部材の側に流す流路を形成するカバー部とを有する、放電ランプ。
JP2017153211A 2006-09-01 2017-08-08 放電ランプ Pending JP2017224626A (ja)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006237252 2006-09-01
JP2006237252 2006-09-01
JP2007006462 2007-01-15
JP2007006462 2007-01-15
JP2007127451 2007-05-11
JP2007127451 2007-05-11

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016153431A Division JP2016192415A (ja) 2006-09-01 2016-08-04 放電ランプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017224626A JP2017224626A (ja) 2017-12-21
JP2017224626A5 true JP2017224626A5 (ja) 2018-06-07

Family

ID=39135992

Family Applications (16)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008532127A Active JP5055632B2 (ja) 2006-09-01 2007-08-30 放電ランプ、光源装置、露光装置、及び露光装置の製造方法
JP2010123637A Active JP5177454B2 (ja) 2006-09-01 2010-05-29 放電ランプ
JP2010123636A Active JP5267821B2 (ja) 2006-09-01 2010-05-29 放電ランプ
JP2010123638A Active JP5115588B2 (ja) 2006-09-01 2010-05-29 放電ランプの装着方法及び取り外し方法
JP2012163161A Active JP5553089B2 (ja) 2006-09-01 2012-07-23 放電ランプ
JP2012214262A Active JP5360279B2 (ja) 2006-09-01 2012-09-27 放電ランプ
JP2014110698A Active JP5818043B2 (ja) 2006-09-01 2014-05-28 放電ランプ
JP2015193039A Active JP6036952B2 (ja) 2006-09-01 2015-09-30 放電ランプ、光源装置、露光装置、及びデバイス製造方法
JP2016153431A Pending JP2016192415A (ja) 2006-09-01 2016-08-04 放電ランプ
JP2016214842A Active JP6264427B2 (ja) 2006-09-01 2016-11-02 放電ランプ
JP2017057612A Active JP6225315B2 (ja) 2006-09-01 2017-03-23 放電ランプ及び露光方法
JP2017137125A Active JP6493458B2 (ja) 2006-09-01 2017-07-13 放電ランプ
JP2017153211A Pending JP2017224626A (ja) 2006-09-01 2017-08-08 放電ランプ
JP2019041899A Active JP6687143B2 (ja) 2006-09-01 2019-03-07 放電ランプ
JP2020066042A Active JP6897838B2 (ja) 2006-09-01 2020-04-01 放電ランプ
JP2021096593A Pending JP2021140189A (ja) 2006-09-01 2021-06-09 放電ランプ

Family Applications Before (12)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008532127A Active JP5055632B2 (ja) 2006-09-01 2007-08-30 放電ランプ、光源装置、露光装置、及び露光装置の製造方法
JP2010123637A Active JP5177454B2 (ja) 2006-09-01 2010-05-29 放電ランプ
JP2010123636A Active JP5267821B2 (ja) 2006-09-01 2010-05-29 放電ランプ
JP2010123638A Active JP5115588B2 (ja) 2006-09-01 2010-05-29 放電ランプの装着方法及び取り外し方法
JP2012163161A Active JP5553089B2 (ja) 2006-09-01 2012-07-23 放電ランプ
JP2012214262A Active JP5360279B2 (ja) 2006-09-01 2012-09-27 放電ランプ
JP2014110698A Active JP5818043B2 (ja) 2006-09-01 2014-05-28 放電ランプ
JP2015193039A Active JP6036952B2 (ja) 2006-09-01 2015-09-30 放電ランプ、光源装置、露光装置、及びデバイス製造方法
JP2016153431A Pending JP2016192415A (ja) 2006-09-01 2016-08-04 放電ランプ
JP2016214842A Active JP6264427B2 (ja) 2006-09-01 2016-11-02 放電ランプ
JP2017057612A Active JP6225315B2 (ja) 2006-09-01 2017-03-23 放電ランプ及び露光方法
JP2017137125A Active JP6493458B2 (ja) 2006-09-01 2017-07-13 放電ランプ

Family Applications After (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019041899A Active JP6687143B2 (ja) 2006-09-01 2019-03-07 放電ランプ
JP2020066042A Active JP6897838B2 (ja) 2006-09-01 2020-04-01 放電ランプ
JP2021096593A Pending JP2021140189A (ja) 2006-09-01 2021-06-09 放電ランプ

Country Status (7)

Country Link
US (2) US8531093B2 (ja)
EP (1) EP2096658B1 (ja)
JP (16) JP5055632B2 (ja)
KR (15) KR102157236B1 (ja)
CN (2) CN101512712B (ja)
TW (6) TWI661470B (ja)
WO (1) WO2008026709A1 (ja)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102157236B1 (ko) * 2006-09-01 2020-09-17 가부시키가이샤 니콘 방전램프
TWI461856B (zh) * 2008-09-24 2014-11-21 Univ Ming Chi Technology With a precise alignment of the tilt exposure mechanism
TW201015230A (en) 2008-10-03 2010-04-16 Univ Nat Chiao Tung Immersion inclined lithography apparatus and tank thereof
DE102009021524B3 (de) * 2009-05-15 2010-11-11 Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung Hochdruckentladungslampe mit Kühlelement
US8878908B2 (en) 2009-07-02 2014-11-04 Sony Corporation 3-D auto-convergence camera
JP5387633B2 (ja) * 2011-08-05 2014-01-15 パナソニック株式会社 放電管及び該放電管を備えた発光装置
CN102854953B (zh) * 2012-08-27 2016-08-24 无锡市福曼科技有限公司 显卡冷却装置上部盖板的固定结构
JP6029387B2 (ja) * 2012-08-30 2016-11-24 株式会社オーク製作所 放電ランプ着脱機構
JP6253891B2 (ja) * 2013-04-12 2017-12-27 株式会社オーク製作所 放電ランプ、及び放電ランプの給電部材に対する取り付け方法
DE102013215983A1 (de) 2013-08-13 2015-02-19 Osram Gmbh Entladungslampe mit Kühlsockel
US9433070B2 (en) 2013-12-13 2016-08-30 Kla-Tencor Corporation Plasma cell with floating flange
TWI661274B (zh) * 2014-03-28 2019-06-01 日商尼康股份有限公司 Light source device, discharge lamp and manufacturing method thereof, and exposure device
JP6381346B2 (ja) * 2014-08-05 2018-08-29 キヤノン株式会社 光源装置、照明装置、露光装置、および物品の製造方法
JP2016111268A (ja) 2014-12-09 2016-06-20 キヤノン株式会社 冷却装置、照明光学系、露光装置、並びに物品の製造方法
JP6473999B2 (ja) 2015-06-01 2019-02-27 パナソニックIpマネジメント株式会社 スタイラス
DE102016102187B3 (de) * 2016-02-09 2017-08-10 Heraeus Noblelight Gmbh Vorrichtung für die Behandlung eines Substrats mit UV-Strahlung und Verwendung der Vorrichtung
KR101958299B1 (ko) 2017-08-18 2019-03-15 한국전력공사 반사파 처리 장치
CN108682602B (zh) * 2018-06-07 2024-05-03 山东广达源照明电器有限公司 用于灯管加工过程中的定位装置
JP7278185B2 (ja) 2019-09-17 2023-05-19 キヤノン株式会社 ランプ装置、露光装置、および物品の製造方法
JP7520675B2 (ja) * 2020-10-02 2024-07-23 キヤノン株式会社 光源装置、露光装置および物品製造方法
JP2022162413A (ja) * 2021-04-12 2022-10-24 キヤノン株式会社 ランプ、光源装置、露光装置、および物品製造方法
JP7545116B2 (ja) 2021-05-19 2024-09-04 東芝ライテック株式会社 紫外線照射装置
KR102690714B1 (ko) 2021-10-19 2024-08-09 (주)진영에스텍 파이프렁을 구성한 케이블트레이

Family Cites Families (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB359468A (ja) * 1929-06-25 1931-10-22 Siemens & Halske Aktiengesellschaft
US2520262A (en) * 1947-06-18 1950-08-29 Hartford Nat Bank & Trust Co Cooler of discharge tubes
JPS5875704A (ja) * 1981-10-30 1983-05-07 株式会社湘南工作所 高出力探照灯におけるランプ及び反射鏡の空冷装置
JPS59103361U (ja) * 1982-12-28 1984-07-11 京立電機株式会社 光源装置
JPS60154435A (ja) 1984-01-24 1985-08-14 Nec Corp 超高圧水銀ランプ用ハウジング
JPS61294753A (ja) * 1985-06-24 1986-12-25 Nippon Kogaku Kk <Nikon> シヨ−トア−ク型放電ランプ装置
JPH0220265U (ja) * 1988-07-26 1990-02-09
JPH0731146Y2 (ja) * 1989-08-17 1995-07-19 日本分光株式会社 光源用冷却ホルダ
WO1991006319A1 (en) 1989-10-27 1991-05-16 Arch Development Corporation Methods and compositions for promoting immunopotentiation
JPH0432154A (ja) * 1990-05-25 1992-02-04 Iwasaki Electric Co Ltd メタルハライドランプ装置
JPH04105453U (ja) * 1991-02-22 1992-09-10 セイコーエプソン株式会社 高輝度ランプの構造
JPH0528968A (ja) * 1991-07-18 1993-02-05 Iwasaki Electric Co Ltd メタルハライドランプ装置
JP3090506B2 (ja) 1991-08-05 2000-09-25 株式会社ジェイエスピー 印刷図柄を有する発泡シート成形品の製造方法
JP2576953Y2 (ja) * 1991-10-25 1998-07-23 ウシオ電機株式会社 放電灯
DE9206314U1 (de) * 1992-05-11 1992-07-02 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH, 8000 München Elektrische Lampe
US5465025A (en) * 1993-05-10 1995-11-07 Litetronics International, Inc. Lamp with removable base and replaceable bulb capsule
DE19517516A1 (de) * 1995-05-12 1996-11-14 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Zweiseitig gesockelte elektrische Lampe mit bevorzugter Betriebslage und Fassung sowie Sockel und Sockelhülse für eine derartige Lampe
JP3189661B2 (ja) 1996-02-05 2001-07-16 ウシオ電機株式会社 光源装置
JPH1055713A (ja) * 1996-08-08 1998-02-24 Ushio Inc 紫外線照射装置
US5721465A (en) * 1996-08-23 1998-02-24 Ilc Technology, Inc. Xenon arc lamp with improved reflector cooling
JPH10106498A (ja) * 1996-09-26 1998-04-24 Toshiba Lighting & Technol Corp 高圧放電ランプ,ランプ装置,点灯装置,照明装置および液晶プロジェクター
HUP9701338A3 (en) * 1997-08-01 1999-12-28 Gen Electric Co Cleveland Neck of plastic house and threhded head for compact fluorescent tubes and operating units of compact fluorescent tubes
AU2747999A (en) 1998-03-26 1999-10-18 Nikon Corporation Projection exposure method and system
JP3517583B2 (ja) * 1998-03-27 2004-04-12 キヤノン株式会社 露光装置、デバイス製造方法及び放電灯
JP2000075496A (ja) 1998-08-31 2000-03-14 Canon Inc 冷却機構を有する光源、光源装置及びこれを用いた露光装置
JP2000181075A (ja) * 1998-12-11 2000-06-30 Ushio Inc 露光装置におけるランプ点灯制御方法
CA2267674C (en) * 1999-03-31 2010-03-30 Imax Corporation Method for cooling an arc lamp
JP3606149B2 (ja) * 2000-02-01 2005-01-05 ウシオ電機株式会社 光源装置
JP4386555B2 (ja) * 2000-08-30 2009-12-16 株式会社オーク製作所 放電灯およびその冷却方法
JP2002140978A (ja) * 2000-10-31 2002-05-17 Orc Mfg Co Ltd 放電ランプ
US6591701B2 (en) * 2000-12-29 2003-07-15 Suga Test Instruments Co., Ltd. Weathering test apparatus having a long-arc type air-cooled vertical metal halide lamp
JP3671869B2 (ja) 2001-06-11 2005-07-13 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型放電ランプ
JP3669292B2 (ja) * 2001-06-14 2005-07-06 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型放電ランプ
JP2003017003A (ja) 2001-07-04 2003-01-17 Canon Inc ランプおよび光源装置
TW529172B (en) 2001-07-24 2003-04-21 Asml Netherlands Bv Imaging apparatus
JP4522024B2 (ja) 2001-07-27 2010-08-11 キヤノン株式会社 水銀ランプ、照明装置及び露光装置
JP2003059454A (ja) * 2001-08-20 2003-02-28 Ushio Inc ショートアーク型放電ランプ
JP2003297228A (ja) 2002-03-29 2003-10-17 Orc Mfg Co Ltd ショートアーク型放電灯および光源装置
US7362508B2 (en) 2002-08-23 2008-04-22 Nikon Corporation Projection optical system and method for photolithography and exposure apparatus and method using same
JP2004119053A (ja) 2002-09-24 2004-04-15 Canon Inc 光源装置及び露光装置
US6692309B1 (en) * 2003-03-28 2004-02-17 Light Sources, Inc. Mercury vapor lamp electrical connector
JP2004348109A (ja) * 2003-04-28 2004-12-09 Mitsubishi Electric Corp 投写型表示装置
US20050095946A1 (en) 2003-11-05 2005-05-05 Fridrich Elmer G. Mounting light source filament tubes and arc tubes in lamps
JP4640090B2 (ja) 2005-10-04 2011-03-02 ウシオ電機株式会社 放電ランプ用ホルダー、および放電ランプ保持機構
JP3124444U (ja) * 2006-06-06 2006-08-17 Hoya Candeo Optronics株式会社 放電ランプおよび光源装置
JP2007335106A (ja) * 2006-06-12 2007-12-27 Nikon Corp 光源装置、放電ランプ、露光装置、及びデバイス製造方法
KR102157236B1 (ko) * 2006-09-01 2020-09-17 가부시키가이샤 니콘 방전램프
US7728495B2 (en) * 2007-08-01 2010-06-01 Osram Sylvania Inc. HID lamp with frit seal thermal control

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017224626A5 (ja)
JP2017204477A5 (ja) 放電ランプ
JP2020102464A5 (ja)
JP2009515342A5 (ja)
CA3010559A1 (en) Personal vaporizing device
JP2016523705A5 (ja) フィルタカートリッジ及びエアクリーナアセンブリ
PE20090455A1 (es) Configuraciones de filtros de aire con soporte interno y externo para cartucho, componentes y metodos
FR3013530B1 (fr) Alternateur de vehicule
ES2571030T3 (es) Neumático
JP2016186944A5 (ja)
WO2013023022A3 (en) Light bulb with thermal features
JP2015031305A5 (ja)
TW201630525A (zh) 通氣口結構及電子設備
JP2015526283A5 (ja)
JP2011064289A5 (ja)
BR112015017484A2 (pt) aparelho de admissão de ar
IN2013CN01172A (ja)
JP2014178239A5 (ja)
JP2016200654A5 (ja)
JP2018177198A5 (ja)
ES2537989T3 (es) Sistema de aleta de aire y sistema de calefacción, ventilación y/o aire acondicionado para vehículo
ES2609983T3 (es) Boquilla de entrada refractaria sumergida
JP6289212B2 (ja) リザーブタンク
JP2014212248A5 (ja)
JP2009216071A5 (ja)