JP2017222161A - 複製ツール - Google Patents
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Abstract
Description
前記素子の形状を定義する複製ツールを与えるステップと、
基板を与えるステップと、
前記ツールと前記基板との間に配置された、液体又は流体又は塑性的に変形可能な複製材料とともに、前記複製ツールを前記基板に向けて圧迫するステップと、
前記複製材料を前記基板の所定の領域に閉じ込めるステップと、
前記複製材料を硬化させて前記素子を形成するステップと、を備え、
前記所定の領域は、前記基板の表面に沿う少なくとも一方向において、前記素子の所期の領域を、所定の長さより短い長さで超過し、
前記複製ツールは、先行する請求項のいずれか一項又はそれより多くの項に記載された複製ツールである。
Claims (7)
- 複製材料から素子を複製するための複製ツールであって、前記複製ツールは、複製面と、前記複製面上の複数のキャビティと、を備え、前記キャビティの各々は、1つの素子又は一群の素子の形状を定義し、前記複製ツールは、前記複製面上に、前記キャビティから突出した少なくとも1つの突起部分を更に備え、前記ツールが基板に向けて圧迫されたとき、前記複製材料を前記ツールの所定の領域に閉じ込めるための手段を更に備え、前記所定の領域は、前記基板の表面に沿う少なくとも一方向において、前記素子の所期の容積を超過し、前記少なくとも1つの突起部分が、50ミクロン―500ミクロンの範囲にあるフィレット半径Rを有する、曲面状表面遷移領域を定義することを特徴とする複製ツール。
- 前記少なくとも1つの突起は、100ミクロンから120ミクロンの範囲にあるフィレット半径Rを有する、曲面状表面遷移領域を定義することを特徴とする、請求項1に記載の複製ツール。
- 前記キャビティの各々は、突起部分として機能する曲面状表面遷移領域と、キャビティと遷移領域との間にある内縁部と、オーバーフロー体積部と、遷移領域とオーバーフロー体積部との間にある外縁部と、によって限定されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の複製ツール。
- 前記外縁部は、1−35度の範囲にある傾斜角度Θを有する、周辺樹脂流出領域を定義する、請求項3に記載の複製ツール。
- 前記周辺樹脂流出領域の長さは、少なくとも20ミクロン、好ましくは少なくとも50ミクロン、更に好ましくは60−80ミクロンの範囲である、請求項4に記載の複製ツール。
- 前記ツールが前記基板に向けて圧迫されたとき、前記曲面状表面遷移領域と前記基板との間隔は、少なくとも60ミクロン、好ましくは20−40ミクロンの範囲であり、前記間隔は、前記曲面状表面遷移領域の最高点において測定される、請求項1又は2に記載の複製ツール。
- 複製ツールを用いて素子を製造するための方法であって、
前記素子の形状を定義する複製ツールを与えるステップと、
基板を与えるステップと、
前記ツールと前記基板との間に配置された、液体又は流体又は塑性的に変形可能な複製材料とともに、前記複製ツールを前記基板に向けて圧迫するステップと、
前記複製材料を前記基板の所定の領域に閉じ込めるステップと、
前記複製材料を硬化させて前記素子を形成するステップと、を備え、
前記所定の領域は、前記基板の表面に沿う少なくとも一方向において、前記素子の所期の領域を、所定の長さより短い長さで超過し、
前記複製ツールは、先行する請求項のいずれか一項又はそれより多くの項に記載された複製ツールである方法。
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