JP2017220454A - 有機発光ダイオードの製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
S1、基板210を提供し、基板210の表面に第一電極220を形成する。
S2、蒸発源110を提供し、蒸発源110はカーボンナノチューブ構造体112及び有機発光層源材料114を含み、有機発光層源材料114をカーボンナノチューブ構造体112の表面に設置する。
S3、蒸発源110は第一電極220の表面と対向し且つ間隔をあけて設置し、カーボンナノチューブ構造体112に電磁波信号または電気信号を入力してカーボンナノチューブ構造体112を加熱し、有機発光層源材料114を蒸発させ、第一電極220の表面に有機発光層230を形成する。
S4、有機発光層230の表面に第二電極240を形成する。
S21、有機発光層源材料114を溶媒に溶解または均一に分散させて混合物を形成する。
S22、スプレーコート法、スピンコート法或いはディップコート法により混合物をカーボンナノチューブ構造体112に均一に付着させる。
S23、溶媒を蒸発させて有機発光層源材料114をカーボンナノチューブ構造体112の表面に均一に付着させる。
N1、正孔輸送層蒸発源を提供し、正孔輸送層蒸発源はカーボンナノチューブ構造体112及び正孔輸送層源材料を含み、正孔輸送層源材料はカーボンナノチューブ構造体112の表面に設置される。
N2、正孔輸送層蒸発源は第一電極220の表面と対向し且つ間隔をあけて設置し、カーボンナノチューブ構造体112に電磁波信号または電気信号を入力してカーボンナノチューブ構造体112を加熱し、正孔輸送層源材料を蒸発させ、第一電極220の表面に正孔輸送層250を形成する。
M1、正孔注入層蒸発源を提供し、正孔注入層蒸発源はカーボンナノチューブ構造体112及び正孔注入層源材料を含み、正孔注入層源材料はカーボンナノチューブ構造体112の表面に設置される。
M2、正孔注入層蒸発源は第一電極220の表面と対向し且つ間隔をあけて設置し、カーボンナノチューブ構造体112に電磁波信号または電気信号を入力してカーボンナノチューブ構造体112を加熱し、正孔注入層源材料を蒸発させ、第一電極220の表面に正孔注入層252を形成する。
T1、電子輸送層蒸発源を提供し、電子輸送層蒸発源はカーボンナノチューブ構造体112及び電子輸送層源材料を含み、電子輸送層源材料はカーボンナノチューブ構造体112の表面に設置される。
T2、電子輸送層蒸発源は第一電極220の表面と対向し且つ間隔をあけて設置し、カーボンナノチューブ構造体112に電磁波信号または電気信号を入力してカーボンナノチューブ構造体112を加熱し、電子輸送層源材料を蒸発させ、有機発光層230の表面に電子輸送層254を形成する。
110 蒸発源
112 カーボンナノチューブ構造体
114 有機発光層源材料
120 支持体
130 真空室
140 電磁信号入力装置
150 第一電気信号入力用電極
152 第二電気信号入力用電極
160 パターン化されたグリッド
200 有機発光ダイオード
210 基板
220 第一電極
230 有機発光層
240 第二電極
250 正孔輸送層
252 正孔注入層
254 電子輸送層
256 電子注入層
Claims (4)
- 基板を提供し、前記基板の表面に第一電極を形成する第一ステップと、
蒸発源を提供する第二ステップであって、前記蒸発源はカーボンナノチューブ構造体及び有機発光層源材料を含み、前記有機発光層源材料は前記カーボンナノチューブ構造体の表面に設置される第二ステップと、
前記蒸発源は前記第一電極の表面と対向し且つ間隔をあけて設置し、前記カーボンナノチューブ構造体を加熱し前記有機発光層源材料を蒸発させ、前記第一電極の表面に有機発光層を形成する第三ステップと、
前記有機発光層の表面に第二電極を形成する第四ステップと、
を含むことを特徴とする有機発光ダイオードの製造方法。 - 前記有機発光層源材料は前記カーボンナノチューブ構造体の表面に設置する方法は、
前記有機発光層源材料を溶媒に均一に分散させて混合物を形成するステップと、
前記混合物を前記カーボンナノチューブ構造体に均一に付着させるステップと、
前記溶媒を蒸発させて前記有機発光層源材料を前記カーボンナノチューブ構造体の表面に均一に付着させるステップと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の有機発光ダイオードの製造方法。 - 前記蒸発源と前記第一電極の表面との距離は1マイクロメートル〜10ミリメートルであることを特徴とする請求項1に記載の有機発光ダイオードの製造方法。
- 蒸発源と、加熱装置と、を含む有機発光ダイオードの製造装置であって、
前記蒸発源はカーボンナノチューブ構造体及び有機発光層源材料を含み、前記有機発光層源材料は前記カーボンナノチューブ構造体の表面に設置され、
前記加熱装置は前記カーボンナノチューブ構造体を加熱することに用い、前記カーボンナノチューブ構造体を加熱することによって、前記有機発光層源材料が蒸発され、有機発光層が形成されることを特徴とする有機発光ダイオードの製造装置。
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