JP2017215722A - 情報管理システム、処理装置及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】処理装置からサーバに送信されるトレーサビリティ情報を最小限に抑えて、システム全体の負荷を低減すること。【解決手段】基板（Ｗ）に対して部品を実装する実装装置（１０）と基板毎のトレーサビリティ情報を管理するサーバ（２０）とが通信可能に接続された情報管理システム（１）において、実装装置が、基板毎にトレーサビリティ情報をマスタ情報と比較し、基板の識別情報に加えてトレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成し、サーバが、処理装置から受信した送信データに基づいて基板毎にトレーサビリティ情報を管理する構成にした。【選択図】図３

Description

本発明は、基板毎にトレーサビリティ情報を管理する情報管理システム、処理装置及びプログラムに関する。

一般に、実装装置等の処理装置で１枚の基板に対する各種処理が完了する度に、動作履歴等を含むトレーサビリティ情報が処理装置からサーバに向けて通知され、サーバにおいて基板毎にトレーサビリティ情報が管理される。トレーサビリティ情報は基板に関連付けて残されているため、後に基板に不具合が生じた場合にはトレーサビリティ情報が客観的な証拠として不具合等の原因の追跡に使用される。従来、トレーサビリティ情報を管理するシステムとして、トレーサビリティ情報に加工処理の完了時間を関連付けて管理するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特許第４４４９２８９号公報

トレーサビリティ情報を管理する場合、処理装置で基板毎にトレーサビリティ情報をサーバに通知しているが、トレーサビリティ情報が大きいと処理装置とサーバの間の通信負荷が大きくなって、システム全体の処理が遅延する。高スペックのサーバを用意することも考えられるが、システム導入時のコストが増大するという問題があった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、システム全体の負荷を低減することができる情報管理システム、処理装置及びプログラムを提供することを目的の１つとする。

本発明の一態様の情報管理システムは、基板に対して各種処理を実施する処理装置と基板毎のトレーサビリティ情報を管理するサーバとが通信可能に接続された情報管理システムであって、前記処理装置が、基板毎にトレーサビリティ情報をマスタ情報と比較する情報比較部と、基板の識別情報に加えてトレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成する送信データ生成部とを備え、前記サーバが、前記処理装置から受信した送信データに基づいて基板毎にトレーサビリティ情報を管理する情報管理部を備えたことを特徴とする。

また、本発明の一態様の処理装置は、基板毎のトレーサビリティ情報を管理するサーバに通信可能に接続され、基板に対して各種処理を実施する処理装置であって、基板毎にトレーサビリティ情報をマスタ情報と比較する情報比較部と、基板の識別情報に加えてトレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成する送信データ生成部と、前記サーバに基板毎にトレーサビリティ情報を管理させるように、前記サーバに送信データを送信する送信部とを備えたことを特徴とする。

これらの構成によれば、マスタ情報と異なるトレーサビリティ情報の差分情報だけが処理装置からサーバに送信され、マスタ情報に一致するトレーサビリティ情報は処理装置からサーバに送信されることがない。基板の識別情報と共に最小限のトレーサビリティ情報が送信データとして送信されるため、処理装置とサーバの間の通信量を大幅に低減することができる。よって、高スペックのサーバを用意することなく、システム全体の負荷を低減してシステム導入時のコストの増大を防止することができる。

上記の情報管理システムにおいて、前記情報管理部が、送信データの差分情報が空の場合にはマスタ情報と同じトレーサビリティ情報として管理し、送信データの差分情報が存在する場合にはマスタ情報の一部を差分情報に置き換えたトレーサビリティ情報として管理する。この構成によれば、送信データ内の差分情報の有無に応じてサーバにトレーサビリティ情報の変更の有無を認識させることができる。トレーサビリティ情報の変更が無い場合にはマスタ情報を利用し、トレーサビリティ情報の変更が有る場合にはマスタ情報を部分的に置き換えて利用することで、サーバの負荷を低減することができる。

上記の情報管理システムにおいて、生産プログラムの開始直後の最初の基板のトレーサビリティ情報がマスタ情報である。この構成によれば、マスタ情報を自動的に設定することができ、オペレータの作業負担を軽減することができる。

上記の情報管理システムにおいて、前記送信データ生成部が、トレーサビリティ情報、基板の識別情報に加えてマスタ情報か否かを示すフラグを含む送信データを生成する。この構成によれば、フラグによって送信データに含まれるトレーサビリティ情報をマスタ情報としてサーバに認識させることができる。

上記の情報管理システムにおいて、生産ラインで搬送される基板に対して各種処理を実施する複数の処理装置と基板毎のトレーサビリティ情報を管理するサーバとが通信可能に接続されており、後続の実装装置の送信データ生成部は、基板の識別情報を含まず、トレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成する。この構成によれば、先頭の実装装置からサーバに基板の識別情報が送信されているため、後続の実装装置からサーバに基板の識別情報を送信する必要がなく、処理装置とサーバの間の通信量を更に低減することができる。

本発明の一態様のプログラムは、基板に対して各種処理を実施する処理装置と基板毎のトレーサビリティ情報を管理するサーバとが通信可能に接続された情報管理システムのプログラムであって、前記処理装置に、基板毎にトレーサビリティ情報をマスタ情報と比較するステップと、基板の識別情報に加えてトレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成するステップとを実行させ、前記サーバに、前記処理装置から受信した送信データに基づいて基板毎にトレーサビリティ情報を管理するステップを実行させることを特徴とする。この構成によれば、情報管理システムにプログラムをインストールすることで、システム全体の負荷を低減させる管理機能を情報管理システムに追加することができる。

本発明によれば、マスタ情報に一致するトレーサビリティ情報は処理装置からサーバに送信されず、マスタ情報と異なるトレーサビリティ情報の差分情報だけが処理装置からサーバに送信される。よって、処理装置からサーバに送信されるトレーサビリティ情報を最小限に抑えて、システム全体の負荷を低減することができる。

本実施の形態の情報管理システムの模式図である。 本実施の形態の情報管理システムのブロック図である。 本実施の形態の情報管理システムの通信処理のシーケンス図である。 変形例の複数の実装装置とサーバとの通信処理の説明図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態の情報管理システムについて説明する。図１は、本実施の形態の情報管理システムの模式図である。なお、本実施の形態では、基板に部品を実装する実装装置を処理装置として説明するが、この構成に限定されない。例えば、基板にペースト状の半田を印刷する印刷装置、半田の印刷状態を検査する検査装置、半田を溶かして部品付けするリフロー装置等を処理装置にしてもよい。

図１に示すように、本実施の形態の情報管理システム１は、生産ラインに配置された複数の実装装置（処理装置）１０とサーバ２０とを通信可能に接続し、各実装装置１０から基板Ｗ毎に送信されたトレーサビリティ情報をサーバ２０で管理するように構成されている。実装装置１０は、サーバ２０から生産プログラムをダウンロードし、生産プログラムに基づいてフィーダから供給される部品を基板Ｗに対して実装している。また、各実装装置１０で１枚の基板Ｗに対する実装処理が完了する度に、動作履歴等を含むトレーサビリティ情報が基板ＩＤ（基板Ｗの識別情報）と共に各実装装置１０からサーバ２０に送信される。

サーバ２０が基板Ｗの識別情報と共にトレーサビリティ情報を受信すると、基板ＩＤに関連付けてトレーサビリティ情報をデータベースに登録して、基板Ｗ毎にトレーサビリティ情報を管理する。サーバ２０に基板Ｗ毎にトレーサビリティ情報が蓄積されることで、後に基板Ｗに不具合が生じた場合には専用アプリケーション等でトレーサビリティ情報を検索して、トレーサビリティ情報から基板Ｗの不具合の原因を追跡することが可能になっている。なお、各実装装置１０とサーバ２０は、有線接続されていてもよいし、無線接続されていてもよい。

各実装装置１０から送信されるトレーサビリティ情報には、部品の搭載座標（座標ＩＤ）、割り基板の回路番号、使用実装ヘッド情報、各ヘッドのノズル情報、使用ノズル番号、部品名、部品のロット番号、部品残数等の各種情報が含まれている。トレーサビリティ情報の情報量は、基板Ｗに実装される部品点数が増加するのに伴って大きくなり、例えば、基板Ｗに対して１０００点の部品が実装されるような場合にはトレーサビリティ情報が膨大になる。このため、実装装置１０からサーバ２０に基板Ｗ毎にトレーサビリティ情報の全情報を送信すると、通信量が増えすぎてシステム全体の負荷が大きくなる。

ところで、トレーサビリティ情報は、基板Ｗの生産中に部品切れや部品交換等が発生しない限り、基本的には前回のトレーサビリティ情報と同じ内容になる。このため、部品切れ等が生じるまでは、各実装装置１０からサーバ２０に対して基板Ｗに対する実装処理毎に同じトレーサビリティ情報が送信されている。そこで、本実施の形態では、設定された基準になるトレーサビリティ情報をマスタ情報とし、マスタ情報と後続のトレーサビリティ情報の差分情報を各実装装置１０からサーバ２０に送信するようにしている。これにより、トレーサビリティ情報の情報量が最小限に抑えられるため、通信量を大幅に低減することが可能になっている。

以下、図２を参照して、情報管理システムの詳細構成について説明する。図２は、本実施の形態の情報管理システムのブロック図である。なお、図２に示す実装装置、サーバの各ブロック図は、本発明を説明するために簡略化したものであり、実装装置、サーバが通常備える構成については備えているものとする。

図２に示すように、実装装置１０には、撮像部１１と、実装部１２と、情報生成部１３と、情報比較部１４と、送信データ生成部１５と、送受信部１６とが設けられている。撮像部１１は、基板Ｗ（図１参照）に付されたコード画像等を撮像して読み込み、コード画像等から基板ＩＤを取得している。実装部１２は、送受信部１６を介してサーバ２０からダウンロードした生産プログラムに基づいて、基板Ｗに対して部品を実装動作している。実装部１２は、例えば、複数の吸着ノズルを備えた実装ヘッドであり、フィーダ（不図示）から繰り出された部品を吸着ノズルでピックアップして基板Ｗの所定位置に実装している。

情報生成部１３は、撮像部１１で読み込まれた基板ＩＤ毎に、各基板Ｗに対する実装部１２の実装動作の動作履歴等に基づいてトレーサビリティ情報を生成している。また、情報生成部１３は、基準になるトレーサビリティ情報をマスタ情報として事前に設定している。なお、マスタ情報には、生産プログラムの開始直後の最初の基板Ｗのトレーサビリティ情報が設定されてもよいし、オペレータの操作等によって任意の基板Ｗのトレーサビリティ情報が設定されてもよい。情報比較部１４は、基板Ｗ（基板ＩＤ）毎にトレーサビリティ情報をマスタ情報と比較している。

送信データ生成部１５は、基板ＩＤ毎のトレーサビリティ情報に基づいて送信データを生成している。送信データには、トレーサビリティ情報、基板ＩＤが設定されるデータ領域と、マスタ情報のフラグが設定されるフラグ領域とが設けられている。マスタ通知用の送信データの生成時には、基板ＩＤ、トレーサビリティ情報がデータ領域に設定され、フラグ領域のフラグがＯＮに設定された送信データが生成される。このように、送信データ生成部１５は、基板ＩＤ、トレーサビリティ情報に加えてフラグを含む送信データを生成して、サーバ２０に対してマスタ情報を通知している。

また、差分通知用の送信データの生成時には、情報比較部１４によるトレーサビリティ情報とマスタ情報の比較結果に基づいて送信データが生成される。トレーサビリティ情報がマスタ情報に一致する場合、すなわちトレーサビリティ情報とマスタ情報に差分が無い場合には、基板ＩＤ、空（ブランク）の差分情報がデータ領域に設定され、フラグ領域のフラグがＯＦＦに設定された送信データが生成される。また、トレーサビリティ情報がマスタ情報と異なる場合、すなわちトレーサビリティ情報とマスタ情報に差分がある場合には、基板ＩＤ、差分情報がデータ領域に設定され、フラグ領域のフラグがＯＦＦに設定された送信データが生成される。

このように、送信データ生成部１５は、基板ＩＤに加えてトレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成している。上記したように、基板Ｗの生産中に部品切れや部品交換等が生じない限り、トレーサビリティ情報とマスタ情報に差分が生じないため、通常は基板ＩＤだけが実装装置１０からサーバ２０に送信される。よって、各実装装置１０からサーバ２０に送信される送信データのデータ量（ビット数）を最小限に抑えることが可能になっている。

サーバ２０には、記憶部２１と、送信データ認識部２２と、情報管理部２３と、送受信部２４とが設けられている。記憶部２１は基板Ｗの種類毎に生産プログラムを記憶しており、記憶部２１に記憶された生成プログラムは送受信部２４を介して実装装置１０に送信される。送信データ認識部２２は、送受信部２４を介して実装装置１０から送信データを受信し、フラグ領域内のフラグのＯＮ／ＯＦＦ設定に基づいてマスタ通知用の送信データか差分通知用の送信データかを認識している。送信データは、送信データ認識部２２の認識結果と共に情報管理部２３に入力される。

情報管理部２３は、基板ＩＤ毎にトレーサビリティ情報をデータベースに登録して管理している。マスタ通知用の送信データの場合には、トレーサビリティ情報がマスタ情報としてデータベースに登録される。差分通知用の送信データの場合には、送信データの差分情報に応じてマスタ情報からトレーサビリティ情報が生成される。送信データの差分情報にデータが設定されていない場合には、マスタ情報が複製されてトレーサビリティ情報が生成される。送信データの差分情報にデータが設定されている場合には、マスタ情報の一部を差分情報に置き換えてトレーサビリティ情報が生成される。

このように、情報管理部２３は、送信データの差分情報が空の場合にはマスタ情報と同じトレーサビリティ情報として管理し、送信データの差分情報が存在する場合にはマスタ情報の一部を差分情報に置き換えたトレーサビリティ情報として管理している。サーバ２０に対して基板ＩＤや差分情報のように最小限の情報が通知されることで、サーバ２０ではマスタ情報によって情報の不足分を補ってトレーサビリティ情報が生成される。よって、サーバ２０に対する送信データのデータ量を抑えて、サーバ２０での送信データの受信処理の負荷を大幅に減らすることが可能になっている。

また、実装装置１０からサーバ２０にマスタ情報が通知されるため、サーバ２０に対するマスタ情報の登録作業を無くしてオペレータの負担を軽減することが可能である。この場合、上記したように最初の基板Ｗのトレーサビリティ情報をマスタ情報にすることで、実装装置１０及びサーバ２０に対してマスタ情報を自動的に設定することができる。また、サーバ２０に対して事前にマスタ情報が設定されている場合には、実装装置１０からサーバ２０にマスタ情報を通知する必要はなく、逆にサーバ２０から実装装置１０にマスタ情報が通知されてもよい。

また、実装装置１０、サーバ２０の各部は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ(Read Only Memory)、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成されており、実装装置１０、サーバ２０に各種処理（ステップ）を実行させるためのプログラムや、各種パラメータが記憶されている。

図３を参照して、情報管理システムの通信処理について説明する。図３は、本実施の形態の情報管理システムの通信処理のシーケンス図である。なお、以下の説明では、生産プログラムの開始時の最初の基板のトレーサビリティ情報をマスタ情報にする場合を例示して説明する。

図３に示すように、実装装置１０で基板Ｗに対する実装処理が開始されると、最初の基板Ｗに対する実装動作の動作履歴等からトレーサビリティ情報が生成される（ステップＳ０１）。最初のトレーサビリティ情報はマスタ情報として設定されると共にトレーサビリティ情報、基板ＩＤ、フラグを含む送信データが生成される（ステップＳ０２）。この送信データのフラグは、トレーサビリティ情報がマスタ情報であることを示すようにＯＮに設定されている。そして、実装装置１０からサーバ２０に向けて最初の基板Ｗの送信データが送信される（ステップＳ０３）。

サーバ２０では、送信データ内のフラグからトレーサビリティ情報がマスタ情報であると認識され、基板ＩＤと共にマスタのトレーサビリティ情報がデータベースに登録される（ステップＳ０４）。続けて、実装装置１０で後続の基板Ｗに対する実装処理が実施されると、後続の基板Ｗに対する実装動作の動作履歴等からトレーサビリティ情報が生成される（ステップＳ０５）。後続の基板Ｗのトレーサビリティ情報は先頭の基板Ｗのマスタ情報と比較されて、トレーサビリティ情報がマスタ情報と一致するか否かが判断される（ステップＳ０６）。

実装装置１０では、トレーサビリティ情報がマスタ情報と一致する場合には差分情報を空にした送信データが生成され、トレーサビリティ情報がマスタ情報と異なる場合には差分情報にデータを設定した送信データが生成される（ステップＳ０７）。そして、実装装置１０からサーバ２０に向けて後続の基板Ｗの送信データが送信される（ステップＳ０８）。サーバ２０では、送信データ内のフラグから差分情報がマスタ情報ではないと認識され、送信データ内の基板ＩＤ、差分情報に基づいて、マスタ情報の複製や差分情報が一部変更されることでトレーサビリティ情報が生成される（ステップＳ０９）。

この場合、送信データの差分情報が空の場合には、マスタ情報を複製したトレーサビリティ情報が、送信データの基板ＩＤに関連付けられてデータベースに登録される。また、送信データの差分情報が存在する場合には、マスタ情報の一部を差分情報に変更したトレーサビリティ情報が、送信データの基板ＩＤに関連付けられてデータベースに登録される。以降は、基板Ｗに対する実装処理が実施される度に、ステップＳ０５−ステップＳ０９の処理が繰り返され、サーバ２０のデータベースにトレーサビリティ情報が蓄積される。これにより、実装装置１０とサーバ２０の間の通信量を減らしてシステム全体の負荷を抑えている。

以上のように、本実施の形態の情報管理システム１は、マスタ情報と異なるトレーサビリティ情報の差分情報だけが実装装置からサーバ２０に送信され、マスタ情報に一致するトレーサビリティ情報は実装装置１０からサーバ２０に送信されることがない。基板ＩＤと共に最小限のトレーサビリティ情報が送信データとして送信されるため、実装装置１０とサーバ２０の間の通信量を大幅に低減することができる。よって、高スペックのサーバ２０を用意することなく、システム全体の負荷を低減してシステム導入時のコストの増大を防止することができる。

上記した実施の形態では、個々の実装装置とサーバの通信について説明したが、生産ラインに配置された複数の実装装置がサーバと通信する場合には、以下に示すような通信処理を実施してもよい。図４は、変形例の複数の実装装置とサーバとの通信処理の説明図である。なお、以下の説明では、生産ラインに複数の実装装置が配置される構成を例示しているが、生産ラインに処理装置として、印刷装置、検査装置、リフロー装置等の他の処理装置が配置されてもよい。

図４に示すように、生産ラインに複数の実装装置１０が配置されている場合には、生産ラインで搬送される基板Ｗに対して複数の実装装置１０で段階的に部品が実装される。生産ラインの途中で基板Ｗが抜かれる等の変化がない限り、先頭の実装装置１０と後続の実装装置１０とでは基板ＩＤが同じになる。このため、変形例の情報管理システム１では、先頭の実装装置１０でサーバ２０に基板ＩＤを通知し、後続の実装装置１０ではサーバ２０への基板ＩＤの通知を省略するようにしている。これにより、後続の実装装置１０とサーバ２０の間の通信量を更に低減することができる。

具体的には、先頭の実装装置１０では、基板ＩＤに加えてトレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データが生成される。一方、後続の実装装置１０では、基板ＩＤを含まず、トレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データが生成される。また、最後尾の実装装置１０では、先頭の実装装置１０と同様に基板ＩＤ、差分情報を含む送信データが生成される。なお、サーバ２０は、実装装置１０毎に基板ＩＤを受信せず、先頭の実装装置１０と最後尾の実装装置１０から基板ＩＤを受信して、生産ラインの全ての実装装置１０で基板Ｗに対する実装処理が完了されたことを認識している。

また、上記した実施の形態及び変形例では、トレーサビリティ情報として部品名等の各種情報が通知される構成にしたが、この構成に限定されない。フィーダバンクに装着されたフィーダの種類、フィーダが装着された穴番号の対応関係が事前にサーバ２０に通知されていれば、実装装置１０からトレーサビリティ情報としてフィーダの穴番号をサーバ２０に通知すればよい。

また、上記した実施の形態及び変形例では、実装装置１０からサーバ２０にマスタ情報が通知される構成にしたが、この構成に限定されない。サーバ２０にマスタ情報が事前に設定されていれば、実装装置１０からサーバ２０にマスタ情報を送信する必要はない。

また、上記した実施の形態及び変形例では、差分情報が空の場合に、サーバ２０の情報管理部２３がマスタ情報を複製したトレーサビリティ情報をデータベースに登録する構成にしたが、この構成に限定されない。差分情報が空の場合に、情報管理部２３が基板ＩＤだけをデータベースに登録してもよい。この場合、基板ＩＤだけが登録されたデータベースのレコードについてはマスタ情報が登録されたレコードを参照させるようにする。

また、上記した実施の形態では、送信データにマスタ情報を示すフラグ領域が設けられたが、この構成に限定されない。サーバ２０でマスタ情報を認識可能であれば、送信データにフラグ領域は不要である。

また、本実施の形態において、基板Ｗは、プリント基板に限定されず、治具基板上に載せられたフレキシブル基板であってもよい。

また、本発明の実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

また、本実施の形態では、本発明を基板の生産ラインに適用した構成について説明したが、システム全体の負荷を低減できる物品の生産システムに適用することが可能である。

以上説明したように、本発明は、システム全体の負荷を低減することができるという効果を有し、特に基板毎にトレーサビリティ情報を管理する情報管理システム、処理装置及びプログラムに有用である。

１ 情報管理システム
１０ 実装装置（処理装置）
１３ 情報生成部
１４ 情報比較部
１５ 送信データ生成部
１６ 送受信部（送信部）
２０ サーバ
２２ 送信データ認識部
２３ 情報管理部
２４ 送受信部

Claims (7)

1. 基板に対して各種処理を実施する処理装置と基板毎のトレーサビリティ情報を管理するサーバとが通信可能に接続された情報管理システムであって、
   前記処理装置が、基板毎にトレーサビリティ情報をマスタ情報と比較する情報比較部と、基板の識別情報に加えてトレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成する送信データ生成部とを備え、
   前記サーバが、前記処理装置から受信した送信データに基づいて基板毎にトレーサビリティ情報を管理する情報管理部を備えたことを特徴とする情報管理システム。
2. 前記情報管理部が、送信データの差分情報が空の場合にはマスタ情報と同じトレーサビリティ情報として管理し、送信データの差分情報が存在する場合にはマスタ情報の一部を差分情報に置き換えたトレーサビリティ情報として管理することを特徴とする請求項１に記載の情報管理システム。
3. 生産プログラムの開始直後の最初の基板のトレーサビリティ情報がマスタ情報であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の情報管理システム。
4. 前記送信データ生成部が、トレーサビリティ情報、基板の識別情報に加えてマスタ情報か否かを示すフラグを含む送信データを生成することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の情報管理システム。
5. 生産ラインで搬送される基板に対して各種処理を実施する複数の処理装置と基板毎のトレーサビリティ情報を管理するサーバとが通信可能に接続されており、
   後続の実装装置の送信データ生成部は、基板の識別情報を含まず、トレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の情報管理システム。
6. 基板毎のトレーサビリティ情報を管理するサーバに通信可能に接続され、基板に対して各種処理を実施する処理装置であって、
   基板毎にトレーサビリティ情報をマスタ情報と比較する情報比較部と、
   基板の識別情報に加えてトレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成する送信データ生成部と、
   前記サーバに基板毎にトレーサビリティ情報を管理させるように、前記サーバに送信データを送信する送信部とを備えたことを特徴とする処理装置。
7. 基板に対して各種処理を実施する処理装置と基板毎のトレーサビリティ情報を管理するサーバとが通信可能に接続された情報管理システムのプログラムであって、
   前記処理装置に、基板毎にトレーサビリティ情報をマスタ情報と比較するステップと、基板の識別情報に加えてトレーサビリティ情報とマスタ情報の差分情報を含む送信データを生成するステップとを実行させ、
   前記サーバに、前記処理装置から受信した送信データに基づいて基板毎にトレーサビリティ情報を管理するステップを実行させることを特徴とするプログラム。

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