JP2017204619A - モジュール、その製造方法および電子機器 - Google Patents
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- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16227—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
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- H01L2224/27436—Lamination of a preform, e.g. foil, sheet or layer
- H01L2224/27438—Lamination of a preform, e.g. foil, sheet or layer the preform being at least partly pre-patterned
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- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73253—Bump and layer connectors
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- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/818—Bonding techniques
- H01L2224/8185—Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
- H01L2224/8188—Hardening the adhesive by cooling, e.g. for thermoplastics or hot-melt adhesives
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- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/81905—Combinations of bonding methods provided for in at least two different groups from H01L2224/818 - H01L2224/81904
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- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
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- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
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- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/922—Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
- H01L2224/9222—Sequential connecting processes
- H01L2224/92242—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
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- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
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- H01L24/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
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- H01L2924/06—Polymers
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Abstract
【課題】互いに接続された電子部品及び実装基板を備えるモジュールの信頼性を向上するのに有利な技術を提供する。【解決手段】モジュールは、第1電極を有する電子部品と、第2電極を有する実装基板と、前記第1電極と前記第2電極とを接続するはんだバンプと、前記電子部品と前記実装基板との間に空間を形成するように、前記第1電極および前記第2電極の双方と接触して前記はんだバンプを覆う熱可塑性の樹脂部材と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明は、モジュール、その製造方法および電子機器に関する。
モジュール(電子装置と称されてもよい。)のなかには、半導体デバイス等を含む電子部品がプリント基板等の実装基板に取り付けられて成るものがある。このようなモジュールでは、例えば、電子部品は底面側に第1電極を備えており、実装基板は上面側に第2電極を備えており、第1電極と第2電極とをはんだバンプによって電気的に互いに接続することにより電子部品と実装基板とが固定される。
特許文献1には、電子部品と実装基板とがはんだバンプにより接続された構造が開示されている。電子部品と実装基板との間の空間において、はんだバンプの基部(電子部品側の一部、及び、実装基板側の一部のそれぞれ)の周辺には樹脂が配されている。ここで、特許文献1によると、該樹脂には熱硬化性樹脂が用いられる。そのため、特許文献1の構造によると、該樹脂の熱硬化時の収縮に起因して各部材に生じうる応力により、モジュールに変形やクラック等を生じさせる可能性があり、このことは、モジュールの信頼性の低下の原因となりうる。よって、このようなモジュールの信頼性の向上に有利な技術が求められる。
本発明の目的は、互いに接続された電子部品及び実装基板を備えるモジュールの信頼性を向上するのに有利な技術を提供することにある。
本発明の一つの側面はモジュールにかかり、前記モジュールは、第1電極を有する電子部品と、第2電極を有する実装基板と、前記第1電極と前記第2電極とを接続するはんだバンプと、前記電子部品と前記実装基板との間に空間を形成するように、前記第1電極および前記第2電極の双方と接触して前記はんだバンプを覆う熱可塑性の樹脂部材と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、互いに接続された電子部品及び実装基板を備えるモジュールの信頼性を向上するのに有利である。
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各図は、構造ないし構成を説明する目的で記載されたものに過ぎず、図示された各部材の寸法は必ずしも現実のものを反映するものではない。また、各図において、同一の部材または同一の構成要素には同一の参照番号を付しており、以下、重複する内容については説明を省略する。
図1は、本発明の一実施形態に係るモジュール100の構成例を示している。モジュール100は、電子部品200と、実装基板300と、はんだバンプ400とを備えており、電子部品200と実装基板300とがはんだバンプ400により接続されて成る。電子部品200は、半導体チップ等がパッケージングされたデバイスであり、電子デバイス、半導体デバイス等と称されてもよい。実装基板300は、電子部品200を実装するための回路基板であり、プリント基板(プリント回路基板)を含みうる。モジュール100は、電子装置と称されてもよい。
より具体的には、電子部品200は、実装基板300側の面(図中の底面)に第1電極250を有し、実装基板300は、電子部品200側の面(図中の上面)に第2電極310を有する。はんだバンプ400は、第1電極250と第2電極310とを電気的に接続しており、これにより、電子部品200と実装基板300とを互いに接続し、固定している。電子部品200と実装基板300とは所定距離だけ離れて固定されている。
本実施形態では、電子部品200はイメージセンサである(即ち、モジュール100はカメラ用の撮像モジュールである。)。電子部品200は、平面視(実装基板300と向かい合う面に対する平面視。即ち、図中の方向D1での正射影。)において、撮像面を形成する撮像領域R1と、その周辺領域R2とを含む。第1電極250は、撮像領域R1および周辺領域R2のうちの周辺領域R2に配置されている。
本実施形態では、電子部品200は、詳細は後述するが、ウエハレベルチップサイズパッケージ(WL‐CSP(Wefer Level Chip Size Package))の構造を有する。具体的には、電子部品200は、構造体210と、ガラス基板220と、接着部材230とを更に有する。構造体210は、半導体基板211および配線構造212を含み、それらのうちの半導体基板211が実装基板300側に配されている。
半導体基板211は、例えばシリコン等で構成された基板である。半導体基板211は、撮像領域R1において、光電変換素子および該光電変換素子で生じた電荷に応じた信号を出力するためのトランジスタを各々が含む複数の画素(不図示)を有する。また、半導体基板211は、周辺領域R2において、該複数の画素から信号を読み出すための周辺回路(不図示)を更に有する。
配線構造212は、絶縁部材213と、導電部材214と、コンタクトプラグ215とを有する。絶縁部材213は、例えば酸化シリコン(SiO2)や窒化シリコン(Si3N4)等の絶縁材料で構成され得、典型的には複数の絶縁層が積層されて成る。導電部材214は、絶縁部材213に内包され、例えば銅(Cu)、アルミニウム(Al)等の金属で構成されうる。コンタクトプラグ215は、例えばチタン(Ti)、タングステン(W)等の金属で構成され得、半導体基板211上の素子と導電部材214とを電気的に接続する。ここでは配線層の数が1の単層配線構造を配線構造212として例示したが、配線構造212は配線層の数が2以上の多層配線構造でもよい。
構造体210は、第1電極250に接続された貫通電極216であって半導体基板211の底面(実装基板300側の面)から配線構造212に内包された導電部材214まで半導体基板211を貫通するように延在する貫通電極216を更に有する。半導体基板211と貫通電極216とは、それらの間に配された絶縁膜(不図示)により電気的に分離される。なお、貫通電極は、シリコン貫通電極(TSV(Though Silicon Via))とも称されうる。
電子部品200は、構造体210の底面側(実装基板300側)に配された絶縁層240及び保護層260を更に有する。絶縁層240及び保護層260のそれぞれは、第1電極250が配された開口を有する。絶縁層240は、本実施形態では酸化シリコン等の絶縁材料で構成され得、半導体基板211の底面側において半導体基板211と第1電極250とを電気的に分離する。保護層260は、本実施形態では絶縁性の樹脂等で構成され得、電子部品200の底面側を保護する。
ガラス基板220は、ガラス等の透光性材料で構成された板材である。ガラス基板220は、対向基板に相当し、構造体210に対して実装基板300側とは反対側に配される。即ち、構造体210との関係では、ガラス基板220は光の入射側に配される。
接着部材230は、平面視において周辺領域R2と重なるように配され、構造体210とガラス基板220との間に第2の空間SP2を形成しながら構造体210とガラス基板220とを接着する。なお、構造体210では構造体210とガラス基板220とが所定の結合部材によって結合されていればよく、他の実施形態では、接着部材230の代わりに、例えば、接着性を有しない部材と接着シートとが併用されてもよい。
配線構造212の上面(空間SP2側の面)には、上述の複数の画素に対応する複数のマイクロレンズ(不図示)が形成されており、各マイクロレンズは入射光を集光して対応画素に導く。
はんだバンプ400は、接着部材230同様に、平面視において周辺領域R2と重なる位置に配されている。この構造によると、熱膨張率の差等に起因して各部材間に生じうる応力のモジュール100に対する影響が低減されうる。特に、電子部品200のうち、はんだバンプ400により実装基板300に接続された部分およびその近傍で生じうる応力による影響が低減されうる。
ここで、モジュール100は、はんだバンプ400を覆う樹脂部材500を更に備えている。樹脂部材500は、電子部品200と実装基板300との間に空間SP1を形成しながらはんだバンプ400を覆うように配されており、樹脂膜、被膜等と表現されてもよい。この構造によると、電子部品200と実装基板300との間(即ち、空間SP1)を接着用の樹脂等で充填した場合に比べて、各部材間に生じうる応力のモジュール100に対する影響が低減されうる。
樹脂部材500は、第1電極250および第2電極310の双方と接触して電子部品200と実装基板300とを互いに固定している。他の表現では、樹脂部材500は、はんだバンプ400を覆いながら第1電極250側から第2電極310側までそれらの双方に接触するように延在しており、はんだバンプ400による電子部品200と実装基板300との固定を補強している。また、第2電極310は、空間SP1において露出しておらず、はんだバンプ400と接触している部分以外の部分では樹脂部材500により覆われている。これにより、第2電極310とはんだバンプ400とは、より強固に固定される。
ここで、樹脂部材500は、熱可塑性の樹脂で構成されている。これにより、電子部品200と実装基板300との適切な着脱を熱処理によって実現可能にしている。このことは、実装基板300への電子部品200の取り付け(実装)をやり直す場合や、実装基板300に取り付けられた電子部品200を他の電子部品と交換する場合に有利である。
樹脂部材500は、そのガラス転移温度がはんだバンプ400の融点よりも低くなるように構成されることが好ましい。これにより、詳細は後述とするが、加熱した場合にははんだバンプ400の融解より先に樹脂部材500が軟化し、電子部品200を実装基板300に取り付ける際に有利である。なお、ガラス転移温度は、一般に、樹脂等の鎖状高分子材料の温度を上昇/下降させたときにその剛性、粘度等の物性が急峻に変化する温度で説明され、例えば、示差走査熱量測定(DSC)等によって測定されればよい。
図1には、第1電極250および第2電極310をそれぞれ2つずつ図示したが、これらの電極の数量は3以上でもよい。即ち、電子部品200は複数の第1電極250を有し得、実装基板300は複数の第2電極310を有し得、及び、モジュール100は複数のはんだバンプ400を備えうる。そして、複数のはんだバンプ400は、複数の第1電極250と複数の第2電極310とをそれぞれ接続する。この場合、樹脂部材500は、電子部品200と実装基板300との間に空間SP1を形成しながら複数のはんだバンプ400の個々を覆い、それに対応する第1電極250および第2電極310の双方と接触して電子部品200と実装基板300とを互いに固定する。このような構成により、はんだバンプ400による電子部品200と実装基板300との固定が、より強固なものとなる。
複数の第1電極250の一部は、図1の紙面に対して垂直な方向において並んで配されうる(複数の第2電極310および複数のはんだバンプ400についても同様である。)。ここで、互いに隣り合う2つのはんだバンプ400をそれぞれ第1のバンプ4001および第2のバンプ4002としたとき、第1のバンプ4001を覆う樹脂部材500と、第2のバンプ4002を覆う樹脂部材500とは、互いに接触していなくてもよい。これにより、はんだバンプ400の数量が大きくなった場合においても、各部材間に生じうる応力のモジュール100に対する影響が低減されうる。
以上、本実施形態によると、樹脂部材500は、電子部品200と実装基板300と接続するはんだバンプ400の個々を、第1電極250および第2電極310の双方と接触して電子部品200と実装基板300とを互いに固定するように、覆っている。この構造によると、モジュール100における各部材間に生じうる応力のモジュール100に対する影響が低減されるため、モジュール100の信頼性の向上に有利である。
上述の効果は、例えば半導体基板211の厚さが50[μm]以上200[μm]以下の範囲内において、好適に得られる。より好適には、半導体基板211の厚さを50[μm]以上100[μm]以下の範囲内とするとよい。半導体基板211の厚さが50[μm]未満の範囲では、半導体基板211そのものの強度を確保することが難しくなり、また、該厚さが200[μm]より大きい範囲では、半導体基板211そのものの強度が十分に高いため、上述の効果を享受しにくい。
また、本実施形態によると、樹脂部材500は、熱可塑性の樹脂で構成されており、熱処理によって電子部品200を実装基板300から適切に取り外すことが可能である。また、熱可塑性の樹脂には、はんだバンプ400、電極250及び310に対する接着性を有する材料が用いられればよい。例えば、熱可塑性の樹脂は、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン系樹脂、ノボラック樹脂およびフッ素樹脂のうちの少なくとも1つを含みうる。特に、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂およびフッ素樹脂は、耐熱性が比較的高いため(例えば、はんだバンプ400を加熱した際に変形ないし分解しにくいため)、好適に用いられうる。
また、はんだバンプ400には、融点が160〜230[℃]程度の金属が用いられるとよい。例えば、はんだバンプ400の材料は、スズ(Sn)、銀(Ag)、銅(Cu)、ビスマス(Bi)、アンチモン(Sb)、ニッケル(Ni)若しくはコバルト(Co)、又は、これらの一部若しくは全部の合金を含みうる。例えば、Sn−Ag−Cu系合金、Sn−Ag−Cu−Bi−Sb−Ni系合金、Sn−Ag−Cu−Ni系合金、Sn−Ag−Bi−Cu−Ni系合金、Sn−Ag−Ni−Co系合金、Sn−Bi系合金、Sn−Bi−Ag系合金等が好適に用いられうる。
なお、本実施形態では、電子部品200として、いわゆる表面照射型の固体撮像装置の構造を例示したが、他の実施形態では、半導体基板211と配線構造212との位置の関係は逆でもよい(いわゆる裏面照射型の場合についても同様である。)。また、本実施形態の構造は他の電子部品に適用されてもよく、即ち、他の実施形態では、ジャイロセンサ等の各種センサ、SAW(表面弾性波)デバイス、その他のMEMSが電子部品200として用いられてもよい。この場合、上述の撮像領域R1と周辺領域R2とは、それぞれ、電極が配されていない第1領域と電極が配された第2領域とに区別されてもよい。また、本実施形態ではWL‐CSPの構造を例示したが、本実施形態の構造は、BGA(Ball Grid Array)等、いわゆるバンプアレイを用いた実装方式の他のパッケージ構造にも適用可能である。
以下、図2(A)〜2(L)を参照しながら、モジュール100の製造方法の例を述べる。以下の各工程は、公知の半導体製造技術を用いて製造することが可能である。なお、以下では説明を容易にするため省略するが、各工程の間では、熱処理、洗浄処理等の処理が必要に応じて為されればよい。
図2(A)の工程では、半導体基板211及び配線構造212を含む構造体210が形成されたウエハWFを準備する。図中において矢印Lで示された破線は、後のダイシング工程でのダイシング面に対応する。
図2(B)の工程では、構造体210とガラス基板220との間に空間SP2を形成するように、構造体210の上に接着部材230を介してガラス基板220を固定する。接着部材230には、例えば厚さ30[μm]程度の感光性ドライフィルムが用いられうる。接着部材230は、例えば、ラミネート加工、フォトリソグラフィ法等を用いて、構造体210上の所望の領域に形成され、その後、その上にガラス基板220が圧着される。
図2(C)の工程では、半導体基板211の裏面側を研磨して半導体基板211を薄くし、その厚さを100[μm]程度にする。研磨は、バックグラインド、化学機械研磨(CMP(Chemical Mechanical Polishing))等によって為されればよい。
図2(D)の工程では、半導体基板211の裏面側に、導電部材214に電気的に接続された貫通電極216を形成する。この工程は、反応性イオンエッチング(RIE(Reactive Ion Etching))等によって半導体基板211の裏面側に貫通孔を形成した後、堆積法等によって該貫通孔に金属部材を形成することにより為されればよい。
図2(E)の工程では、貫通電極216が形成された半導体基板211の裏面側に絶縁層240を形成する。この工程は、化学気相成長(CVD(Chemical Vapor Deposition))法によって為されればよい。本実施形態では、絶縁層240には酸化シリコンを用いた。
図2(F)の工程では、半導体基板211の裏面側に形成された絶縁層240に、貫通電極216が露出するように開口OP1を形成する。この工程は、ドライエッチング等によって為されればよい。
図2(G)の工程では、貫通電極216に電気的に接続された第1電極250を開口OP1に形成する。この工程は、例えば、絶縁層240及び開口OP1を覆うようにチタン(Ti)、銅(Cu)等のシードメタルを形成し、その上に、銅(Cu)で構成された金属部材を形成した後、該シードメタル及び該金属部材をパターニングすることによって為されればよい。
図2(H)の工程では、絶縁層240の底面側に、第1電極250を露出させる開口OP2を有する保護膜260を形成する。この工程は、感光性および絶縁性を有する樹脂材料を絶縁層240の底面側に塗布した後、露光処理および現像処理を行うことによって為されればよい。
図2(I)の工程では、第1電極250の露出面にフラックスを塗布した後、開口OP2内の該露出面にボール状のはんだバンプ401を形成する。はんだバンプ401は、前述のはんだバンプ400に対応し、後の工程において第2電極310と接続される。本実施形態では、はんだバンプ401には、Sn−Ag−Cu系合金(融点220[℃]程度)を用いた。なお、平面視において、はんだバンプ401の直径は開口OP2の幅より小さい。
図2(J)の工程では、洗浄処理によりフラックスを除去した後に、はんだバンプ401の側面を覆いながら第1電極250に接触するように(開口OP2を埋めるように)、熱可塑性の樹脂部材501を形成する。即ち、樹脂部材501は、はんだバンプ401の頂部を露出するように形成される。樹脂部材501は、前述の樹脂部材500に対応し、後の工程において第2電極310と接触する。本実施形態では、樹脂部材501には、アクリル樹脂(ガラス転移温度100[℃]程度)を用いた。
図2(K)の工程では、以上のようにして得られたウエハWFを矢印Lに沿ったラインでダイシングする。このようにして、図1を参照しながら述べたWL‐CSP構造の電子部品200を準備する。
図2(L)の工程では、実装基板300を準備する。そして、実装基板300の第2電極310に、はんだペーストを塗布した後、電子部品200の第1電極250と実装基板300の第2電極310との位置を合わせ、図中の矢印の方向に従って、実装基板300の上に電子部品200を載置する。
その後、はんだバンプ401が第1電極250と第2電極310との間に位置している状態で、熱処理(温度235[℃]以上(最高温度245[℃])で時間30[sec]程度のリフロー)を行う。これにより、はんだバンプ401を成形し、第2電極310に接続されたはんだバンプ400を形成する。このとき、樹脂部材501は、加熱に伴って軟化し、実装基板300側に広がって前述の樹脂部材500に成形される。その結果、第2電極310は、はんだバンプ400と接触している部分以外の部分では樹脂部材500によって覆われる。特に、樹脂部材501(樹脂部材500)のガラス転移温度がはんだバンプ400の融点よりも低いことにより、はんだバンプ400の融解よりも先に樹脂部材501が軟化するため、樹脂部材501は、第2電極310を適切に覆う樹脂部材500に成形される。以上のようにして、図1を参照しながら述べたモジュール100が製造される。
なお、樹脂部材501を、図2(J)の工程のように第1電極250側に形成するのではなく、第2電極310側に形成することも考えられる。しかしながら、この方法によると、上記熱処理によって軟化した樹脂部材501が第2電極310を覆ってしまい、第1電極250と第2電極310とのはんだバンプ400による電気的接続が適切に実現されない可能性があることに留意されたい。
ここで、比較例として、樹脂部材500(樹脂部材501)の材料に、熱可塑性の樹脂ではなく、熱硬化性の樹脂(ここではエポキシ樹脂)を用いたモジュール(区別のため、モジュール100cとする。)を、上述の製造方法と同様の手順で製造した。即ち、比較例は、主に、図2(J)の工程において、はんだバンプ401の周囲に、エポキシ樹脂で構成された樹脂部材を形成した、という点で本実施形態と異なる。比較例のモジュール100cによると、上記エポキシ樹脂の熱硬化時に生じうる収縮に起因する応力に伴う電子部品200の変形が確認された。
これに対して本実施形態に係るモジュール100では、樹脂部材500(樹脂部材501)に熱可塑性の樹脂が用いられているため、熱硬化性の樹脂を用いた場合に比べて、熱硬化時の樹脂の収縮の影響が小さい。よって、本実施形態によると、各部材間に生じうる応力のモジュール100に対する影響が小さく、モジュール100の信頼性の向上に有利である。
また、前述のとおり、本実施形態によると、樹脂部材500は熱可塑性の樹脂で構成されており、熱処理によって電子部品200を実装基板300から適切に取り外すことが可能である。よって、本実施形態によると、実装基板300への電子部品200の取り付け(実装)をやり直す場合や、実装基板300に取り付けられた電子部品200を他の電子部品と交換する場合にも有利である。
図3は、モジュール100が適用された電子機器の一例であるカメラのシステム構成の例を説明するための図である。モジュール100が備える電子部品200は固体撮像装置(固体撮像装置10とする。)であり、カメラは、固体撮像装置10の他、例えば、処理部20、CPU30、操作部40および光学系50を具備する。また、カメラは、静止画や動画を表示するための表示部60、及び、それらのデータを記憶するためのメモリ70を更に具備しうる。固体撮像装置10は、光学系50を通過した光に基づいてデジタル信号からなる画像データを生成する。該画像データは、処理部20により所定の画像処理が為され、表示部60やメモリ70に出力される。また、操作部40を介して入力された撮影条件が変更された場合には、CPU30により、各ユニットの設定情報が変更され得、又は、各ユニットの制御方法が変更されうる。なお、カメラの概念には、撮影を主目的とする装置のみならず、撮影機能を補助的に備える装置(例えば、パーソナルコンピュータ、携帯端末)も含まれる。
以上では本発明の好適な態様およびその変形例を示したが、本発明は、これらの例に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲でその一部が変更されてもよい。また、本明細書に記載された個々の用語は、本発明を説明する目的で用いられたものに過ぎず、本発明は、用語の厳密な意味に限定されるものでないことは言うまでもなく、その均等物をも含みうる。
100:モジュール、200:電子部品、250:第1電極、300:実装基板、310:第2電極、400:はんだバンプ、500:樹脂部材。
Claims (13)
- 第1電極を有する電子部品と、
第2電極を有する実装基板と、
前記第1電極と前記第2電極とを接続するはんだバンプと、
前記電子部品と前記実装基板との間に空間を形成するように、前記第1電極および前記第2電極の双方と接触して前記はんだバンプを覆う熱可塑性の樹脂部材と、を備える
ことを特徴とするモジュール。 - 前記樹脂部材のガラス転移温度は、前記はんだバンプの融点よりも低い
ことを特徴とする請求項1に記載のモジュール。 - 前記第2電極は前記空間に露出していない
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のモジュール。 - 前記はんだバンプは、第1のはんだバンプであり、
前記電子部品は、第3電極を更に有しており、
前記実装基板は、第4電極を更に有しており、
前記モジュールは、前記第3電極と前記第4電極とを接続する第2のはんだバンプを更に備えており、
前記空間は、前記第1のはんだバンプと前記第2のはんだバンプとの間に位置する
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のモジュール。 - 前記樹脂部材は第1の樹脂部材であり、
前記モジュールは、前記第3電極および前記第4電極の双方と接触して前記第2のはんだバンプを覆う熱可塑性の第2の樹脂部材を更に備え、
前記第1の樹脂部材と、前記第2の樹脂部材とは、互いに接触していない
ことを特徴とする請求項4に記載のモジュール。 - 前記電子部品は、イメージセンサであり、
前記電子部品は、前記実装基板と向かい合う面に対する平面視において、撮像面を形成する撮像領域と、その周辺領域とを含んでおり、
前記第1電極は、前記周辺領域に配置されている
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のモジュール。 - 前記電子部品は、
半導体デバイスと、
前記半導体デバイスに対向するように、前記半導体デバイスに対して前記実装基板の側とは反対側に配された対向基板と、
前記半導体デバイスと前記対向基板との間に空間を形成するように前記半導体デバイスと前記対向基板とを結合する結合部材と、
を有しており、
前記結合部材は、前記平面視において前記第1電極と重なるように配されている
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のモジュール。 - 前記半導体デバイスは、前記第1電極に接続され、前記半導体デバイスの半導体基板を貫通する貫通電極を有する
ことを特徴とする請求項7に記載のモジュール。 - 前記樹脂部材は、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン系樹脂、ノボラック樹脂およびフッ素樹脂のうちの少なくとも1つを含む
ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のモジュール。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のモジュールと、
前記モジュールからの信号を処理する処理部と、を具備する
ことを特徴とする電子機器。 - 第1電極を有する電子部品を準備する工程と、
前記第1電極の上にはんだバンプを形成する工程と、
熱可塑性の樹脂部材を、前記樹脂部材が前記第1電極に接触し且つ前記はんだバンプを露出させるように形成する工程と、
第2電極を有する実装基板を準備する工程と、
前記はんだバンプが前記第1電極と前記第2電極との間に位置している状態で該はんだバンプを加熱することにより、前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続する工程と、を含み、
前記加熱において、前記樹脂部材は、前記電子部品と前記プリント基板との間に空間を形成するように、該はんだバンプを覆いながら前記第1電極および前記第2電極の双方と接触する
ことを特徴とするモジュールの製造方法。 - 前記樹脂部材を形成する工程において、前記樹脂部材は前記はんだバンプを覆う
ことを特徴とする請求項11に記載の製造方法。 - 前記樹脂部材および前記はんだバンプを加熱して、前記電子部品を前記実装基板から取り外す工程を有する
ことを特徴とする請求項11または請求項12に記載の製造方法。
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