JP2017195407A - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017195407A JP2017195407A JP2017132974A JP2017132974A JP2017195407A JP 2017195407 A JP2017195407 A JP 2017195407A JP 2017132974 A JP2017132974 A JP 2017132974A JP 2017132974 A JP2017132974 A JP 2017132974A JP 2017195407 A JP2017195407 A JP 2017195407A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing apparatus
- plasma
- lift arm
- plasma processing
- lift
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
2 処理容器
3 マイクロ波供給部
10 サセプタ
11 整合器
12 高周波電源
13 ヒータ
14 昇降ピン
15 リフトアーム
16 昇降機構
17 フォーカスリング
20 支持軸
21 フランジ
30 排気室
31 排気機構
32 排気管
33 調整弁
34 バッフル板
35 回転シール機構
40 ラジアルラインスロットアンテナ
41 マイクロ波透過板
42 スロット板
43 遅波板
50 同軸導波管
60 第1の処理ガス供給管
70 第2の処理ガス供給管
80 ベアリング
81 ケーシング
82 ロータリージョイント
83 回転駆動機構
84 チョーク
85 磁性流体シール
W ウェハ
Claims (8)
- 基板をプラズマにより処理するプラズマ処理装置であって、
基板を気密に収容する処理容器と、
前記処理容器内に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記処理容器内において基板を保持する基板保持機構と、
前記基板保持機構を上下方向に挿通し、基板保持機構に対して移動自在に設けられた昇降ピンと、
前記昇降ピンを昇降させる昇降機構と、を有し、
前記昇降機構は、前記昇降ピンを上方に押圧するリフトアームと、前記昇降ピンを下方に押し下げる他のリフトアームを備え、
前記昇降ピンは、前記基板保持機構の厚みよりも長く形成され、
前記昇降ピンの下端部には、前記他のリフトアームにより前記昇降ピンを押し下げる際に前記他のリフトアームと係止する係止部が設けられていることを特徴とする、プラズマ処理装置。 - 前記リフトアームと他のリフトアームは同期して動作することを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記リフトアームと他のリフトアームは同期せずに個別に動作することを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の底面を上下方向に貫通し、基板保持機構の下面を支持する支持軸と、
前記処理容器の外部に設けられ、前記支持軸を回転させる回転駆動機構と、
を有していることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記昇降ピンは、前記リフトアームとは分離して設けられており、前記昇降ピンは、前記基板保持機構と共に回転可能であることを特徴とする、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記プラズマ処理装置は、マイクロ波プラズマにより処理するプラズマ処理装置であり、
前記処理容器内にマイクロ波を照射する、マイクロ波供給部を有していることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記プラズマ処理装置は、マイクロ波プラズマにより処理するプラズマ処理装置であり、
前記処理容器内にマイクロ波を照射する、マイクロ波供給部を有し、
前記支持軸と前記処理容器との間を気密に塞ぐ磁性流体シールと、
前記磁性流体シールよりも上方に設けられ、前記支持軸と前記処理容器との間からのマイクロ波の漏洩により前記磁性流体シールが加熱されることを防止するチョーク機構と、を有することを特徴とする、請求項4または5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記プラズマ処理装置は、マイクロ波プラズマにより処理するプラズマ処理装置であり、
前記処理容器内にマイクロ波を照射する、マイクロ波供給部を有し、
前記支持軸の回転中心または前記基板の中心の少なくともいずれかは、前記マイクロ波供給部からのマイクロ波の照射中心に対して、平面視において偏心位置にあることを特徴とする、請求項4または5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017132974A JP6386632B2 (ja) | 2017-07-06 | 2017-07-06 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017132974A JP6386632B2 (ja) | 2017-07-06 | 2017-07-06 | プラズマ処理装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014145186A Division JP2016021524A (ja) | 2014-07-15 | 2014-07-15 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017195407A true JP2017195407A (ja) | 2017-10-26 |
JP6386632B2 JP6386632B2 (ja) | 2018-09-05 |
Family
ID=60156518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017132974A Expired - Fee Related JP6386632B2 (ja) | 2017-07-06 | 2017-07-06 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6386632B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112992769A (zh) * | 2019-12-18 | 2021-06-18 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和载置台 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6327022A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-04 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JPH10512391A (ja) * | 1995-01-11 | 1998-11-24 | デポジション・サイエンシス,インコーポレイテッド | プラズマ誘導マイクロ波エネルギーによってプラズマを発生するための装置 |
JP2002100571A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
JP2004153166A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Applied Materials Inc | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP2007123810A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 基板の載置機構及び基板処理装置 |
JP2009188161A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
WO2013001833A1 (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-03 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
-
2017
- 2017-07-06 JP JP2017132974A patent/JP6386632B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6327022A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-04 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
JPH10512391A (ja) * | 1995-01-11 | 1998-11-24 | デポジション・サイエンシス,インコーポレイテッド | プラズマ誘導マイクロ波エネルギーによってプラズマを発生するための装置 |
JP2002100571A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理方法 |
JP2004153166A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Applied Materials Inc | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP2007123810A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 基板の載置機構及び基板処理装置 |
JP2009188161A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
WO2013001833A1 (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-03 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112992769A (zh) * | 2019-12-18 | 2021-06-18 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和载置台 |
CN112992769B (zh) * | 2019-12-18 | 2024-01-30 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和载置台 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6386632B2 (ja) | 2018-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102438349B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
KR102266368B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
JP5971144B2 (ja) | 基板処理装置及び成膜方法 | |
KR102487342B1 (ko) | 정전척 어셈블리 및 이를 구비하는 플라즈마 처리장치 | |
US20110222038A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate placing table | |
US20160189934A1 (en) | Plasma processing apparatus | |
JP6386632B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5552316B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
KR102220276B1 (ko) | 플라스마 처리 장치 및 플라스마 처리 방법 | |
JP4467667B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2023169185A (ja) | シャッタ機構および基板処理装置 | |
JP5090299B2 (ja) | プラズマ処理装置および基板載置台 | |
KR102616555B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
JP2006253312A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2010267708A (ja) | 真空処理装置および真空処理方法 | |
US10930477B2 (en) | Plasma processing apparatus | |
TW201523703A (zh) | 電漿處理裝置及電漿處理方法 | |
US20230407458A1 (en) | Film formation apparatus | |
JP2020092177A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP5876463B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5728565B2 (ja) | プラズマ処理装置及びこれに用いる遅波板 | |
WO2022230729A1 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR102500590B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
CN117265475A (zh) | 成膜装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180717 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180712 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180809 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6386632 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |