JP2017191283A - 表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】フレキシブル基板を有する表示装置において、フレキシブル基板の光学密度を大きくして、製造工程におけるキャリア基板とフレキシブル基板の分離を容易にする。【解決手段】湾曲可能な基板100にアレイ層50が形成された表示装置であって、前記基板100は樹脂で形成され、光学密度(OD)が2以上であることを特徴とする表示装置である。フレキシブル表示装置は、製造工程においては、例えばガラスであるキャリア基板20に形成され、完成後、キャリア基板20から基板100を剥離する必要があるが、ランプ500を用いることによって、基板100とキャリア基板20の剥離を効果的に行うことができる。【選択図】図9
Description
本発明は表示装置に係り、特に基板を湾曲させることができるフレキシブル表示装置に関する。
有機EL表示装置や液晶表示装置は表示装置を薄くすることによって、フレキシブルに湾曲させて使用することができる。この場合、素子を形成する基板を薄いガラスあるいは薄い樹脂によって形成する。有機EL表示装置は、バックライトを使用しないので、薄型化にはより有利である。反射型液晶表示装置についても同様である。
フレキシブル表示装置を形成するためには、基板を薄くしなければならない。しかし、基板を薄くすると、製造プロセスを通すことが困難になる。そこで、製造プロセスにおいては、比較的厚いガラス等のキャリア基板を用い、マザー基板完成後、キャリア基板を除去し、代わりにフレキシブルな、薄い基板で貼りかえることが行われている。
特許文献1には、ガラス基板と透明な樹脂基板の間に金属等の熱交換層を配置し、この熱交換層をランプで加熱することによって、キャリアガラスと透明樹脂基板を分離する構成が記載されている。
特許文献2には、支持体、すなわち、キャリア基板とフレキシブル基板との間に金属等の剥離層を配置し、この剥離層を電磁誘導によって加熱し、支持体とフレキシブル基板を分離する構成が記載されている。
特許文献3には、ガラス基板の上に金属酸化物とフレキシブル基板となるポリイミド系樹脂の積層物を形成し、赤外線を照射することによって、金属酸化物を加熱させてフレキシブル基板とガラス基板を分離する構成が記載されている。
特許文献4には、樹脂とフィラーからなる熱伝導性樹脂を支持体に塗布し、この熱伝導性樹脂の上にデバイス層を形成し、その後、支持体と熱伝導性樹脂を剥離する構成が記載されている。
フレキシブル表示装置の製造を可能にするために、ガラス等のキャリア基板にフレキシブル基板を形成し、その上にデバイス層を形成し、その後、キャリア基板とフレキシブル基板とを分離することが行われている。キャリア基板とフレキシブル基板を分離するために、キャリア基板とフレキシブル基板の界面を加熱するが、この時、フレキシブル基板の上に形成された、TFTや有機EL層が熱によってダメージを受ける。
また、キャリア基板とフレキシブル基板の界面の加熱をキャリア基板側からレーザービーム等のコリメートされた光で加熱することによって剥離しようとすると、キャリア基板に異物が存在したような場合、その部分が分離できないという課題が存在する。
本発明は、以上のような課題を解決し、表示性能の高いフレキシブル表示装置を歩留まりよく形成することを可能にものである。
本発明は上記課題を克服するものであり、代表的な手段は次のとおりである。
(1)湾曲可能な基板にアレイ層が形成された表示装置であって、前記基板は樹脂で形成され、光学密度(OD)が2以上であることを特徴とする表示装置。
(2)湾曲可能な基板にアレイ層が形成された表示装置であって、
前記基板は複数の樹脂層で形成され、前記複数の樹脂層の内の第1の層の光学密度(OD)は2以上であることを特徴とする表示装置。
前記基板は複数の樹脂層で形成され、前記複数の樹脂層の内の第1の層の光学密度(OD)は2以上であることを特徴とする表示装置。
(3)湾曲可能で光学密度(OD)が2以上である基板にアレイ層が形成された表示装置の製造方法であって、第1のキャリア基板に非透明な樹脂を塗布し、焼成することによって前記基板を形成し、前記基板にアレイ層を形成し、前記アレイ層を第2のキャリア基板で覆い、前記第1のキャリア基板側からランプからの光を照射することによって、前記基板と前記第1のキャリア基板を分離することを特徴とする表示装置の製造方法。
(4)湾曲可能で光学密度(OD)が2以上である基板にアレイ層が形成された表示装置の製造方法であって、第1のキャリア基板に金属酸化物を形成し、前記金属酸化物の上に非透明な樹脂を塗布し、焼成することによって前記基板を形成し、前記基板にアレイ層を形成し、前記アレイ層を第2のキャリア基板で覆い、前記第1のキャリア基板側からランプからの光を照射することによって、前記基板と、前記金属酸化物が形成された前記第1のキャリア基板を分離することを特徴とする表示装置の製造方法。
以下に実施例を用いて本発明の内容を詳細に説明する。
図1は本発明が適用されるフレキシブル基板100を有する有機EL表示装置の平面図であり、図2は図1のA−A断面図である。図1および図2において、フレキシブル基板100の上にTFTや有機EL層等を含むアレイ層50が形成され、これを偏光板200が覆っている。なお、アレイ層50が表示領域になっている。図1および図2において、フレキシブル基板100が偏光板200に覆われていない部分は端子部150となっている。端子部150にはアレイ層50から配線が引き出され、端子部150の端部において、フレキシブル配線基板300と接続している。フレキシブル配線基板300からは、有機EL表示装置へ電源、信号等が供給される。
フレキシブル基板100は厚さ10μm乃至20μmの樹脂、例えばポリイミドで形成されている。本発明の特徴は、このフレキシブル基板100が吸光性の基板であるということである。これによって本発明では、フレキシブル基板100を、キャリア基板側からの光の照射によってガラス等のキャリア基板から分離する際、光がフレキシブル基板100の上に形成されたTFTや有機EL等の電子素子に照射されて、これらの素子がこの光による熱等によって劣化することを防止することができる。
フレキシブル表示装置は、フレキシブル基板100が10μm乃至20μmのポリイミド等の樹脂で形成されているので、機械的に弱く、また、形状が安定しない。そのために、フレキシブル基板100の下側に表示領域の形状を安定化するための支持基板10を接着している。支持基板10はガラスでもよいし、樹脂でもよい。厚さは0.1mm程度であるが、用途によって、種々の厚さにすることができる。なお、この支持基板10は、製造工程で使用されるキャリア基板とは別物である。
図2の支持基板10は平面であるが、フレキシブル表示装置の表示面に曲面をつけたい場合、曲面を有する支持基板を用いることができる。すなわち、フレキシブル表示装置は、フレキシブルに湾曲するので、支持基板の曲率に容易に沿わせることができる。さらに、端子部を湾曲させることによって、フレキシブル表示装置の平面外形を小さくすることも可能である。
図3は、図2の表示領域の断面図である。図3はトップエミッション型の有機EL表示装置である。図3において、厚さ10μm乃至20μmのフレキシブル基板100はポリイミドで形成されている。なお、フレキシブル基板100は、ポリイミドに限らず、他の樹脂あるいはガラスでもよい。本発明はフレキシブル基板が吸光性であることが特徴である。
フレキシブル基板100の上には、基板側バリア層101が形成されている。バリア層101の目的は、主に、ポリイミド側からの水分の遮断である。基板側バリア層101は、SiOおよびSiNの積層体で形成されている。基板側バリア層101は、例えば、基板側から、厚さ50nmのSiO、厚さ50nmのSiN、厚さ300nmのSiOの3層で形成されている場合もある。なお、SiOはSiOxの場合を含み、SiNはSiNxの場合を含んでいる。
基板側バリア層101の上には半導体層102が形成されている。半導体層102は当初はCVDによってa−Siを形成し、これをエキシマレーザによってPoly−Siに変換したものである。
半導体層102を覆ってCVDを用いたTEOS(テトラエトシキシラン)によるSiOによってゲート絶縁膜103を形成する。ゲート絶縁膜103の上にゲート電極104を形成する。その後、イオンインプランテーションによって、半導体層102に対しゲート電極104に対応する以外の部分を導電層とする。半導体層102において、ゲート電極104に対応する部分がチャンネル部1021になる。
ゲート電極104を覆って層間絶縁膜105をCVDによるSiNによって形成する。その後、層間絶縁膜105およびゲート絶縁膜103にスルーホールを形成し、ドレイン電極106およびソース電極107を接続する。図3において、ドレイン電極106、ソース電極107、層間絶縁膜105を覆って有機パッシベーション膜108を形成する。有機パッシベーション膜108は平坦化膜を兼ねているので、2乃至3μmと、厚く形成される。有機パッシベーション膜108は例えばアクリル樹脂によって形成する。
有機パッシベーション膜108の上に、反射電極110を形成し、その上に陽極となる下部電極110をITO等の透明導電膜によって形成する。反射電極109は反射率の高いAl合金によって形成する。反射電極109は、TFTのソース電極107と、有機パッシベーション膜108に形成されたスルーホールを介して接続する。
下部電極110の周辺にはアクリル等によるバンク111が形成される。バンク111を形成する目的は、次に形成される発光層を含む有機EL層112や上部電極113が段切れによって導通不良となることを防ぐことである。バンク111は、アクリル樹脂等の透明樹脂を全面にコートし、下部電極110に対応する部分に有機EL層からの光を取り出すホールを形成することによって形成される。
図3において、下部電極110の上に有機EL層112が形成される。有機EL層112は、例えば電子注入層、電子輸送層、発光層、ホール輸送層、ホール注入層等で形成される。有機EL層112の上には、カソードとしての上部導電層113が形成される。上部導電層は、透明導電膜であるIZO(Indium Zinc Oxide)、ITO(Indium Tin Oxide)等によって形成されるほか、銀等の金属の薄膜で形成される場合もある。
その後、上部電極114側からの水分の侵入を防止するために、上部電極113の上に表面バリア層114を、CVDを用いてSiNによって形成する。有機EL層112は熱に弱いために、表面バリア層114を形成するためのCVDは100℃程度の低温CVDによって形成される。
トップエミッション型の有機EL表示装置は、反射電極110が存在しているために、画面は、外光を反射してコントラストが低下する。これを防止するために、表面に偏光板200を配置して、外光による反射を防止している。偏光板200は、一方の面に粘着材201を有しており、表面バリア層114に圧着することによって、有機EL表示装置に接着させている。粘着材201の厚さは30μm程度であり、偏光板200の厚さは100μm程度である。図1及び図2に示すように、偏光板200および粘着材201は、アレイ層周辺をも覆うように形成されている。
図3において、フレキシブル基板100は10乃至20μmのポリイミドで形成されているので、機械的に弱く、また、フレキシブル表示装置の形状が安定しない。フレキシブル表示装置の形状を安定させるために、フレキシブル基板100の背面に粘着材11を介して支持基板10が貼り付けられている。支持基板10の材料、厚さ、形状は、フレキシブル表示装置の用途等によって種々の構成を選択することができる。フレキシブル表示装置の形状は、この支持基板10の形状によって規定することができる。
有機EL表示装置は1個1個製造したのでは効率が悪いので、マザー基板に多数の有機ELセルを形成し、マザー基板が完成後1個1個の有機EL表示装置に分離する。図4はマザー基板400の例を示す平面図である。図4において、7×5=35個の有機ELセル410が配置され、マザー基板400が完成した後、分離線420において個々の有機ELセル410に分離され、有機EL表示装置が形成される。
マザー基板400を構成する基板は第1のキャリア基板である。第1のキャリア基板は、マザー基板がプロセスを通過することができるように、例えば、厚さ0.5mm程度のガラス基板等で形成されている。第1キャリア基板は、図2で示す支持基板10とは異なる。なお、製造工程において、有機ELセルの表面側に第2のキャリア基板が配置されるので、第1のキャリア基板、第2のキャリア基板というように区別している。なお、第2キャリア基板は、一般にはガラス以外の材料で形成される。
図5は、第1のキャリア基板20にフレキシブル基板100となるポリイミド材料を主体とした樹脂を厚さ10μm乃至20μmで塗布した状態を示す断面図である。ポリイミド材料の塗布には、例えば、スリットコーターを用いることができる。塗布した後、焼成して、イミド化し、ポリイミド基板100にする。このような基板は薄いので、極めてフレキシブルである。
ポリイミドを主体とした樹脂には、黒色顔料を混入して、光に対して非透過としている。黒色顔料としては、例えば、酸窒化チタン(チタンブラック)、黒色酸化チタン粉末、カーボンブラック等が挙げられる。なお、ポリイミド用ブラック分散液等も市販されている。このような顔料は、ポリイミドに限らず、他の樹脂にも用いて光学密度(OD)を大きくすることができる。
非透過のレベルは吸光度、あるいは光学密度OD(Optical Density)によって評価することができる。ある波長の光に対する光学密度(OD)は、
OD=−log10(I/I0)
で表すことができる。ここで、Iは入射光の強度で、I0は出射光の強度である。ODが2であるとは、入射光に対して出射光が1/100になるということである。
OD=−log10(I/I0)
で表すことができる。ここで、Iは入射光の強度で、I0は出射光の強度である。ODが2であるとは、入射光に対して出射光が1/100になるということである。
本発明は、後工程において、フレキシブル基板100と第1キャリア基板20とをランプからの光による加熱で分離する際、フレキシブル基板100のODを大きくすることによって、ランプからの光によって、半導体層や有機EL層が加熱されて特性が劣化することを防止することに特徴がある。したがって、フレキシブル基板100のOD値は重要である。このためには、フレキシブル基板100のODは2以上であることが望ましく、3以上がさらに望ましく、4以上であればさらに望ましい。なお、このOD値は、波長550nmの緑光に対するものである。
また、フレキシブル基板100があまり薄いとフレキシブル基板のOD値を大きくても、熱伝導によってアレイ層に熱が到達するので、フレキシブル基板100の厚さは、10μm以上であることが好ましい。
その後、図6に示すように、フレキシブル基板100の上にアレイ層50を形成し、その上を第2キャリア基板30で覆う。図6に示すアレイ層50の詳細は、図3に示す、TFT、有機EL層、電極層、絶縁層等を含む構成である。但し、図3における偏光板200はまだ存在しておらず、代わりに第2キャリア基板30がアレイ層50を覆っている。第2キャリア基板30は例えば、樹脂基板で、比較的接着力の弱い粘着材によって、アレイ層50に接着している。アレイ層50は有機ELセル毎に形成され、マザー基板が完成した後、点線420で示す分離線に沿って各有機ELセルに分離される。
このようにしてマザー基板が完成した後、第1キャリア基板20側から光を当ててフレキシブル基板100と第1キャリア基板20の界面を加熱し、フレキシブル基板100と第1キャリア基板20を剥離する。図7および図8はレーザービームをスキャンしながら照射する例である。図7および図8において、LSはレーザービームを示している。レーザービームLSは、第1キャリア基板20を、図7および図8の矢印のように、左側から右側にスキャンしながら照射される。
レーザービームLSは高度にコリメートされた光である。また、正確に位置制御することができる。しかしながら、図8に示すように、キャリア基板20に異物等が存在している場合、レーザービームLSは高度にコリメートされているために、異物450によってレーザービームLSが遮られ、この部分においては、フレキシブル基板100と第1キャリア基板20の界面が加熱されず、第1キャリア基板20をフレキシブル基板100から分離できないことになる。
本発明では、図9に示すように、例えば、ランプ500からの光を、マザー基板に対して第1キャリア基板側から照射することによって、フレキシブル基板100を加熱する。図9において、光源には、複数のキセノンランプ500が用いられている。ランプの背面には、反射板510が配置され、光の利用効率を上げている。
図9に示すように、ランプ500からの光はコリメートされていないので、矢印のように、種々の方向に光が照射され、異物450が存在しても、光が回り込むために、異物450の影響を除去することができる。また、ランプ500は、大面積を一括して照射することができるので、プロセス時間も短縮することができる。照射の時間は、数十ミリ秒である。なお、ランプは、1個であっても、種々の方向に光を放射するので、同様な効果を得ることができる。
図10は、キセノンランプを光源とした場合のスペクトルである。図10に示すように、ランプは近紫外線、可視光、赤外線にわたる広い範囲の光を放射する。特に400nmから1000nmの可視光から近赤外線において強いスペクトルを示す。つまり、キセノンランプを用いることによって、広い範囲の波長を熱源として使用することができる。
本発明では、フレキシブル基板100はODが2以上であるので、図9に示すように、光は、フレキシブル基板100において、第1キャリア基板20の近傍で吸収され、熱に変換される。表1は、ガラス、ポリイミド、ITOについて、比熱および熱伝導率を示す表である。
表1に示すように、ポリイミドの熱伝導率は、第1キャリア基板を構成するガラスの半分程度である。したがって、ポリイミドにおいて吸収された光によって発生した熱は、アレイ層50には伝導しずらく、ガラスとポリイミド等で形成されたフレキシブル基板100の境界部分にとどまって、この部分のポリイミド100を加熱するので、第1キャリア基板20とフレキシブル基板100との剥離を効率よく行うことができる。
図11は、このようにして、第1キャリア基板20がフレキシブル基板100から分離された状態のマザー基板を示す断面図である。図11において、フレキシブル基板100の上に、個々の液晶セル毎にアレイ層50が形成され、これを第2キャリア基板30が覆っている。図11の状態では、まだ、個々の有機ELセルには分離していない。
図12は、フレキシブル基板100の背面に、個々の有機ELセル毎に粘着材11を介して支持基板10をフレキシブル基板100に接着した状態を示す断面図である。図12の状態は、支持基板10のみが有機ELセル毎に分離している状態であり、フレキシブル基板100、第2キャリア基板30は一体となっている。
図12の状態において、点線で示す分離線420に沿って、マザー基板から各有機ELセルを分離する。この分離には、レーザービームを使用することができる。あるいは、機械刃による分離でもよい。
図13は、分離線420にそって分離された有機ELセルの断面図である。フレキシブル基板100の背面には、粘着材11を介して支持基板10が接着している。また、フレキシブル基板100の上面には、アレイ層50が形成され、アレイ層50を覆って、有機ELセル毎に分離された第2キャリア基板30が存在している。
図14は、第2キャリア基板を剥離した状態を示す有機ELセルの断面図である。第2キャリア基板は、弱い粘着材を介してアレイ層あるいはフレキシブル基板100に接着しているので、容易に剥離することができる。その後、図15に示すように、粘着材201を介してアレイ層50を覆うように、偏光板200を接着する。図15の表示領域の詳細断面図が図3である。
このように、本発明は、光学密度の大きい、つまり、OD値が大きいフレキシブル基板100を使用することによって、フレキシブル基板100とガラス等で形成された第1キャリア基板20との剥離を効率的に行うことができる。さらに、フレキシブル基板100と第1キャリア基板20との界面を加熱するための光源としてランプを使用するので、第1キャリア基板上の異物等による影響を受けにくくすることが出来る。
図16は本発明におけるフレキシブル基板100の他の形態を示す断面図である。図16において、第1キャリア基板20の上にフレキシブル基板100が形成されているが、このフレキシブル基板100のOD値は、第1キャリア基板20とのの境界において最も大きく、第1キャリア基板20から遠くなるにしたがって小さくなっている。
ランプからの光は、第1キャリア基板20とフレキシブル基板100との界面で最も多く吸収されるため、アレイ層50に近い側のOD値はそれほど重要でない。図16のようなフレキシブル基板100は、例えば、OD値の異なるポリイミド材料を層状に積層して塗布することによって得ることができる。
図17は本発明におけるフレキシブル基板のさらに他の形態を示す断面図である。図17において、第1キャリア基板20の上にフレキシブル基板100が形成されているが、フレキシブル基板は同じOD値のポリイミドを第1層1001と第2層1002の2層に分けて塗布している。フレキシブル基板100が厚い場合は、2層に分けた方が均一に塗布できる場合がある。また、2層に塗り分けることによって、全体として膜欠陥を少なくすることができる場合がある。
図18は本発明におけるフレキシブル基板のさらに他の形態を示す断面図である。図18において、第1キャリア基板20の上にフレキシブル基板100が形成されているが、フレキシブル基板100はOD値が大きい第1層1001と、透明である第2層1002に分けて塗布している。ランプからの光は、第1キャリア基板20付近のOD値の大きい第1層のポリイミド1001によって吸収されるので、アレイ側の第2層のポリイミド1002は、透明でも、フレキシブル基板100と第1キャリア基板20の剥離効果は維持することができる。
OD値の大きいポリイミドが透明なポリイミドよりも塗布や製膜が難しい場合に、このような構成を用いることによって製造歩留まりを向上できる場合がある。
以上の説明では、フレキシブル基板100は絶縁物であるとして説明した。しかし、フレキシブル基板100を導電膜とすることによって、製造工程における帯電防止の効果を得ることができる。すなわち、マザー基板には多くの配線が形成され、かつ、マザー基板は大面積なので、蓄積する静電気量も多い。この静電気による配線間の絶縁破壊は深刻な問題になる場合がある。
本発明においては、例えば、樹脂中にカーボン等を分散させることによって、OD値を大きくするとともに、フレキシブル基板に導電性を持たせることができる。このような導電性のフレキシブル基板は、図5等に示すように、フレキシブル基板が1層で形成されている場合は、層全体に導電性をもたせても良い。また、図17、図18のように、フレキシブル基板が複数の層から構成されている場合は、いずれかの層に対して導電性を持たせても良い。つまり、OD値の大きいフレキシブル基板を形成するために、カーボン等の導電性顔料を用いれば、OD値の増大と導電性付与の双方の効果を得ることができる。
図19は本発明の実施例2を示す断面図である。図19において、ガラス等で形成された第1キャリア基板20に金属酸化物21がスパッタリング等によって形成されている。金属酸化物21としては、使用実績の多い、ITO(Indium Tin Oxide)が好適である。その後、黒色材料を分散したポリイミド材料をスリットコーター等によって塗布する。この場合も、焼成したポリイミドのOD値は、2以上、このましくは3以上、さらに好ましくは4以上であることが好ましい。
その後、図20に示すように、フレキシブル基板100の上にアレイ層50を形成し、さらに、第2キャリア基板30によってアレイ層50を覆う。この工程は、実施例1と同様である。図20のマザー基板に対し、第1キャリア基板20側からランプによる光を照射する。ITO21は透明であり、フレキシブル基板100のOD値が大きいので、光はITO21とフレキシブル基板100との界面で主として熱に変換される。
表1に示すように、ITOの比熱は小さく、かつ、熱伝導率はポリイミドの1/10程度なので、フレキシブル基板100とITO21の界面で発生した熱はITO側に移動し、そして、第1キャリア基板20側で吸収される。つまり、ランプからの光によって加熱した熱は、フレキシブル基板100とITO21の界面において、ポリイミドを蒸発させ、その後、第1キャリア基板20側に移動するので、フレキシブル基板100の反対側に形成されているアレイ層50には熱が移動しにくい。したがって、アレイ層50に形成された、TFTや有機EL層を熱から保護することができる。ITO21は、熱を第1キャリア基板20側に移動させるのが目的であるから、厚さは50nm以上あれば効果を上げることができる。
図21は、ランプを照射した後、フレキシブル基板100が第1キャリア基板20から分離した状態を示す断面図である。図21に示すように、剥離は、ITO21とフレキシブル基板100の界面において、ポリイミドが蒸発することによって生ずるので、ITO21は、ガラス等で形成された第1キャリア基板20と同時に剥離する。
その後の工程は、実施例1における図12乃至図15で説明したのと同様である。また、実施例1において、図16乃至図18で説明した、フレキシブル基板の構成も実施例2に適用することができる。
このように、実施例2では、ポリイミドとの界面で発生した熱をITOを用いることによって、効率的に第1キャリア基板側に移動させることができるので、TFTや有機EL等のアクティブ素子を保護することができる。
以上の説明では、表示領域を覆って偏光板が配置されている場合を説明した。しかし、反射防止のためには、偏光板には限らず、透過率の低い光学シートを貼り付けても良い。すなわち、外光の反射光は、光学シートを2回通過するが、発光素子からの光は、光学シートを1回通過するだけなので、光学シートの光透過率を低くすることによって、外光によるコントラストの劣化を防止することができる。本発明は、このような構成の場合にも適用することができる。
以上は、主として有機EL表示装置について説明した。一方、反射型液晶表示装置は、基板が不透明であっても表示に影響は無い。したがって、以上で説明した本発明は、フレキシブル基板を用いた反射型液晶表示装置にも適用することができる。
10…支持基板、 11…支持基板用粘着材、 20…第1キャリア基板、 21…金属酸化物、ITO、 30…第2キャリア基板、 50…アレイ層、 100…フレキシブル基板、 101…基板側バリア層、 102…半導体層、 103…ゲート絶縁膜、 104…ゲート電極、 105…層間絶縁膜、 106…ドレイン電極、 107…ソース電極、 108…有機パッシベーション膜、 109…反射電極、 110…下部電極、 111…バンク、 112…有機EL層、 113…上部電極、 114…表面バリア層、 150…端子部、 160…異方性導電膜(ACF)、 170…酸化物導電膜、 200…偏光板、 201…偏光板用粘着材、 300…フレキシブル配線基板、 400…マザー基板、 410…有機ELセル、 420…分離線、 450…異物、 500…ランプ、 510…反射板、 1001…第1層、 1002…第2層、 LS…レーザービーム
Claims (20)
- 湾曲可能な基板にアレイ層が形成された表示装置であって、
前記基板は樹脂で形成され、光学密度(OD)が2以上であることを特徴とする表示装置。 - 前記基板の前記光学密度は4以上であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記基板はポリイミドで形成され、前記ポリイミドには、黒色顔料が分散されていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記基板はポリイミドで形成され、前記ポリイミドには、チタンブラックが分散されていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記基板はポリイミドで形成され、前記ポリイミドには、カーボンが分散されていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記基板には黒色顔料が分散され、前記基板の断面方向の前記黒色顔料の密度は、前記アレイ層と反対側の面における密度が前記アレイ側の密度よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記基板の厚さは10μm乃至20μmであることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記基板と前記アレイ層との間には、無機絶縁膜によるバリア層が形成され、前記基板は導電性であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記表示装置は有機EL表示装置であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記表示装置は反射型液晶表示装置であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 湾曲可能な基板にアレイ層が形成された表示装置であって、
前記基板は複数の樹脂層で形成され、前記複数の樹脂層の内の第1の層の光学密度(OD)は2以上であることを特徴とする表示装置。 - 前記第1の層は、前記アレイ側の層とは反対側の層に形成されていることを特徴とする請求項11に記載の表示装置。
- 前記第1の層はポリイミドで形成され、前記ポリイミドには、黒色顔料が分散されていることを特徴とする請求項11に記載の表示装置。
- 前記第1の層はポリイミドで形成され、前記ポリイミドには、チタンブラックが分散されていることを特徴とする請求項11に記載の表示装置。
- 前記第1の層は導電性であることを特徴とする請求項11に記載の表示装置。
- 湾曲可能で光学密度(OD)が2以上である基板にアレイ層が形成された表示装置の製造方法であって、
第1のキャリア基板に非透明な樹脂を塗布し、焼成することによって前記基板を形成し、
前記基板にアレイ層を形成し、
前記アレイ層を第2のキャリア基板で覆い、
前記第1のキャリア基板側からランプからの光を照射することによって、前記基板と前記第1のキャリア基板を分離することを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記第1のキャリア基板はガラスであることを特徴とする請求項16に記載の表示装置の製造方法。
- 湾曲可能で光学密度(OD)が2以上である基板にアレイ層が形成された表示装置の製造方法であって、
第1のキャリア基板に金属酸化物を形成し、
前記金属酸化物の上に非透明な樹脂を塗布し、焼成することによって前記基板を形成し、
前記基板にアレイ層を形成し、
前記アレイ層を第2のキャリア基板で覆い、
前記第1のキャリア基板側からランプからの光を照射することによって、前記基板と、前記金属酸化物が形成された前記第1のキャリア基板を分離することを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記金属酸化物はITOであることを特徴とする請求項18に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第1のキャリア基板はガラスであることを特徴とする請求項18に記載の表示装置の製造方法。
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