JP2017191169A - 光学素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(イ)光学有効部となる光入出射面に入出射する光の透過率を向上させ反射率を低減する反射防止手段を形成する手法。
(ロ)非光学有効部となる端面(レンズコバ部等)に光の吸収率を向上させ反射率を低減する反射防止手段を形成する手法。
該遮光膜は、該平滑面の上において、該遮光膜の端縁より50μm以内の領域を除き3μm以上50μm以下の膜厚を有することが好ましい。
該反射防止膜は、その膜厚減少部の幅が5μm以上1.8mm以下であることが好ましい。
光学有効部を構成する平滑面と非光学有効部を構成する粗面とが隣接して配置された表面を有する透明な基材を用意する工程;
該平滑面の上に、使用波長以下の微細凹凸構造を有する反射防止膜を、該反射防止膜が端縁と該端縁に沿った領域であって膜厚が該端縁に向かって減少する膜厚減少部を有するように形成する工程;および
該粗面の上に、不透明な塗膜である遮光膜を、該遮光膜が該粗面から該平滑面の側に侵入して該平滑面の上に端縁を有し、該遮光膜の端縁が該反射防止膜の端縁に接触するように塗布することにより、該遮光膜の該反射防止膜に対する濡れ性が該反射防止膜の膜厚に依存することによるセルフアライメント効果を利用して、該遮光膜の端縁に沿った領域と該反射防止膜の端縁に沿った領域とが該平滑面の上で0.5μm〜50μmの重なり幅をもって該反射防止膜の上に該遮光膜が重なり、該遮光膜の端縁は該反射防止膜の膜厚減少部上に位置するように形成する工程。
該遮光膜は、該平滑面の上において、該遮光膜の端縁より50μm以内の領域を除き3μm以上50μm以下の膜厚を有することが好ましい。
該反射防止膜は、その膜厚減少部の幅が5μm以上1.8mm以下であることが好ましい。
該反射防止膜は、好ましくは、液相法であるゾルゲル法や気相法である真空堆積法で形成したアルミニウムを含む膜を温水に浸漬したりスチームに曝露させたりすることにより形成される。
オハラ社製の光学ガラスS−LAH53(nd=1.806)を用いて作製された、図2に示すような断面形状を有するレンズ(外径66mm、内径34mm)を用意した。
微細凹凸構造の反射防止膜の形成方法を変更したことを除き、実施例1と同様にして反射防止膜と遮光膜とを備えたレンズを作製した。具体的には、ゾルゲル法と焼成により非晶質酸化アルミニウムの膜を形成する代わりに、レンズ基材上にマスクを施した後、反応性スパッタリングにより、レンズの凹面側平滑面の外周端より0.1mm内側に端縁がくるように、酸化アルミニウムの膜を形成した。それ以外の工程は実施例1と同じである。
観察の結果、遮光膜の端縁から50μm外側に離れた位置での遮光膜の膜厚は4〜5μmであり、50μmよりさらに外側に離れたレンズの平滑面1b上での遮光膜の膜厚は4〜10μmであった。微細凹凸構造の反射防止膜の膜厚減少部の幅は1.5〜1.8mmであり、遮光膜との重なり幅は18〜50μmであった。
遮光膜の製造方法を変更したことを除き、実施例2と同様にして反射防止膜と遮光膜とを備えたレンズを作製した。具体的には、ジェットディスペンサーを用いる代わりに、塗液(GT−7II)を浸み込ませたトーヨーポリマー社製のポリウレタンスポンジ(商品名:ルビセル)を回転させたレンズの縁に押し当てることにより塗布を行って遮光膜を形成した。それ以外の工程は実施例2と同じである。
観察の結果、遮光膜の端縁から50μm外側に離れた位置での遮光膜の膜厚は8〜10μmであり、50μmよりさらに外側に離れたレンズの平滑面1b上での遮光膜の膜厚は8〜50μmであった。微細凹凸構造の反射防止膜の膜厚減少部の幅は1.5〜1.8mmであり、遮光膜との重なり幅は11〜35μmであった。
基材をオハラ社製の光学ガラスS−TIH53(nd=1.847)に変更したことを除き、実施例2と同様にして反射防止膜と遮光膜とを備えたレンズを作製した。
観察の結果、遮光膜の端縁から50μm外側に離れた位置での遮光膜の膜厚は4〜5μmであり、50μmよりさらに外側に離れたレンズの平滑面1b上での遮光膜の膜厚は4〜10μmであった。微細凹凸構造の反射防止膜の膜厚減少部の幅は1.5〜1.8mmであり、遮光膜との重なり幅は18〜45μmであった。
ジェットディスペンサーで塗布する遮光塗料の固形分濃度を実施例1よりも低くして遮光膜を形成したことを除き、実施例1と同様にして反射防止膜と遮光膜とを備えたレンズを作製した。
観察の結果、遮光膜の端縁から50μm外側に離れた位置での遮光膜の膜厚は3〜4μmであり、50μmよりさらに外側に離れたレンズの平滑面1b上での遮光膜の膜厚は3〜8μmであった。微細凹凸構造の反射防止膜の膜厚減少部の幅は5〜10mmであり、遮光膜との重なり幅は0.5〜2μmであった。
遮光膜のディスペンサ塗布時の吐出位置を実施例2よりレンズ中心に近づけたことを除き、実施例2と同様にして反射防止膜と遮光膜とを備えたレンズを作製した。
観察の結果、遮光膜の端縁から50μm外側に離れた位置での遮光膜の膜厚は4〜5μmであり、50μmよりさらに外側に離れたレンズの平滑面1b上での遮光膜の膜厚は4〜10μmであった。微細凹凸構造の反射防止膜の膜厚減少部の幅は1.5〜1.8mmであり、遮光膜との重なり幅は45〜55μmであった。
遮光塗料を塗布する際の固形分濃度を実施例5よりさらに下げたことを除き、実施例1と同様にして反射防止膜と遮光膜とを備えたレンズを作製した。
観察の結果、遮光膜の端縁から50μm外側に離れた位置での遮光膜の膜厚は2〜3μmであり、50μmよりさらに外側に離れたレンズの平滑面1b上での遮光膜の膜厚は2〜7μmであった。微細凹凸構造の反射防止膜の膜厚減少部の幅は5〜10μmであり、遮光膜との重なり幅は1〜3μmであった。
1b 基材の平滑面
2 遮光膜
3 微細凹凸構造を有する反射防止膜
5 マルチコート反射防止膜
11 遮光膜との反射防止膜の重なり幅
12 反射防止膜の膜厚減少部の幅
Claims (11)
- 光学有効部である平滑面と非光学有効部である粗面とが隣接して配置された表面を有する透明な基材からなる光学素子であって、該平滑面の上には使用波長以下の微細凹凸構造を有する反射防止膜が存在し、該粗面の上には不透明な塗膜である遮光膜が存在し、該反射防止膜は該平滑面の上に端縁と該端縁に沿った領域であって膜厚が該端縁に向かって減少する膜厚減少部を有し、該遮光膜は該粗面から該平滑面の側に侵入して該平滑面の上に端縁を有し、該遮光膜と該反射防止膜とはそれぞれの端縁に沿った領域が該平滑面の上で0.5μm〜50μmの重なり幅をもって該反射防止膜の上に該遮光膜が重なり、該遮光膜の端縁は該反射防止膜の該膜厚減少部の幅の中に位置することを特徴とする光学素子。
- 前記遮光膜は、前記平滑面の上において、該遮光膜の端縁より50μm以内の領域を除き3μm以上50μm以下の膜厚を有する請求項1に記載の光学素子。
- 前記反射防止膜は、前記膜厚減少部の幅が5μm以上1.8mm以下の範囲にあることを特徴とする請求項1または2に記載の光学素子。
- レンズである請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学素子。
- 凹メニスカスレンズである請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学素子。
- 以下の工程を順に実行することを特徴とする光学素子の製造方法:
光学有効部を構成する平滑面と非光学有効部を構成する粗面とが隣接して配置された表面を有する透明な基材を用意する工程;
該平滑面の上に、使用波長以下の微細凹凸構造を有する反射防止膜を、該反射防止膜が端縁と該端縁に沿った領域であって膜厚が該端縁に向かって減少する膜厚減少部を有するように形成する工程;および
該粗面の上に、不透明な塗膜である遮光膜を、該遮光膜が該粗面から該平滑面の側に侵入して該平滑面の上に端縁を有し、該遮光膜の端縁が該反射防止膜の端縁に接触するように塗布することにより、該遮光膜の該反射防止膜に対する濡れ性が該反射防止膜の膜厚に依存することによるセルフアライメント効果を利用して、該遮光膜の端縁に沿った領域と該反射防止膜の端縁に沿った領域とが平滑面の上で0.5μm〜50μmの重なり幅をもって該反射防止膜の上に該遮光膜が重なり、該遮光膜の端縁が該反射防止膜の該膜厚減少部の幅の中に位置するように形成する工程。 - 前記遮光膜は、前記平滑面の上において、該遮光膜の端縁より50μm以内の領域を除き3μm以上50μm以下の膜厚を有する請求項6に記載の製造方法。
- 前記反射防止膜は、前記膜厚減少部の幅が5μm以上1.8mm以下の範囲にある請求項6または7に記載の製造方法。
- 前記反射防止膜は、ゾルゲル法によって形成したアルミニウムを含む膜を温水に浸漬するか、またはスチームに曝露することにより形成される請求項6〜8のいずれか一項に記載の製造方法。
- 前記反射防止膜は、真空堆積法によって形成したアルミニウムを含む膜を温水に浸漬するか、またはスチームに曝露することにより形成される請求項6〜8のいずれか一項に記載の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学素子を有する光学機器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016079514A JP6786248B2 (ja) | 2016-04-12 | 2016-04-12 | 光学素子およびその製造方法 |
US15/478,439 US10228493B2 (en) | 2016-04-12 | 2017-04-04 | Optical component and method of manufacturing the same |
EP17000594.6A EP3232237B1 (en) | 2016-04-12 | 2017-04-07 | Optical component and method of manufacturing the same |
CN201710230433.XA CN107290806B (zh) | 2016-04-12 | 2017-04-11 | 光学部件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016079514A JP6786248B2 (ja) | 2016-04-12 | 2016-04-12 | 光学素子およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017191169A true JP2017191169A (ja) | 2017-10-19 |
JP6786248B2 JP6786248B2 (ja) | 2020-11-18 |
Family
ID=58530349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016079514A Active JP6786248B2 (ja) | 2016-04-12 | 2016-04-12 | 光学素子およびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10228493B2 (ja) |
EP (1) | EP3232237B1 (ja) |
JP (1) | JP6786248B2 (ja) |
CN (1) | CN107290806B (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20171214 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180126 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190405 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200220 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200501 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201028 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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