JP2017187305A - 液体の浸入を光で検出するエンコーダ - Google Patents

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Abstract

【課題】液体の浸入を光で検出するエンコーダを提供する。
【解決手段】本発明の光学式エンコーダは、回転モータの駆動軸、回転モータによって回転駆動される被回転体等に連結された回転軸1と、回転軸1に直交するように連結された移動スリット2、固定スリット3、投光ユニット4及び受光素子ユニット5を備えている。移動スリット2及び固定スリット3は、それぞれ放射状のスリット部2A、3Aを備えている。
受光素子ユニット5は、位置検知パターン5A及び液体の浸入を検知するためのパターン5Bを備えている。
さらに、移動スリット12及び固定スリット13のうち少なくともいずれかが、液体の浸入を検知するためのパターン12B、13Bを備えている。
【選択図】図2

Description

本発明は、液体の浸入を光で検出するエンコーダに関する。
産業機械の分野では、電動機又は電動機によって駆動される被駆動機器の位置を検出するセンサとして、種々のエンコーダが使用されており、特に、回転モータの駆動軸の回転位置を検出する目的のために光学式エンコーダが広く採用されている。
光学式エンコーダの内部に液体が付着すると、当該液体が微量でも精度、信頼性、寿命に悪影響を及ぼす。すなわち、光学式エンコーダの光路に液体が付着すると、受信すべき光が屈折したり吸収されたり、あるいは別の光信号が混入したりする。その結果、信号が乱され、位置検知用エンコーダの場合、検出精度が低下したり、正しくない位置情報が発信されたり、信号レベル不正の信号を発信することになり、フィードバック制御やシステムの運転に大きな悪影響を与える。
従来、ギア又はギア列の片側上に誘導性コイルを配置し、ギア等を電磁的に検出することで液体の影響を低減するもの(特許文献1参照)、光学エンコーダの走査ユニットを導電性透明カバーで覆い、電磁ノイズと液体の浸入を防ぐもの(特許文献2参照)、光学エンコーダの移動スケールと固定スケールの間、又はメインスケールと受光部との間に、潤滑性があり光を透過する液体が充填されたもの(特許文献3参照)、光電型エンコーダにおいて、光電変換器の検出信号をその正側及び負側で基準電圧と比較しそれらの位相を比較することで異常を検出するもの(特許文献4参照)が知られている。
特開2010−044055号公報 特開2009−115801号公報 特開2005−091023号公報 特開昭58−002613号公報
しかしながら、特許文献1には液体の付着を検知する機能がなく、特許文献2には液体の浸入を防止はするものの、万一液体が浸入した時にそれを検出し対応する手段がなく、特許文献3は、光を透過する液体が用いられているものの、浸入する液体に対して何らかの考慮がなされているものではなく、特許文献4には、受光素子や回転スリットに液体の浸入を検知するためのパターンの記載がなく、また実際に位置信号が異常にならなければ検知することができない。
以上のように、従来のエンコーダでは、液体の浸入を防止する工夫や、位置信号の異常を検知するものは見られるものの、液体の浸入を積極的に検知し、エンコーダシステムとしての機能が失われ、あるいは低下する前に、積極的に警告し対策する簡易なものはなかった。
本発明は、エンコーダに浸入、付着した液体を早期に検知し、従来技術の課題を解決することを目的とする。
本発明は、光学系部品にエンコーダ内に浸入した液体を検知するためのパターンを備える。
本発明は、光学式エンコーダは、受光素子ユニット(例えば、後述の受光素子ユニット5、15)、移動スリット(例えば、後述の移動スリット2、12、22)及び固定スリット(例えば、後述の固定スリット3、13、23)を有する光学式エンコーダであって、受光素子ユニットに、液体の浸入を検知するためのパターン(例えば、後述の液体の浸入を検知するためのパターン5B、15B)を備える。
本発明によれば、光学式エンコーダは、移動スリット(例えば、後述の移動スリット2、12、22)及び固定スリット(例えば、後述の固定スリット3、13、23)の少なくともいずれか1つに液体の浸入を検知するためのパターン(例えば、後述の液体の浸入を検知するためのパターン12B、13B、22B、23B)を備えていてもよい。
本発明によれば、液体の浸入を検知するためのパターンは溝(例えば、後述の溝20、30)とすることができる。
本発明によれば、液体の浸入を検知するためのパターンは、微細な凹凸(例えば、後述の微細な凹凸40)とすることができる。
本発明によれば、液体の浸入を検知するためのパターンは、吸湿材料(例えば、後述の吸湿材料50)とすることができる。
本発明によれば、液体の浸入を検知するためのパターンは、スリット部(例えば、後述のスリット部2A、3A、12A、13A)又はスリット部の位置を検出する位置検知パターン(例えば、後述の位置検知パターン5A、15A)の外側に配置することができる。
本発明により、エンコーダに浸入、付着した液体を、位置信号が異常になる前に検知することができる。
エンコーダに浸入、付着した液体を検知する機構、機能は、エンコーダシステムの機能喪失や機能低下による効率低下、事故等を、事前に防止、軽減することができる。
第1の実施形態に係る光学式エンコーダの構成を示す平面図である。 第1の実施形態に係る光学式エンコーダの構成を示す断面図である。 第1の実施形態の受光素子ユニットに液体が付着した状態を示す図である。 液体の浸入を検知するためのパターンを備えた受光素子ユニットの検知パターン例を示す図である。 第2の実施形態に係る光学式エンコーダの構成を示す断面図である。 液体の浸入を検知するためのパターンのパターン構造例1を示す図である。 液体の浸入を検知するためのパターンのパターン構造例2を示す図である。 液体の浸入を検知するためのパターンのパターン構造例3を示す図である。 液体の浸入を検知するためのパターンのパターン構造例4を示す図である。
光学式エンコーダについて説明する。ここでは説明の便宜のためにロータリー型の光学式エンコーダを用いる。
(第1の実施形態)
図1〜図4を参照して、本発明の第1の実施形態について説明する。
第1の実施形態の光学式エンコーダは、回転体に連結された回転軸の回転位置を検出する光学式センサであり、特に、本実施形態の光学式エンコーダは、投光ユニットと受光素子ユニットが複数のスリットを介して対向するように配置された透過型の光学式エンコーダである。
図1は、本実施形態の一例として、光学式エンコーダE1を受光素子ユニット側からみた平面図であり、図2は、当該光学式エンコーダE1の回転軸線、投光ユニット、受光素子ユニット等を含む面に沿った断面図である。
図1のように、本実施形態の光学式エンコーダE1は、回転モータの駆動軸、回転モータによって回転駆動される被回転体等(図示せず)に連結された回転軸1と、回転軸1に直交するように連結された円盤状の移動スリット2、固定スリット3、投光ユニット4及び受光素子ユニット5を備えている。
移動スリット2は、その回転角に対応して正弦波を出力するために、周方向に一定間隔で配設された放射状のスリット部2Aを備えている。
固定スリット3は、スリット円板に入射する光の幅を規制し、光のオン/オフを明確にするためのスリット部3Aを備えている。
図2に示されているように、投光ユニット4、固定スリット3、移動スリット2、受光素子ユニット5がこの順に配置されている。
移動スリット2の一方の主面側に対向して固定スリット3が配置され、他方の主面側に対向して受光素子ユニット5が配置されている。
なお、図1は、光学式エンコーダE1を模式的に示したものであり、投光ユニット4、固定スリット3、移動スリット2、受光素子ユニット5の位置関係が、理解容易なようにずらして描かれている。
投光ユニット4は、固定スリット3及び移動スリット2に向かって光を放出する光源として作用し、例えば、発光ダイオード(LED)又はレーザダイオード(LD)で構成される。投光ユニット4から放出される光は、例えば赤外から可視光の範囲の波長を有する。
受光素子ユニット5は、例えば、フォトトランジスタ又はフォトダイオードであり、投光ユニット4から放出される光の波長に対応した検出範囲及び検出感度を有する。
移動スリット2及び固定スリット3は、金属、ガラス、樹脂製等の材料で形成される。金属材料が用いられる場合、例えば、ステンレス等の金属板にエッチングによってスリット部が形成される。ガラス材料が用いられる場合、例えば金属薄膜を蒸着したガラス板で構成される。
合成樹脂材料が用いられる場合、例えば、V字形の溝等の反射部が形成された樹脂板で構成され、所望の形状に成形するのが容易であり、また、材料も比較的安価であるため生産コストを削減できる。
本実施形態の光学式エンコーダE1では、この配置において、投光ユニット4の光が固定スリット3及び移動スリット2を通して受光素子ユニット5に明暗を投影し、受光素子ユニット5は正弦波の信号を信号処理ユニット(図示せず)に出力し、位置情報を検出する。図1中、4C、5Cはリード線であり、矢印は、給電−投光、受光−検知信号の経路を表している。
図2に示されているように、投光ユニット4から照射された平行光は、固定スリット3のスリット部3A、及び移動スリット2のスリット部2Aを透過して、受光素子ユニット5の位置検知パターン5Aにより検知される。投光ユニット4には必要な大きさのレンズ4Aが設けられ、ほぼ平行な平行光が放射される。
図3は、第1の実施形態の受光素子ユニット5に液体Lが付着した状態を示している。受光素子ユニット5は、位置検知パターン5A、及び液体の浸入を検知するためのパターン5Bを備えている。液体の浸入を検知するためのパターン5Bは液体の浸入を検知する受光体の配置パターンである。
図4は、第1の実施形態の光学式エンコーダE1の受光素子ユニット5を投光ユニット4側からみた概略図であって、位置検知パターン5A、及び液体の浸入を検知するためのパターン5Bの平面形状を示している。
図2に示されているように、投光ユニット4から照射された光は、受光素子ユニット5の液体の浸入を検知するためのパターン5Bにも到達する。
受光素子ユニット5の液体の浸入を検知するためのパターン5Bに液体が付着すると、液体が光を吸収し又は屈折させることにより、液体の浸入を検知するためのパターン5Bにおける光量が変化し又は波長が変化する。
信号処理ユニット(図示せず)は受光素子ユニット5の信号が基準値から変化すると、液体の浸入を検知してアラームやウォーニングを表示する。
図2の例では、照射光を、固定スリット3及び移動スリット2のスリット部3A、2Aより半径方向外側ではこれらのスリットを介さずにそのまま受光素子ユニット5の液体の浸入を検知するためのパターン5Bに到達させているが、これらの少なくとも一つを介して到達させてもよい。また、固定スリット3のスリット部3Aの半径方向内側において固定スリット3を介さずに到達させてもよい。
(検知パターン例)
図4の(a)〜(c)に、本発明の各実施形態の受光素子ユニット5における、液体の浸入を検知するためのパターン5Bのそれぞれ検知パターン例1〜3を示す。
検知パターン例1〜3は、光を検知するための受光体が配置される受光パターンである。
(検知パターン例)
図4の(a)は、受光素子ユニット5における液体の浸入を検知するためのパターン5Bの検知パターン例1の概略図である。
同図に示す様に、位置検知パターン5Aが受光素子ユニット5の中心部に備えられているのに対して、液体の浸入を検知するためのパターン5Bは、受光素子ユニット5の周辺部に備えられる。これによって、液体が位置検知パターン5Aに到達するより先に液体の浸入を検知するためのパターン5Bに付着する。
本例では、受光素子ユニット5は投光ユニット4側から見た平面視で矩形であり、液体の浸入を検知するためのパターン5Bは、受光素子ユニット5の4辺にほぼ同じ幅で形成されている。
液体の浸入を検知するためのパターン5Bで検出される光量は、図4の(a)でみて上下の辺で受光体が受光する一定光量と、左右の辺で受光する変化する光量の和となる。
図4の(b)は、受光素子ユニット5における液体の浸入を検知するためのパターン5Bの検知パターン例2の概略図である。
検知パターン例2では、液体の浸入を検知するためのパターン5Bが複数の受光体の検知パターンに分割されており、液体の浸入方向や量などをより詳しく検知することができる。
図4の(b)のように、液体の浸入を検知するためのパターン5Bは、その隅部5B1と辺部5B2の検知パターンに分割され、各辺部5B2はさらに複数部分の検知パターンに分割されている。分割された隅部5B1及び辺部5B2に対応して、個々に又は所定のグループ毎に光量を検知することで、液体が侵入した領域を検出することができる。
例えば、隅部5B1の検知パターンが液体の浸入を検知した場合、当該隅部5B1の方向から液体が浸入したと判定される。また、液体の浸入を検知するためのパターン5Bの辺部5B2の、4つの検知パターン(例えば図4の(b)でみて右側の4つ)のうちいくつの検知パターンが液体を検知したかで液体の量を判定することができる。
図4の(c)は、受光素子ユニット5における液体の浸入を検知するためのパターン5Bの検知パターン例3の概略図である。
検知パターン例3では、移動スリット2の移動方向(図4の(c)矢印方向)の領域には、受光素子ユニット5に、液体の浸入を検知するためのパターン5Bを配置していない。すなわち、移動スリット2のスリット部2Aの移動領域から外れる、回転軸1に近い側及び遠い側の辺部のみに液体の浸入を検知するためのパターン5B3が配置されている。
これによって位置検知パターン5Aのための明暗の変化が、液体の浸入を検知するためのパターン5B3に影響しなくなるため、信号処理ユニットの信号処理の負担が軽減され、結果として信号処理ユニットの小型化、低コスト化、及び液体の浸入検知の高精度化が可能になる。
図4の(c)でみて、上下の2つの検知パターン5B3は、一つの受光信号としても、個別の受光信号としてもよい。
本実施形態によれば、エンコーダに浸入、付着した液体を、位置信号が異常になる前に検知することができる。
従来技術のように液体の浸入を検知するための新たなセンサを増設しないで済むため、小型化及び低コスト化に有効である。
(第2の実施形態)
図5を参照して、本発明の第2の実施形態について説明する。
図5に示されているように、本実施形態の光学式エンコーダE2は、第1の実施形態と同様に、回転軸11、移動スリット12、固定スリット13、投光ユニット14、受光素子ユニット15を備えている。本実施形態の光学式エンコーダE2は、受光素子ユニット15が位置検知パターン15A及び液体の浸入を検知するためのパターン15Bを備えており、移動スリット12及び固定スリット13はそれぞれ放射状のスリット部12A、13Aを備えている。
受光素子ユニット15における液体の浸入を検知するためのパターン15Bには、第1の実施形態の項で説明した検知パターン例1〜3(図4の(a)〜(c))を適用することができる。
本実施形態では、移動スリット12及び固定スリット13のうち少なくともいずれかに、液体の浸入を検知するためのパターン12B、13Bを備えている。
移動スリット12に設けられた液体の浸入を検知するためのパターン12Bは、例えば、平面的にみて、スリット部12Aの外側及び内側に環状に形成されている。外側及び内側の液体の浸入を検知するためのパターン12Bのいずれかに液体Lが侵入、付着した場合であって、その付着位置が移動スリット12の回転により受光素子ユニット15の液体の浸入を検知するためのパターン15Bの領域に入ったときに、当該液体Lが受光素子ユニット15の液体の浸入を検知するためのパターン15Bにより検出される。
固定スリット13に設けられた液体の浸入を検知するためのパターン13Bは、例えば、平面的にみて、スリット部13Aの半径方向外側及び内側に円弧状に形成されている。
移動スリット12及び固定スリット13のうち少なくともいずれかのスリット部12A、13Aの周辺に液体が付着すると、受光素子ユニット15における液体の浸入を検知するためのパターン15Bが受ける光量や波長が、移動スリット12及び/又は固定スリット13に付着した液体によって変化することで、液体の浸入を検知することができる。
以上のように、移動スリット12及び固定スリット13のうち少なくともいずれかのスリット部12A、13Aの半径方向内側及び外側に、液体の浸入を検知するためのパターン12B、13Bを備えることで、液体Lが移動スリット12及び固定スリット13のスリット部12A、13Aに到達する前に液体の浸入を検知することができる。
本実施形態では、液体の浸入を検知するためのパターン15Bが、受光素子ユニット15以外の複数の箇所に設けられることで、第1の実施形態と比べてより確実に液体の浸入を検知することができる。
図5では、移動スリット12及び固定スリット13の両方に液体の浸入を検知するためのパターンを備える場合を図示しているが、他の配置例として、移動スリット12のみに液体の浸入を検知するためのパターン12Bを備えるもの(図示なし)、又は固定スリット13のみに液体の浸入を検知するためのパターン13Bを備えるもの(図示なし)であってもよい。
移動スリット12及び固定スリット13の両方に液体の浸入を検知するためのパターン12B、13Bを備える場合は、移動スリット12のみに液体の浸入を検知するためのパターン12Bを備える場合又は固定スリット13のみに液体の浸入を検知するためのパターン13Bを備える場合に比べて、より確実に液体の浸入を検知することができる。
(パターン構造例)
以下に、本発明の各実施形態に用いられる液体の浸入を検知するためのパターンのパターン構造例1〜4について、それぞれ図6〜9を用いて説明する。これらのパターン構造例1〜4は、パターン構造例1〜4は、移動スリット12及び固定スリット13に設けられた液体の浸入を検知するパターン12B、13Bに適用される。
図6及び7は、本発明の各実施形態に用いられる移動スリット22(又は固定スリット23)の液体の浸入を検知するためのパターン22B(23B)のパターン構造例1及び2をそれぞれ示している。
図6及び7に示す様に、移動スリット22(又は固定スリット23)の液体の浸入を検知するためのパターン22B(23B)として、溝20、30がそれぞれ形成されている。
液体Lは表面張力によって溝20、30に集まりやすいため、液体の浸入を検知するためのパターン22B(23B)として溝20、30を用いることで、より確実に液体Lの浸入を検知することができる。
移動スリット22及び固定スリット23を合成樹脂等の射出成形により成形する場合においては、溝20、30によるパターンは特に安価に製造することができる。
図6は、パターン構造例1を示しており、液体の浸入を検知するためのパターン22B(23B)が、断面視で底が平らな溝で形成されている。底が平らな溝20に液体Lが付着することにより、液体Lがない場合には同図上方向に直進していた光が、屈折によって低減し又は遮られる場合である。底が平らな溝20の形状は、断面矩形、逆台形、複数溝等が用いられる。
図7は、パターン構造例2を示しており、液体の浸入を検知するためのパターン22B(23B)が、底がV字型の溝で形成されている。底がV字型の溝30に液体Lが付着することにより、V字型底の界面でそれまで反射及び屈折し、液体の浸入を検知するためのパターンに到達していなかった光が、液体Lの付着により同図上方向に透過する場合である。
V字型の溝30の傾斜角はスリット構成材料の屈折率等を条件に設計される。
図8は、パターン構造例3を示しており、液体の浸入を検知するための検知用パターン22B(23B)の表面が微細な凹凸40に形成されている。
微細な凹凸40は曇りガラス状の微細なものであり、通常は凹凸面における乱反射によって光が遮られるが、液体Lが付着した場合は凹凸が平坦になることで乱反射していた光が透過し、これによって液体Lの付着が検出される。
微細な凹凸は、移動スリット又は固定スリットに切削加工等を施すことによって安価に製造することができる。射出成形やエンボス加工によってもよい。また、微細な凹凸の形状が一定のものでもランダムなものでもよい。
図9は、パターン構造例4を示しており、液体の浸入を検知するための検知用パターン22B(23B)として、吸湿量によって光の透過率や波長が変化する吸湿材料50が用いられている。吸湿材料50を用いることにより、より確実に液体Lの浸入を検知することができる。吸湿材料50は、移動スリット22又は固定スリット23の表面に形成しても、凹部内に設けてもよい。
吸湿材料50としては、吸湿によって光の透過率や波長が変化する塩化コバルトや有機性色素などを含有する高分子化合物を用いることができる。
以上のパターン構造例の説明では、パターン構造例1〜4が移動スリット12及び/又は固定スリット13に適用される例で説明したが、これらのパターン構造例は、受光素子ユニット15の液体の浸入を検知するためのパターン5B、15B上に形成することも可能である。この場合、図4で示した受光体による各検知パターン例の上に、溝等のパターン構造を備える板状体又は層が載置又は積層される。
本発明の各実施形態によれば、以下の効果が奏される。
エンコーダに浸入、付着した液体を、位置信号が異常になる前に検知することができる。
エンコーダに浸入、付着した液体を検知する機構、機能は、エンコーダシステムの機能喪失や機能低下による効率低下、事故等を、事前に防止、軽減することができる。
従来技術のように液体の浸入を検知するための新たなセンサを増設しないで済むため、小型化及び低コスト化に有効である。
また、従来技術では位置信号が異常になってから液体の浸入を検知するのに対し、本発明では液体の浸入を検知するための専用のパターンで液体の浸入を検知する。よって、実際に位置信号が異常になることを未然に防ぐことができるので、本実施形態に係る発明は従来技術より信頼性が高く安全である。
液体の浸入を検知するためのパターンは受光素子ユニットの周辺部に備えられており、このことによって、液体が位置検知パターンに到達するより先に液体の浸入を検知するためのパターンに付着し、液体の浸入を検知することができる。
受光素子ユニットの、液体の浸入を検知するためのパターンを分割することにより、液体の浸入方向や量などをより詳しく検知することができる。
受光素子ユニットの、移動スリットの移動方向に、液体の浸入を検知するためのパターンが配置されていないことによって、信号処理ユニットの信号処理の負担が軽減され、結果として信号処理ユニットの小型化、低コスト化、及び液体の浸入検知の高精度化が可能になる。
液体の浸入を検知するためのパターンが受光素子ユニット以外の複数の箇所に設けられることで、より確実に液体の浸入を検知することができる。
移動スリット及び/又は固定スリットの、液体の浸入を検知するためのパターンを溝状とすることにより、より確実に液体の浸入を検知することができる。
移動スリット及び/又は固定スリットの、液体の浸入を検知する検知用パターンを微細な凹凸形状とすることにより、安価に製造することができる。
移動スリット及び/又は固定スリットの、液体の浸入を検知するためのパターンとして吸湿材料を用いることにより、より確実に液体の浸入を検知することができる。
なお、本発明は各実施形態又は例に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は本発明に含まれる。
本発明の実施形態ではロータリー型の光学式エンコーダについて説明したが、リニア型エンコーダであってもよい。また、反射型の光学式エンコーダ等いかなるタイプのエンコーダであってもよい。
また、受光素子ユニットにおける液体の浸入を検知するためのパターンは、各実施形態の形状に限定されるものではなく、例えば、受光素子ユニットの平面形状を円形、楕円形、多角形とすることができる。また、液体の浸入を検知するためのパターンの検知パターン形状が、辺部の位置によって長さや面積を異ならせるものであってもよい。
移動スリット、固定スリットの液体の浸入を検知するためのパターンは、その一面に設けるもので説明したが、他面、両面、端面に設けるものであってもよい。
移動スリット及び固定スリットの液体の浸入を検知するためのパターンは、半径方向内側又は外側の一方にのみ設けてもよい。
固定スリットに設けられた液体の浸入を検知するためのパターンは、円弧状に限られず直線状でもよく、固定スリットの周囲に配置し扇形でも四角形でもよい。
受光素子ユニットにおける位置検知パターン5A及び液体の浸入を検知するためのパターン5Bにより検出された光は、共通の受光信号として出力されてもよい。
液体の浸入を検知するためのパターンに液体の濡れ性を制御する材料を用いてもよい。
E1 光学式エンコーダ
E2 光学式エンコーダ
L 液体
1、11 回転軸
2、12、22 移動スリット
3、13、23 固定スリット
4、14 投光ユニット
5、15 受光素子ユニット
2A、3A、12A、13A スリット部
5A、15A 位置検知パターン
5B、12B、13B、15B、22B、23B
液体の浸入を検知するためのパターン
20、30 溝
40 微細な凹凸
50 吸湿材料

Claims (6)

  1. 受光素子ユニット、移動スリット及び固定スリットを有する光学式エンコーダであって、
    前記受光素子ユニットに、液体の浸入を検知するためのパターンを備える、
    光学式エンコーダ。
  2. 請求項1記載の光学式エンコーダにおいて、
    前記移動スリット及び前記固定スリットの少なくともいずれか1つに液体の浸入を検知するためのパターンを備える、
    光学式エンコーダ。
  3. 請求項1又は2記載のエンコーダにおいて、
    前記液体の浸入を検知するためのパターンが溝である、
    光学式エンコーダ。
  4. 請求項1又は2記載のエンコーダにおいて、
    前記液体の浸入を検知するためのパターンが微細な凹凸である、
    光学式エンコーダ。
  5. 請求項1又は2記載のエンコーダにおいて、
    前記液体の浸入を検知するためのパターンが吸湿材料である、
    光学式エンコーダ。
  6. 請求項1から5のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
    前記液体の浸入を検知するためのパターンは、スリット部又は前記スリット部の位置を検出する位置検知パターンの外側に配置されている、
    光学式エンコーダ。
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