JP2017174924A - 光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、この発明の実施の形態1による光電変換装置の構成を示す断面図である。図1を参照して、この発明の実施の形態1による光電変換装置10は、半導体基板1と、パッシベーション層2,4と、反射防止層3,9と、n型非晶質半導体層5と、p型非晶質半導体層6と、電極7,8とを備える。
図10は、実施の形態2による光電変換装置の断面図である。図10を参照して、実施の形態2による光電変換装置10Aは、図1に示す光電変換装置10の電極7,8をそれぞれ電極7A,8Aに代えたものであり、その他は、光電変換装置10と同じである。
図15は、実施の形態3による光電変換装置の構成を示す平面図である。図15を参照して、実施の形態3による光電変換装置10Bは、図1に示す光電変換装置10のn型非晶質半導体層5をn型非晶質半導体層5Aに代え、p型非晶質半導体層6をp型非晶質半導体層6Aに代え、電極7,8をそれぞれ電極7D,8Dに代えたものであり、その他は、光電変換装置10と同じである。
この発明の実施の形態によれば、光電変換装置は、半導体基板と、第1の非晶質半導体層と、第2の非晶質半導体層と、第1の電極と、第2の電極と、反射防止層とを備える。半導体基板は、第1の導電型を有し、少なくとも一方の面にテクスチャ構造を有する。第1の非晶質半導体層は、半導体基板の一方の面に形成され、第1の導電型を有する。第2の非晶質半導体層は、半導体基板の面内方向において第1の非晶質半導体層に隣接して半導体基板の一方の面に形成され、第1の導電型と異なる第2の導電型を有する。第1の電極は、第1の非晶質半導体層上に配置される。第2の電極は、第2の非晶質半導体層上に配置される。反射防止層は、第1の電極と第2の電極との間において、半導体基板の一方の面に形成される。
構成1において、第1および第2の電極の少なくとも一方は、透明導電膜と、透明導電膜よりも幅が狭い金属電極とを順次積層した構造からなる。
構成1において、第1および第2の電極の各々は、金属からなるグリッド部と、金属からなるフィンガー部とを有し、第1の電極のグリッド部および第2の電極のグリッド部は、半導体基板の端部に配置される。
構成3において、第1の電極は、第1の非晶質半導体層上に形成された第1の透明導電膜と、半導体基板の面内方向において離間して第1の透明導電膜上に形成され、フィンガー部を構成する第1および第2の金属電極とを含む。また、第2の電極は、第2の非晶質半導体層上に形成された第2の透明導電膜と、半導体基板の面内方向において離間して第2の透明導電膜上に形成され、フィンガー部を構成する第3および第4の金属電極とを含む。そして、反射防止層は、更に、第1の透明導電膜の一部と第1および第2の金属電極とを覆うとともに、第2の透明導電膜の一部と第3および第4の金属電極とを覆う。
構成1から構成4のいずれかにおいて、光電変換装置は、半導体基板と第1および第2の非晶質半導体層との間に配置されたi型非晶質半導体層を更に備える。
Claims (5)
- 第1の導電型を有し、少なくとも一方の面にテクスチャ構造を有する半導体基板と、
前記半導体基板の一方の面に形成され、前記第1の導電型を有する第1の非晶質半導体層と、
前記半導体基板の面内方向において前記第1の非晶質半導体層に隣接して前記半導体基板の一方の面に形成され、前記第1の導電型と異なる第2の導電型を有する第2の非晶質半導体層と、
前記第1の非晶質半導体層上に配置された第1の電極と、
前記第2の非晶質半導体層上に配置された第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間において、前記半導体基板の一方の面に形成された反射防止層とを備える光電変換装置。 - 前記第1および第2の電極の少なくとも一方は、透明導電膜と、前記透明導電膜よりも幅が狭い金属電極とを順次積層した構造からなる、請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記第1および第2の電極の各々は、金属からなるグリッド部と、金属からなるフィンガー部とを有し、
前記第1の電極のグリッド部および前記第2の電極のグリッド部は、前記半導体基板の端部に配置される、請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記第1の電極は、
前記第1の非晶質半導体層上に形成された第1の透明導電膜と、
前記半導体基板の面内方向において離間して前記第1の透明導電膜上に形成され、前記フィンガー部を構成する第1および第2の金属電極とを含み、
前記第2の電極は、
前記第2の非晶質半導体層上に形成された第2の透明導電膜と、
前記半導体基板の面内方向において離間して前記第2の透明導電膜上に形成され、前記フィンガー部を構成する第3および第4の金属電極とを含み、
前記反射防止層は、更に、前記第1の透明導電膜の一部と前記第1および第2の金属電極とを覆うとともに、前記第2の透明導電膜の一部と前記第3および第4の金属電極とを覆う、請求項3に記載の光電変換装置。 - 前記半導体基板と前記第1および第2の非晶質半導体層との間に配置されたi型非晶質半導体層を更に備える、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の光電変換装置。
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