JP2017162984A - 金属微細構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図1を参照して、実施形態に係る金属ナノ構造体形成装置1の構成を説明する。金属ナノ構造体形成装置1は、基板において金属微細構造体(金属ナノ構造体)を作製するための装置である。金属ナノ構造体形成装置1の処理対象の基板としては、ガラス、シリコン、PET、ポリイミド等を材料とする平板状の基板が挙げられる。
次に、上記の金属ナノ構造体形成装置1を用いた金属ナノ構造体の第1の製造方法について説明する。
[式中、nは任意の整数を意味する。]
−CO2 −H+ → −CO2 −Ag+ …(2)
上記化学式(2)には、金属塩として硝酸銀を用いた反応の例が示されている。そして、第1の工程中のプリベークによって、ポリアミック酸樹脂の全体にわたってカルボキシル基に結合した金属イオンが分散して生じることとなる。
次に、上記の金属ナノ構造体形成装置1を用いた金属ナノ構造体の第2の製造方法について説明する。この製造方法は、ガラス、シリコン、PET、ポリイミド等を材料とする平板状の基板の表面上に金属ナノ構造体を形成するためのものであり、上述した第1の製造方法とは、第3の工程以降が異なっている。
以下、実施形態に係る金属ナノ構造体の第2の製造方法によって製造された銀の金属ナノ構造体の観察結果を示す。
Claims (8)
- 金属微細構造体を作製する金属微細構造体の製造方法であって、
金属塩を溶解させたポリアミック酸を含む板状部材を形成する形成ステップと、
前記板状部材に所定の照射パターンでレーザ光を照射する照射ステップと、
前記板状部材の一部と、前記金属塩から生じた金属イオンとのうちのいずれかを除去する除去ステップと、
を備える金属微細構造体の製造方法。 - 前記除去ステップでは、酸性溶液を用いることにより前記金属イオンをイオン交換により除去する、
請求項1記載の金属微細構造体の製造方法。 - 前記金属イオンが除去された前記板状部材を加熱する加熱ステップをさらに備える、
請求項2記載の金属微細構造体の製造方法。 - 前記除去ステップでは、前記ポリアミック酸をエッチングにより除去する、
請求項1記載の金属微細構造体の製造方法。 - 前記エッチングは、アルカリ溶液を用いたウェットエッチングである、
請求項4記載の金属微細構造体の製造方法。 - 前記エッチングは、反応性イオンエッチングである、
請求項4記載の金属微細構造体の製造方法。 - 前記照射ステップでは、集光部材を用いて前記レーザ光を集光して前記板状部材に照射する、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の金属微細構造体の製造方法。 - 前記照射ステップでは、パルス状の前記レーザ光を前記板状部材に照射する、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の金属微細構造体の製造方法。
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