JP2017161592A - カラーフィルタ印刷システムおよびカラーフィルタ印刷方法 - Google Patents

カラーフィルタ印刷システムおよびカラーフィルタ印刷方法 Download PDF

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Abstract

【課題】カラーフィルタ印刷システムにおいて、基板が変形しても、二次元的なパターンに対するカラーフィルタの位置ずれ誤差を容易かつ効率的に低減することができるようにする。【解決手段】カラーフィルタ印刷システム20は、表示装置本体6を保持する保持台21と、カラーフィルタを無版印刷する印刷ヘッド23と、印刷ヘッド23を保持台21に対して、少なくとも保持面21aに平行な第1の方向d1に相対移動可能に保持する相対移動部と、表示装置本体6におけるパターンの変形量を検出するため、複数の代表点の位置を測定する代表点位置測定部と、代表点の測定された位置座標からパターンの変形量を推定して印刷ヘッド23によるカラーフィルタの印刷位置を補正し、補正された印刷位置に基づいてカラーフィルタを印刷するように相対移動部の移動量を制御する位置補正制御部と、を備える。【選択図】図4

Description

本発明は、カラーフィルタ印刷システムおよびカラーフィルタ印刷方法に関する。
表示装置として、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、反射型表示ディスプレイなどの表示装置が広く用いられている。これらの表示装置において、表示部の支持基板として、プラスチックフィルムなどを使用するフレキシブルディスプレイが知られている。
例えば、特許文献1には、フィルム状の支持体上に薄膜トランジスタ(TFT)と、このTFTで駆動される発光素子とを形成した半導体装置を携帯電話機の表示部、あるいはテレビ受像機として組み込むことが記載されている。
特許文献2には、カラーフィルタ形成前のディスプレイによって、カラーフィルタの配置パターンを色ごとにモノクロ表示し、表示されたパターンに合わせてインクジェット法により着色剤を吐出するカラーディスプレイの製造方法が記載されている。
特開2005−210086号公報 特開2007−298632号公報
しかしながら、従来のカラーフィルタ印刷システムおよびカラーフィルタ印刷方法には、以下のような問題がある。
特許文献1に記載のフレキシブルディスプレイをカラー化する場合、単位画素を構成する複数の発光素子上に、それぞれ、カラーフィルタを重ねる必要がある。例えば、単位画素が3つの発光素子で構成される場合、それぞれに、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)に着色されたカラーフィルタを重ねて配置する。
しかし、フレキシブルディスプレイの基板の樹脂基材は、ガラス基板とは異なり、熱膨張、吸脱水、内部応力の緩和等により変形しやすい。このため、発光素子が形成されたフレキシブルディスプレイの基板(以下、表示部付き基板という)は、その後工程の環境や保管環境の影響などによってある程度変形し、画素の配置位置も設計値からずれてしまう。画素の配置のずれ量は、例えば、樹脂基材の変形特性のばらつき、発光素子形成の製造工程における温度環境、圧力条件のばらつきなどによっても異なり、個々の表示部付き基板の画素配置のずれ量を予測することは困難である。
このような表示部付き基板に、画素の配置パターンの設計値に基づいてカラーフィルタを形成すると、発光素子とカラーフィルタとの間に不均一な位置ずれが生じるため、色むらや色ずれが発生し、良好な発色性が得られなくなるという問題がある。
カラーフィルタを形成する際に、特許文献2に記載の技術を用いることも考えられる。しかし、特許文献2に記載の技術では、表示部付き基板を駆動して、カラーフィルタを形成する部位の発光素子を点灯する必要がある。
このため、表示装置として未完成の表示部付き基板に、駆動回路を組み、各色のパターンに対応する電圧を印加しなくてはならない。このような作業を行うためには、表示部付き基板を生産ラインから取り出す必要があるため、生産性が悪くなるという問題がある。さらに、このような作業は、自動化しにくいという問題もある。
加えて、カラーフィルタの形成位置は、各発光素子の発光を読み取って、各発光素子の発光領域の位置および形状を取得する必要がある。このため、カラーフィルタの形成位置の測定に高い測定精度が求められるとともに、全体として多数の発光領域の測定が必要になるため、時間がかかるという問題もある。例えば、内部反射や回折の影響等によって発光領域の境界が鮮明でない場合、カラーフィルタの形成位置の取得精度も悪くなるという問題がある。
近年では、ディスプレイの大型化、高精細化が求められているため、発光素子あるいは画素電極に対するカラーフィルタの配置誤差をさらに低減することが強く求められている。
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、カラーフィルタの配置位置を規定する二次元的なパターンが形成された基板が変形しても、二次元的なパターンに対するカラーフィルタの位置ずれ誤差を容易かつ効率的に低減することができるカラーフィルタ印刷システムおよびカラーフィルタ印刷方法を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために、カラーフィルタの配置位置を規定する二次元的なパターンが形成された基板上に無版印刷によってカラーフィルタを形成するカラーフィルタ印刷システムであって、前記基板を保持面上に保持する保持台と、前記カラーフィルタを無版印刷する印刷部と、前記印刷部を前記保持台に対して、少なくとも前記保持面に平行な第1の方向に相対移動可能に保持する相対移動部と、前記基板における前記パターンの変形量を検出するため、前記パターンに関連づけられた前記基板における複数の代表点の位置を測定する代表点位置測定部と、前記代表点の測定された位置座標から前記パターンの変形量を推定することによって、前記印刷部による前記カラーフィルタの印刷位置を補正し、補正された前記印刷位置に基づいて前記カラーフィルタを印刷するように前記相対移動部の移動量を制御する位置補正制御部と、を備える。
上記カラーフィルタ印刷システムにおいては、前記代表点位置測定部は、前記パターンの少なくとも一部を内部に含む凸多角形の各頂点位置を示す少なくとも4箇所のアライメント部の代表点の位置を測定し、前記位置補正制御部は、前記アライメント部の代表点の測定された位置座標に基づいて算出される前記アライメント部の位置での変形量を比例配分することによって前記パターンの変形量を推定してもよい。
上記カラーフィルタ印刷システムにおいては、前記相対移動部は、前記印刷部および前記保持台を、前記第1の方向に相対移動する第1の移動部と、前記保持台を前記保持面の法線回りに回転する回転移動部と、を備え、前記位置補正制御部は、前記代表点の位置座標から、前記パターンの前記第1の方向に延びる軸線に対する回転ずれ量を推定し、前記回転ずれ量に基づいて前記代表点の位置座標を補正した回転補正位置座標を算出し、前記回転ずれ量に基づいて前記回転移動部を制御することによって、前記保持台の位置における前記回転ずれ量の補正を行い、前記回転補正位置座標から前記パターンの変形量を推定することによって、少なくとも前記第1の方向における前記カラーフィルタの印刷位置を補正してもよい。
上記カラーフィルタ印刷システムにおいては、前記代表点位置測定部は、前記第1の方向および前記第1の方向に直交する第2の方向において、それぞれ互いに離間した少なくとも4つの代表点の位置を測定し、前記位置補正制御部は、測定された前記代表点の位置から、前記第1の方向に延びる軸線に対する前記パターンの平均傾きを算出し、算出された前記パターンの平均傾きを前記回転ずれ量に換算してもよい。
上記カラーフィルタ印刷システムにおいては、前記印刷部は、前記カラーフィルタを形成するインクを吐出するインクジェットヘッドを備えてもよい。
本発明の第2の態様のカラーフィルタ印刷方法は、カラーフィルタの配置位置を規定する二次元的なパターンが形成された基板上に無版印刷によってカラーフィルタを形成するカラーフィルタ印刷方法であって、保持台の保持面上に前記基板を配置することと、前記保持台上に配置された前記基板における前記パターンの変形を検出するため、前記パターンに関連づけられた前記基板における複数の代表点の位置を測定することと、前記代表点の測定された位置座標から前記パターンの変形量を推定することによって、前記カラーフィルタの印刷位置の補正を行うことと、補正された前記印刷位置に前記カラーフィルタを形成するため、前記カラーフィルタを無版印刷する印刷部を、前記保持台に対して少なくとも前記保持面に平行な第1の方向に相対移動することと、前記印刷部を用いて、前記補正された前記印刷位置に前記カラーフィルタを印刷することと、を含む。
上記カラーフィルタ印刷方法においては、前記代表点の位置を測定することは、前記パターンの少なくとも一部を内部に含む凸多角形の各頂点位置を示す少なくとも4箇所のアライメント部の代表点の位置を測定すること、を含み、前記印刷位置の補正を行うことは、前記アライメント部の代表点の測定された位置座標に基づいて算出される前記アライメント部の位置での変形量を比例配分することによって前記パターンの変形量を推定することと、を含んでもよい。
上記カラーフィルタ印刷方法においては、前記印刷部を前記保持台に対して相対移動することは、前記印刷部および前記保持台を、前記第1の方向に相対移動する第1の移動と、前記保持台を前記保持面の法線回りに回転する回転移動と、を含み、前記印刷位置の補正を行うことは、前記代表点の位置座標から、前記パターンの前記第1の方向に延びる軸線に対する回転ずれ量を推定し、前記回転ずれ量に基づいて前記代表点の位置座標を補正した回転補正位置座標を算出し、前記回転ずれ量に基づいて前記保持台を前記保持面の法線回りに回転することによって、前記保持台における前記回転ずれ量の補正を行うことと、前記回転補正位置座標から前記パターンの変形量を推定することによって、少なくとも前記第1の方向における前記カラーフィルタの印刷位置を補正することと、を含んでもよい。
上記カラーフィルタ印刷方法においては、前記代表点の位置を測定することは、前記第1の方向および前記第1の方向に直交する第2の方向において、それぞれ互いに離間した少なくとも4つの代表点の位置を測定すること、を含み、前記パターンの位置ずれ量を算出することは、測定された前記代表点の位置から、前記第1の方向に延びる軸線に対する前記パターンの平均傾きを算出することと、算出された前記パターンの平均傾きを前記回転ずれ量に換算することと、を含んでもよい。
上記カラーフィルタ印刷方法においては、前記カラーフィルタを印刷することは、前記カラーフィルタを形成するインクをインクジェットヘッドから吐出すること、を含んでもよい。
本発明のカラーフィルタ印刷システムおよびカラーフィルタ印刷方法によれば、基板に形成された二次元的なパターンに関連づけられた代表点の位置を測定し、代表点の測定された位置座標からパターンの変形量を推定することによってカラーフィルタの印刷位置を補正するため、カラーフィルタの配置位置を規定する二次元的なパターンが形成された基板が変形しても、二次元的なパターンに対するカラーフィルタの位置ずれ誤差を容易かつ効率的に低減することができるという効果を奏する。
本発明の第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システムを用いて印刷されたカラーフィルタを含む表示装置の一例を示す模式的な平面図である。 図1におけるD部の拡大図である。 図2におけるE−E断面図である。 本発明の第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例を示す模式的な平面図である。 本発明の第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例を示す模式的な正面図である。 本発明の第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第2の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例を示す模式的な平面図である。 本発明の第2の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例を示す模式的な正面図である。 本発明の第2の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。 図8におけるF視図である。 本発明の第2の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの動作説明図である。
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
[第1の実施形態]
本発明の第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システムについて説明する前に、本実施形態のカラーフィルタ印刷システムを用いて製造されたカラーフィルタおよび表示装置の一例について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システムを用いて印刷されたカラーフィルタを含む表示装置の一例を示す模式的な平面図である。図2は、図1におけるD部の拡大図である。図3は、図2におけるE−E断面図である。
なお、各図面は模式図であるため、見易さのため、寸法および形状は誇張されている(以下の図面も同様)。
図1に示すように、本実施形態の表示装置10は、平板状の表示装置本体6(基板)の上面の中央部にカラーフィルタ5が形成されて構成されている。
表示装置本体6の平面視形状と、カラーフィルタ5の平面視の設計上の形成領域とは、一例として、矩形である。
ただし、本実施形態の表示装置本体6は、製造工程あるいは保管環境における加圧条件、温湿度等に応じて変形する。このため、表示装置本体6の平面視形状と、カラーフィルタ5の平面視の形成領域とは、厳密な矩形とは異なる略矩形状である。
表示装置本体6は、種々の要因により変形しているため、変形の方向、場所による変形の大きさには、ある程度ばらつきがある。しかし、変形量のばらつきは微小であり、例えば、波打などによって平板と見なせなくなるような変形は生じていない。このため、表示装置本体6の変形は、厚さ方向に直交する方向(以下、「面方向」と言う場合がある)における二次元的な変形と見なせる程度である。例えば、表示装置本体6の内部および上部に形成された面方向に延びる直線状部分は、直線状の形状を保って変形すると見なせる。
表示装置本体6には、複数のサブ画素を備える画素Pが、平面視矩形状の領域に格子状に複数配列されている。すなわち、画素Pは、表示装置本体6の厚さ方向に見たとき、表示装置本体6の面方向に延びる二次元的なパターンを構成している。
本実施形態では、一例として、画素PがJ行×I列(ただし、J、Iは2以上の整数)の格子状に配列されている。ここで、行は、図示横方向の並びを、列は図示縦方向の並びを表す。
各行における画素Pの配列ピッチの設計値は一定値ΔXである。各列における画素Pの配列ピッチの設計値は一定値ΔYである。ΔXおよびΔYは、互いに等しくてもよいし、異なっていてもよい。
画素Pのうち、特定位置の画素Pを区別する場合には、添字i,j(ただし、iは、1以上I以下の整数。jは、1以上J以下の整数)を付して、「画素Pi,j」と表記する。添字iは、図示の最も左側の列から数えた列数、添字jは、図示の最も下側の行から数えた行数を表す。例えば、画素P1,1は、図示左下隅の画素Pを、画素PI,Jは、図示右上隅の画素Pを表す。
表示装置本体6の各サブ画素は、例えば、周知の液晶素子、有機EL素子の構成が用いられてもよい。あるいは、表示装置本体6の各サブ画素は、例えば、周知の電子ペーパーの構成が用いられてもよい。電子ペーパーの構成としては、例えば、コレスティック液晶式、ツイストボール式、電気泳動式の表示媒体などが挙げられる。
本実施形態の表示装置本体6は、赤色、緑色、および青色に対応する表示を行うサブ画素を備える。各サブ画素は、表示方式に応じて発光量または反射率が多段階に変更できてもよい。
表示装置本体6の厚さ方向において各サブ画素に対向する位置に、それぞれ赤色、緑色、および青色の着色層を配置すると、サブ画素からの光がそれぞれ赤色光、緑色光、および青色光となって出射され、加色混合された色が表示される。
サブ画素としては、表示の明るさを変える白色用のサブ画素が設けられていてもよい。この場合、白色用のサブ画素に対向する部位には、透明材料のみが配置される。
サブ画素は、一定数が集まって、表示単位である画素Pを構成する。例えば、赤色用、緑色用、青色用、および白色用のサブ画素をそれぞれ1つずつ含む一定の領域に1つの画素Pを構成することが可能である。
以下では、表示装置本体6が赤色用、緑色用、および青色用の合計3つのサブ画素と、1つの白色用のサブ画素とが、画素Pを構成する場合の例で説明する。
カラーフィルタ5は、表示装置本体6の赤色用、緑色用、および青色用のサブ画素の上方にそれぞれ配置される第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bからなる。本実施形態では、白色用のサブ画素(図1に示す第4サブ画素PWi,j参照)の上方においてカラーフィルタ5と同一層には、透明樹脂層は形成されていない。
第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bの形状は特に限定されないが、本実施形態では、図示略のサブ画素よりも大きい矩形状である。第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bの面積は、図示略のサブ画素の面積に応じてそれぞれ異なる面積としてもよい。本実施形態では、一例として、第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bは、互いに同形状、同面積の矩形状である。
第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bは、後述するカラーフィルタ印刷システムによって無版印刷される。
第1着色層Rは、赤色のインクによって形成されている。
第2着色層Gは、緑色のインクによって形成されている。
第3着色層Bは、青色のインクによって形成されている。
画素Pi,jの上方に位置する第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bを表す場合には、画素Pと同じ添字i,jを付して、第1着色層Ri,j、第2着色層Gi,j、および第3着色層Bi,jのように表す。
以下、いちいち断らないが、画素Pに含まれるかまたは画素Pに関連する他の部位、寸法等を表す符号に関しても同様な記法が採用される。
第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bは、いずれも表示装置本体6上において、J行×I列の格子状に配列されている。行、列における配列ピッチの設計値は、画素Pの配列ピッチと同様であり、それぞれΔX、ΔYである。
第1着色層Ri,j、第2着色層Gi,j、および第3着色層Bi,jは、各画素Pi,jにおける図示略のサブ画素に平面視で重なるように配置されている。以下では、各画素Pi,jに対応して配置された第1着色層Ri,j、第2着色層Gi,j、および第3着色層Bi,jをまとめて、画素フィルタFi,j(F)と言う場合がある。
各画素フィルタFでは、第2着色層Gは、第1着色層Rと同じ行に位置し、第1着色層Rの図示右隣に配置されている。このため、第2着色層Gが構成する列は、第1着色層Rが構成する列の図示右隣に位置する。
各画素フィルタFでは、第3着色層Bは、第1着色層Rと同じ列に位置し、第1着色層Rの図示下側に隣り合って配置されている。このため、各第3着色層Bの行は、各第1着色層Rの行の図示下隣に位置する。
平面視にてカラーフィルタ5の形成領域よりも外側の表示装置本体6には、アライメント部a1、a2、a3、a4が形成されている。以下では、アライメント部a1、a2、a3、a4を総称する場合、「アライメント部an」(ただし、n=1,2,3,4)と表記する場合がある。誤解のおそれがなければ、かっこ内のただし書きは省略されることがある。
アライメント部anは、表示装置本体6上にカラーフィルタ5を形成する際に、表示装置本体6の面方向の変形量を測定するためのマークである。このため、アライメント部anは、カラーフィルタ5が形成される前の表示装置本体6に、カラーフィルタ5の配置位置を規定する二次元的なパターンである画素Pの配置と関連づけられて形成される。
ここで、アライメント部anの位置が画素Pの配置と関連づけられているとは、画素Pのなす二次元的なパターンに対して設計上一定の位置関係をもって形成され、かつこの位置関係が表示装置本体6の変形に依存して変化することを意味する。
アライメント部anは、適宜の手段によって表示装置本体6上の面方向における位置検出可能な構成であれば、形状、材質、形成位置等は特に限定されない。
アライメント部anは、例えば、光学的に読み取り可能な光反射層、光吸収層、着色層、光散乱層などで構成されてもよい。あるいは、アライメント部anは、例えば、光学的に読み取り可能な凹部、凸部、エッジ部、孔部などによって形成されてもよい。
本実施形態では、アライメント部anは、いずれも表示装置本体6の上方から光学的に位置検出可能な十字マークで構成される。十字の延びる2軸は、それぞれ画素Pの行、列の中心線に平行である。このようなアライメント部anは、画素Pと同様、表示装置本体6の厚さ方向に見たとき、表示装置本体6の面方向に延びる二次元的なパターンを構成している。
本実施形態では、アライメント部anは、後述する表示層3の製造プロセスにおいて、不透明な配線層を形成する際に、同時に形成される。アライメント部anの上部は、透明層で覆われており、表示装置本体6の上方の外部から光学的に読み取り可能である。
このようにアライメント部anが後述する表示層3の製造プロセスにおいて形成されると、アライメント部anを各画素Pに対して高精度に配置することができる。
表示装置本体6の面方向におけるアライメント部anの位置は、読み取り可能なアライメント部anの形状から決まる適宜の部位の位置として測定することができる。
本実施形態では、アライメント部an(ただし、n=1,2,3,4)の位置は、アライメント部代表点An(ただし、n=1,2,3,4)の位置として測定される。
アライメント部代表点Anは、一例として、アライメント部anの十字をなす線状部の交点(線状部の交差の中心点)である(図2におけるアライメント部代表点A1参照)。
アライメント部a1は、画素P1,1の近傍に形成されている。
アライメント部a2は、画素PI,1の近傍に形成されている。
アライメント部a3は、画素PI,Jの近傍に形成されている。
アライメント部a4は、画素P1,Jの近傍に形成されている。
これにより、アライメント部代表点A1、A2、A3、A4をこの順に結んでできる凸四角形(凸多角形)A1A2A3A4は、平面視にて、画素Pの形成領域を内側に含んでいる。
このように、各アライメント部anを、画素Pの形成領域の最外部に近い位置に設けることで、画素Pの形成領域の全体的な変形を精度よく測定することができる。
凸四角形A1A2A3A4は、設計上、必ずしも矩形である必要はないが、本実施形態では、設計上の凸四角形A1A2A3A4の形状は矩形である。凸四角形A1A2A3A4において、辺A1A2および辺A4A3は画素Pの設計上の配列における行方向に延びる線分、辺A1A4および辺A2A3は画素Pの設計上の配列における列方向に延びる線分である。
次に、表示装置10の断面構成について説明する。
図3に示すように、表示装置10の表示装置本体6は、ベース基板1、TFT層2、表示層3、および受像層4がこの順に積層されて構成されている。表示装置10のカラーフィルタ5は、表示装置本体6の受像層4の表面に積層されている。
表示装置10では、さらに、受像層4およびカラーフィルタ5上に、光透過性を有する保護膜層が設けられてもよい。
ベース基板1は、可撓性を有するフィルム基板で構成されている。ベース基板1として好適な材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリカーボネートなどのプラスチック素材が挙げられる。
ベース基板1は、熱膨張、吸脱水、あるいは内部応力の緩和等により伸縮する。例えば、PETにおける熱膨張率は15ppm/℃、吸湿膨張係数は12ppm/%RHである。
このため、ベース基板1の外形の1辺が300mmの場合、温度が5℃上昇、もしくは湿度が5%増大することで、約20μm膨張する。
これに加えて、プラスチック素材は、フィルム形成時の延伸方向、ラミネート時の圧力などで、内部応力が生じ、これらが緩和する際には数100ppm程度変形することがある。
TFT層2は、後述する表示層3における各画素Pを駆動して画像表示を行うTFTを含む電気回路が形成された層状部である。
表示層3は、上述した画素Pが形成された層状部である。表示層3の層構成としては、表示方式に応じて周知の構成が用いられる。表示層3には、少なくとも、表示媒体に対して画素ごとに駆動電圧を印加する画素電極が各画素Pのサブ画素に対応してパターニングされている。
図2に画素P1,1の例で示すように、画素Pは、赤色の表示を行うための第1サブ画素PR、緑色の表示を行うための第2サブ画素PG、青色の表示を行うための第3サブ画素PB、および表示の明るさを調整するための第4サブ画素PWを備える。
図3に示すように、受像層4は、少なくとも、カラーフィルタ5の形成領域の範囲において、表示層3を覆うように設けられている。受像層4は、カラーフィルタ5を形成するための各色のインクを固着させるための層状部である。
受像層4の材質は、光透過性を有し、カラーフィルタ5を形成するための各色のインクの少なくとも一部を吸収してインクを固定できる適宜材質が用いられる。さらに、受像層は、適宜の強度、平坦性、耐熱性などを有していることがより好ましい。
受像層4に好適な材質の例としては、例えば、ウレタン樹脂、アクリル樹脂などが挙げられる。
ただし、カラーフィルタ5を形成するインクの表示層3の表面に対する固着性が良好であれば、受像層4は省略されてもよい。
カラーフィルタ5を形成するために好適なインクの例としては、例えば、UV硬化性のインクが挙げられる。UV硬化性のインクを用いると、インクを硬化させる際に加熱する必要がなくなるため、加熱が原因となる表示装置本体6の変形を抑制することができる。
インクにUV硬化性を付与する方法としては、周知の光重合性モノマー、光重合開始剤をインクに添加する方法が挙げられる。
第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bの形成に用いるインクは、それぞれ、赤色の顔料、緑色の顔料、および青色の顔料が含まれている。
以上に説明した表示装置10は、表示装置本体6が製作された後、表示装置本体6の受像層4上に、カラーフィルタ5を無版印刷することによって製造される。
次に、カラーフィルタ5を印刷するために用いる本実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例について説明する。
図4は、本発明の第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例を示す模式的な平面図である。図5は、本発明の第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例を示す模式的な正面図である。図6は、本発明の第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。
図4、図5に示すように、本実施形態のカラーフィルタ印刷システム20は、保持台21、保持台移動部22(相対移動部、第1の移動部)、印刷ヘッド23(印刷部)、印刷ヘッド移動部24(相対移動部、第2の移動部)、および画像計測部25(代表点位置測定部)を備える。さらに、図6に示すように、カラーフィルタ印刷システム20は、制御ユニット100(代表点測定部、位置補正制御部)を備える。
図4、図5に示すように、保持台21は、表示装置本体6を保持する装置部分である。保持台21は、上部に表示装置本体6を水平に保持する平面状の保持面21aを備える。保持面21aには、表示装置本体6のベース基板1が載置される。このため、表示装置本体6は受像層4が上側に向いた状態で、保持面21aに保持される。
図4には、表示装置本体6が保持面21a上に保持された状態が示されている。図4において、表示装置本体6の上に二点鎖線で示した四角形状の領域は、カラーフィルタ5を形成するカラーフィルタ形成領域fである。
保持面21aには、表示装置本体6の載置位置を固定するため、図示略の保持機構が設けられている。図示略の保持機構としては、例えば、気圧差を形成して、保持面21a側にベース基板1を吸引する吸引保持機構が用いられる。この保持機構は、表示装置本体6の大きさに応じて適宜個数設けられている。このため、表示装置本体6は、可撓性を有していても、保持面21aに密着した状態で保持される。
保持台移動部22は、後述する制御ユニット100(図6参照)からの制御信号に基づいて、保持台21を水平面内の第1の方向d1に移動する装置部分である。例えば、保持台移動部22は1軸移動ステージで構成されてもよい。
保持台移動部22は、保持台21に保持される表示装置本体6の第1の方向d1における全幅の範囲で、後述する印刷ヘッド23の下方を往復移動可能な移動範囲を有する。
以下では、平面視におけるカラーフィルタ印刷システム20内の位置を説明する場合に保持面21aに設定された固定座標系であるxy座標系を用いる。図4に示すように、このxy座標系において、y軸は、第1の方向d1に延びる座標軸であり、x軸は、第1の方向d1に直交する第2の方向d2に延びる座標軸である。
印刷ヘッド23は、カラーフィルタ5を無版印刷する印刷部である。無版印刷の方式は特に限定されない。無版印刷の方式としては、例えば、インクジェット印刷、熱転写印刷、レーザープリンタなどが挙げられる。無版印刷の方式のうちでも、例えば、インクジェット印刷方式のようなノズルからインクを吐出することで印刷する方式は特に好ましい。
図5に示すように、本実施形態では、印刷ヘッド23は、第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、および第3インクノズル23Bを有するインクジェットヘッドで構成される。
第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、および第3インクノズル23Bは、それぞれ、カラーフィルタ5の第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bを形成するインクを供給する図示略のインク供給部が接続されている。
第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、および第3インクノズル23Bは、後述する制御ユニット100(図6参照)からの制御信号に基づいて、図示略のインク供給部から供給されたインクの吐出を行う。
第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、および第3インクノズル23Bの構成は特に限定されないが、ピエゾ素子の駆動によりインクを吐出するピエゾ駆動方式の構成が用いられてもよい。この場合、水系のインクだけではなく、溶剤系のインクにも対応することができる。ピエゾ素子の駆動方法としては、例えば、ベンドモード、プッシュモード、シアドウォール、シアドルーフ方式などが挙げられる。
印刷ヘッド23は、保持台21の移動経路の上方を横断するように配置された印刷ヘッド移動部24によって、第2の方向d2に沿って移動可能に支持されている。
印刷ヘッド移動部24は、後述する制御ユニット100(図6参照)からの制御信号に基づいて、印刷ヘッド23を第2の方向d2に移動する装置部分である。例えば、印刷ヘッド移動部24は1軸ステージで構成されてもよい。
印刷ヘッド移動部24は、保持台21に保持される表示装置本体6の第2の方向d2における全幅の範囲で、第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、および第3インクノズル23Bが往復移動可能な移動範囲を有する。
カラーフィルタ印刷システム20において、保持台移動部22と印刷ヘッド移動部24とは、印刷部である印刷ヘッド23を保持台21に対して保持面21aに平行な第1の方向d1および第2の方向d2に相対移動可能に支持する相対移動部を構成している。
本実施形態の相対移動部は、印刷ヘッド23の第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、および第3インクノズル23Bをそれぞれ保持台21上に保持された表示装置本体6のカラーフィルタ形成領域f上の任意の位置に移動できる二次元的な移動範囲を有する。
画像計測部25は、アライメント部a1、a2、a3、a4の位置を測定するための画像を取得する。
画像計測部25は、アライメント部a1、a2、a3、a4の画像を取得するカメラ25L、25Rと、カメラ25L、25Rを保持台21の移動経路の上方において第2の方向d2に移動可能に保持するカメラ移動部25aとを備える。画像計測部25は、後述する制御ユニット100(図6参照)と通信可能に接続されている。
画像計測部25は、さらに、カメラ25L、25Rの取得画像を操作者が視認できるように、カメラ25L、25Rの取得画像を表示するモニタを備えてもよい。
カメラ移動部25aは、制御ユニット100からの制御信号に基づいて、カメラ25L、25Rを、第2の方向d2において個別に移動する。カメラ25Lの移動範囲は、保持面21aの図示左半分側における画像が取得できる範囲であり、カメラ25Rの移動範囲は、保持面21aの図示右半分側における画像が取得できる範囲である。
カメラ25L、25Rは、制御ユニット100からの制御信号に基づいて、下方に配置された表示装置本体6の画像を取得する。
カメラ25L、25Rの取得画像上の位置座標は、予め較正されているため、後述する制御ユニット100において保持台21上のxy座標系の位置座標に換算可能である。
カメラ25L、25Rによって、撮影が行われると、画像データと、第2の方向d2における撮影位置の情報が、後述する制御ユニット100に送出される。
図6に示す制御ユニット100は、図示略の操作部からの操作入力に応じて、カラーフィルタ印刷システム20の動作を制御する。
制御ユニット100の機能構成は、移動制御部102、装置制御部101、代表点位置算出部103(代表点位置測定部)、および補正移動データ生成部104を備える。
移動制御部102は、保持台移動部22、印刷ヘッド移動部24、装置制御部101、および補正移動データ生成部104と通信可能に接続されている。
移動制御部102は、装置制御部101からの制御信号に基づいて、保持台移動部22および印刷ヘッド移動部24の動作を制御する。
装置制御部101は、印刷ヘッド23、移動制御部102、画像計測部25、および代表点位置算出部103と通信可能に接続されている。
装置制御部101は、印刷ヘッド23に制御信号を送出して、印刷ヘッド23の第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、および第3インクノズル23Bからのインク吐出動作を制御する。
装置制御部101は、移動制御部102に制御信号を送出して、保持台移動部22および印刷ヘッド移動部24の動作を制御する。
保持台移動部22による第1の方向d1における保持台21の移動位置と、xy座標系の原点との位置関係は予め較正されている。
印刷ヘッド移動部24による第2の方向d2における印刷ヘッド23の移動位置と、xy座標系の原点との位置関係は予め較正されている。
このため、装置制御部101は、移動制御部102に制御信号を送出することによって、印刷ヘッド23の第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、および第3インクノズル23Bを、それぞれ保持面21aの範囲で、xy座標系の座標値に基づいて二次元的に移動させることができる。
装置制御部101は、画像計測部25に制御信号を送出して、カメラ25L、25Rの第2の方向d2における位置設定と、カメラ25L、25Rによる画像取得制御とを行う。
カメラ25L、25Rの位置設定は、予め知られている印刷対象の表示装置本体6の大きさ、概略配置位置などに応じて、自動設定されるようにしてもよいし、図示略の操作部からの操作入力によってマニュアル設定されるようにしてもよい。
マニュアル設定を行う場合、図示略のモニタに表示されるカメラ25L、25Rの取得画像を操作者が見て配置位置を調整することができる。カメラ25Lによってアライメント部a1、a4が、カメラ25Rアライメント部a2、a3がそれぞれの撮影範囲内に入ることを操作者が図示略のモニタで確かめながら配置位置を指定することができる。
装置制御部101による画像取得制御では、カメラ25L、25Rの位置設定を行った後、移動制御部102に制御信号を送出して、カメラ25L(25R)の撮影範囲に、アライメント部a1、a4(a2、a3)が入るように保持台21を移動させる。その後、装置制御部101は、画像計測部25に制御信号を送出して、カメラ25L(25R)によってアライメント部a1、a4(a2、a3)の画像を取得させる。装置制御部101は、カメラ25L、25Rから送出された画像データを、撮影時の保持面21a対するカメラ25L、25Rの位置情報とともに、代表点位置算出部103に送出する。
代表点位置算出部103は、画像計測部25によって取得された各アライメント部anの画像データから、それぞれアライメント部代表点Anの位置を測定する。
具体的には、まず、代表点位置算出部103は、装置制御部101から送出された上述の画像データの画像処理を行うことにより、各画像上のアライメント部代表点Anの位置を算出する。この後、装置制御部101から送出された上述の位置情報に基づいて、これらの画像上の位置をxy座標系の位置座標に換算する。
代表点位置算出部103によって算出されたxy座標系におけるアライメント部代表点Anの位置座標は、代表点位置算出部103から補正移動データ生成部104に送出される。
画像計測部25と代表点位置算出部103とは、基板である表示装置本体6における画素Pのパターンの変形量を検出するため、パターンに関連づけられた複数の代表点の位置を測定する代表点位置測定部を構成する。
補正移動データ生成部104は、代表点位置算出部103から送出されたアライメント部代表点Anの位置座標に基づいて、カラーフィルタ5を形成するための印刷ヘッド23の補正移動データを生成する。
補正移動データは、アライメント部代表点Anの測定された位置座標から画素Pのパターンの変形量を推定することによって生成される。具体的な補正移動データの算出方法については、カラーフィルタ印刷システム20の動作とともに後述する。
上述した制御ユニット100の装置構成は、CPU、メモリ、入出力インターフェース、外部記憶装置などからなるコンピュータからなり、これにより上記のような制御を実行する制御プログラムが実行されるようになっている。
次に、カラーフィルタ印刷システム20の動作について、本実施形態のカラーフィルタ印刷方法を中心として説明する。
カラーフィルタ印刷システム20によって、表示装置本体6上にカラーフィルタ5を印刷するには、まず、図4に示すように、保持台21の保持面21a上に、ベース基板1を下にして、表示装置本体6を配置する。
表示装置本体6の配置向きは、アライメント部a4、a3が、y軸の正方向側(図示上側)、アライメント部a1、a2がy軸の負方向側(図示下側)になる配置とする。
このとき、表示装置本体6における画素Pの列の配列方向は、なるべく第1の方向d1に延びる軸線と平行に近い姿勢であることがより好ましい。しかし、カラーフィルタ印刷システム20では、表示装置本体6の配置姿勢に応じて、カラーフィルタ5の印刷位置を二次元的に補正できるため、画素Pの列が、第1の方向d1に延びる軸線と非平行であってもよい。
表示装置本体6が配置されたら、図示略の吸着機構によって、保持面21a上の表示装置本体6の位置を固定する。
以上で、表示装置本体6の配置が終了する。
カラーフィルタ印刷システム20では、表示装置本体6の形状に関する印刷用データが予め制御ユニット100に記憶されている。
印刷データには、例えば、画素Pのパターンに応じた設計上のカラーフィルタ5の形成位置のデータ、表示装置本体6におけるアライメント部anの設計上の形成位置のデータ、およびアライメント部anの設計上の形状データが含まれる。
カラーフィルタ印刷システム20では、カラーフィルタ5を第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bをそれぞれ独立または同時並行的に印刷することができる。それぞれの印刷動作は、印刷位置の違いを除いて同様であるため、以下では、第1着色層Rの印刷動作を例にとって説明する。
データ第1着色層Ri,jの印刷位置は、例えば、第1着色層Ri,jの第1着色層中心Cri,jの座標値で代表的に表わされる。実際に印刷が行われる領域(印刷領域)は、例えば、印刷位置を中心とする矩形状の範囲になる。
第1着色層中心Cri,jの座標値は、(Xri,j,Yri,j)として制御ユニット100に記憶されている。
この座標値は、本実施形態では、設計上のアライメント部代表点A1、A2を通る直線をX軸、設計上のアライメント部代表点A1、A4を通る直線をY軸とする設計上の表示装置本体6に固定されたXY座標系で記述されている。
XY座標系におけるアライメント部代表点A1、A2、A3、A4の位置座標(X1、Y1)、(X2,Y2)、(X3,Y3)、(X4,Y4)は、下記式(1)〜(4)で表され、このとき、第1着色層中心Cri,jの座標値(Xri,j,Yri,j)は、下記式(5)で表される。それぞれの座標値は、制御ユニット100に記憶されている。
Figure 2017161592
ここで、L、Lは、それぞれ設計上の辺A1A2、辺A1A4の長さ、Xsr、Ysrは、それそれ、アライメント部代表点A1から第1着色層中心Cr1,1までのX軸方向、Y軸方向の長さである。ΔX、ΔYは、上述したように、それぞれ第1着色層RのX軸方向、Y軸方向の設計上の配列ピッチである。
本実施形態では、上述のように、表示装置本体6が保持面21a上に特に位置決めされることなく配置される。このため、表示装置本体6に固定されたXY座標系は、一般には、保持面21a上のxy座標系と原点の位置がずれており、各座標軸は非平行である。
さらに、表示装置本体6は、製造工程における温湿度条件、加圧条件と、保持台21に配置されるまでの保管環境の温湿度の影響で、面方向に変形している。
そこで、本実施形態のカラーフィルタ印刷方法では、表示装置本体6を配置した後、表示装置本体6の配置位置のずれと、表示装置本体6の変形量とを、検出するため、代表点の位置を測定する。
カラーフィルタ印刷システム20では、代表点位置測定部によって、アライメント部代表点A1、A2、A3、A4のxy座標系における位置座標を測定する。
具体的には、例えば、装置制御部101からの制御信号によって保持台移動部22を駆動して、アライメント部a1(a4)の画像をカメラ25Lで、アライメント部a2(a3)の画像をカメラ25Rで、それぞれ撮影できる位置に保持台21を移動させる。
装置制御部101は、画像計測部25に制御信号を送出して、カメラ25L、25Rの撮影を実行させ、カメラ25L、25Rから、アライメント部a1(a4)、a2(a3)画像データを取得する。各画像データは、装置制御部101によって、代表点位置算出部103に送出される。
代表点位置算出部103は、画像処理を行って、各画像データからアライメント部代表点A1、A2、A3、A4の画像上の位置を算出し、xy座標系の位置座標に換算する。
代表点位置算出部103によって算出されたアライメント部代表点A1、A2、A3、A4の各位置座標を、(x1,y1)、(x2,y2)、(x3,y3)、(x4,y4)と表す(図1参照)。
アライメント部代表点A1、A2、A3、A4の各位置座標は、代表点位置算出部103によって補正移動データ生成部104に送出される。
以上で、代表点の位置測定が終了する。
この後、補正移動データ生成部104では、カラーフィルタ5の印刷位置の補正が行われる。
もし、XY座標系がxy座標系において回転しておらず、表示装置本体6に変形が生じていない場合であれば、例えば、第1着色層Rの印刷位置は、上記式(5)において、Xsr、Ysrに、それぞれ、Xsr+x1、Ysr+y1を代入すればよい。
しかし、実際には、xy座標系に対してXY座標系が回転しており、かつ表示装置本体6が変形しているため、このようにして印刷すると、第1着色層Ri,jが画素Pi,jの形成位置からずれてしまう。このため、表示装置10には、色ずれ、色ムラによる画質低下が発生するおそれがある。
そこで本実施形態では、代表点の位置座標の実測値に基づいて、画素Pのパターンの変形量を推定することによってカラーフィルタ5の印刷位置を補正する。
例えば、Lに対するx4−x1、y4−y1は、それぞれアライメント部代表点A1を基準としたアライメント部代表点A4のx軸方向、y軸方向の変形量を表している。アライメント部代表点A1とアライメント部代表点A4との間での一様な変形を仮定できれば、辺A1A4上の各点の設計値からの位置ずれ量は、辺A1A4の全体の変形量をアライメント部代表点A1から距離に応じて比例配分することによって精度よく求められる。
辺A1A4の近傍の位置における変形量も辺A1A4からの距離に応じて同様に推定される。すなわち、凸四角形A1A2A3A4の各辺の変形量を、凸四角形A1A2A3A4の内部に内挿する推定を行うことによって、凸四角形A1A2A3A4の内部に含まれる画素Pの変形による位置ずれが推定される。
本実施形態では、補正移動データ生成部104は、第1着色層Ri,jの印刷位置である第1着色層中心Cri,jの座標値(xri,j,yri,j)を、下記式(6)〜(17)を用いて算出する。
Figure 2017161592
Figure 2017161592
上記式(7)は、辺A1A4から第1着色層中心Cr1,jまでのx軸方向の長さの設計値Xsrを、辺A1A2と辺A4A3との伸縮率の実測値を比例配分することによってxsrに換算する式である。ここで、XsrはLに対して十分小さいとして、近似的に比例配分している。
上記式(8)は、第1着色層中心Cr1,jから辺A1A4までのx軸方向の長さと第1着色層中心CI,jから辺A2A3までのx軸方向の長さとの和の設計値Xbrを、Xsrと同様にして、xbrに換算する式である。xbrは、例えば、図1に示すxbr1+xbr2などに対応する。
上記式(10)のmは、辺A1A4の傾きによって発生する辺A1A4上のj行位置における点のx軸方向の設計値からのずれ量を表す。式(11)のmは、辺A2A3の傾きによって発生する辺A2A3上のj行位置における点のx軸方向のずれ量を表す。
上記式(13)は、辺A1A2から第1着色層中心Cri,1までのy軸方向の長さの設計値Ysrを、辺A1A4と辺A2A3との伸縮率の実測値を比例配分することによってysrに比例配分する式である。ここで、YsrはLに対して十分小さいとして、近似的に比例配分している。
上記式(14)は、第1着色層中心Cri,1から辺A1A2までのx軸方向の長さと第1着色層中心Ci,Jから辺A4A3までのy軸方向の長さとの和の設計値Ybrを、Ysrと同様にして、ybrに換算する式である。ybrは、例えば、図1に示すybr1+ybr2などに対応する。
上記式(16)のmは、辺A1A2の傾きによって派生する辺A1A2上のi列位置における点のy軸方向の設計値からのずれ量を表す。式(17)のmは、辺A4A3の傾きによって発生する辺A4A3のi列位置における点のy軸方向のずれ量を表す。
上記式(6)、(12)は、設計上のL×Lの長方形である凸四角形A1A2A3A4の変形を表す各頂点の位置の実測値に基づいて、凸四角形A1A2A3A4の変形を内側の第1着色層中心Cri,jの座標位置に比例配分している算出式になっている。
補正移動データ生成部104は、同様にして、さらに、第2着色層中心Cgi,jの座標値(xgi,j,ygi,j)および第3着色層中心Cbi,jの座標値(xbi,j,ybi,j)を算出する。この計算は、上記式(7)、(13)における、設計値Xsr、Ysrを、それぞれ、第2着色層G、第3着色層Bにおける設計値Xsg、Ysg、Xsb、Ysbに変更し、変数の添字rを、g、bに読み換えた計算式によって行われる。
補正移動データ生成部104は、こうして算出された位置座標(xri,j,yri,j)、(xgi,j,ygi,j)、(xbi,j,ybi,j)を移動制御部102に送出する。
以上で、カラーフィルタ5の印刷位置の補正が終了する。
この後、装置制御部101は、カラーフィルタ5の印刷を行う制御を開始する。
装置制御部101が、印刷ヘッド23および移動制御部102に印刷を開始するための制御信号を送出すると、移動制御部102は、保持台移動部22および印刷ヘッド移動部24の移動量を制御して、印刷ヘッド23における第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、第3インクノズル23Bを印刷位置の周りの印刷領域に移動させる。この移動は、印刷ヘッド23のノズル配置などに応じて、同時または個別に行われる。
装置制御部101は、第1インクノズル23R、第2インクノズル23G、第3インクノズル23Bが印刷領域上に達したタイミングで、各ノズルからのインク吐出を開始させる。
例えば、第1着色層Ri,jが、第1着色層中心Cri,jを中心にして、3×3ドットの矩形状の印刷領域に形成される場合、各ドットの印刷位置は、第1着色層中心Cri,jの座標値から、予め決められたx軸方向およびy軸方向のドットピッチだけ正負方向にシフトした位置になる。
このようにして形成される第1着色層Rは、第1着色層中心Crが、表示装置本体6上の第1サブ画素PRの中心と略一致するように補正されている。このため、各第1サブ画素PR上には、それぞれ第1着色層Rが略正確に印刷される。
これに対して、第1着色層Rの外形は、x軸方向およびy軸方向に延びるため、表示装置本体6の変形に基づく回転する第1サブ画素PRの外形とは、ずれている。しかし、第1サブ画素PRおよび第1着色層Rの各辺は微小であるため、個別の第1サブ画素PRの回転ずれ程度では、色ずれ、色むらが発生するおそれはない。
このようにして、すべての第1サブ画素PR、第2サブ画素PG、第3サブ画素PB上に、それぞれ印刷位置が補正された第1着色層R、第2着色層G、第3着色層Bが印刷されると、カラーフィルタ5の印刷が終了する。
このようにして、表示装置本体6が変形した状態でも、図1に示すように、表示装置本体6の変形量を補正した位置に、カラーフィルタ5が形成される。
カラーフィルタ印刷システム20によれば、アライメント部anのアライメント部代表点Anの位置を測定することによって、表示装置本体6の変形量を求め、この変形量を比例配分することによって、各画素Pの設計上の位置からのずれ量に換算する。このため、表示装置本体6と一体的に変形する画素Pの各第1サブ画素PR、第2サブ画素PG、第3サブ画素PBの各中心位置上に、カラーフィルタ5の第1着色層R、第2着色層G、第3着色層Bの各中心が重なるように、印刷位置の補正が行える。
その際、測定点がアライメント部代表点A1、A2、A3、A4の4点であり、各画素Pの位置測定は行わないため、測定が容易である。凸四角形を構成する4点は、表示装置本体6の変形が全体的である場合に平面の二次元的な変形を精度よく測定することができる。これら4点は、設計上、表示装置本体6上での長方形であるため、各辺を、保持面21a上の略x軸方向、略y軸方向に沿わせて配置することで、簡素な換算式によって印刷位置の二次元的な補正を精度よく行うことができる。このため、補正を行うための演算時間も少なくて済む。
この結果、画素Pのパターンが形成された後の表示装置本体6の製造工程、保管環境によって、表示装置本体6が変形しても、画素Pのパターンに対するカラーフィルタ5の位置ずれ誤差を容易かつ効率的に低減することができる。
以上説明したように、カラーフィルタ印刷システム20およびカラーフィルタ印刷システム20を用いた本実施形態のカラーフィルタ印刷方法によれば、カラーフィルタの配置位置を規定する二次元的なパターンが形成された基板が変形しても、二次元的なパターンに対するカラーフィルタの位置ずれ誤差を容易かつ効率的に低減することができる。
[第2の実施形態]
次に、本発明の第2の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例について説明する。
図7は、本発明の第2の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例を示す模式的な平面図である。図8は、本発明の第2の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの構成例を示す模式的な正面図である。図9は、本発明の第2の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。図10は、図8におけるF視図である。
図7、図8に示す本実施形態のカラーフィルタ印刷システム30は、上記第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システム20と同様、表示装置本体6にカラーフィルタ5を印刷して、表示装置10を製造することができる。
ただし、カラーフィルタ印刷システム30は、表示装置本体6におけるカラーフィルタ形成領域fのX軸方向の辺の変形量Δdが、許容変形量Δdに比べて小さいことを利用している。ここでX軸方向の許容変形量Δdは、各サブ画素のX軸方向の長さをdとしたとき、dの0.1%以下である。
カラーフィルタ印刷システム30は、印刷位置の補正の仕方がカラーフィルタ印刷システム20とは異なる。
カラーフィルタ印刷システム30は、上記第1の実施形態のカラーフィルタ印刷システム20の印刷ヘッド23、印刷ヘッド移動部24に代えて、印刷ヘッド33(印刷部)、印刷ヘッド移動部34(相対移動部、第2の移動部)を備え、保持台回転部36(相対移動部、回転移動部)を追加して構成される。さらに、図9に示すように、カラーフィルタ印刷システム30は、上記第1の実施形態における制御ユニット100に代えて、制御ユニット110(代表点測定部、位置補正制御部)を備える。
以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
印刷ヘッド33は、カラーフィルタ5を無版印刷するインクジェットヘッドからなる印刷部である。
印刷ヘッド33は、第1着色層Rを印刷する第1色用印刷ヘッド33aR、33bR、33cRと、第2着色層Gを印刷する第2色用印刷ヘッド33aG、33bG、33cGと、第3着色層Bを印刷する第3色用印刷ヘッド33aB、33bB、33cBとを備える。
以下では、簡単のため、添字a、b、cの区別をする必要がない場合には、添字a、b、cを省略して、単に、第1色用印刷ヘッド33R、第2色用印刷ヘッド33G、第3色用印刷ヘッド33Bと表すことがある。
図10に示すように、第1色用印刷ヘッド33aR、33bR、33cRは、それぞれ同様な構成を有する単位ヘッドであり、印刷ヘッド33においてx軸方向に沿って直列に配置されている。
各第1色用印刷ヘッド33Rは、長手方向に沿って、赤色のインクを吐出するk個(ただし、kは、2以上の整数)のインクノズルNRがピッチΔNでx軸方向に配列されている。各インクノズルNRの構成および駆動方式は、上記実施形態の第1インクノズル23Rと同様、周知のインクジェットノズルのいずれの構成および駆動方式が用いられてもよい。
ピッチΔNは、インク吐出によって形成するドットのピッチよりも大きい適宜値に設定されている。例えば、ピッチΔNは、ΔXの整数倍に設定されてもよい。この場合、x軸方向に並ぶ複数の第1着色層Rを同時並行して印刷することができるため、効率的な印刷が可能になる。
本実施形態では、直列に配置された第1色用印刷ヘッド33aR、33bR、33cRにおいては、すべての隣り合うインクノズルNRのピッチがΔNになっている。このため、第1色用印刷ヘッド33aR、33bR、33cRは全体として、単位ヘッドの3倍の長さの範囲に、3k個のインクノズルNRを備えるライン状インクジェットヘッドになっている。例えば、ΔN=ΔXであれば、第1色用印刷ヘッド33aR、33bR、33cRによって、最大3k個の第1着色層Rを同時並行的に印刷することができる。
各第2色用印刷ヘッド33G、および各第3色用印刷ヘッド33Bは、吐出するインクの種類が異なるのみで、第1色用印刷ヘッド33Rと同様に構成される。各第2色用印刷ヘッド33G、および各第3色用印刷ヘッド33Bは、インクノズルNRに代えて、それぞれ同様な構成のインクノズルNG、NBを備える。
各第2色用印刷ヘッド33G、および各第3色用印刷ヘッド33Bのノズル配列方向は、いずれもx軸方向である。
第1色用印刷ヘッド33aR、33bR、33cR、第2色用印刷ヘッド33aG、33bG、33cG、および第3色用印刷ヘッド33aB、33bB、33cBは、この順にy軸方向に隣り合うように配列されている。
各インクノズルNRと、各インクノズルNGとは、x軸方向において、δだけずれている。本実施形態では、δは、第1着色層Rと第2着色層Gとの配列ピッチに等しい。
各インクノズルNRと、各インクノズルNBとは、y軸方向において互いに対向する位置に配置されている。
このように、本実施形態の印刷ヘッド33は、第1着色層R、第2着色層G、第3着色層Bを、最大3k個ずつ同時並行的に印刷できるため、効率的に印刷できる。しかし、各インクノズルNR、NG、NBのx軸方向におけるノズルピッチΔNは一定であるため、各着色層のx軸方向の印刷ピッチは変更できない。
印刷ヘッド33は、保持台21の移動経路の上方を横断するように配置された印刷ヘッド移動部34によって、第2の方向d2に沿って移動可能に支持されている。
印刷ヘッド移動部34は、後述する制御ユニット110(図9参照)からの制御信号に基づいて、印刷ヘッド33を第2の方向d2に移動する装置部分である。例えば、印刷ヘッド移動部24は1軸ステージで構成されてもよい。
印刷ヘッド移動部34は、後述する制御ユニット110からの制御信号に基づいて、印刷ヘッド33におる印刷を行いながらx軸方向に短い距離の往復移動を繰り返す印刷時移動と、印刷を停止してx軸方向における印刷開始位置を変更する印刷開始位置変更移動とを行う。
印刷時移動は、各インクノズルNR(NG、NB)を、第1着色層中心Cr(Cg、Cb)を中心として各第1着色層R(各第2着色層G、各第3着色層B)の印刷領域に移動する際に用いられる。
印刷開始位置変更移動は、印刷時移動を保持台移動部22の移動と組み合わせて、複数列の第1着色層R(第2着色層G、第3着色層B)のブロックを印刷してから、そのブロックの隣に複数列の第1着色層R(第2着色層G、第3着色層B)のブロック印刷する場合に行われる。
印刷ヘッド移動部34は、印刷時移動を行う移動部と、印刷開始位置変更移動を行う移動部とを別々に備えてもよい。各移動部を別々に備える場合、それぞれの移動範囲の大きさに応じて、それぞれ異なる移動機構が採用されてもよい。
例えば、反射型ディスプレイのような画素と画素の間に隔壁を持たない表示装置用のカラーフィルタの場合、カラーフィルタをインクジェット法によって印刷するために必要な印刷画像の画像分解能はx軸方向およびy軸方向とも、20μm以下(1270npi以上。npiは、nozzle per inch)が好ましい。
画像分解能が20μmを超えると、着色部分同士の混色を防ぐため、着色部分の間隔を最低でも20μm以上にする必要があり、未着色面積が大きくなる。未着色面積が大きくなると、カラー化したディスプレイの彩度が低下し、発色性が悪くなるディスプレイとなる。
より、高精細かつ着色部分占有率の高いカラーフィルタを得るためには5μm以下(5080npi以上)が好ましい。
図7、図8に示すように、保持台回転部36は、保持台21を保持面21aの法線回りに回転する回転移動部である。
本実施形態では、保持台回転部36は、保持台移動部22と保持台21との間に配置される回転ステージからなる。
保持台回転部36の回転中心軸Cは、保持面21aの法線に平行に設けられ、xy座標系において(Cx、Cy)に位置する(図7参照)。
保持台回転部36は、後述する制御ユニット110からの制御信号に基づいて、保持台21を回転中心軸C回りに回転する。
カラーフィルタ印刷システム30において、保持台移動部22、印刷ヘッド移動部34、および保持台回転部36は、相対移動部を構成している。このため、本実施形態における相対移動部は回転移動部を含んでいる。
図9に示す制御ユニット110は、図示略の操作部からの操作入力に応じて、カラーフィルタ印刷システム30の動作を制御する。
制御ユニット110の機能構成は、上記第1の実施形態における制御ユニット100の移動制御部102、装置制御部101、および補正移動データ生成部104に代えて、移動制御部112、装置制御部111、および補正移動データ生成部114を備える。
移動制御部112は、保持台移動部22、保持台回転部36、印刷ヘッド移動部34、装置制御部111、および補正移動データ生成部114と通信可能に接続されている。
移動制御部112は、装置制御部111からの制御信号に基づいて、保持台移動部22、保持台回転部36、および印刷ヘッド移動部34の動作を制御する。
移動制御部112は、保持台移動部22に関しては、上記第1の実施形態における移動制御部102と同様の制御を行う。
移動制御部112は、装置制御部111からの制御信号に基づいて、保持台回転部36の回転移動量を制御する。
移動制御部112は、装置制御部111からの制御信号に基づいて、印刷ヘッド移動部34による印刷時移動または印刷開始位置変更移動の動作を制御する。
装置制御部111は、印刷ヘッド33、移動制御部112、画像計測部25、および代表点位置算出部103と通信可能に接続されている。
装置制御部111は、印刷ヘッド33に制御信号を送出して、印刷ヘッド33のインク吐出動作を制御する。本実施形態では、色ごとのインク吐出は、色ごとに同時に吐出する制御を行う。例えば、第1色用印刷ヘッド33aR、33bR、33cRの各インクノズルNRから赤色のインクが同時に吐出される。ただし、x軸方向の印刷幅を変える場合には、端部の適宜数のインクノズルNRからのインク吐出は抑制される。
装置制御部111は、移動制御部112に制御信号を送出して、保持台移動部22および印刷ヘッド移動部34の動作を制御する。
印刷ヘッド移動部34による第2の方向d2における印刷ヘッド33の移動位置と、xy座標系の原点との位置関係は予め較正されている。このため、印刷ヘッド33に固定された各インクノズルNR、NG、NBの移動位置と、xy座標系の原点との位置関係も予め較正されている。
装置制御部111は、移動制御部102に保持台移動部22および印刷ヘッド移動部34を駆動する制御信号を送出することによって、印刷ヘッド33の各インクノズルNR、NG、NBを、印刷ヘッド33を単位として、保持面21aの範囲でxy座標系の座標値に基づいて二次元的に移動させることができる。
装置制御部111は、画像計測部25および代表点位置算出部103に対して、上記第1の実施形態における装置制御部101と同様の制御を行う。
補正移動データ生成部114は、代表点位置算出部103から送出されたアライメント部代表点A1、A2、A3、A4の位置座標から、画素Pのパターンのy軸に対する回転ずれ量を推定し、回転ずれ量に基づいて、代表点の位置座標を補正した回転補正位置座標を算出する。
本実施形態では、画素Pのパターンの回転ずれ量は、y軸に対する辺A1A4の傾きと、y軸に対する辺A2A3の傾きとの平均傾きによって推定される。
回転補正位置座標は、アライメント部代表点A1、A2、A3、A4の各位置座標を、平均傾きが相殺される方向に回転する座標変換を行うことによって算出される。
さらに、補正移動データ生成部114は、回転補正位置座標から画素Pの変形量を推定することによって、印刷ヘッド33の第1の方向d1における補正移動データを生成する。具体的な補正移動データの算出方法については、カラーフィルタ印刷システム20の動作とともに後述する。
上述した制御ユニット110の装置構成は、上記第1の実施形態における制御ユニット100と同様に構成される。
次に、カラーフィルタ印刷システム30の動作について、上記第1の実施形態と異なる点を中心として説明する。
図11(a)、(b)は、本発明の第2の実施形態のカラーフィルタ印刷システムの動作説明図である。
カラーフィルタ印刷システム30によって、表示装置本体6上にカラーフィルタ5を印刷するには、保持台回転部36の回転位置を基準位置に初期化した状態で、図7に示すように、上記第1の実施形態と同様にして、表示装置本体6を配置する。
本実施形態では、後述するように、保持台回転部36による回転ずれ量の補正が行われるため、表示装置本体6における画素Pの列の配列方向は、y軸に対してより大きな角度で傾斜していてもよい。ただし、表示装置本体6におけるカラーフィルタ形成領域fの中心は、保持台回転部36の回転中心に近いことがより好ましい。
表示装置本体6の配置後、図示略の吸着保持機構によって、表示装置本体6が吸着される。
以上で、表示装置本体6の配置が終了する。
カラーフィルタ印刷システム30では、カラーフィルタ印刷システム20と同様、表示装置本体6の形状に関する印刷用データが予め制御ユニット100に記憶されている。
カラーフィルタ印刷システム30では、カラーフィルタ5を第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bをそれぞれ独立または同時並行的に印刷することができる。それぞれの印刷動作は、印刷位置の違いを除いて同様であるため、以下では、第1着色層Rの印刷動作を例にとって説明する。
以下における各位置座標の記述などは、上記第1の実施形態の記載と同様である。
表示装置本体6を配置した後、表示装置本体6の配置位置のずれと、表示装置本体6の変形量と検出するため、上記第1の実施形態と同様にして、アライメント部代表点A1、A2、A3、A4のxy座標系における位置座標の測定が行われる。
本実施形態における代表点の測定は、装置制御部111の制御信号に基づいて、行われる点以外は、上記第1の実施形態と同様である。
代表点位置算出部103によって算出されたアライメント部代表点A1、A2、A3、A4の各位置座標(x1,y1)、(x2,y2)、(x3,y3)、(x4,y4)は、補正移動データ生成部114に送出される。
以上で、代表点の位置測定が終了する。
この後、補正移動データ生成部114では、カラーフィルタ5の印刷位置の補正が行われる。
まず、補正移動データ生成部114は、下記式(18)〜(20)によって、回転ずれ量θを算出する。算出された回転ずれ量θは、移動制御部112に送出される。
Figure 2017161592
上記式(19)、(20)の定義から分かるように、上記式(18)におけるθ、θは、それぞれ、辺A1A4、辺A2A3のy軸に対する傾きを示す角度である(図11(a)参照)。
したがって、回転ずれ量θは、y軸に対する辺A1A4、辺A2A3の傾きの平均傾きになっている。辺A1A4、辺A2A3の間で画素Pの列パターンが漸次一様に傾いているとすると、回転ずれ量θは、辺A1A4、辺A2A3の間の中心軸線Oのy軸に対する傾きを表す。中心軸線Oは、辺A1A2の中点と辺A4A3の中点とを通る直線で定義される。なお、図11(a)において、中心軸線Oが保持台回転部36の回転中心軸Cを通っているのは一例である。表示装置本体6の配置位置によっては、中心軸線Oは、回転中心軸Cから離間する場合がある。
補正移動データ生成部114は、アライメント部代表点Anの位置座標の測定値(xn,yn)(n=1,…,4)から、下記式(21)によって、(xn’,yn’)を計算する。ただし、下記式(21)では、(xn’,yn’)、(xn,yn)は列ベクトルで表記している。
下記式(21)は、アライメント部代表点Anの位置座標の測定値(xn,yn)を、(Cx,Cy)を中心とする−θの回転移動した点An’の位置座標(xn’,yn’)に変換することを意味する。
Figure 2017161592
後述するように、移動制御部112の制御によって、保持台回転部36を−θだけ回転させると、図11(b)に示すように、アライメント部代表点Anは、実際に点An’に移動する。
移動後の辺A1’A4’、辺A2’A3’は、中心軸線Oに関して対称な傾き量を持つようになる。特に、辺A1A4と辺A2A3が平行であった場合には、回転移動後は両辺ともy軸に平行になる。
補正移動データ生成部114は、位置座標(xn’,yn’)を算出した後、点An’(xn’,yn’)を代表点として、凸四角形A1’A2’A3’A4’の内側に位置する画素Pのパターンの第1の方向d1の変形量を推定することによって、印刷位置を補正する。
ただし、カラーフィルタ印刷システム30では、各第1着色層R(第2着色層G、第3着色層B)のx軸方向の画像分解能を変えることができないため、x軸方向の補正は、補正後の位置ずれ量が、x軸方向の中心部において最小になり、辺A1’A4’、辺A2’A3’に向かうにつれて、最大で画像分解能分のずれ量が生じるように行われる。
具体的には、本実施形態では、補正移動データ生成部114は、例えば、第1着色層Ri,jの印刷位置である第1着色層中心Cri,jの位置座標(xri,j,yri,j)を下記式(22)〜(28)のように算出する。
Figure 2017161592
Figure 2017161592
ここで、上記式(22)におけるicは、回転中心のx座標であるCxの位置を列数相当に換算した実数の定数である。
上記式(23)〜(28)は、上記第1の実施形態における式(12)〜(17)においてy1、y2、y3、y4をそれぞれy1’、y2’、y3’、y4’に置き換えた式である。上記式(23)〜(28)は、点An’(xn’,yn’)を代表点とし、表示装置本体6の変形量のy軸方向成分を比例配分したことに相当する。ここで、y1’、y2’、y3’、y4’は、回転ずれ量が補正されているため、y軸方向成分は、表示装置本体6のY軸方向成分と略等しい(等しい場合を含む)。
上記式(22)における定数icは、表示装置本体6の変形量の予想されるX軸方向成分の大きさに応じて、適宜推定することができる。
本実施形態では、表示装置本体6の変形量が大きい場合にも高精度に印刷位置が補正できるように、以下のようにして、定数icを求める。
まず、補正移動データ生成部114は、上記第1の実施形態における式(6)〜(11)において、x1、x2、x3、x4をそれぞれx1’、x2’、x3’、x4’に置き換えた、下記式(29)〜(35)の計算を行う。
Figure 2017161592
これにより、上記式(23)〜(28)の計算結果と合わせて、回転移動後にx軸方向およびy軸方向の補正が行われた第1着色層中心Cri,jの印刷位置の位置座標(xri,j’,yri,j)が算出される。
この後、補正移動データ生成部114は、C(Cx,Cy)から距離が最小となる点(xrim、jm’,yrim、jm)を求め、この点のx座標および列数jmから、下記式(36)によって、定数icを算出する。
Figure 2017161592
補正移動データ生成部114は、同様にして、第2着色層中心Cgi,jの位置座標(xgi,j,ygi,j)および第3着色層中心Cbi,jの位置座標(xbi,j,ybi,j)を算出する。この計算は、上記式(30)、(24)における、設計値Xsr、Ysrを、それぞれ、第2着色層G、第3着色層Bにおける設計値Xsg、Ysg、Xsb、Ysbに変更し、変数の添字rを、g、bに読み換えた計算式によって行われる。
補正移動データ生成部114は、こうして算出された位置座標(xri,j,yri,j)、(xgi,j,ygi,j)、(xbi,j,ybi,j)を移動制御部112に送出する。
以上で、カラーフィルタ5の印刷位置の補正が終了する。
この後、装置制御部111は、移動制御部112に制御信号を送出して、保持台回転部36を回転ずれ量を補正するように回転させる。これにより、保持台21が、回転中心軸Cを中心として、−θだけ回転する。
この後、装置制御部111は、カラーフィルタ5の印刷を行う制御を開始する。
装置制御部111が、印刷ヘッド33および移動制御部112に印刷を開始するための制御信号を送出すると、移動制御部112は、保持台移動部32および印刷ヘッド移動部34の移動量を制御して、各色の印刷位置を中心に、所定の印刷領域内に印刷ヘッド33を移動させる。
装置制御部111は、各インクノズルNR、NG、NBが印刷領域上に達したタイミングで、各インクノズルからインク吐出を開始させる。
このとき、印刷ヘッド移動部34は、印刷時移動を行って、例えば、3k行分の印刷領域内をx軸方向に往復する。これと並行して、保持台移動部22は、y軸方向において、カラーフィルタ形成領域fの全域を横断するように移動する。
このようにして、最大3k行の第1着色層R、第2着色層G、第3着色層Bが同時並行的に印刷される。この印刷が終了したら、装置制御部111は、移動制御部112に制御信号を送出して印刷位置開始位置移動を行わせ、3k+1行目から3k行分の印刷が行えるように、印刷開始位置をx軸方向に移動する。
このような動作を繰り返すことによって、カラーフィルタ形成領域f内にカラーフィルタ5が印刷される。
例えば、このようにして形成される第1着色層Rは、第1着色層中心Crが、表示装置本体6上の第1サブ画素PRの中心と、y軸方向においては略一致するように補正される。x軸方向における第1着色層中心Crと第1サブ画素PRの中心との位置ずれ量は、カラーフィルタ形成領域fにおけるx軸方向の中心部で最小となり、中心軸線Oから遠ざかるにつれて徐々に増大する。
このため、各第1サブ画素PR上には、それぞれ第1着色層Rが少なくともy軸方向において略正確に印刷される。
本実施形態では、表示装置本体6の変形量がX軸方向において許容範囲にとどまる場合に適用されるため、第1着色層Rが第1サブ画素PRからずれても位置ずれによる色むら、色ずれは、許容範囲に収まる。
このようにして、表示装置本体6が変形した状態でも、図1に示すように、表示装置本体6の変形量を補正した位置に、カラーフィルタ5が形成される。
カラーフィルタ印刷システム30によれば、アライメント部a1、a2、a3、a4のアライメント部代表点A1、A2、A3、A4の位置を測定することによって、回転ずれ量を算出し、回転ずれ量を補正した回転補正座標位置に変換した代表点の位置座標から表示装置本体6の変形量を推定する。この変形量は、y軸方向において上記第1の実施形態と同様にして、比例配分されて、印刷位置が補正される。
回転ずれの補正は、保持台回転部36によって機械的に行われる。このため、印刷位置の補正量が、回転ずれを含む場合に比べて小さくてすむため、より高精度な印刷位置の補正が可能になる。
回転ずれの補正は、測定された代表点の位置座標に基づいて自動的に行われるため、操作者は、保持台21への表示装置本体6の配置誤差を抑えるために配置位置を調整する必要がない。このため、表示装置本体6の配置を容易かつ迅速に行うことができる。
一方、x軸方向の変形による位置ずれは、中心軸線Oを中心として、位置ずれ量がほぼ対称に分散される。このため、例えば、x軸方向における印刷位置が辺A1A4側に片寄せされる場合に比べて、各サブ画素と各着色層との位置ずれの最大値を半分程度に抑制することができる。この結果、カラーフィルタ印刷システム30では、x軸方向の位置ずれによる色ずれ、色むらなどの発生を低減することができる。
以上説明したように、カラーフィルタ印刷システム30およびカラーフィルタ印刷システム30を用いた本実施形態のカラーフィルタ印刷方法によれば、カラーフィルタの配置位置を規定する二次元的なパターンが形成された基板が変形しても、二次元的なパターンに対するカラーフィルタの位置ずれ誤差を容易かつ効率的に低減することができる。
なお、上記各実施形態の説明では、代表点として、十字形のアライメント部の交差中心を用いた例で説明した。しかし、代表点は、アライメント部の形状に関係して測定できる点であれば、どのような点でもよい。例えば、代表点は、アライメント部上、アライメント部の外縁、およびアライメント部の外側に位置していてもよい。
アライメント部は、代表点の位置が測定できれば、形状の制限はなく、十字形には限定されない。
上記各実施形態の説明では、代表点がカラーフィルタ形成領域fの外側に形成されている場合の例で説明したが、複数の画素Pを含む凸多角形を構成できれば、代表点として、カラーフィルタ形成領域fの内側の点が用いられてもよい。
上記各実施形態の説明では、代表点をアライメント部の形状測定によって測定する場合の例で説明した。しかし、代表点は、画素Pのパターンに関連づけられているアライメント部以外の形状から測定されてもよい。例えば、代表点は、サブ画素などの画素Pのパターンの一部の形状に関連づけられていてもよい。あるいは、代表点は、画素Pと同様にして形成する画素P以外の電極や配線のパターンから測定されてもよい。
上記各実施形態の説明では、代表点を光学的に測定する場合の例で説明した。しかし、代表点の測定手段は光学測定には限定されない。例えば、位置測定器による接触測定、電磁的な測定などで測定されてもよい。
上記各実施形態の説明では、アライメント部が4箇所の設けられた場合の例で説明した。しかし、アライメント部は、画素Pのパターンの二次元的な変形を測定できれば、4箇所には限定されない。例えば、3箇所でもよいし、5箇所以上でもよい。
アライメント部が5箇所以上の場合、各アライメント部の位置を平均処理等するなどして、4つの代表点をより精度よく測定するために利用してもよい。また、アライメント部が5箇所以上の場合、各アライメント部から、それぞれ代表点を測定して、5以上の代表点の位置から変形のむらなどを含む二次元的な変形量が推定されてもよい。
上記各実施形態の説明では、相対移動部は、保持台を第1の方向d1に移動し、印刷部を第2の方向d2に移動する場合の例で説明したが、保持台と印刷部とを二次元的に相対移動できれば、この組み合わせには限定されない。例えば、相対移動部は、保持台および印刷部の一方を二次元移動し、保持台および印刷部の他方の位置は固定されていてもよい。あるいは、相対移動部は、保持台および印刷部の両方が二次元移動する構成でもよい。
上記第2の実施形態の説明では、印刷ヘッド33のインクノズル数が第2の方向d2のサブ画素の数よりも少ないため、印刷ヘッド33を表示装置本体6に対して、第2の方向d2に相対移動していた。しかし、印刷部が、第2の方向d2の全サブ画素を同時に印刷できる構成であれば、印刷部は、第2の方向d2には相対移動しない構成であってもよい。
上記第2の実施形態の説明では、回転ずれ量を求めるため、4つの代表点から2辺の傾きを求めて、それらの平均傾きを算出する例で説明した。しかし、回転ずれ量の推定方法は、これには限定されない。
例えば、代表点の数を増やすことによって、3箇所以上の位置で、3以上の線分の傾きを算出できるようにしておき、それら3以上の線分の傾きの平均値あるいは重み付け平均値などによって、平均傾きが算出されてもよい。
上記第2の実施形態の説明では、回転中心位置に最も近い着色層の位置を推定して、これを基準として、上記式(22)に基づいてxri,j等を求める場合の例で説明した。
しかし、xri,j等の求め方はこれには限定されない。以下、xri,j等の求め方の変形例に関して、上記第2の実施形態と同様、xri,jの場合の例で説明する。
例えば、凸四角形A1A2A3A4が−θmだけ回転されると、凸四角形A1’A2’A3’A4’は、y軸に関して略線対称(線対称の場合を含む)になる。これにより、表示装置本体6のX軸方向がx軸方向と略一致する(一致する場合を含む)。
したがって、表示装置本体6におけるX軸方向の変形が、許容変形量に比べて小さい場合、下記式(37)によって、凸四角形A1’A2’A3’A4’のx軸方向の中心の位置座標xmが精度よく推定できる。
Figure 2017161592
xri,jは、このxmを用いて、下記式(38)、(39)を用いて算出できる。
Figure 2017161592
ここで、imidは、設計上、Lの中点のX座標を与える列数に相当する実数値である。X軸方向の変形の対称性を仮定すれば、imidは、設計値のみによって表される。
このようにしてxri,jを算出する場合、上記第2の実施形態のように、上記式(29)に基づいてxri,j’の計算を行う必要がないため、より迅速な印刷位置の補正が可能になる。
上記式(38)によれば、カラーフィルタ形成領域fの中心が保持台回転部36の中心位置からずれて配置されても、凸四角形A1’A2’A3’A4’のx軸方向の中心におけるサブ画素と着色層とのずれ量が最小となるように、着色層が形成される。このため、サブ画素と着色層の位置ずれが、行方向の中心に関して略対称に分布するため、微小な色ずれが生じても、偏り少なくなるため色ずれが目立たなくなる。
上記各実施形態の説明では、カラーフィルタが、第1着色層R、第2着色層G、および第3着色層Bの三色からなる三種類の着色層を有する場合の例で説明した。しかし、カラーフィルタの着色層の種類はこれらには限定されない。
例えば、着色層の種類は、一種類または二種類でもよいし、四種類以上でもよい。着色層は、黒色、透明を含んでもよい。
さらに、各画素フィルタにおける各着色層の配置位置は、上述の配置には限定されない。
上記第2の実施形態の説明では、印刷ヘッド33を用いるため、x軸方向の印刷位置の補正は、印刷ピッチを変えない補正であるとして説明した。しかし、上記第2の実施形態において、印刷ヘッド33に代えて、印刷ヘッド23が用いられてもよい。この場合、上記第2の実施形態と同様に、保持台21の回転ずれ量を補正した後、第1の実施形態と同様にして、印刷位置が補正されてもよい。
上記第2の実施形態の説明では、印刷ヘッド33において、第1着色層R、第2着色層G、第3着色層Bを同時並行的に印刷するため、y軸方向にインクノズルNR、NG、NBが並行して配置された場合の例で説明した。
しかし、印刷ヘッドのインクノズルの配置は、これには限定されない。例えば、印刷ヘッド33において、x軸方向には、例えば、第1色用印刷ヘッド33aR、第2色用印刷ヘッド33aG、第3色用印刷ヘッド33aBのように、色が異なるヘッドが配列され、y軸方向には、例えば、第1色用印刷ヘッド33aR、33bR、33cRのように同色のヘッドが隣り合うように配列されてもよい。
この場合、y軸方向には、例えば、3つのインクノズルNR等の同色のインクノズルが並列することになるので、各それぞれのヘッドのx軸方向の配置位置を、例えば、ΔN/3だけずらしてもよい。このようなノズル配置とすると、印刷ヘッド移動部34によって、x軸方向の印刷時移動を行うことなく、第1色用印刷ヘッド33aR等の幅の範囲で、印刷画像の画像分解能を3倍にした印刷が行える。このため、高精細な画像分解能を有するカラーフィルタ5を迅速に印刷することができる。
現在のピエゾ方式のインクジェットヘッドの解像度は300npi程度であるが、このようなノズル配列によれば、900npiの解像度が可能である。さらに、第1色用印刷ヘッド33aR等を、y軸方向において4列以上配列すれば、1200npi以上の解像度が可能である。
上記第1の実施形態では、各色の着色層を形成するインクノズルが、1つずつ設けられた場合の例で説明した。しかし、色ごとに独立のタイミングで、インク吐出が可能な複数のインクノズルを備える構成が用いられてもよい。この場合、各インクノズルが印刷すべき位置に到達したタイミングそれぞれ独立にインク吐出が行われることで、より効率的に印刷を行うことが可能になる。
以下に、上記第1の実施形態の実施例について比較例とともに説明する。
[実施例]
表示装置10を形成するため、インク定着層である受像層4を除く表示装置本体6が作製された。
表示層3における電極回路の各画素Pの配列ピッチの設計値は、ΔX=200(μm)、ΔY=200(μm)とされた。表示層3の画素数は、I=400、J=600とされた。したがって、カラーフィルタ形成領域fの大きさは、約80mm×120mmであった。カラーフィルタ形成領域fよりも外周部には、x軸方向に約5mm、y軸方向に約5mmの非表示部である余白領域が形成されており、この余白領域に、アライメント部a1、a2、a3、a4が形成された。
アライメント部a1、a2、a3、a4は、L=85(mm)、L=125(mm)、Xsr=2.45(mm)、Ysr=2.55(mm)として、アライメント部代表点A1、A2、A3、A4の設計位置が上記式(1)〜(4)を満足するように形成された。
なお、Xsg=2.55(mm)、Ysg=2.55(mm)、Xsb=2.45(mm)、Ysg=2.45(mm)とされた。
表示装置10の動作安定化を目的として、表示装置本体6に含まれる水分量を調整するため、表示装置本体6は、70℃、40%RHの環境で15時間静置された。
この後、表示層3上に、受像層4が形成された。受像層4の材料としては、ウレタン系樹脂、トルエン、水、IPAの混合材料が用いられた。この混合材料は、ダイコーターにて乾燥厚さ6μm〜8μmとなるよう表示層3上に塗布された。
受像層4を乾燥させるために、受像層4塗布後の表示装置本体6はホットプレートで70℃、10分加熱された。
この後、カラーフィルタ印刷システム20を用いて上記第1の実施形態のカラーフィルタ印刷方法によって、カラーフィルタ5を形成した。
まず、アライメント部a1、a2、a3、a4の画像から、アライメント部代表点A1、A2、A3、A4の位置座標が測定された。
A1(x1,y1)を原点(0,0)として、xy座標系で表すと、下記の通り測定された。長さの単位は、mmである。
(x1,y1)=(0,0)
(x2,y2)=(84.851、0.021)
(x3,y3)=(84.868、124.799)
(x4,y4)=(−0.013、124.824)
これらの測定値から分かるように、表示装置本体6は、全体として、200μm程度縮んでいた。
この後、カラーフィルタ印刷システム20によって、表示装置本体6の受像層4上に、各第1着色層R、各第2着色層G、各第3着色層Bが印刷された。各第1着色層Rは、上記式(6)〜(17)で算出された第1着色層中心Cr(xri,j,yri,j)を中心とする印刷領域に印刷された。同様に、各第2着色層G、各第3着色層Bは、第2着色層中心Cg(xgi,j,ygi,j)、第3着色層中心Cb(xbi,j,ybi,j)を中心とする印刷領域にそれぞれ印刷された。
カラーフィルタ5の印刷終了後、表示装置10は、気圧30Pa環境下にて真空乾燥された。
このようにして得られた表示装置10によって、画像表示を行ったところ、発色性がよく、面内平均のNTSC比は8%以上であった。
[比較例]
上記実施例と同様にして作製された受像層4を含む表示装置本体6に対して、アライメント部代表点A1を原点とし、アライメント部代表点A2がy軸上に位置するように、表示装置本体6を保持台21上に配置した。そして、カラーフィルタ印刷システム20を用いて、印刷位置の補正を行うことなく、上記式(5)の設計上の印刷位置に、カラーフィルタを印刷することにより、比較例の表示装置を得た。
比較例の表示装置によって、画像表示を行ったところ、上記実施例の表示装置10に比べて発色性が悪く、面内平均のNTSC比は2%程度であった。
以上、本発明の好ましい各実施形態を実施例とともに説明したが、本発明はこれら実施形態および実施例に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。
また、本発明は前述した説明によって限定されることはなく、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。
3 表示層
5 カラーフィルタ
6 表示装置本体(基板)
10 表示装置
20、30 カラーフィルタ印刷システム
21 保持台
21a 保持面
22、32 保持台移動部(相対移動部、第1の移動部)
23、33 印刷ヘッド(印刷部)
24、34 印刷ヘッド移動部(相対移動部、第2の移動部)
25 画像計測部(代表点位置測定部)
36 保持台回転部(相対移動部、回転移動部)
100、110 制御ユニット(代表点測定部、位置補正制御部)
101、111 装置制御部
102、112 移動制御部
103 代表点位置算出部(代表点位置測定部)
104、114 補正移動データ生成部
a1、a2、a3、a4、an アライメント部
A1、A2、A3、A4、An アライメント部代表点
R、Ri,j 第1着色層
G、Gi,j 第2着色層
B、Bi,j 第3着色層
C 回転中心軸
Cr、Cri,j 第1着色層中心
Cg、Cgi,j 第2着色層中心
Cb、Cbi,j 第3着色層中心
d1 第1の方向
d2 第2の方向
f カラーフィルタ形成領域
NR、NG、NB インクノズル
O 中心軸線
P、Pi,j,1,1、PI,1、PI,J、PI,J 画素
PR、PRi,j 第1サブ画素
PG、PGi,j 第2サブ画素
PB、PBi,j 第3サブ画素
PW、PWi,j 第4サブ画素
θ 回転ずれ量

Claims (10)

  1. カラーフィルタの配置位置を規定する二次元的なパターンが形成された基板上に無版印刷によってカラーフィルタを形成するカラーフィルタ印刷システムであって、
    前記基板を保持面上に保持する保持台と、
    前記カラーフィルタを無版印刷する印刷部と、
    前記印刷部を前記保持台に対して、少なくとも前記保持面に平行な第1の方向に相対移動可能に保持する相対移動部と、
    前記基板における前記パターンの変形量を検出するため、前記パターンに関連づけられた前記基板における複数の代表点の位置を測定する代表点位置測定部と、
    前記代表点の測定された位置座標から前記パターンの変形量を推定することによって、前記印刷部による前記カラーフィルタの印刷位置を補正し、補正された前記印刷位置に基づいて前記カラーフィルタを印刷するように前記相対移動部の移動量を制御する位置補正制御部と、
    を備える、カラーフィルタ印刷システム。
  2. 前記代表点位置測定部は、
    前記パターンの少なくとも一部を内部に含む凸多角形の各頂点位置を示す少なくとも4箇所のアライメント部の代表点の位置を測定し、
    前記位置補正制御部は、
    前記アライメント部の代表点の測定された位置座標に基づいて算出される前記アライメント部の位置での変形量を比例配分することによって前記パターンの変形量を推定する、
    請求項1に記載のカラーフィルタ印刷システム。
  3. 前記相対移動部は、
    前記印刷部および前記保持台を、前記第1の方向に相対移動する第1の移動部と、
    前記保持台を前記保持面の法線回りに回転する回転移動部と、
    を備え、
    前記位置補正制御部は、
    前記代表点の位置座標から、前記パターンの前記第1の方向に延びる軸線に対する回転ずれ量を推定し、前記回転ずれ量に基づいて前記代表点の位置座標を補正した回転補正位置座標を算出し、
    前記回転ずれ量に基づいて前記回転移動部を制御することによって、前記保持台の位置における前記回転ずれ量の補正を行い、
    前記回転補正位置座標から前記パターンの変形量を推定することによって、少なくとも前記第1の方向における前記カラーフィルタの印刷位置を補正する、
    請求項1または2に記載のカラーフィルタ印刷システム。
  4. 前記代表点位置測定部は、
    前記第1の方向および前記第1の方向に直交する第2の方向において、それぞれ互いに離間した少なくとも4つの代表点の位置を測定し、
    前記位置補正制御部は、
    測定された前記代表点の位置から、前記第1の方向に延びる軸線に対する前記パターンの平均傾きを算出し、
    算出された前記パターンの平均傾きを前記回転ずれ量に換算する、
    請求項3に記載のカラーフィルタ印刷システム。
  5. 前記印刷部は、
    前記カラーフィルタを形成するインクを吐出するインクジェットヘッドを備える、
    請求項1〜4のいずれか1項に記載のカラーフィルタ印刷システム。
  6. カラーフィルタの配置位置を規定する二次元的なパターンが形成された基板上に無版印刷によってカラーフィルタを形成するカラーフィルタ印刷方法であって、
    保持台の保持面上に前記基板を配置することと、
    前記保持台上に配置された前記基板における前記パターンの変形を検出するため、前記パターンに関連づけられた前記基板における複数の代表点の位置を測定することと、
    前記代表点の測定された位置座標から前記パターンの変形量を推定することによって、前記カラーフィルタの印刷位置の補正を行うことと、
    補正された前記印刷位置に前記カラーフィルタを形成するため、前記カラーフィルタを無版印刷する印刷部を、前記保持台に対して少なくとも前記保持面に平行な第1の方向に相対移動することと、
    前記印刷部を用いて、前記補正された前記印刷位置に前記カラーフィルタを印刷することと、
    を含む、カラーフィルタ印刷方法。
  7. 前記代表点の位置を測定することは、
    前記パターンの少なくとも一部を内部に含む凸多角形の各頂点位置を示す少なくとも4箇所のアライメント部の代表点の位置を測定すること、
    を含み、
    前記印刷位置の補正を行うことは、
    前記アライメント部の代表点の測定された位置座標に基づいて算出される前記アライメント部の位置での変形量を比例配分することによって前記パターンの変形量を推定することと、
    を含む、請求項6に記載のカラーフィルタ印刷方法。
  8. 前記印刷部を前記保持台に対して相対移動することは、
    前記印刷部および前記保持台を、前記第1の方向に相対移動する第1の移動と、
    前記保持台を前記保持面の法線回りに回転する回転移動と、
    を含み、
    前記印刷位置の補正を行うことは、
    前記代表点の位置座標から、前記パターンの前記第1の方向に延びる軸線に対する回転ずれ量を推定し、前記回転ずれ量に基づいて前記代表点の位置座標を補正した回転補正位置座標を算出し、
    前記回転ずれ量に基づいて前記保持台を前記保持面の法線回りに回転することによって、前記保持台における前記回転ずれ量の補正を行うことと、
    前記回転補正位置座標から前記パターンの変形量を推定することによって、少なくとも前記第1の方向における前記カラーフィルタの印刷位置を補正することと、
    を含む、
    請求項6または7に記載のカラーフィルタ印刷方法。
  9. 前記代表点の位置を測定することは、
    前記第1の方向および前記第1の方向に直交する第2の方向において、それぞれ互いに離間した少なくとも4つの代表点の位置を測定すること、
    を含み、
    前記パターンの位置ずれ量を算出することは、
    測定された前記代表点の位置から、前記第1の方向に延びる軸線に対する前記パターンの平均傾きを算出することと、
    算出された前記パターンの平均傾きを前記回転ずれ量に換算することと、
    を含む
    請求項8に記載のカラーフィルタ印刷方法。
  10. 前記カラーフィルタを印刷することは、
    前記カラーフィルタを形成するインクをインクジェットヘッドから吐出すること、
    を含む、
    請求項6〜9のいずれか1項に記載のカラーフィルタ印刷方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020222521A1 (ko) * 2019-04-30 2020-11-05 주식회사 프로텍 3차원 스캐너를 이용한 점성 용액 디스펜싱 장치

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI670533B (zh) * 2019-01-07 2019-09-01 茂林光學股份有限公司 導光板之對位校正應用方法及導光板之對位校正系統
CN112078262B (zh) * 2020-08-27 2022-04-08 金邦达有限公司 丝网印刷品的制作方法及智能卡制作方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2379413A (en) * 2001-09-10 2003-03-12 Seiko Epson Corp Printhead alignment method
JP2010017683A (ja) * 2008-07-14 2010-01-28 Shibaura Mechatronics Corp 液滴塗布装置及び液滴塗布方法
JP5246945B2 (ja) * 2009-03-05 2013-07-24 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料の塗布方法および塗布装置
JP5873712B2 (ja) * 2011-12-27 2016-03-01 東レエンジニアリング株式会社 塗布装置
JP5869927B2 (ja) * 2012-03-16 2016-02-24 東レエンジニアリング株式会社 塗布装置および塗布方法
JP5626278B2 (ja) * 2012-07-13 2014-11-19 株式会社村田製作所 基板へのインク塗布方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020222521A1 (ko) * 2019-04-30 2020-11-05 주식회사 프로텍 3차원 스캐너를 이용한 점성 용액 디스펜싱 장치

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