JP2017135149A - 配線構造およびスパッタリングターゲット - Google Patents
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Abstract
Description
また特許文献2には0.28〜23原子%の範囲のY、Sc、La、Ce、Nd、Sm、Gd、Tb、Dy、Er、Th、Sr、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mn、Re、Co、Ir、Pt、Cu、SiおよびBから選ばれる少なくとも1種の第1の元素と、前記第1の元素量に対して、1.8原子ppm〜3000原子ppmの範囲のC、10原子ppm〜1500原子ppmの範囲のO、19原子ppm〜3000原子ppmの範囲のN、および50原子ppm〜3.9原子%の範囲のHから選ばれる少なくとも1種の第2の元素とを含み、残部が実質的にAlからなることを特徴とする配線膜が開示されている。
特許文献3には、基板上に配線膜または反射膜に用いられるAl合金膜を有し、前記Al合金膜は、Taおよび/またはTi:0.01〜0.5原子%と、希土類元素:0.05〜2.0原子%と、を含有することを特徴とするAl合金膜が開示されている。
また、特許文献3には塩水耐性に優れたAl−Ta−希土類合金やAl−Ti−希土類合金について示されているものの、ITOや層間絶縁膜が積層された場合を前提としたピンホールやクラックの発生を主として想定している。
[1] Al−Ta合金薄膜の表面及び側面の少なくともいずれか一方の面にAl−Ta酸化膜が形成された配線構造であって、
前記Al−Ta合金薄膜のTa添加量が0.3〜3.0原子%かつCu含有量が0.03原子%以下であり、
前記Al−Ta酸化膜の膜厚が3〜10nmであり、かつ、
前記Al−Ta酸化膜中のTaの原子%濃度がAl−Ta合金薄膜中のTaの原子%濃度より低いことを特徴とする配線構造。
[2] 前記Al−Ta合金薄膜が希土類元素を0.05〜3.0原子%含有することを特徴とする前記[1]に記載の配線構造。
[3] 前記Al−Ta酸化膜の表面に、カルボキシル基及びアミノ基の少なくとも一方の官能基を有する有機化合物が1分子層以上存在することを特徴とする前記[1]又は[2]に記載の配線構造。
[4] 前記有機化合物がアミノ酸であることを特徴とする前記[3]に記載の配線構造。
[5] 配線構造の下地層として、Mo、Mo合金、Ti、Ti合金及びInからなる群より選ばれる少なくとも1種を含有する透明導電膜を、少なくとも1層有する前記[1]〜[4]のいずれか1に記載の配線構造。
[6] 前記[1]〜[5]のいずれか1に記載の配線構造を有する表示装置又は入力装置。
[7] 前記[1]〜[5]のいずれか1に記載の配線構造を有するタッチパネル。
[8] 前記[1]〜[5]のいずれか1に記載の配線構造におけるAl−Ta合金薄膜を成膜するためのスパッタリングターゲット。
本発明に係る配線構造は、Al−Ta合金薄膜の表面及び側面の少なくともいずれか一方の面にAl−Ta酸化膜が形成され、前記Al−Ta合金薄膜のTa添加量が0.3〜3.0原子%かつCu含有量が0.03原子%以下であり、前記Al−Ta酸化膜の膜厚が3〜10nmであり、かつ、前記Al−Ta酸化膜中のTaの原子%濃度がAl−Ta合金薄膜中のTaの原子%濃度より低いことを特徴とする。
また、該Al−Ta合金薄膜はスパッタリングにより成膜されることが一般的であるが、該スパッタリングに用いられるスパッタリングターゲットの製造性の観点から3.0原子%以下が好ましく、2.0原子%以下がより好ましい。
具体的には、Al−Ta酸化膜におけるTaの原子%濃度は、Al−Ta合金薄膜におけるTaの原子%濃度よりも30%以上低いことが好ましく、50%以上低いことがより好ましい。すなわち、例えばAl−Ta合金薄膜におけるTaの原子%濃度が1原子%であった場合には、Al−Ta酸化膜におけるTaの原子%濃度0.7原子%以下が好ましく、0.5原子%以下がより好ましい。
希土類元素の含有量は、0.05原子%以上が好ましく、0.1原子%以上がより好ましい。また、上限はスパッタリングターゲットの製造性の点から3.0原子%以下とすることが好ましく、2.0原子%以下がより好ましい。
希土類元素としては、スカンジウムSc、イットリウムY、ランタノイド元素が好ましく、中でもNd、La、Gdがより好ましい。希土類元素は単独で使用しても2種以上を併用してもよい。
不可避不純物としては、Fe、Si、B等が例示される。不可避不純物の含有量は合計で0.1原子%以下が好ましい。
Al−Ta合金薄膜の組成はICP発光分光法により同定することができる。
アミノ基を有する有機化合物が存在すると、酸性及び中性領域においてアミノ基がNH3 +にイオン化して塩化物イオンと結合することから、より塩化物イオン耐性を高めることができる。
また、カルボキシル基を有する有機化合物が存在すると、中性及びアルカリ性領域においてカルボキシル基がCOO−にイオン化してAl−Ta合金薄膜表面近傍の電気的中性を維持するために、該表面近傍の塩化物イオン濃度が低下し、塩化物イオン耐性をより高めることができる。
これら有機化合物は単分子層(1分子層)があればよく、2分子以上の層があってもよい。
また、表面にアミノ基とカルボキシル基の両方を有する有機化合物でもよく、例えば、アミノ酸等が挙げられる。
有機化合物はアミノ酸程度の比較的分子サイズの小さいものの方がより好ましい。また、2以上の有機化合物同士が結合した形態であってもよい。
すなわち、塩化物イオンとAlの反応では、水素イオンの発生により膜表面の近傍が酸性になることが知られているが、アミノ酸が存在することで、中性環境下でCOO−にイオン化しているカルボキシル基に水素イオンが結合することで、膜表面近傍のpH変化を緩和することができる。
不可避不純物としては、Fe、Si、B等が例示される。不可避不純物の含有量は合計で0.1原子%以下が好ましい。
Al−Ta酸化膜の組成はICP発光分光法により同定することができる。
下地層は、Mo、Mo合金、Ti、Ti合金及びInからなる群より選ばれる少なくとも1種を含有する透明導電膜であることが好ましく、該透明導電膜を少なくとも1層有することが好ましい。
また、下地層がAl−Ta合金薄膜と基板との間に存在しても、Al−Ta合金薄膜が下地層と基板との間に存在してもよく、その順序は任意であるが、基板上に下地層を形成し、その上にAl−Ta合金薄膜を形成することがより好ましい。
本発明に係る配線構造において、Al−Ta合金薄膜及びAl−Ta酸化膜は、スパッタリング法にてスパッタリングターゲットを用いて形成することが好ましい。この他に、蒸着法等で形成してもよい。
スパッタリングターゲットによりAl−Ta合金薄膜を形成する場合、Al−Ta合金薄膜と同じ組成、すなわち、Ta添加量が0.3〜3.0原子%かつCu含有量が0.03原子%以下であり、Al−Ta酸化膜中のTaの原子%濃度よりも高いTa原子%濃度のスパッタリングターゲットを用いることが好ましい。
スパッタリングターゲットによりAl−Ta酸化膜を形成する場合、Al−Ta合金薄膜中のTaの原子%濃度よりも低いTa原子%濃度のスパッタリングターゲットを用いることが好ましい。
スパッタリングターゲットは、溶解鋳造法や粉末焼結法、スプレーフォーミング法で、Al−Ta合金からなるインゴットを製造して得る方法や、Al−Ta合金からなるプリフォーム(最終的な緻密体を得る前の中間体)を製造した後、該プリフォームを緻密化手段により緻密化して得られる方法等が挙げられる。
Al−Ta合金薄膜の膜厚はスパッタリング法においては、スパッタリングの電流値や時間、圧力、ターゲットと基板間の距離等を変更することにより調整することができる。
また、成膜後にUVによる洗浄や、酸素プラズマ等の処理を行ってもよい。
有機化合物の塩としては、例えばナトリウム塩、カルシウム塩等が挙げられ、中でもナトリウム塩が、水への溶解度やpHの点から好ましく用いられる。また、浸漬条件は水溶液中の塩濃度等によって異なるが、例えば1%水溶液の場合、10分〜24時間浸漬することが好ましい。
浸漬後、適宜洗浄と乾燥を行う。
透明導電膜を2層以上形成する場合には、各層の組成のスパッタリングターゲットを用いて、複数回スパッタリングすることにより形成することができる。
本発明に係る配線構造を有する表示装置や入力装置として、該配線構造を備えた薄膜トランジスタ(TFT)、反射膜、有機EL用アノード電極、タッチパネルセンサー等を有する表示装置や入力装置等が挙げられる。
これら装置において、本発明に係る配線構造部分以外の他の構成要件は、本発明の効果を損なわない範囲において、当該技術分野で通常用いられるものを適宜選択して用いることができる。例えばTFT基板に用いられる半導体層としては多結晶シリコンやアモルファスシリコンが挙げられる。TFT基板に用いられる基板も特に限定されず、ガラス基板やシリコン基板等が挙げられる。
その他、反射アノード電極を備えた有機EL表示装置、薄膜トランジスタを備えた表示装置、反射膜を備えた表示装置、ITO膜の上にAl−Ta合金薄膜及びAl−Ta酸化膜を備えたタッチパネル等、様々な装置に適用することができる。
本発明に係る配線構造の耐食性は、塩水滴下試験により評価することができる。
具体的には、1%塩化ナトリウム水溶液をスポイトでサンプルに滴下し、室温環境下で168時間放置し評価を行う。168時間経過後にサンプルを水洗した上で光学顕微鏡にて観察する。腐食面積は小さいほど好ましいが、具体的には、8%以下が好ましく、5%以下がより好ましく、2%以下がさらに好ましい(1%塩水滴下試験)。
また、アミノ酸ナトリウム塩を含有する塩化ナトリウム水溶液で耐食性試験を行うことも有効である。この場合、上記1%塩水滴下試験と比べて、人体に起因する塩分付着時の耐食性を模擬した評価をすることができる。具体的には、1%アミノ酸ナトリウム塩を添加した1%の塩化ナトリウム水溶液を用いる以外は1%塩水滴下試験と同様にして腐食面積を測定する。腐食面積は小さいほど好ましいが、8%以下が好ましく、5%以下がより好ましく、2%以下がさらに好ましい。
無アルカリガラス基板(直径4インチ、板厚0.7mm)上に、DCマグネトロンスパッタリング法により、Al−Ta合金薄膜を成膜した。該Al−Ta合金薄膜のTa添加量は0.3原子%、Cu含有量は0.03原子%、残部はAl及び不可避不純物であった。
成膜にあたっては、成膜前にチャンバー内の雰囲気を一旦、到達真空度:3×10−6Torrに調整してから、Al−Ta合金薄膜と同一の成分組成を有する直径4インチの円盤型スパッタリングターゲットを用い、下記条件でスパッタリングを行った。
(スパッタリング条件)
・Arガス圧:2mTorr
・Arガス流量:30sccm
・スパッタパワー:500W
・基板温度:室温
・成膜温度:室温
・膜厚:300nm
なお、得られたAl−Ta合金薄膜の成分の同定はICP発光分析法により行った。
なお、得られたAl−Ta酸化膜の膜厚は配線断面のTEM観察にて確認した。
Al−Ta合金薄膜の組成又はAl−Ta酸化膜の組成や膜厚を表1に記載のものに変更した以外は実施例1−1と同様にして配線構造を得て、さらに配線パターンを作成した。
なお、比較例1−4については、Al−Ta酸化膜の膜厚を0nmとしたが、Al−Ta合金薄膜の表面に形成された自然酸化被膜をアルカリ溶液(水酸化テトラメチルアンモニウム:TMAH2.38%)に室温で30秒浸漬することで除去したものである。
なお、表中の「Al合金種」における数値は各元素の原子%濃度を表す。
試験は1%の塩化ナトリウム水溶液をスポイトで滴下し、室温環境下で168時間放置し評価を行った。168時間経過後にサンプルを水洗した上で光学顕微鏡にて観察し、腐食面積を測定した。比較例1−4については、アルカリ溶液に浸漬した直後に1%塩水滴下試験を行った。この時のAl−Ta酸化膜の膜厚はTEM観察にて測定を行っていないが、アルカリ溶液への浸漬による自然参加皮膜除去直後に該滴下試験を実施したことから、Al−Ta酸化膜はない(酸化膜厚0nm)ものと判断した。
評価結果を表1に示す。表1中、腐食面積が2%以下のものを◎、2%超5%以下を〇、5%超8%以下を△、8%超を×とした。また、表中「at%」とは「原子%」と同義である。
実施例1−1と同様にして、Ta添加量0.3原子%、Cu含有量0.01原子%、残部がAl及び不可避不純物のAl−Ta合金薄膜(膜厚300nm)を成膜した。
次いで、実施例1−1と同様にしてAl−Ta合金薄膜の表面上にAl−Ta酸化膜の成膜を行った。得られたAl−Ta酸化膜中のTa原子濃度は0.1原子%であり、膜厚は3nmであった。
得られたAl−Ta合金薄膜及びAl−Ta酸化膜からなる配線構造に対し、フォトリソグラフィー及びウェットエッチングによるパターニングを行い、配線幅10μm、配線間隔10μmのストライプ状の配線パターンを作成した。
なお、Al−Ta合金薄膜及びAl−Ta酸化膜の同定及び膜厚の測定は実施例1−1と同様に行った。
上記で得られた配線構造に対し、実施例1−1と同様の耐食性評価(1%塩水滴下試験)を行った。
カルボキシル基及びアミノ基を含む有機化合物であるアミノ酸のナトリウム塩として、L−トリプトファンナトリウムの1%水溶液(実施例2−2)、L−アスパラギンナトリウムの1%水溶液(実施例2−3)、又は、カルボキシル基を含む有機化合物として酒石酸ナトリウムの1%水溶液(実施例2−4)を用いた以外は実施例2−1と同様にして配線構造を各々得て、同様に耐食性評価(1%塩水滴下試験)を行った。
実施例1−1と同様にして、Ta添加量0.3原子%、Cu含有量0.01原子%、残部がAl及び不可避不純物のAl−Ta合金薄膜(膜厚300nm)を成膜した。
次いで、実施例1−1と同様にしてAl−Ta合金薄膜の表面上にAl−Ta酸化膜の成膜を行った。得られたAl−Ta酸化膜中のTa原子濃度は0.1原子%であり、膜厚は3nmであった。
得られたAl−Ta合金薄膜及びAl−Ta酸化膜からなる配線構造に対し、フォトリソグラフィー及びウェットエッチングによるパターニングを行い、配線幅10μm、配線間隔10μmのストライプ状の配線パターンを作成した。
なお、Al−Ta合金薄膜及びAl−Ta酸化膜の同定及び膜厚の測定は実施例1−1と同様に行った。
耐食性評価として、滴下試験溶液を1%の塩化ナトリウム水溶液にL−グリシン酸ナトリウムを1%添加したものに代えて、1%の塩化ナトリウム水溶液にL−トリプトファンナトリウムを1%添加したもの(実施例3−2)、又は、1%の塩化ナトリウム水溶液にL−アスパラギンナトリウムを1%添加したもの(実施例3−3)を用いた以外は実施例3−1と同様にして配線構造を各々得て、耐食性評価を行った。
無アルカリガラス基板(直径4インチ、板厚0.7mm)上に、DCマグネトロンスパッタリング法により下地層として純Mo膜を30nm成膜した。成膜にあたっては、成膜前にチャンバー内の雰囲気を一旦、到達真空度:3×10−6Torrに調整してから、直径4インチの円盤型純Moスパッタリングターゲットを用い、下記条件でスパッタリングを行った。
(スパッタリング条件)
・Arガス圧:2mTorr
・Arガス流量:30sccm
・スパッタパワー:500W
・基板温度:室温
・成膜温度:室温
・膜厚:30nm
なお、Al−Ta合金薄膜及びAl−Ta酸化膜の同定及び膜厚の測定は実施例1−1と同様に行った。
得られた配線構造について、実施例1−1と同様にして耐食性評価(1%塩水滴下試験)を行った。
無アルカリガラス基板(直径4インチ、板厚0.7mm)上に、DCマグネトロンスパッタリング法により下地層として純Mo膜を30nm成膜し、その上にAl−Ta合金薄膜を成膜した以外は実施例1−2(実施例4−2)又は実施例1−3(実施例4−3)と同様にして、Al−Ta合金薄膜及びAl−Ta酸化膜からなる配線構造を得て、さらに、フォトリソグラフィー及びウェットエッチングによるパターニングを行った。
なお、Al−Ta合金薄膜及びAl−Ta酸化膜の同定及び膜厚の測定は実施例1−1と同様に行った。
得られた配線構造について、実施例1−1と同様にして耐食性評価(1%塩水滴下試験)を行った。
下地層を膜厚30nmの純Ti膜(実施例4−4)、膜厚30nmのMo−10原子%Nb合金膜(実施例4−5)又は膜厚30nmのITO膜(実施例4−6)として、それぞれDCマグネトロンスパッタリング法により成膜した以外は実施例4−2と同様にして配線構造を各々得て、耐食性評価を行った。
Claims (8)
- Al−Ta合金薄膜の表面及び側面の少なくともいずれか一方の面にAl−Ta酸化膜が形成された配線構造であって、
前記Al−Ta合金薄膜のTa添加量が0.3〜3.0原子%かつCu含有量が0.03原子%以下であり、
前記Al−Ta酸化膜の膜厚が3〜10nmであり、かつ、
前記Al−Ta酸化膜中のTaの原子%濃度がAl−Ta合金薄膜中のTaの原子%濃度より低いことを特徴とする配線構造。 - 前記Al−Ta合金薄膜が希土類元素を0.05〜3.0原子%含有することを特徴とする請求項1に記載の配線構造。
- 前記Al−Ta酸化膜の表面に、カルボキシル基及びアミノ基の少なくとも一方の官能基を有する有機化合物が1分子層以上存在することを特徴とする請求項1又は2に記載の配線構造。
- 前記有機化合物がアミノ酸であることを特徴とする請求項3に記載の配線構造。
- 配線構造の下地層として、Mo、Mo合金、Ti、Ti合金及びInからなる群より選ばれる少なくとも1種を含有する透明導電膜を、少なくとも1層有する請求項1〜4のいずれか1項に記載の配線構造。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の配線構造を有する表示装置又は入力装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の配線構造を有するタッチパネル。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の配線構造におけるAl−Ta合金薄膜を成膜するためのスパッタリングターゲット。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH08250494A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Ibm Japan Ltd | 配線材料、金属配線層の形成方法 |
JP2012224942A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-11-15 | Kobe Steel Ltd | Al基合金スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
JP2014120486A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-30 | Kobelco Kaken:Kk | 表示装置または入力装置に用いられる電極、および電極形成用スパッタリングターゲット |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5032687B1 (ja) | 1970-10-28 | 1975-10-23 | ||
US5500301A (en) * | 1991-03-07 | 1996-03-19 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | A1 alloy films and melting A1 alloy sputtering targets for depositing A1 alloy films |
JP2917820B2 (ja) | 1994-07-25 | 1999-07-12 | 株式会社神戸製鋼所 | 半導体装置用電極又は配線材料 |
EP0855451A4 (en) * | 1995-10-12 | 1999-10-06 | Toshiba Kk | WIRING FILM, ION BOMBING SPRAYING TARGET FOR FORMING THIS FILM AND ELECTRONIC COMPONENT COMPRISING THIS FILM |
EP1099777A1 (en) * | 1998-06-29 | 2001-05-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Sputter target |
JP4247863B2 (ja) * | 1999-07-12 | 2009-04-02 | ソニー株式会社 | 電子部品用金属材料、電子部品用配線材料、電子部品用電極材料、電子部品、電子機器、金属材料の加工方法及び電子光学部品 |
KR100504062B1 (ko) * | 2000-04-20 | 2005-07-27 | 가부시끼가이샤 도시바 | 스퍼터 타겟, 배리어막 및 전자 부품 |
CN1869277B (zh) * | 2002-08-02 | 2010-09-29 | 出光兴产株式会社 | 溅射靶、烧结体及利用它们制造的导电膜、有机el元件及其所用的衬底 |
JP2005093597A (ja) * | 2003-09-16 | 2005-04-07 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 薄膜キャパシタ及びその製造方法 |
JP2006098856A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Ulvac Japan Ltd | Ag系反射膜およびその作製方法 |
JP4665866B2 (ja) * | 2006-08-18 | 2011-04-06 | 住友金属鉱山株式会社 | バルブ金属複合電極箔の製造方法 |
JP4538490B2 (ja) * | 2007-11-26 | 2010-09-08 | 上村工業株式会社 | アルミニウム又はアルミニウム合金上の金属置換処理液及びこれを用いた表面処理方法 |
US20110008640A1 (en) * | 2008-03-31 | 2011-01-13 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel Ltd.) | Display device, process for producing the display device, and sputtering target |
KR20110107130A (ko) * | 2010-03-24 | 2011-09-30 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
US8883555B2 (en) * | 2010-08-25 | 2014-11-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, manufacturing method of electronic device, and sputtering target |
JP5032687B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-09-26 | 株式会社神戸製鋼所 | Al合金膜、Al合金膜を有する配線構造、およびAl合金膜の製造に用いられるスパッタリングターゲット |
CN102956546A (zh) * | 2011-08-30 | 2013-03-06 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 铜互连结构及其形成方法 |
JP2013118367A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-06-13 | Hitachi Cable Ltd | 薄膜トランジスタ及びその製造方法、並びに薄膜トランジスタを備えた表示装置、スパッタリングターゲット材 |
TWI537400B (zh) * | 2011-12-06 | 2016-06-11 | 神戶製鋼所股份有限公司 | 觸控面板感測器用銅合金配線膜及其之製造方法、以及觸控面板感測器、以及濺鍍靶 |
JP2013147738A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-08-01 | Kobe Steel Ltd | Taを含有する酸化アルミニウム薄膜 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05297389A (ja) * | 1992-04-22 | 1993-11-12 | Kobe Steel Ltd | 液晶ディスプレイの製造方法 |
JPH08250494A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Ibm Japan Ltd | 配線材料、金属配線層の形成方法 |
JP2012224942A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-11-15 | Kobe Steel Ltd | Al基合金スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
JP2014120486A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-30 | Kobelco Kaken:Kk | 表示装置または入力装置に用いられる電極、および電極形成用スパッタリングターゲット |
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