JP2017128133A - 液体噴射ヘッド - Google Patents
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この適用例では、リード電極は、配線基板との接続領域の表面が凹凸面となっていることから、この凹凸面の凹部が非導電性接着剤の圧着時の非導電性接着剤の逃げ溝として機能するので、リード電極と電極部と凸部により確実に電気的に接続されたものとすることができ、ノズルの高密度化を実現できる。さらに、凹凸により簡易にリード電極の凹凸面を形成することができる。その結果、前記リード電極と前記電極部とが確実に電気的に接続されたものとすることができる。
[適用例2] 前記圧力素子は、第1電極、圧電体層及び第2電極を有し、 前記接続領域における前記リード電極の前記配線基板との反対側に設けられた前記凹凸は、少なくとも圧電体層と同一の材質により形成されていてもよい。
この場合、圧電体層と同一の材料により形成されていることで、簡易に凹凸を形成することができ、この凹凸により簡易にリード電極の凹凸面を形成することができる。その結果、前記リード電極と前記電極部とが確実に電気的に接続されたものとするができる。
[適用例3] 本発明の別の適用例に係る液体噴射装置は、上記したいずれかの液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。液体噴射装置はリード電極と電極部とが確実に電気的に接続されてノズルの高密度化を行うことができるので、液体噴射性が高い。
[適用例4] 本発明の別の適用例に係る固定方法は、圧電素子のリード電極と配線基板とを接続領域にて固定する固定方法であって、 前記接続領域において前記リード電極に対する前記配線基板とは反対側に、凹凸を設ける工程と、 前記凹凸により、前記リード電極の前記配線基板側に、凹凸面を形成する工程と、 前記凹凸面の凸部において前記リード電極と前記配線基板とが電気的に接続された状態で、前記接続領域の周囲及び前記凹凸面の凹部の少なくとも一部において、非導電性接着剤により前記リード電極と前記配線基板とを固定する工程と、を備えることを特徴とする。
この適用例では、凹凸により簡易にリード電極の凹凸面を形成することができる。そして、リード電極は、配線基板との接続領域の表面が凹凸面となっていることから、この凹凸面の凹部が非導電性接着剤の圧着時の非導電性接着剤の逃げ溝として機能するので、リード電極と電極部と凸部により確実に電気的に接続されたものとすることができる。
別の本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルに連通する圧力室に圧力を印加する圧力素子と、前記圧電素子を駆動する駆動信号を供給する配線基板と前記圧力素子とに接合されるリード電極とを備え、前記リード電極は、前記配線基板との接続領域の前記配線基板側表面が凹凸面となっており、前記接続領域は、非導電性接着剤によりその周囲及び前記リード電極の前記凹凸面の凹部の少なくとも一部で固定されて、前記非導電性接着剤がない前記リード電極の前記凹凸面の凸部で前記リード電極と前記配線基板とが電気的に接続されていることを特徴とする。本発明では、前記リード電極は、前記配線基板との接続領域の表面が凹凸面となっていることから、この凹凸面の凹部が非導電性接着剤の圧着時の非導電性接着剤の逃げ溝として機能するので、前記リード電極と前記電極部と凸部により確実に電気的に接続されたものとすることができ、ノズルの高密度化を実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′線断面図である。図3はその一部拡大断面図、図4は要部拡大平面図である。
まず、図5(1)に示すように、シリコンウェハーである流路形成基板用ウェハー110の表面に弾性膜50を形成し、その後弾性膜50上に、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜55を形成する。次いで、絶縁体膜55上の全面に第1電極60を例えばスパッタリング法により形成し、イオンミリング等のドライエッチングにより第1電極60をパターニングする。次に、本実施形態では、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)からなる圧電体層70を形成する。圧電体層70は例えば液相法により形成することができる。そして、圧電体層70の上面に第2電極80を形成する。なお、第2電極80は、スパッタリング法やPVD法(物理蒸着法)により形成することができる。
本実施形態では、実施形態1とは突出部の形状が異なる。本実施形態では、図7に示すように、突出部200Aは、リード電極の延設方向とは直交する方向に延設されるライン状である。これらの突出部200Aとリード電極90Aとの交点間に凹部92Aが形成される。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
[適用例1] 液体を噴射するノズルに連通する圧力室に圧力を印加する圧力素子と、前記圧力素子を駆動する駆動信号を供給する配線基板と、前記配線基板が非導電性接着剤により接着される領域と、を備え、前記領域には、前記非導電性接着剤が設けられた凹部を含む凹凸面が形成された層が積層され、積層された前記層には、凹凸が形成された電極と、前記電極の凹凸に沿う凹凸が形成された部材であって前記電極以外の部材とが含まれることを特徴とする液体噴射ヘッド。
[適用例2] 前記電極以外の部材は、圧電体層であることを特徴とする適用例1記載の液体噴射ヘッド。
[適用例3] 前記電極以外の部材は、シリコン単結晶基板であることを特徴とする適用例1記載の液体噴射ヘッド。
[適用例4] 前記電極以外の部材の凹凸は、島状の突出部により設けられることを特徴とする適用例1から適用例3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
[適用例5] 前記電極の部材は、金であることを特徴とする適用例1から適用例4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
これらの適用例によれば、凹凸面の凹部が非導電性接着剤の圧着時の非導電性接着剤の逃げ溝として機能するので、配線基板の固定をより確実に行うことができる。また、電極以外の部材が、圧電体層またはシリコン単結晶基板であれば凹凸を形成しやすい。また、島状の突出部により凹凸の形成が容易になる。さらに、電極の部材が金であれば良好な導電性を得られる。
また、別の本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルに連通する圧力室に圧力を印加する圧力素子と、前記圧電素子を駆動する駆動信号を供給する配線基板と前記圧力素子とに接合されるリード電極とを備え、前記リード電極は、前記配線基板との接続領域の前記配線基板側表面が凹凸面となっており、前記接続領域は、非導電性接着剤によりその周囲及び前記リード電極の前記凹凸面の凹部の少なくとも一部で固定されて、前記非導電性接着剤がない前記リード電極の前記凹凸面の凸部で前記リード電極と前記配線基板とが電気的に接続されていることを特徴とする。本発明では、前記リード電極は、前記配線基板との接続領域の表面が凹凸面となっていることから、この凹凸面の凹部が非導電性接着剤の圧着時の非導電性接着剤の逃げ溝として機能するので、前記リード電極と前記電極部と凸部により確実に電気的に接続されたものとすることができ、ノズルの高密度化を実現できる。
Claims (4)
- 液体を噴射するノズルに連通する圧力室に圧力を印加する圧力素子と、
前記圧力素子を駆動する駆動信号を供給する配線基板と前記圧力素子とに接合されるリード電極とを備え、
前記リード電極は、前記配線基板との接続領域の前記配線基板側表面が凹凸面となっており、
前記接続領域は、非導電性接着剤によりその周囲及び前記リード電極の前記凹凸面の凹部の少なくとも一部で固定されて、前記非導電性接着剤がない前記リード電極の前記凹凸面の凸部で前記リード電極と前記配線基板とが電気的に接続されており、
前記接続領域における前記リード電極の前記配線基板との反対側には、凹凸が設けられ、
該凹凸により前記リード電極の前記凹凸面が形成されている
いることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧力素子は、第1電極、圧電体層及び第2電極を有し、
前記接続領域における前記リード電極の前記配線基板との反対側に設けられた前記凹凸は、少なくとも圧電体層と同一の材質により形成されていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。 - 請求項1から2のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
- 圧電素子のリード電極と配線基板とを接続領域にて固定する固定方法であって、
前記接続領域において前記リード電極に対する前記配線基板とは反対側に、凹凸を設ける工程と、
前記凹凸により、前記リード電極の前記配線基板側に、凹凸面を形成する工程と、
前記凹凸面の凸部において前記リード電極と前記配線基板とが電気的に接続された状態で、前記接続領域の周囲及び前記凹凸面の凹部の少なくとも一部において、非導電性接着剤により前記リード電極と前記配線基板とを固定する工程と、
を備える固定方法。
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