JP2017108063A - 基板搬入方法、基板処理装置及び基板保持方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】重ねるように配置された2枚の基板のそれぞれの位置を正確に特定することができる基板搬入方法を提供する。
【解決手段】下方ウエハWは、各ウエハWの重畳方向に沿って上方から眺めたときに上方ウエハWの縁部から突出する突出縁部を有し、下方ウエハWが移動する際、突出縁部の2箇所を検出するように、2つの縁部検出センサ28cが、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において下方ウエハWの突出縁部が通過する領域に配置され、さらに、上方ウエハWが移動する際、上方ウエハWの縁部の2箇所を検出するように、2つの縁部検出センサ28dが、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において上方ウエハWの縁部が通過する領域に配置される。
【選択図】図6
【解決手段】下方ウエハWは、各ウエハWの重畳方向に沿って上方から眺めたときに上方ウエハWの縁部から突出する突出縁部を有し、下方ウエハWが移動する際、突出縁部の2箇所を検出するように、2つの縁部検出センサ28cが、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において下方ウエハWの突出縁部が通過する領域に配置され、さらに、上方ウエハWが移動する際、上方ウエハWの縁部の2箇所を検出するように、2つの縁部検出センサ28dが、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において上方ウエハWの縁部が通過する領域に配置される。
【選択図】図6
Description
本発明は、2枚の基板を1つの処理室へ搬入する基板搬入方法、基板処理装置及び基板保持方法に関する。
基板としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という。)に所定の処理、例えば、COR(Chemical Oxide Removal)処理やPHT(Post Heat Treatment)処理を施す基板処理装置では、共通搬送室であるトランスファモジュールの周りに処理室であるプロセスモジュールが複数配置され、ウエハを一のプロセスモジュールへ搬送する間に他のプロセスモジュールにおいて他のウエハへCOR処理やPHT処理を施すことにより、処理の効率を向上させる。特に、COR処理やPHT処理は時間を要する処理であるため、各プロセスモジュールは2枚のウエハを収容し、該2枚のウエハへ同時にCOR処理又はPHT処理を施す。
このような基板処理装置では、各プロセスモジュールへ向けて2枚のウエハを同時に搬送する必要があり、トランスファモジュールの内部に配置された搬送アームは先端に設けられたピックにより、2枚のウエハを間に間隔をおいて重なるように保持する。ここで、搬送アームがウエハの受け渡しの失敗等に起因して1枚しかウエハを保持していない場合、各プロセスモジュールへ搬入されるウエハも1枚となるため、COR処理やPHT処理の効率が低下する。したがって、各プロセスモジュールへウエハを搬入する前に搬送アームが2枚のウエハを保持しているか否かを確認する必要がある。
これに対応して、搬送アームが2枚のウエハを保持しているか否かを確認する方法が本出願人によって提案されている。具体的には、トランスファモジュールの内部において各プロセスモジュールの前にレーザ光の発光部及び受光部からなるセンサを配置し、発光部から搬送アームが保持する各ウエハへ向けてレーザ光を照射し、該レーザ光がウエハによって遮られるか否かを受光部によって検知することにより、搬送アームが2枚のウエハを保持しているか否かを確認する。このとき、発光部から各ウエハへはレーザ光が斜めに照射されるため、搬送アームが2枚のウエハを重ねるように保持していても、各ウエハの存在を確認することができる(例えば、特許文献1参照。)。
ところで、各プロセスモジュールは各ウエハを載置するステージを有するが、該ステージに対してウエハが正しい位置に載置されないとエラーと判定され、処理が中断することがあるため、各プロセスモジュールへウエハを搬入する前にウエハの位置を修正する必要がある。通常は、トランスファモジュールに連結する大気搬送室であるローダーモジュールへ位置合わせ装置であるオリエンタを設け、該オリエンタにおいてウエハの位置を修正するが、この場合、ウエハをトランスファモジュール及びローダーモジュールの間において往復移動させるため、処理の効率が著しく低下する。そこで、ウエハをトランスファモジュールから各プロセスモジュールへ搬入する際にウエハの位置を修正することが強く求められている。
しかしながら、特許文献1の方法ではセンサによって各ウエハのエッジを1箇所しか検出していない。エッジが1箇所しか検出できない場合、ウエハの中心位置を特定することができないため、ウエハの位置を修正することができない。
本発明の目的は、重ねるように配置された2枚の基板のそれぞれの位置を正確に特定することができる基板搬入方法、基板処理装置及び基板保持方法を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の基板搬入方法は、2つの載置台を有する処理室の内部へ間口を介して基板を搬入する基板搬入方法であって、前記搬送アームによって2枚の前記基板を間に間隔をおいて重なるように保持する保持ステップと、前記搬送アームによって下方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して一方の前記載置台へ載置する第1の搬入ステップと、前記第1の搬入ステップの後、前記搬送アームによって上方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して他方の前記載置台へ載置する第2の搬入ステップとを有し、前記第1の搬入ステップ及び前記第2の搬入ステップにおいて前記基板は曲線軌道に沿って移動し、前記間口の幅は2枚の前記基板を水平に並べたときの2枚の前記基板の合計幅よりも小さく、下方の前記基板は、2枚の前記基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたときに上方の前記基板の縁部から突出する縁部を有し、前記第1の搬入ステップにおいて下方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際、前記突出する縁部の少なくとも2箇所を検出するようにセンサが配置され、前記第2の搬入ステップにおいて上方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際、上方の前記基板の縁部の少なくとも2箇所を検出するように他のセンサが配置されることを特徴とする。
上記目的を達成するために、本発明の基板処理装置は、2つの載置台を有する処理室と、該処理室の内部へ前記間口を介して基板を搬入する搬送アームとを備える基板処理装置において、前記搬送アームは、2枚の前記基板を間に間隔をおいて重なるように保持し、下方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して一方の前記載置台へ載置し、さらに、下方の前記基板を一方の前記載置台へ載置した後、上方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して他方の前記載置台へ載置し、前記搬送アームは前記基板を曲線軌道に沿って移動させ、前記間口の幅は2枚の前記基板を水平に並べたときの2枚の前記基板の合計幅よりも小さく、下方の前記基板は、2枚の前記基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたときに上方の前記基板の縁部から突出する縁部を有し、前記第1の搬入ステップにおいて下方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際、前記突出する縁部の少なくとも2箇所を検出するようにセンサが配置され、前記第2の搬入ステップにおいて上方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際、上方の前記基板の縁部の少なくとも2箇所を検出するように他のセンサが配置されることを特徴とする。
上記目的を達成するために、本発明の基板保持方法は、2つの載置台を有する処理室の内部へ間口を介して基板を搬入する際の基板保持方法であって、搬送アームによって2枚の前記基板を間に間隔をおいて重なるように保持する保持ステップと、前記搬送アームによって下方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して一方の前記載置台へ載置する第1の搬入ステップと、前記第1の搬入ステップの後、前記搬送アームによって上方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して他方の前記載置台へ載置する第2の搬入ステップとを有し、前記保持ステップにおいて、2枚の前記基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたときに、前記搬送アームは、下方の前記基板の縁部の一部が上方の前記基板の縁部から突出するように、2枚の前記基板を保持し、前記第1の搬入ステップ及び前記第2の搬入ステップにおいて前記基板は曲線軌道に沿って移動し、前記間口の幅は2枚の前記基板を水平に並べたときの2枚の前記基板の合計幅よりも小さく、前記第1の搬入ステップにおいて下方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際、前記突出する縁部の少なくとも2箇所を検出するようにセンサが配置され、前記第2の搬入ステップにおいて上方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際、上方の前記基板の縁部の少なくとも2箇所を検出するように他のセンサが配置されることを特徴とする。
本発明によれば、下方の基板は、2枚の基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたときに上方の基板の縁部から突出する縁部を有し、下方の基板が移動する際、下方の基板の突出する縁部の少なくとも2箇所を検出するようにセンサが配置され、上方の基板が移動する際、上方の基板の縁部の少なくとも2箇所を検出するように他のセンサが配置される。これにより、下方の基板の縁部及び上方の基板の縁部のそれぞれについて少なくとも2箇所を検出することができるので、下方の基板の中心位置及び上方の基板の中心位置をそれぞれ特定することができる。その結果、特定された中心位置に基づいて下方の基板及び上方の基板の位置を修正することができる。また、特に、下方の基板の縁部を検出する際、下方の基板における2枚の基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたときに上方の基板の縁部から突出する縁部を検出するため、誤って上方の基板の縁部を検出することがない。これにより、下方の基板に上方の基板が重ねられるように配置されていても、下方の基板の中心位置を正確に特定することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
まず、本発明の第1の実施の形態について説明する。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る基板処理装置の構成を概略的に示す平面図である。なお、図1では理解を容易にするために内部の構成の一部が透過して示される。
図1において、基板処理装置10は、複数のウエハWを保管するウエハ保管部11と、2枚のウエハWを同時に搬送する共通搬送部(トランスファモジュール)12と、トランスファモジュール12から搬入されたウエハWに所定の処理、例えば、COR処理やPHT処理を施す処理室としての複数の基板処理部(プロセスモジュール)13とを備える。プロセスモジュール13は内部が真空雰囲気に維持される。
基板処理装置10では、ウエハ保管部11に保管された複数のウエハWのうち選択された2枚のウエハWをトランスファモジュール12が内蔵する搬送アーム14a等によって重ねるように保持し、搬送アーム14a等を移動させることによってトランスファモジュール12の内部においてウエハWを搬送し、プロセスモジュール13の内部に配置された2つのステージ15a,15b(載置台)のそれぞれに1枚ずつウエハWを載置する。次いで、基板処理装置10では、ステージ15a,15bに載置された各ウエハWへプロセスモジュール13で所定の処理を施した後に、処理済みの2枚のウエハWを搬送アーム14a等によって重ねるように保持し、搬送アーム14a等を移動させることによってウエハ保管部11に搬出する。
ウエハ保管部11は、複数のウエハWを保管する容器であるフープ16a〜16cの載置台であるロードポート17a〜17cと、保管されたウエハWをロードポート(17a等)に載置されたフープ(16a等)から受け取り、若しくは、プロセスモジュール13で所定の処理が施されたウエハWをフープ(16a等)に引き渡すローダーモジュール18と、ローダーモジュール18及びトランスファモジュール12の間においてウエハWを受け渡しするために一時的にウエハWを保持するロードロックモジュール19a,19bとを有する。
ローダーモジュール18は内部が大気圧雰囲気の矩形の筐体からなり、その矩形の長辺を構成する一側面に複数のロードポート(17a等)が並設される。さらに、ローダーモジュール18は、内部においてその矩形の長手方向に移動可能な搬送アーム(不図示)を有する。該搬送アームはロードポート(17a等)に載置されたフープ(16a等)からロードロックモジュール19aにウエハWを搬入し、若しくは、ロードロックモジュール19bからフープ(16a等)にウエハWを搬出する。フープ(16a等)は複数のウエハWを等間隔で多段に重ねるようにして収容する。また、ロードポート(17a等)に載置されたフープ(16a等)の内部は窒素ガス等で満たされて密閉される。
ロードロックモジュール19aは、大気圧雰囲気のロードポート(17a等)に載置されたフープ(16a等)に収容されたウエハWを、内部が真空雰囲気のプロセスモジュール13に引き渡すため、ウエハWを一時的に保持する。ロードロックモジュール19aは、2枚のウエハWを重ねるように保持する上部ストッカ20a及び下部ストッカ20bを有する。また、ロードロックモジュール19aは、ローダーモジュール18に対して気密性を確保するためのゲートバルブ21aと、トランスファモジュール12に対して気密性を確保するためのゲートバルブ21bとを有する。さらに、ロードロックモジュール19aには図示しないガス導入系及びガス排気系が配管によって接続され、ガス導入系及びガス排気系によって内部が大気圧雰囲気又は真空雰囲気に制御される。なお、ロードロックモジュール19bもロードロックモジュール19aと同様の構成を有する。
トランスファモジュール12は未処理のウエハWをウエハ保管部11からプロセスモジュール13に搬入し、処理済みのウエハWをプロセスモジュール13からウエハ保管部11に搬出する。トランスファモジュール12は内部が真空雰囲気の矩形の筐体からなり、それぞれ、2枚のウエハWを重ねるように保持して移動する搬送アーム14a,14bと、搬送アーム14a,14bを回転可能に支持する回転台22と、回転台22を搭載した回転載置台23と、回転載置台23をトランスファモジュール12の長手方向に移動可能に案内する案内レール29とを含む。また、トランスファモジュール12は、ゲートバルブ21a,21b、さらに後述するゲートバルブ25a〜25fを介して、ウエハ保管部11のロードロックモジュール19a,19b、並びに、各プロセスモジュール13と連通する。トランスファモジュール12では、ロードロックモジュール19aにおいて重ねるように上部ストッカ20a及び下部ストッカ20bによって保持された2枚のウエハWを、搬送アーム14aも重ねるように保持して受け取り、各プロセスモジュール13へ搬送する。また、プロセスモジュール13で処理が施された2枚のウエハWを、搬送アーム14bが重ねるように保持し、ロードロックモジュール19bに搬出する。
図2は、図1における搬送アームの構成を説明するための図であり、図2(A)は搬送アームの全体を示す斜視図であり、図2(B)は搬送アームのピック部の側面図である。
図2において、搬送アーム14a及び搬送アーム14bは、それぞれ先端において2枚のウエハWを搭載するピック部24a,24bを有する。搬送アーム14aは、複数の矩形のリンク(節)部を複数のジョイント(関節)部で回転可能に連結したリンク機構を有する。搬送アーム14aのリンク機構の一端は回転台22によって回転自由に支持される。また、搬送アーム14aのリンク機構の他端は自由端であり、他端にピック部24aが連接される(図2(A))。
ピック部24aは、二股フォーク状の上部ピック24at及び下部ピック24abを所定の距離tだけ離間して積層した構成からなる(図2(B))。ピック部24aは、上部ピック24atの上面に1枚のウエハWを搭載し、下部ピック24abの上面(上部ピック24atと下部ピック24abとの間)にさらに1枚のウエハWを搭載する。すなわち、搬送アーム14aは、ピック部24aによって2枚のウエハWを間に間隔をおいて重ねるように保持する。
また、搬送アーム14aは、リンク機構の一端の回転及びリンク機構による他端の移動により、他端のピック部24aに搭載した各ウエハWを所望の位置に移動する。なお、搬送アーム14bは搬送アーム14aと同様の構成を有する。搬送アーム14a等は一度に2枚のウエハWを搭載するため、基板処理装置10は、搬送アーム14a及び搬送アーム14bによって同時に4枚のウエハWを搬送可能である。回転台22は、鉛直方向を回転軸とし、搬送アーム14a等を回転可能に支持する。
図1に戻り、回転載置台23及び案内レール29は、載置した回転台22をトランスファモジュール12の内部におい長手方向に移させるスライド機構を構成する。
各プロセスモジュール13は、ゲートバルブ25a〜25fを介してトランスファモジュール12に連通する。したがって、ゲートバルブ25a〜25fにより、各プロセスモジュール13及びトランスファモジュール12の間の気密性の確保及び互いの連通を両立する。また、プロセスモジュール13には、図示しないガス導入系(処理ガス及びパージガス等のガス供給源等)及びガス排気系(真空ポンプ、排気制御バルブ及び排気管等)が接続される。
一のプロセスモジュール13は、2枚のウエハWを水平方向に並べて載置するステージ15a及びステージ15b(2つの載置台)を内部に有する。各プロセスモジュール13は、ステージ15a及びステージ15bにウエハWを並べて載置することにより、2枚のウエハWの表面を均一且つ同時に処理する。本実施の形態では、複数のプロセスモジュール13の各々はCOR処理及びPHT処理のいずれかを実行する。
なお、基板処理装置10は制御部としてコントローラ26をさらに備え、コントローラ26は内蔵するメモリ等に格納されたプログラム等を実行することにより、基板処理装置10の各構成要素の動作を制御する。
図3は、搬送アームによるプロセスモジュールの内部へのウエハの搬入を説明するための工程図である。
まず、2枚のウエハWを重なるように保持する搬送アーム14aが一のプロセスモジュール13の前まで移動し(図3(A))、搬送アーム14aはリンク機構を伸長させてピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部へ進入させ、下部ピック24abに載置されたウエハW(以下、「下方ウエハW」という。)をステージ15aに対向させる(図3(B))。このとき、ステージ15aは図示しないリフトピン等によって下方ウエハWを受け取って上面に載置する(第1の搬入ステップ)。その後、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させる(図3(C))。このとき、ピック部24aは、上部ピック24atに搭載されたウエハW(以下、「上方ウエハW」という。)のみを保持する。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構を伸長させてピック部24aを再度一のプロセスモジュール13の内部へ進入させ、上方ウエハWをステージ15bに対向させる(図3(D))。このとき、ステージ15bは図示しないリフトピン等によってウエハWを受け取って上面に載置する(第2の搬入ステップ)。その後、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させる(図3(E))。このとき、ピック部24aはウエハWを保持していない。
ところで、基板処理装置10では、各ウエハWがステージ15aやステージ15bに対して正しい位置に搭載されないとエラーと判定され、各プロセスモジュール13における各処理が中断する。したがって、各プロセスモジュール13へウエハWを搬入する前にウエハWの位置を正確に特定し、ウエハWの位置が所望の位置からずれていた場合、ウエハWの位置を修正する必要がある。特に、スループット低下防止の観点から、ウエハWの位置の特定、及びウエハWの位置の修正は、搬送アーム14a等によるウエハWの搬入時(特に、図3(B)や図3(D)に示す工程)で行われるのが好ましい。これに対応して本実施の形態では、後述するように、各プロセスモジュール13の前にウエハWの縁部(エッジ)を検出するセンサを設け、搬送アーム14a等によるプロセスモジュール13の内部へのウエハWの搬入時に、上記センサにより、ウエハWの縁部の少なくとも2箇所を検出して位置を特定する。
図4は、本実施の形態に係る基板保持方法を説明するための平面図である。
図4において、本実施の形態では、搬送アーム14aのピック部24aによって下方ウエハW及び上方ウエハWを間に間隔をおいて重なるように保持する際、下方ウエハW及び上方ウエハWが重ねられた方向(以下、「重畳方向」という。)に沿って上方(図の上方)から眺めたとき、(図中において破線で示す)下方ウエハWの縁部が、(図中において実線で示す)上方ウエハWの縁部からウエハWの搬入時の移動の方向(以下、単に「移動方向」という。)(図中矢印で示す方向)に向けて突出するように、下方ウエハW及び上方ウエハWを重ねて保持する。すなわち、本実施の形態では、ピック部24aが下方ウエハW及び上方ウエハWを移動方向に関して相対的にずらすように保持するが、下方ウエハW及び上方ウエハWのずれは、ローダーモジュール18の搬送アームによってロードロックモジュール19aの上部ストッカ20a及び下部ストッカ20bのそれぞれへウエハWを保持させる際、各ウエハWの位置を意図的にずらすことによって生じさせる。なお、本実施の形態では、以後、下方ウエハW及び上方ウエハWを重畳方向に沿って上方から眺めたとき、上方ウエハWの縁部から移動方向へ向けて突出する下方ウエハWの縁部(図中においてハッチングで示す領域)を「突出縁部」と称する。
図5は、トランスファモジュールの内部とプロセスモジュールの内部を連通させる連通口を説明するための図であり、図5(A)は、図1における線V−Vに沿う断面図であり、図5(B)は図5(A)における線B−Bに沿う断面図である。具体的には、図5(A)はトランスファモジュール12の壁部に設けられた連通口27の垂直断面を示し、図5(B)は連通口27の水平断面を示す。
図1において、トランスファモジュール12の壁部には、トランスファモジュール12の内部と各プロセスモジュール13の内部を連通させる連通口27(間口)が穿設させる。なお、各連通口27及び各プロセスモジュール13の間にはゲートバルブ25a〜25fが介在する。
連通口27は断面がトランスファモジュール12の長手方向(以下、「水平方向」という。)に沿って延伸する長穴であり、連通口27の幅Lは2枚のウエハWを水平方向に並べたときの2枚のウエハWの合計幅2Dよりも小さい。したがって、2枚のウエハWを水平方向に並べたまま、プロセスモジュール13の内部へ搬入することは不可能である。
また、連通口27には4つの縁部検出センサ28が配置される。各縁部検出センサ28は、一対の発光部28a及び受光部28bからなり、受光部28bは発光部28aが照射するレーザ光を受光する。縁部検出センサ28では、発光部28a及び受光部28bの間をウエハWの縁部の1箇所が通過して当該縁部がレーザ光を遮断することにより、当該縁部を検出し、このときの搬送アーム14aのモータのエンコーダ値や当該縁部検出センサ28の位置に基づいてレーザ光を遮断した縁部の位置を特定する。なお、発光部28a及び受光部28bの上下関係は特に制約が無く、例えば、発光部28aが上方に配置され且つ受光部28bが下方に配置されてもよく、若しくは、発光部28aが下方に配置され且つ受光部28bが上方に配置されてもよい。
本実施の形態では、4つの縁部検出センサ28のうち、2つの縁部検出センサ28(図中において符号「28c」で示す。)が下方ウエハWの縁部を検出し、残り2つの縁部検出センサ28(図中において符号「28d」で示す。)(他のセンサ)が上方ウエハWの縁部を検出する。2つの縁部検出センサ28cは、下方ウエハWがステージ15aへ向けて搬送される際、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において下方ウエハWの突出縁部が通過する領域(以下、「突出縁部通過領域」という。)に配置される。また、2つの縁部検出センサ28dは、上方ウエハWがステージ15bへ向けて搬送される際、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において上方ウエハWの縁部が通過する領域に配置される。
図6及び図7は、本実施の形態に係る基板搬入方法を説明するための工程図である。なお、本図では、ウエハWとステージ15a,15bを明確に区別するために、ステージ15a,15bにはクロスハッチングが付される。また、本図においても、下方ウエハWは破線で示され、上方ウエハWは実線で示される。なお、本図において、搬送アーム14aやプロセスモジュール13は図示を省略される。
また、本図における細破線で示された曲線C1,C2は、下方ウエハW及び上方ウエハWのプロセスモジュール13の内部への搬入時における各ウエハWの搬送軌道である。スループット向上の観点からは各ウエハWを直線的に移動させるのが好ましいが、本実施の形態では、プロセスモジュール13の内部に配置された構成要素等との干渉を避けつつ、最短距離でステージ15a,15bへ向けて搬送するために、各ウエハWは曲線軌道に沿って移動する。
まず、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、下方ウエハWの縁部(突出縁部、図中においてハッチングで示す領域)が、上方ウエハWの縁部から移動方向に向けて突出するように、下方ウエハW及び上方ウエハWを搬送アーム14aによって重ねて保持し(保持ステップ)、さらに搬送アーム14aが一のプロセスモジュール13の前まで移動する(図6(A))。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構を伸長させ、連通口27を介してステージ15a(一方の載置台)へ向けてピック部24aが保持する下方ウエハW及び上方ウエハWを移動させる(第1の搬入ステップ)。本実施の形態では、2つの縁部検出センサ28cが突出縁部通過領域に配置されるため、まず、一の縁部検出センサ28cの発光部28a及び受光部28bの間を突出縁部の1箇所が通過する(図6(B))。このとき、下方ウエハWの縁部の1箇所が検出され、当該縁部の1箇所の位置が特定される。次いで、他の縁部検出センサ28cの発光部28a及び受光部28bの間を突出縁部の他の1箇所が通過する(図6(C))。このときも、下方ウエハWの縁部の他の1箇所が検出され、当該縁部の他の1箇所の位置が特定される。これにより、下方ウエハWの縁部の2箇所の位置が特定される。一般に、円において円周上の2点の位置が特定され、当該円の半径rが既知の場合、図8(A)に示すように、位置が特定された2点(図中の白点)を結ぶ線分lを底辺とし、半径rを斜辺とする二等辺三角形の頂点(図中の黒点)が当該円の中心となる。したがって、本実施の形態においても、特定された下方ウエハWの縁部の2箇所の位置及び下方ウエハWの半径に基づいて下方ウエハWの中心位置を特定することができる。その後、下方ウエハWの特定された中心位置と、下方ウエハWの所望の中心位置とのずれに基づいて下方ウエハWの位置を修正する。具体的には、下方ウエハWの縁部の2箇所の位置が特定された後も、下方ウエハWはステージ15aへ向けて搬送され続けるが(図6(D))、このとき、下方ウエハWの位置が修正される。その後、下方ウエハWはステージ15aの上面に載置される。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させる。このとき、ピック部24aは上方ウエハWのみを保持する(図7(A))。その後、搬送アーム14aはリンク機構を伸長させ、連通口27を介してステージ15bへ向けて上方ウエハWを移動させる(第2の搬入ステップ)。本実施の形態では、2つの縁部検出センサ28dは、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において上方ウエハWの縁部が通過する領域に配置されるため、まず、一の縁部検出センサ28dの発光部28a及び受光部28bの間を上方ウエハWの縁部の1箇所が通過する(図7(B))。このとき、上方ウエハWの縁部の1箇所が検出され、当該縁部の1箇所の位置が特定される。次いで、他の縁部検出センサ28dの発光部28a及び受光部28bの間を上方ウエハWの縁部の他の1箇所が通過する(図7(C))。このときも、上方ウエハWの縁部の他の1箇所が検出され、当該縁部の他の1箇所の位置が特定される。これにより、上方ウエハWの縁部の2箇所の位置が特定される。その後、下方ウエハWの中心位置と同様に、特定された上方ウエハWの縁部の2箇所の位置及び上方ウエハWの半径に基づいて、上方ウエハWの中心位置を特定することができる。次いで、上方ウエハWの特定された中心位置と、上方ウエハWの所望の中心位置とのずれに基づいて上方ウエハWの位置を修正する。具体的には、上方ウエハWの縁部の2箇所の位置が特定された後も、上方ウエハWはステージ15aへ向けて搬送され続けるが(図7(D))、このとき、上方ウエハWの位置が修正される。その後、上方ウエハWはステージ15bの上面に載置される。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させ、その後、本方法を終了する。
本実施の形態に係る基板搬入方法によれば、下方ウエハWは、重畳方向に沿って上方から眺めたときに上方ウエハWの縁部から突出する突出縁部を有する。また、2つの縁部検出センサ28cが突出縁部通過領域に配置される。すなわち、下方ウエハWが移動する際、突出縁部の2箇所を検出するように2つの縁部検出センサ28cが配置される。さらに、2つの縁部検出センサ28dが、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において上方ウエハWの縁部が通過する領域に配置される。すなわち、上方ウエハWが移動する際、上方ウエハWの縁部の2箇所を検出するように2つの縁部検出センサ28dが配置される。これにより、下方ウエハWの突出縁部及び上方ウエハWの縁部のそれぞれについて2箇所を検出することができるため、下方ウエハWの中心位置及び上方ウエハWの中心位置をそれぞれ特定することができる。その結果、特定された中心位置に基づいて下方ウエハW及び上方ウエハWの位置を修正することができる。
また、本実施の形態に係る基板搬入方法では、下方ウエハWの縁部を検出する際、突出縁部を検出する。突出縁部は重畳方向に沿って上方から眺めたときに上方ウエハWの縁部から突出する縁部であるため、突出縁部が縁部検出センサ28cの発光部28a及び受光部28bの間を通過する際、上方ウエハWの縁部が縁部検出センサ28cの発光部28a及び受光部28bの間を通過することが無い。したがって、下方ウエハWの縁部を検出する際に誤って上方ウエハWの縁部を検出することがない。これにより、下方ウエハWに上方ウエハWが重ねられるように配置されていても、下方ウエハWの中心位置を正確に特定することができる。
なお、上述した本実施の形態に係る基板搬入方法では、上方ウエハWがステージ15bへ向けて移動する際、下方ウエハWはピック部24aによって保持されていないため、下方ウエハWが各縁部検出センサ28dによる上方ウエハWの縁部の検出を阻害することがない。したがって、各縁部検出センサ28dによって最大で上方ウエハWの縁部の4箇所を検出することができる。ところで、図8(B)に示すように、一般に、円において円周上の3点(図中の白点)の位置が特定された場合、位置が特定された3点のうち2点同士を結ぶ線分l1,l2,l3の垂直二等分線の交点(図中の黒点)が当該円の中心となる。そこで、例えば、特定された上方ウエハWの縁部の3箇所の位置に基づいて上方ウエハWの中心位置を特定してもよい。
なお、上述した本実施の形態に係る基板搬入方法では、まず、下方ウエハWをステージ15aへ向けて搬送し、次いで、上方ウエハWをステージ15bへ向けて搬送したが、まず、下方ウエハWをステージ15bへ向けて搬送し、次いで、上方ウエハWをステージ15aへ向けて搬送してもよい。この場合、2つの縁部検出センサ28dが下方ウエハWの縁部の2箇所を検出し、2つの縁部検出センサ28cが上方ウエハWの縁部の2箇所を検出する。
また、上述した本実施の形態に係る基板搬入方法において、下方ウエハWの突出縁部や上方ウエハWの縁部が各縁部検出センサ28c,dの発光部28a及び受光部28bの間を通過する際、下方ウエハWや上方ウエハWの移動速度を低下させてもよい。これにより、各ウエハWの縁部の検出感度を向上させることができる。
さらに、上述した本実施の形態に係る基板搬入方法では、プロセスモジュール13の内部に配置された構成要素等との干渉を避けつつ、最短距離でステージ15a,15bへ向けて搬送するために、各ウエハWは曲線軌道に沿って移動したが、構成要素等との干渉を考慮する必要がなく、且つスループットの向上を優先する必要が無い場合、各ウエハWをステージ15a,15bへ向けて搬送する際に各ウエハWを直線軌道に沿って移動させてもよい。具体的には、まず、図9(A)に示すように、下方ウエハWをステージ15aへ向けて搬送する際、ピック部24aによって保持された各ウエハWを一のプロセスモジュール13の前からステージ15a及びステージ15bの中点Cへ向けて直線的に移動させる(搬送軌道は図中において破線で示される。)。ここで、2つの縁部検出センサ28を突出縁部通過領域に配置することにより、2つの縁部検出センサ28の発光部28a及び受光部28bの間を突出縁部の2箇所によって通過させることができる。その結果、下方ウエハWの縁部の2箇所を検出し、さらに、下方ウエハWの中心位置を特定することができる。次いで、さらに各ウエハWを中点Cからステージ15aへ向けて直線的に移動させる(搬送軌道は図中において破線で示される。)。このとき、下方ウエハWの位置が修正される。その後、下方ウエハWはステージ15aの上面に載置される。
次いで、図9(B)に示すように、搬送アーム14aのリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させた後、上方ウエハWをステージ15bへ向けて搬送する際、ピック部24aによって保持された上方ウエハWを一のプロセスモジュール13の前から中点Cへ向けて直線的に移動させる(搬送軌道は図中において破線で示される。)。このときの直線的な搬送軌道を下方ウエハWをステージ15aへ向けて搬送する際の直線的な搬送軌道とほぼ一致させることにより、下方ウエハWの縁部の2箇所によって検出した2つの縁部検出センサ28の発光部28a及び受光部28bの間を突出縁部の2箇所を通過させることができる。すなわち、下方ウエハWの縁部の2箇所を検出した2つの縁部検出センサ28によって上方ウエハWの縁部の2箇所も検出し、さらに、上方ウエハWの中心位置を特定することができる。次いで、さらに上方ウエハWを中点Cからステージ15bへ向けて直線的に移動させる(搬送軌道は図中において破線で示される。)。このとき、上方ウエハWの位置が修正される。その後、上方ウエハWはステージ15bの上面に載置される。
図9に示す本実施の形態に係る基板搬入方法の変形例では、下方ウエハWの縁部の2箇所を検出した2つの縁部検出センサ28によって上方ウエハWの縁部の2箇所も検出することができるため、縁部検出センサ28の数を2つに抑え、基板処理装置10の製造コストを低減することができる。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。
本発明の第2の実施の形態は、その構成、作用が上述した第1の実施の形態と基本的に同じであるので、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
図10は、本実施の形態に係る基板保持方法を説明するための平面図である。
図10において、本実施の形態では、搬送アーム14aのピック部24aによって下方ウエハW及び上方ウエハWを間に間隔をおいて重なるように保持する際、重畳方向に沿って上方(図の上方)から眺めたとき、(図中において破線で示す)下方ウエハWの縁部が、(図中において実線で示す)上方ウエハWの縁部から移動方向(図中矢印で示す方向)に対して斜方に突出するように、下方ウエハW及び上方ウエハWを重ねて保持する。なお、本実施の形態では、以後、下方ウエハW及び上方ウエハWを重畳方向に沿って上方から眺めたとき、上方ウエハWの縁部から移動方向に対して斜方に突出する下方ウエハWの縁部(図中においてハッチングで示す領域)を「斜方突出縁部」と称する。
図11は、本実施の形態において連通口に設けられた各縁部検出センサの配置状態を説明するための水平断面図である。
本実施の形態では、下方ウエハWの縁部を検出するための1つの縁部検出センサ28cが、下方ウエハWがステージ15aへ向けて搬送される際、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において下方ウエハWの斜方突出縁部が通過し、且つ上方ウエハWが通過する領域(以下、「各ウエハ通過領域」という。)に配置される。また、斜方突出縁部は上方ウエハWの縁部から移動方向に対して斜方に突出する領域であるため、各ウエハWが移動する際、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において斜方突出縁部のみが通過し、且つ上方ウエハWが通過しない領域(以下、「斜方突出縁部単独通過領域」という。)が生じる。本実施の形態では、下方ウエハWの縁部を検出するための1つの縁部検出センサ28eが斜方突出縁部単独通過領域に配置される。なお、斜方突出縁部単独通過領域は図中において破線で囲われてハッチングが付された領域として示される。また、上方ウエハWの縁部を検出するための2つの縁部検出センサ28dは、第1の実施の形態と同様に、上方ウエハWがステージ15bへ向けて搬送される際、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において上方ウエハWの縁部が通過する領域に配置される。
図12は、本実施の形態に係る基板搬入方法を説明するための工程図である。なお、本図でも、ウエハWとステージ15a,15bを明確に区別するために、ステージ15a,15bにはクロスハッチングが付され、下方ウエハWは破線で示され、上方ウエハWは実線で示され、さらに、搬送アーム14aやプロセスモジュール13は図示を省略される。なお、本実施の形態においても、下方ウエハW及び上方ウエハWをステージ15a及びステージ15bへ搬送する際、各ウエハWは、第1の実施の形態と同様に、曲線C1,C2で示される搬送軌道に沿って移動する。
まず、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、下方ウエハWの縁部(斜方突出縁部、図中においてハッチングで示す領域)が、上方ウエハWの縁部から移動方向に対して斜方に突出するように、下方ウエハW及び上方ウエハWを搬送アーム14aによって重ねて保持し(保持ステップ)、さらに搬送アーム14aが一のプロセスモジュール13の前まで移動する(図12(A))。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構を伸長させ、連通口27を介してステージ15a(一方の載置台)へ向けてピック部24aが保持する下方ウエハW及び上方ウエハWを移動させる(第1の搬入ステップ)。本実施の形態では、各ウエハ通過領域に1つの縁部検出センサ28cが配置されるため、まず、1つの縁部検出センサ28cの発光部28a及び受光部28bの間を斜方突出縁部の1箇所が通過する(図12(B))。このとき、下方ウエハWの縁部の1箇所が検出され、当該縁部の1箇所の位置が特定される。また、本実施の形態では、斜方突出縁部単独通過領域に1つの縁部検出センサ28eが配置されるため、次いで、1つの縁部検出センサ28eの発光部28a及び受光部28bの間を斜方突出縁部の他の1箇所が通過する(図12(C))。このときも、下方ウエハWの縁部の他の1箇所が検出され、当該縁部の他の1箇所の位置が特定される。その後、各ウエハWの移動を継続すると、1つの縁部検出センサ28eの発光部28a及び受光部28bの間を斜方突出縁部のさらに他の1箇所が通過する(図12(D))。このときも、下方ウエハWの縁部のさらに他の1箇所が検出され、当該縁部のさらに他の1箇所の位置が特定される。
ところで、各ウエハWの移動を継続すると、1つの縁部検出センサ28cの発光部28a及び受光部28bの間を下方のウエハWの縁部の別の1箇所が通過するが、1つの縁部検出センサ28cが配置される各ウエハ通過領域は上方ウエハWも通過する領域であるため、縁部の別の1箇所が発光部28a及び受光部28bの間を通過するとき、同時に、上方ウエハWも発光部28a及び受光部28bの間を通過する。したがって、1つの縁部検出センサ28cは斜方突出縁部の1箇所のみしか検出できない。一方、1つの縁部検出センサ28eが配置される斜方突出縁部単独通過領域は下方ウエハWの斜方突出縁部のみが通過する領域であるため、斜方突出縁部の他の1箇所やさらに他の1箇所が発光部28a及び受光部28bの間を通過するとき、同時に、上方ウエハWも発光部28a及び受光部28bの間を通過することがない。したがって、1つの縁部検出センサ28eは斜方突出縁部の2箇所を検出することができる。これにより、下方ウエハWの縁部の3箇所の位置が特定され、図8(B)に示す中心位置の特定方法に従い、下方ウエハWの中心位置を特定することができる。その後、下方ウエハWの特定された中心位置と、下方ウエハWの所望の中心位置とのずれに基づいて下方ウエハWの位置を修正する。具体的には、下方ウエハWの縁部の2箇所の位置が特定された後も、下方ウエハWはステージ15aへ向けて搬送され続けるが(図12(D))、このとき、下方ウエハWの位置が修正される。その後、下方ウエハWはステージ15aの上面に載置される。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させる。その後、上方ウエハWがステージ15bへ向けて搬送される際(第2の搬入ステップ)、第1の実施の形態と同じ手法で、上方ウエハWの中心位置が特定され、さらに、上方ウエハWの特定された中心位置と、上方ウエハWの所望の中心位置とのずれに基づいて上方ウエハWの位置が修正される。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させ、その後、本方法を終了する。
本実施の形態に係る基板搬入方法によれば、1つの縁部検出センサ28cが各ウエハ通過領域に配置され、1つの縁部検出センサ28eが斜方突出縁部単独通過領域に配置される。1つの縁部検出センサ28cは斜方突出縁部の1箇所を検出し、1つの縁部検出センサ28eは斜方突出縁部の2箇所を検出することができる。これにより、下方ウエハWの縁部の3箇所を検出することができるため、下方ウエハWの中心位置を特定することができる。その結果、特定された中心位置に基づいて下方ウエハWの位置を修正することができる。
また、本実施の形態に係る基板搬入方法では、1つの縁部検出センサ28eだけで斜方突出縁部の2箇所を検出することができるため、図8(A)に示す中心位置の特定方法を用いると、1つの縁部検出センサ28eの検出結果だけで下方ウエハWの中心位置を特定することができる。したがって、連通口27に1つの縁部検出センサ28eのみを配置し、1つの縁部検出センサ28cを配置しないことにより、縁部検出センサ28の数を抑制し、基板処理装置10の製造コストを低減することができる。
上述した本実施の形態に係る基板搬入方法では、まず、下方ウエハWをステージ15aへ向けて搬送し、次いで、上方ウエハWをステージ15bへ向けて搬送することを想定して連通口27において縁部検出センサ28c,28d,28eを配置したが、図13に示すように、連通口27の中心線CLに関して線対称に縁部検出センサ28c,28d,28eを配置すれば、まず、下方ウエハWをステージ15bへ向けて搬送し、次いで、上方ウエハWをステージ15aへ向けて搬送する場合にも対応可能である。なお、図13では、縁部検出センサ28eの位置と、線対称に配置された縁部検出センサ28dの位置とが重なるため、縁部検出センサ28eが縁部検出センサ28dとしても用いられる。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。
本発明の第3の実施の形態は、その構成、作用が上述した第1の実施の形態と基本的に同じであるので、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。なお、本実施の形態における基板保持方法は、第1の実施の形態における基板保持方法と同じであり、下方ウエハWは、下方ウエハW及び上方ウエハWを重畳方向に沿って上方から眺めたとき、上方ウエハWの縁部から移動方向へ向けて突出する突出縁部を有する。
図14は、本実施の形態において連通口に設けられた各縁部検出センサの配置状態を説明するための図であり、図14(A)は、図1における線V−Vに沿う断面図であり、図14(B)は図14(A)における線B−Bに沿う断面図である。具体的には、図14(A)はトランスファモジュール12の壁部に設けられた連通口27の垂直断面を示し、図14(B)は連通口27の水平断面を示す。
本実施の形態では、下方ウエハWの縁部を検出するための1つの縁部検出センサ28cが突出縁部通過領域に配置される。また、連通口27の内部へ突出し、且つステージ15aへ向けて移動する下方ウエハW及び上方ウエハWの間に配置される受光部28fと、連通口27の下方から受光部28fへ向けてレーザ光を照射する発光部28gとからなる1つの縁部検出センサ28h(他のセンサ)が配置される。下方ウエハWが受光部28f及び発光部28gの間を通過するため、1つの縁部検出センサ28hは下方ウエハWの縁部を検出する。さらに、上方ウエハWの縁部を検出するための2つの縁部検出センサ28dが、第1の実施の形態と同様に、上方ウエハWがステージ15bへ向けて搬送される際、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において上方ウエハWの縁部が通過する領域に配置される。
図15は、本実施の形態に係る基板搬入方法を説明するための工程図である。なお、本図でも、ウエハWとステージ15a,15bを明確に区別するために、ステージ15a,15bにはクロスハッチングが付され、下方ウエハWは破線で示され、上方ウエハWは実線で示され、さらに、搬送アーム14aやプロセスモジュール13は図示を省略される。なお、本実施の形態においても、下方ウエハW及び上方ウエハWをステージ15a及びステージ15bへ搬送する際、各ウエハWは、第1の実施の形態と同様に、曲線C1,C2で示される搬送軌道に沿って移動する。
まず、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、下方ウエハWの縁部(突出縁部、図中においてハッチングで示す領域)が、上方ウエハWの縁部から移動方向に向けて突出するように、下方ウエハW及び上方ウエハWを搬送アーム14aによって重ねて保持し(保持ステップ)、さらに搬送アーム14aが一のプロセスモジュール13の前まで移動する(図15(A))。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構を伸長させ、連通口27を介してステージ15a(一方の載置台)へ向けてピック部24aが保持する下方ウエハW及び上方ウエハWを移動させる(第1の搬入ステップ)。本実施の形態では、1つの縁部検出センサ28cが突出縁部通過領域に配置されるため、まず、1つの縁部検出センサ28cの発光部28a及び受光部28bの間を突出縁部の1箇所が通過する(図15(B))。このとき、下方ウエハWの縁部の1箇所が検出され、当該縁部の1箇所の位置が特定される。次いで、1つの縁部検出センサ28hの受光部28f及び発光部28gの間を突出縁部の他の1箇所が通過する(図15(C))。このとき、下方ウエハWの縁部の他の1箇所が検出され、当該縁部の他の1箇所の位置が特定される。その後、各ウエハWの移動を継続すると、1つの縁部検出センサ28hの受光部28f及び発光部28gの間を突出縁部のさらに他の1箇所が通過する(図15(D))。このときも、下方ウエハWの縁部のさらに他の1箇所が検出され、当該縁部のさらに他の1箇所の位置が特定される。特に、受光部28f及び発光部28gの間を突出縁部のさらに他の1箇所が通過する際、図15(D)に示すように、突出縁部のさらに他の1箇所は上方ウエハWによって覆われるが、受光部28fは下方ウエハW及び上方ウエハWの間に配置されるため、上方ウエハWは受光部28f及び発光部28gの間を通過しない。これにより、1つの縁部検出センサ28hは上方ウエハWの縁部を検出することなく、突出縁部のさらに他の1箇所のみを検出する。
以上より、下方ウエハWの縁部の3箇所の位置が特定され、図8(B)に示す中心位置の特定方法に従い、下方ウエハWの中心位置を特定することができる。その後、下方ウエハWの特定された中心位置と、下方ウエハWの所望の中心位置とのずれに基づいて下方ウエハWの位置を修正する。具体的には、下方ウエハWの縁部の2箇所の位置が特定された後も、下方ウエハWはステージ15aへ向けて搬送され続けるが、このとき、下方ウエハWの位置が修正される。その後、下方ウエハWはステージ15aの上面に載置される。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させる。その後、上方ウエハWがステージ15bへ向けて搬送される際(第2の搬入ステップ)、第1の実施の形態と同じ手法で、上方ウエハWの中心位置が特定され、さらに、上方ウエハWの特定された中心位置と、上方ウエハWの所望の中心位置とのずれに基づいて上方ウエハWの位置が修正される。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させ、その後、本方法を終了する。
本実施の形態に係る基板搬入方法によれば、1つの縁部検出センサ28cが突出縁部通過領域に配置され、ステージ15aへ向けて移動する下方ウエハW及び上方ウエハWの間に配置される受光部28fと、発光部28gとからなる1つの縁部検出センサ28hが配置される。1つの縁部検出センサ28cは突出縁部の1箇所を検出し、1つの縁部検出センサ28hは突出縁部の2箇所を検出することができる。これにより、下方ウエハWの縁部の3箇所を検出することができるため、下方ウエハWの中心位置を特定することができる。その結果、特定された中心位置に基づいて下方ウエハWの位置を修正することができる。
また、本実施の形態に係る基板搬入方法では、1つの縁部検出センサ28hだけで突出縁部の2箇所を検出することができるため、図8(A)に示す中心位置の特定方法を用いると、1つの縁部検出センサ28hの検出結果だけで下方ウエハWの中心位置を特定することができる。したがって、連通口27に1つの縁部検出センサ28hのみを配置し、1つの縁部検出センサ28cを配置しないことにより、縁部検出センサ28の数を抑制し、基板処理装置10の製造コストを低減することができる。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。
本発明の第4の実施の形態は、その構成、作用が上述した第1の実施の形態と基本的に同じであるので、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
図16は、本実施の形態に係る基板保持方法を説明するための平面図である。
図16において、本実施の形態では、搬送アーム14aのピック部24aによって下方ウエハW及び上方ウエハWを間に間隔をおいて重なるように保持する際、重畳方向に沿って上方(図の上方)から眺めたとき、(図中において破線で示す)下方ウエハWの縁部が、(図中において実線で示す)上方ウエハWの縁部から移動方向(図中矢印で示す方向)に対して横方向、例えば、略垂直方向に突出するように、下方ウエハW及び上方ウエハWを重ねて保持する。なお、本実施の形態では、以後、下方ウエハW及び上方ウエハWを重畳方向に沿って上方から眺めたとき、上方ウエハWの縁部から移動方向に対して横方向に突出する下方ウエハWの縁部(図中においてハッチングで示す領域)を「横突出縁部」と称する。
図17は、本実施の形態において連通口に設けられた各縁部検出センサの配置状態を説明するための水平断面図である。
本実施の形態では、下方ウエハWの縁部を検出するための1つの縁部検出センサ28cが、下方ウエハWがステージ15aへ向けて搬送される際、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において下方ウエハWの横突出縁部が通過し、且つ上方ウエハWが通過する領域(以下、「他の各ウエハ通過領域」という。)に配置される。また、横突出縁部は上方ウエハWの縁部から移動方向に対して横方向に突出する領域であるため、各ウエハWが移動する際、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において横突出縁部のみが通過し、且つ上方ウエハWが通過しない領域(以下、「横突出縁部単独通過領域」という。)が生じる。本実施の形態では、下方ウエハWの縁部を検出するための1つの縁部検出センサ28iが横突出縁部単独通過領域に配置される。なお、横突出縁部単独通過領域は図中において破線で囲われてハッチングが付された領域として示される。また、上方ウエハWの縁部を検出するための2つの縁部検出センサ28dは、第1の実施の形態と同様に、上方ウエハWがステージ15bへ向けて搬送される際、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、連通口27において上方ウエハWの縁部が通過する領域に配置される。
図18は、本実施の形態に係る基板搬入方法を説明するための工程図である。なお、本図でも、ウエハWとステージ15a,15bを明確に区別するために、ステージ15a,15bにはクロスハッチングが付され、下方ウエハWは破線で示され、上方ウエハWは実線で示され、さらに、搬送アーム14aやプロセスモジュール13は図示を省略される。なお、本実施の形態においても、下方ウエハW及び上方ウエハWをステージ15a及びステージ15bへ搬送する際、各ウエハWは、第1の実施の形態と同様に、曲線C1,C2で示される搬送軌道に沿って移動する。
まず、重畳方向に沿って上方から眺めたとき、下方ウエハWの縁部(横突出縁部、図中においてハッチングで示す領域)が、上方ウエハWの縁部から移動方向に対して横方向に突出するように、下方ウエハW及び上方ウエハWを搬送アーム14aによって重ねて保持し(保持ステップ)、さらに搬送アーム14aが一のプロセスモジュール13の前まで移動する(図18(A))。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構を伸長させ、連通口27を介してステージ15a(一方の載置台)へ向けてピック部24aが保持する下方ウエハW及び上方ウエハWを移動させる(第1の搬入ステップ)。本実施の形態では、他の各ウエハ通過領域に1つの縁部検出センサ28cが配置されるため、まず、1つの縁部検出センサ28cの発光部28a及び受光部28bの間を横突出縁部の1箇所が通過する(図18(B))。このとき、下方ウエハWの縁部の1箇所が検出され、当該縁部の1箇所の位置が特定される。また、本実施の形態では、横突出縁部単独通過領域に1つの縁部検出センサ28iが配置されるため、次いで、1つの縁部検出センサ28iの発光部28a及び受光部28bの間を横突出縁部の他の1箇所が通過する(図18(C))。このときも、下方ウエハWの縁部の他の1箇所が検出され、当該縁部の他の1箇所の位置が特定される。その後、各ウエハWの移動を継続すると、1つの縁部検出センサ28iの発光部28a及び受光部28bの間を横突出縁部のさらに他の1箇所が通過する(図18(D))。このときも、下方ウエハWの縁部のさらに他の1箇所が検出され、当該縁部のさらに他の1箇所の位置が特定される。
ところで、1つの縁部検出センサ28iが配置される横突出縁部単独通過領域は下方ウエハWの横突出縁部のみが通過する領域であるため、横突出縁部の他の1箇所やさらに他の1箇所が発光部28a及び受光部28bの間を通過するとき、同時に、上方ウエハWも発光部28a及び受光部28bの間を通過することがない。したがって、1つの縁部検出センサ28iは横突出縁部の2箇所を検出することができる。これにより、下方ウエハWの縁部の3箇所の位置が特定され、図8(B)に示す中心位置の特定方法に従い、下方ウエハWの中心位置を特定することができる。その後、下方ウエハWの特定された中心位置と、下方ウエハWの所望の中心位置とのずれに基づいて下方ウエハWの位置を修正する。具体的には、下方ウエハWの縁部の2箇所の位置が特定された後も、下方ウエハWはステージ15aへ向けて搬送され続けるが(図18(D))、このとき、下方ウエハWの位置が修正される。その後、下方ウエハWはステージ15aの上面に載置される。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させる。その後、上方ウエハWがステージ15bへ向けて搬送される際(第2の搬入ステップ)、第1の実施の形態と同じ手法で、上方ウエハWの中心位置が特定され、さらに、上方ウエハWの特定された中心位置と、上方ウエハWの所望の中心位置とのずれに基づいて上方ウエハWの位置が修正される。
次いで、搬送アーム14aはリンク機構の収縮により、ピック部24aを一のプロセスモジュール13の内部から退出させ、その後、本方法を終了する。
本実施の形態に係る基板搬入方法によれば、1つの縁部検出センサ28cが他の各ウエハ通過領域に配置され、1つの縁部検出センサ28iが横突出縁部単独通過領域に配置される。1つの縁部検出センサ28cは横突出縁部の1箇所を検出し、1つの縁部検出センサ28iは横突出縁部の2箇所を検出することができる。これにより、下方ウエハWの縁部の3箇所を検出することができるため、下方ウエハWの中心位置を特定することができる。その結果、特定された中心位置に基づいて下方ウエハWの位置を修正することができる。
また、本実施の形態に係る基板搬入方法では、1つの縁部検出センサ28iだけで横突出縁部の2箇所を検出することができるため、図8(A)に示す中心位置の特定方法を用いると、1つの縁部検出センサ28iの検出結果だけで下方ウエハWの中心位置を特定することができる。したがって、連通口27に1つの縁部検出センサ28iのみを配置し、1つの縁部検出センサ28cを配置しないことにより、縁部検出センサ28の数を抑制し、基板処理装置10の製造コストを低減することができる。
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではない。
また、本発明の目的は、上述した各実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、基板処理装置10が備えるコントローラ26に供給し、コントローラ26のCPUが記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される。
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した各実施の形態の機能を実現することになり、プログラムコード及びそのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、RAM、NV−RAM、フロッピー(登録商標)ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、CD−ROM、CD−R、CD−RW、DVD(DVD−ROM、DVD−RAM、DVD−RW、DVD+RW)等の光ディスク、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、他のROM等の上記プログラムコードを記憶できるものであればよい。或いは、上記プログラムコードは、インターネット、商用ネットワーク、若しくはローカルエリアネットワーク等に接続される不図示の他のコンピュータやデータベース等からダウンロードすることによりコントローラ26に供給されてもよい。
また、コントローラ26が読み出したプログラムコードを実行することにより、上記各実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、CPU上で稼動しているOS(オペレーティングシステム)等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
更に、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コントローラ26に挿入された機能拡張ボードやコントローラ26に接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるCPU等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
上記プログラムコードの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、OSに供給されるスクリプトデータ等の形態から成ってもよい。
W ウエハ
10 基板処理装置
13 プロセスモジュール
14a,14b 搬送アーム
15a,15b ステージ
27 連通口
28c,28d,28e,28h,28i 縁部検出センサ
10 基板処理装置
13 プロセスモジュール
14a,14b 搬送アーム
15a,15b ステージ
27 連通口
28c,28d,28e,28h,28i 縁部検出センサ
Claims (6)
- 2つの載置台を有する処理室の内部へ間口を介して基板を搬送アームによって搬入する基板搬入方法であって、
前記搬送アームによって2枚の前記基板を間に間隔をおいて重なるように保持する保持ステップと、
前記搬送アームによって下方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して一方の前記載置台へ載置する第1の搬入ステップと、
前記第1の搬入ステップの後、前記搬送アームによって上方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して他方の前記載置台へ載置する第2の搬入ステップとを有し、
前記第1の搬入ステップ及び前記第2の搬入ステップにおいて前記基板は曲線軌道に沿って移動し、
前記間口の幅は2枚の前記基板を水平に並べたときの2枚の前記基板の合計幅よりも小さく、
下方の前記基板は、2枚の前記基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたときに上方の前記基板の縁部から突出する縁部を有し、
前記第1の搬入ステップにおいて下方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際、前記突出する縁部の少なくとも2箇所を検出するようにセンサが配置され、
前記第2の搬入ステップにおいて上方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際、上方の前記基板の縁部の少なくとも2箇所を検出するように他のセンサが配置されることを特徴とする基板搬入方法。 - 前記保持ステップにおいて、2枚の前記基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたとき、下方の前記基板の縁部が、上方の前記基板の縁部から前記第1の搬入ステップにおける移動の方向に向けて突出し、
前記第1の搬入ステップにおいて下方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際に前記突出する縁部が通過する領域に少なくとも2つのセンサが配置されることを特徴とする請求項1記載の基板搬入方法。 - 前記保持ステップにおいて、2枚の前記基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたとき、下方の前記基板の縁部が、上方の前記基板の縁部から前記第1の搬入ステップにおける移動の方向に対して斜方に突出し、
前記第1の搬入ステップにおいて下方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際に前記突出する縁部のみが通過する領域に少なくとも1つのセンサが配置されることを特徴とする請求項1記載の基板搬入方法。 - 前記保持ステップにおいて、2枚の前記基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたとき、下方の前記基板の縁部が、上方の前記基板の縁部から前記第1の搬入ステップにおける移動の方向に向けて突出し、
前記第1の搬入ステップにおいて下方の前記基板が前記曲線軌道に沿って移動する際に前記突出する縁部が通過する領域に少なくとも1つのセンサが配置され、さらに、前記第1の搬入ステップにおいて移動する2枚の前記基板の間に少なくとも1つの他のセンサが配置されることを特徴とする請求項1記載の基板搬入方法。 - 2つの載置台を有する処理室と、該処理室の内部へ間口を介して基板を搬入する搬送アームとを備える基板処理装置において、
前記搬送アームは、2枚の前記基板を間に間隔をおいて重なるように保持し、下方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して一方の前記載置台へ載置し、さらに、下方の前記基板を一方の前記載置台へ載置した後、上方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して他方の前記載置台へ載置し、
前記搬送アームは前記基板を曲線軌道に沿って移動させ、
前記間口の幅は2枚の前記基板を水平に並べたときの2枚の前記基板の合計幅よりも小さく、
下方の前記基板は、2枚の前記基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたときに上方の前記基板の縁部から突出する縁部を有し、
下方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入するために下方の前記基板を前記曲線軌道に沿って移動させる際、前記突出する縁部の少なくとも2箇所を検出するようにセンサが配置され、
上方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入するために上方の前記基板を前記曲線軌道に沿って移動させる際、上方の前記基板の縁部の少なくとも2箇所を検出するように他のセンサが配置されることを特徴とする基板処理装置。 - 2つの載置台を有する処理室の内部へ間口を介して基板を搬入する際の基板保持方法であって、
搬送アームによって2枚の前記基板を間に間隔をおいて重なるように保持する保持ステップを有し、
前記保持ステップにおいて、前記搬送アームは、2枚の前記基板が重ねられた方向に沿って上方から眺めたときに、下方の前記基板の縁部の一部が上方の前記基板の縁部から突出するように、2枚の前記基板を保持し、
前記搬送アームによって下方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して一方の前記載置台へ載置する際、並びに、前記搬送アームによって上方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入して他方の前記載置台へ載置する際、前記基板は曲線軌道に沿って移動し、
前記間口の幅は2枚の前記基板を水平に並べたときの2枚の前記基板の合計幅よりも小さく、
下方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入するために下方の前記基板を前記曲線軌道に沿って移動させる際、前記突出する縁部の少なくとも2箇所を検出するようにセンサが配置され、
上方の前記基板を前記処理室の内部へ搬入するために上方の前記基板を前記曲線軌道に沿って移動させる際、上方の前記基板の縁部の少なくとも2箇所を検出するように他のセンサが配置されることを特徴とする基板保持方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015242274A JP2017108063A (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | 基板搬入方法、基板処理装置及び基板保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015242274A JP2017108063A (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | 基板搬入方法、基板処理装置及び基板保持方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017108063A true JP2017108063A (ja) | 2017-06-15 |
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ID=59060872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015242274A Pending JP2017108063A (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | 基板搬入方法、基板処理装置及び基板保持方法 |
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JP (1) | JP2017108063A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021054167A1 (ja) * | 2019-09-18 | 2021-03-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置及び搬送方法 |
KR20220090424A (ko) | 2020-12-22 | 2022-06-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 장치, 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법 |
-
2015
- 2015-12-11 JP JP2015242274A patent/JP2017108063A/ja active Pending
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---|---|---|---|---|
WO2021054167A1 (ja) * | 2019-09-18 | 2021-03-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置及び搬送方法 |
KR20220090424A (ko) | 2020-12-22 | 2022-06-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 장치, 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법 |
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