JP2017106838A - 慣性検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】慣性検出装置は、慣性体を含むセンサ要素2と、慣性体に設けられている第1電極であるフレーム3及びセンスマス4と、第1電極との対で容量を構成する第2電極と、を備え、第1電極に入力される第1信号(搬送波C0)における第1周波数の第1周波数ピークと重なりのある周波数ピークを有する第2信号(サーボ制御信号)を、第2電極に入力して、慣性体をサーボ制御する。
【選択図】図1
Description
前述の課題について補足する。図25〜図26を用いて、実施の形態1に対する比較例の慣性センサのサーボ制御等について説明する。比較例の慣性センサは、容量検出型及び一軸サーボ制御方式の角速度センサである。
図1〜図19を用いて、本発明の実施の形態1の慣性検出装置について説明する。実施の形態1の慣性検出装置は、容量検出型及び一軸サーボ制御方式の角速度センサである。
図1は、実施の形態1の慣性検出装置の機能ブロック構成を示す。図1の実施の形態1の慣性検出装置は、図25の比較例の構成に対し特に異なる点として、変調回路13を有する点、第2回路部12には第2高電圧発生回路を有さない点がある。実施の形態1では、搬送波C0の利用の仕方が異なり、センサ要素2に印加されるサーボ制御信号のサーボ電圧Vfyの波形が異なる。
図2は、センサ要素2のセンスマス4の容量、電極の構成、及びセンスマス4の変位yの検出及びサーボ制御のための回路の概要構成を示す。センスマス4は、コリオリ検出側の電極であり、搬送波C0が印加される第1電極である。センスマス4には、4個の容量として、サーボ容量である容量Cfy{Cfyp,Cfyn}、及び検出容量である容量Csy{Csyp,Csyn}が設けられている。
図3は、図2のセンスマス4に慣性力が加わった場合における、Y方向の変位yの状態と、その時に働くサーボ力Fsについて示す。図3の(a)は、センスマス4の変位yとして正側(図3では上)へ変位した状態の時のサーボ力Fsを示す。このサーボ力は、センスマス4を変位yの初期位置(破線で示す)へ戻そうとする方向(図3では下)への力である。一点鎖線はセンスマス4の中心位置を示す。図3の(b)は、センスマス4の変位yとして負側(図3では下)へ変位した状態の時のサーボ力を示す。このサーボ力は、センスマス4を初期位置へ戻そうとする方向(図3では上)への力である。
図4は、実施の形態1で、サーボ制御に係わる各信号及びサーボ力について示す。図4の(a)は、搬送波C0の電圧Vcomを示す。なお、図4では、波形なまりが有る状態を示す。搬送波C0の発生時の波形は矩形波であるが、一般的に実際の波形は、回路伝播で波形がなまる影響により、図示するように三角波に近付く。搬送波C0の振動周波数Fcomは、フレーム3の周波数の2倍以上に設定されなければならない。通常の角速度センサでは、この振動周波数は、フレームの周波数よりも十分に大きな周波数に設定される。実施の形態1では、振動周波数Fcomは、フレーム3の周波数に対して8倍の周波数に設定されている。
図5を用いて、比較例に対する実施の形態1でのS/Nの改善について説明する。図5の(A)は実施の形態1でのS/N、図5の(B)は比較例でのS/Nを示す。それぞれ、(a)は入力物理量変位、(b)はサーボ制御変位、(c)は解像度、(d)は検出回路を示す。(a)のように、実施の形態1と比較例で共に、入力物理量変位を同じ100と仮定する。(b)のように、実施の形態1では、最大サーボ力が得られた結果、振幅を20まで抑制でき、比較例では、60までしか抑制できないと仮定する。この仮定で、比較例のサーボ制御変位を解像しきることができるように最大入力レンジを設定する。その場合、アナログ回路の階調が16ビットであるとすれば、(c)のように、解像度は60/216となる。この場合に、(d)のように、比較例では、(a)の入力物理量変位以上の信号の場合には、検出回路が飽和する。一方、実施の形態1では、それ以上の信号であっても検出回路は飽和せず、あと3倍まで入力物理量を増大可能である。
図6は、図1の実施の形態1の慣性検出装置における実装のモジュール100の構成として、チップ配置及び配線等を示す。このモジュール100は、MEMS角速度センサモジュールである。図6の(A)は、モジュール100の主面の構成、図6の(B)は、側面の構成を示す。主面は、X方向及びY方向を持つ平面に対応する。このモジュール100は、回路チップ101と、センサチップ102とを有する。回路チップ101の上に、センサチップ102が積層されている。回路チップ101は、図1のベース部1と対応し、回路部がLSI等で実装されている。センサチップ102には、図1のセンサ要素2がMEMSで実装されている。回路チップ101とセンサチップ102は、外周部の複数の箇所で、それぞれ、ボンディングパッド103に対して為されたワイヤボンド104によって電気的に接続されている。ワイヤボンド104で接続されるボンディングパッド103同士は、物理的距離が短くなるよう配置されている。これにより、ワイヤボンド104による寄生成分を最小限に留め、予期せぬ遅延による不良を防ぐ効果がある。
図7は、図6のモジュール100の各信号のスペクトルについて示す。図6で、プローブp1で示す箇所のボンディングパッド103をプローブし、その波形が観測される。プローブp1で示す箇所は、搬送波C0の電圧Vcomを印加する部分に相当する。プローブp1の箇所が、オシロスコープ等によって時系列に観測される。すると、図4の(a)のような搬送波C0の電圧Vcomが確認される。プローブp2で示す箇所は、変調前のサーボ制御信号の出力信号DAを印加する部分に相当する。この箇所を観測すると、図4の(b)のような出力信号DAの正側の出力信号DApの波形が確認される。プローブp3で示す箇所は、変調後のサーボ制御信号のサーボ電圧Vfyを印加する部分に相当する。この箇所を観測すると、図4の(c)のようなサーボ電圧Vfyの正側の電圧Vfypの波形が確認される。
図8は、実施の形態1の効果に関して、動作電圧に対するサーボ力を、比較例との定量比較で示す。図8中の実線は実施の形態1、破線は比較例を示す。図8の(A)は、一定の搬送波C0で、サーボ電圧Vfyを変化させた場合における、発生するサーボ力Fsの変化をプロットしたグラフを示す。一定の搬送波C0として、電圧Vcomの振幅を1に固定した場合である。サーボ電圧Vfyとして、正側の電圧Vfyp(電圧Vfynでも同じ)の大きさを0〜1の範囲で変化させた場合である。電圧Vcom及び電圧Vfypの大きさが1である場合は、電源電圧V0の最大電圧レベルを使用する場合に相当する。比較例のサーボ力Fsの最大値は約0.15[au]であり、実施の形態1のサーボ力Fsの最大値は約0.6[au]である。実施の形態1では、電圧Vfypに対してサーボ力Fsが線形で増加する特性を有する。実施の形態1では、比較例に比して最大で4倍大きいサーボ力Fsが得られる。実施の形態1は、これらの2つの利点を有する。
図9は、電源電圧V0よりも高い電圧(Vhとする)をサーボ電圧Vfyに用いる場合における、動作電圧に対するサーボ力の関係について、実施の形態1と比較例との比較で示す。横軸は、搬送波C0の電圧Vcomの振幅を1に固定した場合で、正側の電圧Vfypを0〜4の範囲で変化させた場合を示す。図9を用いて、サーボ電圧Vfyとして電源電圧V0よりも高い電圧Vhを利用できる場合について説明する。
図10は、図9の電圧Vhを利用できる場合として、(Vfyp/Vcom)=4の場合における、各信号の波形例を、(A)の実施の形態1と(B)の比較例との比較で示す。それぞれ、(a)は搬送波C0の電圧Vcom、(b)はサーボ電圧Vfy、(c)はサーボ力Fsを示す。図10では、波形なまりが有る場合を示す。実施の形態1では、比較例に対し、破線で示す実効サーボ力Fsが小さくなっている。これは、図9の(B)の比較例では電圧Vcomが小さいほど大きなサーボ力Fsが得られる特性から理解できる。サーボ電圧Vfyの大きさに対して電圧Vcomの大きさが無視できるようになると、比較例の方が大きなサーボ力Fsが得られる。
図11は、図10と同様のグラフであるが、波形なまりが無い場合を示す。搬送波C0は、理想的な矩形波である。
図12は、前述の変調回路13の遅延器131における、搬送波C0の電圧Vcomの位相遅延について補足説明するための説明図である。前述の「適切な遅延」とは、サーボ電圧Vfyに関して、搬送波C0の電圧Vcomと位相を正確に揃えるための最適遅延量を指す。(a)は搬送波C0の電圧Vcomとして波形なまりが無い矩形波を示す。(b)は変調後のサーボ電圧Vfy{Vfyp,Vfyn}を示す。(c)は電圧Vcomの位相遅延量(単位は[radian])に対するサーボ力のグラフを示す。
図13は、図10等のように波形なまりが有る場合でも実施の形態1の所定の効果が実現されることについて補足説明するための説明図である。図13は、搬送波C0の電圧Vcomのみについて、2次のローパスフィルタを通過させて、矩形波から三角波に近付けた例を示す。ローパスフィルタの遮断周波数Fcを、Fc=20とする。(a)は、遮断周波数Fcに対するサーボ力の関係、及び遮断周波数Fcに対する位相遅延の関係を示す。(b)は搬送波C0の電圧Vcomとして、Fc=20の波形なまりが有る場合を示す。(c)は、(b)に対応する場合のサーボ力Fsを示す。
図14は、図6のモジュール100におけるセンサ要素2及び回路部の構成を示す。モジュール100は、角速度の検出のために、センサ要素2の慣性体における駆動側であるフレーム3の第1軸のX方向の変位x、及びコリオリ検出側であるセンスマス4の第2軸のY方向の変位yを検出する。それに対応して、センサ要素2は、駆動側及びコリオリ検出側の二系統の検出容量及びサーボ容量を有し、回路部は、二系統の検出回路及びサーボ制御回路を有する。
図16の(A)は、コリオリ検出側の変調回路13yの詳しい構成を示す。この変調回路13yは、図1の変調器132が、アナログスイッチ素子であるスイッチ135{SW:SW1,SW2,SW3,SW4}を用いて構成されている。各スイッチ135は、入力「SWin」と出力「SWout」と制御入力「CK」とを有する。スイッチ135の入力側には、DAC32yの出力信号DAy{DAyp,DAyn}の入力線が接続されている。スイッチ135の出力側には、サーボ電圧Vfy{Vfyp,Vfyn}の出力線が接続されている。第1スイッチSW1は、正側の入力線と負側の出力線との間に設けられている。第2スイッチSW2は、負側の入力線と正側の出力線との間に設けられている。第3スイッチSW3は、負側の入力線と負側の出力線との間に設けられている。第4スイッチSW4は、正側の入力線と正側の出力線との間に設けられている。
図18の(A)は、コリオリ検出側のDAC32yの詳しい構成を示す。DAC32yは、デコーダ321、アナログ電圧選択回路322、駆動回路323を含む。制御回路52からの信号SVy{SVyp,SVyn}は、デコーダ321に入力される。デコーダ321は、信号SVyをデコードすることにより、その結果の信号である選択制御信号SEL{SELp,SELn}を生成し、アナログ電圧選択回路322へ出力する。選択制御信号SELは、アナログ電圧選択回路322内のスイッチ325から選択するための信号であり、正側の信号SELpと負側の信号SELnとを含む。なお、選択制御信号SELにおける記号[0:m]は、m+1個の線を省略して示す記号である。
図19は、モジュール100のセンサ要素2のMEMS実装構造成例を示す。このセンサ要素2は、単一の慣性体であるマスを有する角速度センサ要素である。このセンサ要素2は、櫛歯形状の電極を用いて構成されている。このセンサ要素2は、フレーム3に対応する電極190において、図14に示した計8個の容量{Cfx{Cfxp,Cfxn},Cfy{Cfyp,Cfyn},Csx{Csxp,Csxn},Csy{Csyp,Csyn}}が、MEMSの電極対として設けられている。それらの電極対として、電極{{Dfxp1,Dfxp2,Dfxn1,Dfxn2},{Dfyp,Dfyn},{Dsxp1,Dsxp2,Dsxn1,Dsxn2},{Dsyp,Dsyn}}を示す。
以上説明したように、実施の形態1の容量検出型及びサーボ制御方式の慣性検出装置であるMEMS角速度センサによれば、低い電源電圧でもサーボ力を効率的に発生させることができ、検出精度の向上や劣化抑制を実現できる。実施の形態1の慣性検出装置は、搬送波C0を用いてDACの出力信号を変調し、その変調後のサーボ電圧を用いてセンサ要素2のサーボ制御を行う。これにより、低い電源電圧V0でも、サーボ力Fsを最大効率で発生させることができ、必要な最大サーボ電圧を低減できる。この結果、実施の形態1では、検出精度を向上または維持できる。実施の形態1では、比較例のような従来技術に対し、高電圧発生回路を削減できるので、回路面積及び消費電力を低減でき、小型で低コストの慣性センサ及びシステムを実現できる。
図20〜図22を用いて、実施の形態2の慣性検出装置について説明する。実施の形態2の基本的な構成は、実施の形態1と同様であり、以下、実施の形態2における実施の形態1とは異なる構成部分について説明する。実施の形態2の慣性検出装置は、容量検出型及び一軸サーボ制御方式の加速度センサである。
図20は、実施の形態2の慣性検出装置の実装のモジュール200におけるセンサ要素2及び回路部の構成を示す。モジュール200の概要は、図6のモジュール100と同様である。センサ要素2は、一軸における加速度の検出のために、一系統の検出容量及びサーボ容量を有する。回路部は、それに対応して、一系統のアナログ回路42z、DAC32z及び変調回路13z等を有する。
図21は、実施の形態2における波形のスペクトルを示す。実施の形態1と同様に、モジュール200の所定のパッドの箇所をプローブして波形が観測される。スペクトルSP1は、前述のプローブp1に対応する、搬送波C0の電圧V0の波形のスペクトルを示す。スペクトルSP2は、前述のプローブp2に対応する、変調後のサーボ電圧Vfpの波形のスペクトルを示す。
図22は、実施の形態2におけるセンサ要素2のMEMS実装構造例を示す。このセンサ要素2は、所定の一軸の検出及びサーボ制御に対応して、1つの慣性体であるマスを構成する電極220を有する。そして、電極220において、図20の4個の容量{Cfp,Cfn,Csp,Csn}を構成する電極対{Dfp,Dfn,Dsp,Dsn}が、8個の電極部{Dfp1,Dfp2,Dfn1,Dfn2,Dsp1,Dsp2,Dsn1,Dsn2}として設けられている。
実施の形態2の容量検出型及びサーボ制御方式の慣性検出装置であるMEMS加速度センサによれば、実施の形態1と同様に、低い電源電圧でもサーボ力を効率的に発生させることができ、検出精度の向上や劣化抑制を実現できる。
図23〜図24を用いて、実施の形態3の慣性検出装置について説明する。実施の形態3の慣性検出装置は、実施の形態1の角速度センサの変形例である。
図23は、実施の形態3の慣性センサの実装のモジュール300におけるセンサ要素2及び回路部の構成を示す。実施の形態3では、センサ要素2は、2つの慣性体である2つのマスとして、第1慣性体5A及び第2慣性体5Bを有する。各慣性体は、実施の形態1と同様に、フレーム3及びセンスマス4で構成される。回路部は、これら2つの慣性体に対する検出及びサーボ制御を行うための二系統の回路として、回路231及び回路232を有する。1つの慣性体の単位での構成は、実施の形態1と同様である。
図24は、実施の形態3のセンサ要素2のMEMS実装構造例を示す。このセンサ要素2は、図23の2つの慣性体である第1慣性体5A及び第2慣性体5Bに対応して、2つのフレームに対応する2つの電極241,242を有する。これらの電極241,242は、互いに逆方向に働く。回路部で、角速度検出に係わる信号は、これらの電極241,242の信号の差分をとることにより得られる。
実施の形態3の容量検出型及びサーボ制御方式の慣性検出装置であるMEMS角速度センサによれば、実施の形態1と同様に、低い電源電圧でもサーボ力を効率的に発生させることができ、検出精度の向上や劣化抑制を実現できる。実施の形態3では、2つの慣性体を用いて差分で検出を行う構成により、実施の形態1に対して、信号を2倍、S/Nをルート2倍にする効果があり、高い検出精度を実現できる。
Claims (13)
- 慣性検出装置であって、
慣性体を含むセンサ要素と、
前記慣性体に設けられている第1電極と、
前記第1電極との対で容量を構成する第2電極と、
を備え、
前記第1電極に入力される第1信号における第1周波数の第1周波数ピークと重なりのある周波数ピークを有する第2信号を、前記第2電極に入力して、前記慣性体をサーボ制御する、
慣性検出装置。 - 請求項1記載の慣性検出装置において、
前記第1電極に前記第1信号を出力するための第1回路と、
前記第2電極に前記第2信号を出力するための第2回路と、
を備え、
前記第2信号は、前記第1周波数による変調を有する信号である、
慣性検出装置。 - 請求項2記載の慣性検出装置において、
変調回路を備え、
前記第2回路は、前記第2信号を出力するためのアナログ電圧出力信号を生成し、
前記変調回路は、前記アナログ電圧出力信号を、前記第1信号を用いて変調することにより、前記第2信号を生成する、
慣性検出装置。 - 請求項2記載の慣性検出装置において、
前記第1回路は、前記第1信号として、矩形波に基づいた搬送波を発生する、
慣性検出装置。 - 請求項2記載の慣性検出装置において、
前記第1電極との対で容量を構成する第3電極から、前記容量の容量値を電圧値として検出するための第3回路を備え、
前記第2回路は、前記第3回路で検出した電圧値に基づいて、前記第2信号を出力するためのアナログ電圧出力信号を生成する、
慣性検出装置。 - 請求項3記載の慣性検出装置において、
前記第1回路は、電源電圧に基づいて、前記第1信号を発生し、
前記第2回路は、前記電源電圧に基づいて、前記アナログ電圧出力信号を生成する、
慣性検出装置。 - 請求項3記載の慣性検出装置において、
前記変調回路は、前記アナログ電圧出力信号を変調する変調器を含み、
前記変調器は、複数のスイッチで構成される、
慣性検出装置。 - 請求項3記載の慣性検出装置において、
前記変調回路は、前記第1信号を遅延させる遅延器を含み、前記遅延器で遅延させた前記第1信号を用いて前記変調を行う、
慣性検出装置。 - 請求項1記載の慣性検出装置において、
前記第1電極に前記第1信号を出力するための第1回路と、
前記第2電極に前記第2信号を出力するための第2回路と、
前記第1電極との対で容量を構成する第3電極から、前記容量の容量値を電圧値として検出するための第3回路と、
を備え、
前記慣性体は、第1方向の変位が可能な第1マスと、第2方向の変位が可能な第2マスと、を有し、
前記第1回路は、前記第1マス及び前記第2マスを構成する前記第1電極に前記第1信号を共通に出力し、
前記第2回路は、前記第2マスのサーボ容量を構成する前記第2電極に前記第2信号を出力し、
前記第3回路は、前記第2マスの検出容量を構成する前記第3電極から前記電圧値を検出し、前記電圧値に基づいて前記慣性体に加えられた角速度を検出する、
慣性検出装置。 - 請求項1記載の慣性検出装置において、
前記第1電極に前記第1信号を出力するための第1回路と、
前記第2電極に前記第2信号を出力するための第2回路と、
前記第1電極との対で容量を構成する第3電極から、前記容量の容量値を電圧値として検出するための第3回路と、
を備え、
前記慣性体は、所定方向の変位が可能なマスを有し、
前記第1回路は、前記マスを構成する前記第1電極に前記第1信号を共通に出力し、
前記第2回路は、前記マスのサーボ容量を構成する前記第2電極に前記第2信号を出力し、
前記第3回路は、前記マスの検出容量を構成する前記第3電極から前記電圧値を検出し、前記電圧値に基づいて前記慣性体に加えられた加速度を検出する、
慣性検出装置。 - 慣性検出装置であって、
センサ要素に入力される搬送波における第1周波数の第1周波数ピークと重なりのある周波数ピークを有するサーボ制御信号によって前記センサ要素をサーボ制御する、
慣性検出装置。 - 請求項11記載の慣性検出装置において、
前記センサ要素の慣性体を駆動する前記サーボ制御信号は、前記第1周波数よりも低い第2周波数に周波数ピークを有する、
慣性検出装置。 - 請求項11記載の慣性検出装置において、
前記センサ要素の慣性体からの検出信号に基づいてデジタルアナログ変換器で生成されたアナログ電圧出力信号は、前記第1周波数よりも低い第2周波数に第2周波数ピークを有し、
前記慣性体を駆動する前記サーボ制御信号は、前記搬送波を用いて前記アナログ電圧信号を変調した後の信号であって、前記第2周波数ピークと重なりのある周波数ピークを有する、
慣性検出装置。
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