JP2017103365A - リードフレーム及び電子部品装置とそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】端子部と封止樹脂との十分な密着性が得られるリードフレームを提供する。【解決手段】金属板10から形成された端子部50と、金属板10から形成されたダイパッド部40とを備え、端子部50及びダイパッド部40は、上端から下側に凹曲面状に形成された第1側面S1と、第1側面S1の下端から下側に凹曲面状に形成された第2側面S2とをそれぞれ含み、第1側面S1と第2側面S2との境界部分が外側方向に突出する突出部Tとなっており、第2側面S2は第1側面S1の位置よりも内部に食い込んでおり、第2側面S2の上端から下端までの距離D2は、第1側面S1の上端から下端までの距離D1よりも長く、かつ、ダイパッド部40の第1側面S1が配置された側の面が電子部品搭載面となっている。【選択図】図10
Description
本発明は、リードフレーム及び電子部品装置とそれらの製造方法に関する。
従来、半導体チップなどの電子部品を実装するためのリードフレームがある。そのようなリードフレームでは、ダイパッドの上に搭載された半導体チップが周囲のリードにワイヤによって接続され、半導体チップ及びワイヤが封止樹脂で封止される。
後述する予備的事項で説明するように、リードフレームが封止樹脂から抜け落ちることを防止するため、リードフレームの端子部の側面上端に突出部が形成される。しかし、エッチング抑制剤を含むウェットエッチングで形成される突出部は厚みがかなり薄く尖った形状となる。
このため、リードフレームに上下方向に応力がかかると、端子部の突出部が欠けてしまい、アンカーとして機能しなくなるため、十分な信頼性が得られない課題がある。
また、半導体チップと端子部とをワイヤボンディングで接続する際に、突出部が欠けてしまうことがある。
端子部と封止樹脂との十分な密着性が得られるリードフレーム及び電子部品装置とそれらの製造方法を提供することを目的とする。
以下の開示の一観点によれば、金属板から形成された端子部と、前記金属板から形成されたダイパッド部とを備え、前記端子部及びダイパッド部は、上端から下側に凹曲面状に形成された第1側面と、前記第1側面の下端から下側に凹曲面状に形成された第2側面とをそれぞれ有し、前記第1側面と第2側面との境界部分が外側方向に突出する突出部となっており、前記第2側面は第1側面の位置よりも内部に食い込んでおり、前記第2側面の上端から下端までの距離は、前記第1側面の上端から下端までの距離よりも長く、かつ、前記ダイパッド部の前記第1側面が配置された側の面が電子部品搭載面であるリードフレームが提供される。
また、その開示の他の観点によれば、金属板から形成された端子部と、前記金属板から形成されたダイパッド部とを備え、前記端子部及びダイパッド部は、上端から下側に凹曲面状に形成された第1側面と、前記第1側面の下端から下側に凹曲面状に形成された第2側面とをそれぞれ有し、前記第1側面と第2側面との境界部分が外側方向に突出する突出部となっており、前記第2側面は第1側面の位置よりも内部に食い込んでおり、前記第2側面の上端から下端までの距離は、前記第1側面の上端から下端までの距離よりも長く、かつ、前記ダイパッド部の前記第1側面が配置された側の面が電子部品搭載面であるリードフレームと、前記リードフレームの電子部品搭載面に搭載され、前記端子部に電気的に接続された電子部品と、前記電子部品と、前記端子部及び前記ダイパッド部の前記第1側面及び前記第2側面とを被覆して形成された封止樹脂とを有する電子部品装置が提供される。
さらに、その開示の他の観点によれば、金属板の上面に、開口部が設けられた第1レジスト層を形成する工程と、前記第1レジスト層の開口部を通して、前記金属板を厚みの途中までウェットエッチングして、第1凹部を形成する第1のエッチング工程と、前記第1レジスト層を除去する工程と、前記金属板の上面に、前記第1凹部の内壁面の周縁部を第2レジスト層で被覆した状態で、前記第1凹部の上に開口部が設けられた前記第2レジスト層を形成する工程と、前記第2レジスト層の開口部を通して、前記第1凹部の底面から前記金属板をウェットエッチングする第2のエッチング工程とを有し、前記第2のエッチング工程を行うことにより、前記第1凹部の内壁面の周縁部から得られる凹曲面状の第1側面と、前記第1側面の下端に接して配置される凹曲面状の第2側面とが形成され、前記第1側面と第2側面との境界部分が外側方向に突出する突出部となって形成され、前記第2側面は第1側面の位置よりも内部に食い込んで形成され、かつ、前記第2側面の上端から下端までの距離は、前記第1側面の上端から下端までの距離よりも長く設定されるリードフレームの製造方法が提供される。
以下の開示によれば、リードフレームの端子部及びダイパッド部は、上端から下側に凹曲面状に形成された第1側面と、第1側面の下端から下側に凹曲面状に形成された第2側面とをそれぞれ有する。そして、第1側面と第2側面との境界部分が外側方向に突出する突出部となっている。
突出部を含む第1側面は上端から下端まで所要の距離を有するため、ある程度の厚みを有する。これにより、リードフレームに上下方向に応力がかかるとしても、突出部が欠けることはなく、アンカーとして十分に機能するため、十分な信頼性が得られる。
以下、実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
実施形態を説明する前に、基礎となる予備的事項について説明する。
図1及び図2は、予備的事項に係るリードフレームの課題を説明するための図である。予備的事項の記載は、発明者の個人的な検討内容であり、公知技術ではない新規な技術内容を含む。
予備的事項に係るリードフレームの製造方法では、図1(a)に示すように、まず、圧延銅箔などからなる薄厚の銅板100を用意する。そして、銅板100の上面に、開口部120aが設けられた第1レジスト層120をパターニングして形成する。さらに、銅板100の下面の全体に第2レジスト層140を形成して下面を保護する。
次いで、図1(b)に示すように、第1レジスト層120の開口部120aを通して銅板100を厚みの途中までウェットエッチングして凹部Cを形成する。ウェットエッチングは、エッチング抑制剤を含む銅のウェットエッチング液を使用するスプレーエッチングにより行われる。
このとき、エッチング抑制剤の作用により、第1レジスト層120の開口部120aの側面直下のエッチング面にエッチング抑制物が付着することにより、横方向へのエッチングが抑制される。エッチングが進むにつれて、側面へのエッチング抑制物の付着が少なくなるため、銅板100の凹部Cの側面の途中でサイドエッチング量が大きくなり、横方向に食い込んだ側面形状となる。
このようにして、凹部Cの側面の上端に庇状の突出部Tが形成される。後述するように、電子部品装置を構築する際に凹部Cに封止樹脂が充填され、突出部Tは封止樹脂からリードフレームが抜け落ちることを防止するアンカーとして機能する。
その後に、図1(c)に示すように、第1レジスト層120及び第2レジスト層140を除去する。
次いで、図1(d)に示すように、銅板100のダイパッド部となる領域(不図示)に半導体チップ(不図示)を搭載し、半導体チップと銅板100の端子部になる部分とをワイヤ150で接続する。図1(d)では、銅板100の端子部になる領域が部分的に示されている。
さらに、図2(a)に示すように、半導体チップ、ワイヤ150、及び銅板100を封止樹脂200で封止する。続いて、銅板100の下面に、凹部Cに対応する領域に開口部160aが設けられた第3レジスト層160を形成する。
次いで、図2(b)に示すように、第3レジスト層160の開口部160aを通して、銅板100を下面から凹部Cの底の封止樹脂200に到達するまでウェットエッチングする。その後に、第3レジスト層160が除去される。
このようにして、図2(c)に示すように、銅板100が上面及び下面からウェットエッチングによって貫通加工されてパターン化される。これにより、ダイパッド部(不図示)とその周囲の端子部300とが分離された状態で形成される。以上により、リードフレームに半導体チップが電気的に接続された電子部品装置が構築される。
前述したように、端子部300の上端の突出部Tは、封止樹脂200からリードフレームが抜け落ちることを防止するアンカーとして機能する。しかし、エッチング抑制剤の作用で形成される突出部Tは、厚みがかなり薄く尖った形状となっている。このため、電子部品装置に上下方向に応力がかかると、突出部Tが欠けてしまい、アンカーとして機能しなくなるため、電子部品装置の十分な信頼性が得られない課題がある。
また、エッチング抑制剤を添加するウェットエッチングは、エッチング抑制剤の添加量、エッチング液の圧力や温度などの要因で凹部Cを形成する際に寸法が変動しやすいため、端子部300の表面寸法が安定しない課題もある。
以下に説明する実施形態のリードフレームでは、前述した課題を解消することができる。
(第1実施形態)
図3〜図9は第1実施形態のリードフレームの製造方法を説明するための図、図10は第1実施形態のリードフレーム及び電子部品装置を示す図である。
図3〜図9は第1実施形態のリードフレームの製造方法を説明するための図、図10は第1実施形態のリードフレーム及び電子部品装置を示す図である。
以下、リードフレーム及び電子部品装置の製造方法を説明しながら、リードフレーム及び電子部品装置の構造について説明する。
第1実施形態のリードフレームの製造方法では、まず、図3(a)に示すような銅板10を用意する。銅板10としては、厚みが75μm〜200μmの圧延銅箔が使用される。銅板10は金属板の好適な一例であり、リードフレームとして使用できる各種の金属板を使用することができる。
次いで、図3(b)に示すように、銅板10の上面に、開口部21aが設けられた第1レジスト層21をパターニングして形成する。さらに、銅板10の下面の全体に第2レジスト層22を形成して下面を保護する。
第1、第2レジスト層21,22としては、液状レジスト、ドライフィルムレジスト、又は電着レジストが使用される。第1レジスト層21の開口部21aはフォトリソグラフィに基づいて露光、現像を行うことにより形成される。
第1、第2レジスト層21、22の代わりに、マスクとして金めっき層を使用してもよい。
銅板10には、半導体チップが搭載されるダイパッド部が配置されるダイパッド領域Aと、端子部が配置される端子領域Bとが画定されている。
以下の説明では、図3(b)の銅板10の端子領域Bを部分的に示して説明する。図4(a)には、図3(b)の銅板10の端子領域Bが拡大されて部分的に示されている。
そして、図4(b)に示すように、第1レジスト層21の開口部21aを通して、銅板10を上面から厚みの途中までウェットエッチングして第1凹部C1を形成する。
本実施形態のウェットエッチングでは、エッチング抑制剤を含まないエッチング液が使用される。エッチング装置としては、スプレーウェットエッチング装置が好適に使用されるが、ディップ方式、スピナー方式などの他のエッチング装置を採用してもよい。
銅板10のエッチング液としては、塩化第二鉄溶液、塩化第二銅溶液、アルカリエッチング液などが使用される。アルカリエッチング液としては、例えば、塩化アンモニウム銅溶液が使用される。
このとき、エッチング抑制剤を含まないエッチング液を使用するため、銅板10は第1レジスト層21の開口部21a内から完全な等方性エッチングでエッチングされる。等方性エッチングでは、厚み方向と横方向のエッチング量が同じになる。
このため、第1レジスト層21の開口部21aの側面下端からの横方向の食い込み量と、同じく側面下端からの深さは同じ寸法になり、第1凹部C1の内面は凹曲面状に形成される。第1凹部C1の深さは、10μm〜50μmに設定される。
このように、本実施形態では、予備的事項と違ってエッチング抑制剤を使用しないため、この段階では第1凹部C1の側面の上端に突出部は形成されない。
その後に、図4(c)に示すように、第1、第2レジスト層21,22を除去する。レジスト層を除去する工程では、レジスト剥離液によってレジスト層が剥離される。レジスト剥離液としては、苛性ソーダ、又はアミン系の有機溶剤が使用される。
次いで、図4(d)に示すように、図4(c)の銅板10の上面に、第1凹部C1上に開口部23aが設けられた第3レジスト層23を形成する。第3レジスト層23の開口部23aは、第1凹部C1の内壁面の周縁部が第3レジスト層23で被覆された状態で、第1凹部C1の中央部上に配置される。
第1凹部C1の一端からの第3レジスト層23のかぶり量Wは10μm〜50μmに設定される。
第3レジスト層23は第1凹部C1の段差が生じた銅板10の上面に形成されるため、真空ラミネータによって第1レジスト層21よりも厚膜のドライフィルムレジストを積層して形成する。これより、第3レジスト層23が第1凹部C1上にも隙間なく形成され、第3レジスト層23のパターンを信頼性よく形成することができる。
また、同じく図4(d)に示すように、銅板10の下面の全体に第4レジスト層24を形成して下面を保護する。
次いで、図5(a)に示すように、第3レジスト層23の開口部23aを通して、銅板10を第1凹部C1の底面から厚みの途中までウェットエッチングする。このときも、エッチング抑制剤を含まないウェットエッチング液が使用される。このため、第3レジスト層23の開口部23a内から銅板10が完全な等方性エッチングでエッチングされる。
これにより、第1凹部C1の内壁面の周縁部に第1側面S1が残された状態で、第1凹部C1の深さが深くなって第2凹部C2が形成される。第2凹部C2は、第1凹部C1の第1側面S1とそれに接する第2側面S2とを備えて形成される。その後に、図5(b)に示すように、第3レジスト層23及び第4レジスト層24を除去する。
第2凹部C2の深さは、例えば、銅板10の全体の厚みの2/3程度になるように設定される。
図5(b)に示すように、第2凹部C2の第2側面S2は、第3レジスト層23で被覆されて残される第1側面S1の下端から銅板10の内部に食い込むようにして、凹曲面状に形成される。
これにより、第1側面S1と第2側面S2との境界部分が突出部Tとなって形成される。図5(b)の突出部Tを含む第1側面は、予備的事項で説明したように、電子部品装置を構築する際に、封止樹脂からリードフレームが抜け落ちることを防止するアンカーとして機能する。
図5(b)の突出部Tを含む第1側面S1は上端から下端まで所要の距離を有するため、ある程度の厚みを有して形成される。このため、電子部品装置に上下方向に応力がかかるとしても、突出部Tが欠けることがなく、電子部品装置の十分な信頼性が得られる。
次いで、図5(c)に示すように、銅板10の上面に、第2凹部C2を覆うように第5レジスト層25をパターニングして形成する。さらに、銅板10の下面に、第2凹部C2に対応するように第6レジスト層26をパターニングして形成する。
続いて、図5(d)に示すように、銅板10をめっき給電経路に利用する電解めっきにより、第5、第6レジスト層25,26から露出する銅板10の上面及び下面の領域に金属めっき層28a,28bをそれぞれ形成する。
金属めっき層28a,28bは、金(Au)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)、銀(Ag)、錫(Sn)、及び亜鉛(Zn)などから形成される単層の金属層、あるいは複数層の金属層から形成される。
その後に、図6に示すように、第4、第5レジスト層24,25を除去する。図7には、この段階での銅板10の全体の様子が示されている。図7に示すように、銅板10のダイパッド領域Aにも同様な形状の第2凹部C2が形成される。ダイパッド領域Aの第2凹部C2の底面が電子部品搭載面となり、その上に半導体チップが搭載される。
このようにして、厚みの途中までパターン化されて、端子部になる領域とダイパッド部になる領域とが形成されたリードフレームを得る。
銅板10の下面の金めっき層28bのパターンは、ダイパッド領域Aと端子領域Bの各端子部になる部分に対応して配置される。金めっき層28bの開口部28xを通して、銅板10を下面からウェットエッチングすることにより、ダイパッド部及び各端子部がそれぞれ得られるようになっている。
次いで、図8(a)及び(b)に示すように、図7の銅板10のダイパッド領域Aの第2凹部C2の底面に半導体チップ30を搭載する。さらに、ワイヤボンディング法により、半導体チップ30の接続部と銅板10の端子領域Bの金めっき層28aとをワイヤ32で接続する。ワイヤ32としては、金線又は銅線などが使用される。
続いて、図9(a)及び(b)に示すように、半導体チップ30、ワイヤ32及び銅板10を封止する封止樹脂34を形成する。このとき、銅板10の第2凹部C2に封止樹脂34が充填される。
このようにして、銅板10の一面側と、端子部になる領域及びダイパッド部になる領域の第1側面S1及び第2側面S2と、半導体チップ30とを封止樹脂34で封止する。
さらに、図10(a)及び(b)に示すように、銅板10の上側側の金属めっき層28bの開口部28xを通して、銅板10を下面側から第2凹部C2の底の封止樹脂34に到達するまでウェットエッチングする。
これにより、銅板10が上面及び下面から貫通加工されて、銅板10がパターン化される。そして、第2側面S2の下端から下側に第3側面S3が形成される。第3側面S3は封止樹脂34から露出し、封止樹脂34から下側に突出して形成される。
金属板の一面側の一例が銅板10の上面側であり、金属板の他面側の一例が銅板10の下面側である。
その結果、銅板10のダイパッド領域Aと端子領域Bとが分離され、半導体チップ30が搭載された銅板10のパターンがダイパッド部40となる。また、銅板10の端子領域Bがパターニングされて相互に分離された端子部50が得られる。
以上により、第1実施形態のリードフレーム1が得られると共に、リードフレーム1に半導体チップ30が搭載された電子部品装置2が得られる。半導体チップ30は電子部品の一例であり、リードフレームに各種の電子部品を搭載して電子部品装置を構築してもよい。
図10(a)に示すように、第1実施形態のリードフレーム1は、ダイパッド部40とその周囲に配置された端子部50とを備えている。ダイパッド部40と端子部50とは分離されて電気的に絶縁されている。ダイパッド部40の下には金属めっき層28bが形成されている。
また、図10(b)の部分拡大断面図に示すように、端子部50の上面に金属めっき層28aが形成され、下面に金属めっき層28bが形成されている。前述したように、ダイパッド部40及び端子部50は銅板10がパターン化されて形成される。銅板10は金属板の一例であり、ダイパッド部40及び端子部50は各種の金属板から形成することができる。
ダイパッド部40の厚みは端子部50の厚みよりも薄く設定されている。ダイパッド部40の高さ位置は、端子部50の上面の高さ位置よりも低くなっている。そして、ダイパッド部40の上面が電子部品搭載面となっており、電子部品搭載面に半導体チップ30が搭載されている。ダイパッド部40は端子部50の第3側面S3と同じ側面を有して形成される。
半導体チップ30の接続部と端子部50上の金属めっき層28aとがワイヤ32によって接続されている。これにより、半導体チップ30がリードフレーム1の端子部50に電気的に接続される。また、半導体チップ30、ダイパッド部40、端子部50及びワイヤ32が封止樹脂34によって封止されている。
また、図10(b)の部分拡大断面図に示すように、端子部50は、上から順に、第1側面S1、第2側面S2及び第3側面S3を備えている。
第1側面S1は、端子部50の上端から下側に凹曲面状に形成されている。また、第2側面S2は、第1側面S1の下端から下側に凹曲面状に形成されており、第2側面S2の上端が第1側面S1の下端に接している。凹曲面状の側面は、断面視して円の一部をなす円弧状に形成される。
また、第2側面S2は、第1側面S1の下端から端子部50の内部に食い込んで形成されている。
これにより、第1側面S1と第2側面S2との境界部分が外側に突出する突出部Tとなっている。
好適な一例としては、第1側面S1の上端から下端までの距離D1は1μm〜20μmである。また、第1側面S1の上端から下端までの水平方向の長さLは、5〜30μmである。また、第1側面S1の下端からの第2側面S2の食い込み寸法Mは、5μm〜30μmである。
また、第2側面S2の上端から下端までの距離D2は、第1側面S1の上端から下端までの距離D1よりも長く設定される。
第2側面S2は、第1側面S1の位置よりも端子部50の内部に食い込んで配置されている。
さらに、第3側面S3は、第2側面S2の下端から下側に凹曲面状に形成されており、第3側面S3の上端が第2側面S2の下端に接している。第3側面S3の下端が端子部50の下面に接している。第3側面S3は封止樹脂34から露出しており、封止樹脂34の下端から下側に突出している。
第1実施形態では、端子部50の側面は、3つの凹曲面状の第1〜第3側面S1〜S3が接するため、それらの境界に側面から外側に突起する2つの側面突起Pが存在する。
封止樹脂34は端子部50の第1側面S1及び第2側面S2を封止して形成され、第3側面S3は封止樹脂34で封止されておらず、露出している。
端子部50の上端側に形成された突出部Tが封止樹脂34からリードフレーム1が抜け落ちることを防止するアンカーとして機能する。
本実施形態では、前述した図4(d)〜図5(b)で説明したように、第1側面S1になる第1凹部C1の内壁面の周縁部が第3レジスト層23で被覆された状態で、第1凹部C1の底に第2凹部C2を形成している。
これにより、第2凹部C2を形成する際に、上端から下端まで所要の距離D1を有する第1側面S1が確実に確保される。しかも、第2凹部C2は第1側面S1から内部に食い込んで形成されるため、第1側面S1と第2側面S2との境界部分が外側に突き出る突出部Tとなる。
突出部Tを含む第1側面S1は上端から下端まで所要の距離D1を有するため、ある程度の厚みを有する。よって、電子部品装置2に上下方向に応力がかかるとしても、突出部Tが欠けることはなく、アンカーとして十分に機能するため、電子部品装置の十分な信頼性が得られる。
また、前述した予備的事項の端子部300の側面内には中央部に側面突起が1つ形成されているだけである。これに対して、第1実施形態では、端子部50は、3つの第1〜第3側面S1〜S3を備え、2つの側面突起Pが形成されている。
このため、端子部50の断面形状が複雑になって封止樹脂34の接触面積が大きくなるため、端子部50が封止樹脂34から抜けにくい構造となる。
第1凹部C1及び第2凹部C2の各エッチング深さ(図4(b)、図5(a))を調整することにより、2つの側面突起Pの位置を上下に移動させることができる。
また、端子部50の表面寸法は、前述した図4(c)の第1凹部C1の寸法で概ね決定される。第1凹部C1のエッチング深さは10μm〜50μmと比較的浅く、また第1凹部C1はエッチング抑制剤を含まない等方性のウェットエッチングによって形成される。
これにより、第1凹部C1の寸法のばらつきを抑制できるため、端子部50の表面寸法を安定させることができる。
その結果、端子部50などを形成するためのフォトマスクの設計時のパターン補正の割り出しが容易になり、コスト的に有利になる。
また、第1凹部C1及び第2凹部C2の各エッチング深さ(図4(b)、図5(a))、図4(d)の第3レジスト層23のかぶり量Wを調整することにより、突出部Tの形状や第2側面S2の食い込み寸法Mを調整することができる。
また、第1実施形態では、予備的事項の図1(c)の凹部Cに対応する部分を第1凹部C1及び第2凹部C2の2つに分けて形成するため、端子部50の第2側面C2の内部への食い込み寸法を小さくできる。これにより、半導体チップ30と端子部50とをワイヤボンディング法によってワイヤ32で接続する際に、端子部50が破損することが防止される。
また、本実施形態では、端子部50の第1側面S1は上端から下端まで水平方向の長さLを有している、このため、端子部50を平面視すると、外周線が二重になって見えるため、端子部50の側面に突出部Tが形成されていることを推察することができる。
さらには、銅板10を3回のエッチングに分けて貫通加工するため、図10(b)の側面突起Pの出っ張りを予備的事項の2回のエッチングで行う場合よりも小さくすることができる。
このため、端子部50の配置ピッチを狭くすることが可能になり、端子部50のパターンの微細化を図ることができる。
図11(a)に示すように、前述した図7の構造体を第1実施形態の他のリードフレーム1xとしてもよい。第1実施形態の他のリードフレーム1xでは、銅板10にダイパッド領域Aのダイパッド部40と、端子領域Bの端子部50とが繋がった状態となっている。
図11(a)では、ダイパッド部40は第2凹部C2の底面に配置され、端子部50が平板上の銅板10の一面側から上側に突出して形成されている。
また、図11(b)の他のリードフレーム1yでは、同様に、銅板10にダイパッド領域Aのダイパッド部40と、端子領域Bの端子部50とが繋がった状態となっている。図11(b)では、ダイパッド部40と端子部50とが共に平板状の銅板10の一面側からから上側に突出して形成されている。
また、図11(b)では、ダイパッド部40は、端子部50と同様に、第1側面S1と第2側面S2を備えて形成される。
図11(b)のリードフレーム1yを使用して電子部品装置を構築する場合は、前述した図10(a)において、ダイパッド部40が端子部50と同様に、第1側面S1、第2側面S2及び第3側面S3を備えた形成され、ダイパッド部40及び端子部50の各第3側面S3が封止樹脂34から露出した状態となる。
次の図12には、第1実施形態の変形例のリードフレームの製造方法が示されている。変形例のリードフレームの製造方法では、図12(a)に示すように、まず、前述した図5(b)と同様に、銅板10に第1、第2側面S1,S2を備えた第2凹部C2を形成する。
次いで、図12(b)に示すように、金属めっき層を形成する工程を省略し、前述した図8(a)と同様に、銅板10のダイパッド領域Aに半導体チップ30を搭載し、半導体チップ30と銅板10の端子領域Bとをワイヤ32で接続する。その後に、半導体チップ30及びワイヤ32などを封止樹脂34で封止する。
さらに、図12(c)に示すように、銅板10の下面の全面を第2凹部C2の底の封止樹脂34に到達するまでウェットエッチングする。これにより、前述した図10(a)と同様に、ダイパッド部40と端子部50とが分離されて形成される。
また、他の変形例としては、前述した図8(a)の工程で、半導体チップをフリップチップ接続するようにしてもよい。この場合は、特に図示しないが、前述した図7の工程で、銅板10のダイパッド領域Aを端子領域Bとして形成し、端子部になるパターンに半導体チップのバンプ電極をフリップチップ接続する。
さらに、半導体チップの下側にアンダーフィル樹脂を充填し、半導体チップ及び銅板を封止樹脂で封止した後に、下面から銅板がエッチングされて各端子部が得られる。
以上のように、ワイヤ接続又はフリップチップ接続により、電子部品がリードフレームの端子部に電気的に接続されて電子部品装置が構築される。
(第2実施形態)
図13〜図15は第2実施形態のリードフレームの製造方法を示す図、図16は第2実施形態のリードフレームを示す図、図17は第2実施形態の電子部品装置を示す図である。
図13〜図15は第2実施形態のリードフレームの製造方法を示す図、図16は第2実施形態のリードフレームを示す図、図17は第2実施形態の電子部品装置を示す図である。
前述した第1実施形態では、銅板の上面からエッチングを2回行って凹部を形成した後に、下面から3回目のエッチングを行うことにより、3つの第1〜第3側面が接する端子部を形成している。
第2実施形態のリードフレームは、銅板の上面及び下面に1回目のエッチングで同時に凹部を形成した後に、上面及び下面から2回目のエッチングを同時に行うことにより形成される。これにより、端子部の側面は、4つの凹曲面状の第1〜第4側面が接して形成される。
第2実施形態のリードフレームの製造方法では、図13(a)に示すように、第1実施形態の図3(a)と同一の銅板10を用意する。次いで、図13(b)に示すように、銅板10の上面に、開口部21aが設けられた第1レジスト層21を形成する。さらに、銅板10の下面に、第1レジスト層21の開口部21aに対応する部分に開口部22aが設けられた第2レジスト層22を形成する。
第1実施形態と同様に、銅板10には、半導体チップが搭載されるダイパッド部が配置されるダイパッド領域Aと、端子部が配置される端子領域Bとが画定されている。
第1実施形態と同様に、以下の説明では、図13(b)の銅板10の端子領域Bを部分的に示して説明する。図14(a)には、図14(b)の銅板10の端子領域Bが拡大されて部分的に示されている。
そして、図14(b)に示すように、第1実施形態の図4(b)の工程と同様に、金属層10の上面の第1レジスト層21の開口部21aを通して、銅板10を上面からウェットエッチングすることにより第1凹部C1を形成する。
また同様に、金属層10の下面の第2レジスト層22の開口部22aを通して、銅板10の下面からウェットエッチングすることにより第1凹部C2を形成する。第2実施形態においても、ウェットエッチングは、エッチング抑制剤を含まないエッチング液が使用される。
その後に、図14(c)に示すように、第1レジスト層21及び第2レジスト層22を除去する。
次いで、図15(a)に示すように、第1実施形態の図4(d)の工程と同様に、図14(c)の銅板10の上面の第1凹部C1の上に開口部23aが設けられた第3レジスト層23を形成する。第1実施形態と同様に、第3レジスト層23の開口部23aは、第1凹部C1の内壁面の周縁部が第3レジスト層23で被覆された状態で、第1凹部C1の中央部上に配置される。
また同様に、銅板10の下面の第2凹部C2の上に開口部24aが設けられた第4レジスト層23を形成する。同様に、第4レジスト層24の開口部24aは、第2凹部C2の内壁面の周縁部が第4レジスト層24で被覆された状態で、第2凹部C2の中央部上に配置される。
続いて、図15(b)に示すように、銅板10の上面の第3レジスト層23の開口部23aを通して、第1凹部C1の底の銅板10を厚み方向にウェットエッチングする。
また同時に、銅板10の下面の第4レジスト層24の開口部24aを通して、第2凹部C2の底の銅板10を厚み方向にウェットエッチングする。
このとき、銅板10の上面からのエッチング面と下面からのエッチング面とが連通して、銅板10が上面及び下面から貫通加工されてパターン化される。その後に、第3レジスト層23及び第4レジスト層24を除去する。
以上により、図16(a)及び(b)に示すように、第2実施形態のリードフレーム1aが得られる。
図16(a)には、リードフレーム1aの全体の様子が示されている。前述した図13(b)の銅板10がエッチングされて、図16(a)のリードフレーム1aが得られる。
第2実施形態のリードフレーム1aは、ダイパッド部40とその周囲に配置された端子部50とを備えている。ダイパッド部40と端子部50とは分離されて電気的に絶縁されている。この段階では、ダイパッド部40と端子部50、及び端子部50同士がタイバー(不図示)で連結されている。
図16(b)の部分拡大断面図に示すように、端子部50は、上から順に、第1側面S1、第2側面S2、第3側面S3及び第4側面S4を備えている。第1側面S1及び第2側面S2と、第3側面S3及び第4側面S4とは、第2側面S2と第3側面S3との境界線を軸として対称になって配置されている。
第1側面S1は、第1実施形態の図10(a)及び(b)と同様に、端子部50の上端から下側に凹曲面状に形成されている。また、第2側面S2は、第1実施形態の図10(a)及び(b)と同様に、第1側面S1の下端から下側に凹曲面状に形成されており、第2側面S2の上端が第1側面S1の下端に接している。
第2側面S2は、第1側面S1の下端から端子部50の内部へ食い込んで形成されている。これにより、第1側面S1と第2側面S2との境界部分が外側に突出する突出部Tとなっている。
さらに、第3側面S3は、第2側面S2の下端から下側に凹曲面状に形成されており、第3側面S3の上端が第2側面S2の下端に接している。
また、第4側面S4は、第3側面S3の下端から下側に凹曲面状に形成されており、第4側面S4の上端が第3側面S3の下端に接している。第4側面S4の下端が端子部50の下面に接している。
第2実施形態では、端子部50の側面は、4つの凹曲面状の第1〜第4側面S1〜S4が接するため、それらの境界に3つの側面突起Pが存在する。
また、ダイパッド部40においても、端子部50と同様に、上から順に、第1側面S1、第2側面S2、第3側面S3及び第4側面S4を備えている。そして、ダイパッド部40の第1側面S1が配置された側の面が電子部品搭載面となっている。
第2実施形態では、端子部50の第1側面S1及び第2側面S2が第1実施形態の図10(a)及び(b)の端子部50と同様に形成されて突出部Tが得られる。このため、第2実施形態のリードフレーム1aは第1実施形態のリードフレーム1と同様な効果を奏する。
また、第2実施形態では、銅板10の上面及び下面からそれぞれ2回のエッチングを行うため、端子部50の側面に3つの側面突起Pが形成される。これにより、断面形状がより複雑になるため、封止樹脂34とリードフレーム1aとの密着性をさらに向上させることができる。
また、第2実施形態では、銅板10が実質的に4回のエッチングに分けて貫通加工されることになるため、側面突起Pの出っ張りがより小さくなり、端子部50の微細化に有利になる。
第2実施形態では、図17に示すように、リードフレーム1aのダイパッド部40の電子部品搭載面に半導体チップ30が搭載される。そして、半導体チップ30の接続部と端子部50とがワイヤ32で接続される。
さらに、半導体チップ30、ワイヤ32及びリードフレーム1aを封止樹脂34で封止する。その後に、リードフレーム1aのタイバー(不図示)が切断されて、ダイパッド部40及び各端子部50が相互に分離される。
以上により、第2実施形態の電子部品装置2aが得られる。
第2実施形態においても、リードフレーム1aのダイパッド部40の代わりに端子部50を形成し、その端子部50に半導体チップ30のバンプ電極をフリップチップ接続してもよい。
(第3実施形態)
図18は第3実施形態のリードフレームの製造方法を示す図、図19は第3実施形態のリードフレームを示す図、図20は第3実施形態の電子部品装置を示す図である。
図18は第3実施形態のリードフレームの製造方法を示す図、図19は第3実施形態のリードフレームを示す図、図20は第3実施形態の電子部品装置を示す図である。
第3実施形態のリードフレームは、銅板の上面及び下面に1回目のエッチングで同時に凹部を形成した後に、上面から2回目のエッチングを行うことにより形成される。これにより、端子部の側面は、3つの凹曲面状の第1〜第3側面が接して形成される。
第3実施形態のリードフレームの製造方法では、図18(a)に示すように、まず、前述した第2実施形態の図14(a)〜(b)と同様な方法により、図14(c)と同一構造の銅板10を用意する。銅板10の上面に第1凹部C1が形成され、下面に第2凹部C2が形成される。
次いで、図18(b)に示すように、第1実施形態の図4(d)の工程と同様に、図18(a)の銅板10の上面の第1凹部C1の上に開口部21aが設けられた第1レジスト層21を形成する。
第1実施形態と同様に、第1レジスト層21の開口部21aは、第1凹部C1の内壁面の周縁部が第1レジスト層21で被覆された状態で、第1凹部C1の中央部上に配置される。
さらに、銅板10の下面の全体に第2レジスト層22を形成して、第2凹部C2を含む下面を保護する。
続いて、図18(c)に示すように、銅板10の上面の第1レジスト層21の開口部21aを通して、第1凹部C1の底の銅板10を厚み方向にウェットエッチングする。このとき、第2凹部C2に形成された第2レジスト層22に到達するまでエッチングが行われる。
第3実施形態においても、ウェットエッチングは、エッチング抑制剤を含まないエッチング液が使用される。
その後に、第1レジスト層21及び第2レジスト層22を除去する。
以上により、図19(a)及び(b)に示すように、第3実施形態のリードフレーム1bが製造される。
図19(a)は、リードフレーム1bの全体の様子が示されている。前述した図13(b)と同一の銅板10がエッチングされて図19(a)のリードフレーム1bが得られる。
図19(a)に示すように、第3実施形態のリードフレーム1bは、ダイパッド部40とその周囲に配置された端子部50とを備えている。ダイパッド部40と端子部50とは分離されて電気的に絶縁されている。この段階では、ダイパッド部40と端子部50、及び端子部50同士がタイバー(不図示)で連結されている。
図19(b)の部分拡大断面図に示すように、端子部50は、上から順に、第1側面S1、第2側面S2及び第3側面S3を備えている。
第1側面S1は、第1実施形態の図10(a)及び(b)と同様に、端子部50の上端から下側に凹曲面状に形成されている。
また、第2側面S2は、第1実施形態の図10(a)及び(b)と同様に、第1側面S1の下端から下側に凹曲面状に形成されており、第2側面S2の上端が第1側面S1の下端に接している。
第2側面S2は、第1側面S1の下端から端子部50の内部に食い込んで形成される。
これにより、第1側面S1と第2側面S2との境界部分が外側に突出する突出部Tとなっている。
また、第3側面S3は、第2側面S2の下端から凹曲面状に形成されており、第3側面S3の上端が第2側面S2の下端に接している。第3側面S3の下端が端子部50の下面に接している。
第3実施形態では、端子部50の側面は、3つの凹曲面状の第1〜第3側面S1〜S3が接するため、それらの境界に2つの側面突起Pが存在する。
第3実施形態では、端子部50の第1側面S1及び第2側面S2が第1実施形態の図10(a)及び(b)の端子部50と同様に形成されて突出部Tが得られる。このため、第3実施形態のリードフレーム1bは、第1実施形態のリードフレーム1と同様な効果を奏する。
また、ダイパッド部40においても、端子部50と同様に、上から順に、第1側面S1、第2側面S2、及び第3側面を備えている。そして、ダイパッド部40の第1側面S1が配置された側の面が電子部品搭載面となっている。
さらに、図20に示すように、第2実施形態の図17と同様に、リードフレーム1bのダイパッド部40の電子部品搭載面に半導体チップ30が搭載される。そして、半導体チップ30の接続部と端子部50とがワイヤ32で接続される。
さらに、半導体チップ30、ワイヤ32及びリードフレーム1bが封止樹脂34で封止される。その後に、リードフレーム1bのタイバー(不図示)が切断されて、ダイパッド部40及び各端子部50が相互に分離される。
以上により、第3実施形態の電子部品装置2bが得られる。
第3実施形態においても、リードフレーム1bのダイパッド部40の代わりに端子部50を形成し、その端子部50に半導体チップ30のバンプ電極をフリップチップ接続してもよい。
(第4実施形態)
図21は第4実施形態のリードフレームの製造方法を示す図、図22は第4実施形態のリードフレームを示す図、図23は第4実施形態の電子部品装置を示す図である。
図21は第4実施形態のリードフレームの製造方法を示す図、図22は第4実施形態のリードフレームを示す図、図23は第4実施形態の電子部品装置を示す図である。
第4実施形態のリードフレームは、銅板の上面に1回目のエッチングで凹部を形成した後に、上面から2回目のエッチングをすることにより形成される。これにより、端子部の側面は、2つの凹曲面状の第1、第2側面が接して形成される。
図21(a)に示すように、前述した第1実施形態の図3(a)〜図4(c)の工程を遂行することにより、図4(c)と同一の銅板10を得る。銅板10の上面に凹部Cが形成される。
次いで、図21(b)に示すように、第1実施形態の図4(d)の工程と同様に、図21(a)の銅板10の上面の凹部Cの上に開口部21aが設けられた第1レジスト層21を形成する。
第1実施形態と同様に、第1レジスト層21の開口部21aは、凹部Cの内壁面の周縁部が第1レジスト層21で被覆された状態で、凹部Cの中央部上に配置される。さらに、銅板10の下面の全体に第2レジスト層22を形成して下面を保護する。
続いて、図21(c)に示すように、銅板10の上面の第1レジスト層21の開口部21aを通して、凹部Cの底の銅板10を厚み方向にウェットエッチングする。
このとき、銅板10の下面の第2レジスト層22に到達するまでエッチングが行われる。
第4実施形態においても、ウェットエッチングは、エッチング抑制剤を含まないエッチング液が使用される。
その後に、第1レジスト層21及び第2レジスト層22を除去する。
以上により、図22(a)及び(b)に示すように、第4実施形態のリードフレーム1cが製造される。
図22(a)には、リードフレーム1cの全体の様子が示されている。前述した図3(b)と同一の銅板10がエッチングされて図22(a)のリードフレーム1cが得られる。
図22(a)に示すように、第4実施形態のリードフレーム1cでは、ダイパッド部40とその周囲に配置された端子部50とを備えている。ダイパッド部40と端子部50とは分離されて電気的に絶縁されている。この段階では、ダイパッド部40と端子部50、及び端子部50同士がタイバー(不図示)で連結されている。
図22(b)の部分拡大断面図に示すように、端子部50は、上から順に、第1側面S1及び第2側面S2を備えている。
第1側面S1は、第1実施形態の図10(a)及び(b)と同様に、端子部50の上端から下側に凹曲面状に形成されている。
また、第2側面S2は、第1実施形態の図10(a)及び(b)と同様に、第1側面S1の下端から下側に凹曲面状に形成されており、第2側面S2の上端が第1側面S1の下端に接している。第2側面S2の下端が端子部50の下面に接している。
第2側面S2は、第1側面S1の下端から端子部50の内部に食い込んで形成される。
これにより、第1側面S1と第2側面S2との境界部分が外側に突出する突出部Tとなっている。
第4実施形態では、端子部50の側面は、2つの凹曲面状の第1、第2側面S1、S2が接するため、それらの境界に1つの側面突起Pが存在する。
第4実施形態では、端子部50の第1側面S1及び第2側面S2が第1実施形態の図10(a)及び(b)の端子部50と同様に形成されて突出部Tが得られる。このため、第4実施形態のリードフレーム1cは、第1実施形態のリードフレーム1と同様な効果を奏する。
また、第4実施形態では、端子部50の側面突起Pは一つではあるが、銅板10の上面からエッチングを2回行うため、1回目のエッチング深さによって側面突起Pの高さ位置を調整することができる。
また、ダイパッド部40においても、端子部50と同様に、上から順に、第1側面S1及び第2側面S2を備えている。そして、ダイパッド部40の第1側面S1が配置された側の面が電子部品搭載面となっている。
さらに、図23に示すように、第2実施形態の図17と同様に、リードフレーム1cのダイパッド部40の上に半導体チップ30が搭載される。そして、半導体チップ30の接続部と端子部50とがワイヤ32で接続される。さらに、半導体チップ30、ワイヤ32及びリードフレーム1cが封止樹脂34で封止される。
その後に、リードフレーム1cのタイバー(不図示)が切断されて、ダイパッド部40及び各端子部50が相互に分離される。
以上により、第4実施形態の電子部品装置2cが得られる。
第4実施形態においても、リードフレーム1cのダイパッド部40の代わりに端子部50を形成し、その端子部50に半導体チップ30のバンプ電極をフリップチップ接続してもよい。
(第5実施形態)
図24は第5実施形態のリードフレームの製造方法を示す図、図25は第5実施形態のリードフレームを示す図、図26は第5実施形態の電子部品装置を示す図である。
図24は第5実施形態のリードフレームの製造方法を示す図、図25は第5実施形態のリードフレームを示す図、図26は第5実施形態の電子部品装置を示す図である。
第5実施形態のリードフレームは、銅板の上面に1回目のエッチングで凹部を形成した後に、下面から2回目のエッチングを行うことにより形成される。これにより、端子部の側面は、2つの凹曲面状の第1、第2側面が接して形成される。
図24(a)に示すように、前述した第1実施形態の図3(a)〜図4(c)と同一の工程を遂行することにより、図4(c)と同一の銅板10を用意する。銅板10の上面に凹部Cが形成される。
次いで、図24(b)に示すように、銅板10の上面の全体に第1レジスト層21を形成して、凹部Cを含む上面を保護する。さらに、銅板10の下面に、上面の凹部Cに対応する部分に開口部22aが設けられた第2レジスト層22を形成する。
続いて、図24(c)に示すように、銅板10の下面の第2レジスト層22の開口部22aを通して、銅板10を下面から厚み方向にウェットエッチングする。
このとき、銅板10の凹部C内の第1レジスト層21に到達するまでエッチングが行われる。これにより、銅板10の上端側に凹部Cの内壁面の周縁部からなる第1側面S1が配置され、銅板10の下面からのエッチングにより形成される第2側面S2が第1側面S1の下端に接した状態となる。
このようにして、銅板10が上面及び下面から貫通加工されてパターン化される。
第3実施形態においても、ウェットエッチングは、エッチング抑制剤を含まないウェットエッチング液が使用される。
その後に、第1レジスト層21及び第2レジスト層22を除去する。
以上により、図25(a)及び(b)に示すように、第5実施形態のリードフレーム1dが製造される。
図25(a)は、リードフレーム1dの全体の様子が示されている。前述した図3(b)と同一の銅板10がエッチングされて図25(a)のリードフレーム1dが得られる。
図25(a)に示すように、第5実施形態のリードフレーム1dは、ダイパッド部40とその周囲に配置された端子部50とを備えている。ダイパッド部40と端子部50とは分離されて電気的に絶縁されている。この段階では、ダイパッド部40と端子部50、及び端子部50同士がタイバー(不図示)で連結されている。
図25(b)の部分拡大断面図に示すように、端子部50は、上から順に、第1側面S1及び第2側面S2を備えている。
第1側面S1は、第1実施形態の図10(a)及び(b)と同様に、端子部50の上端から下側に凹曲面状に形成されている。
また、第2側面S2は、第1側面S1の下端から下側に凹曲面状に形成されており、第2側面S2の上端が第1側面S1の下端に接している。第2側面S2の下端が端子部50の下面に接している。
第2側面S2は、第1側面S1の内面から端子部50の内部へ食い込んで形成される。これにより、第1側面S1と第2側面S2との境界部分が外側に突出する突出部Tとなっている。
第5実施形態では、端子部50の側面は、2つの凹曲面状の第1、第2側面S1、S2が接するため、それらの境界に1つの側面突起Pが存在する。
第5実施形態では、端子部50の第1側面S1及び第2側面S2が第1実施形態の図10(a)及び(b)の端子部50と同様に形成されて突出部Tが得られる。このため、第5実施形態のリードフレーム1dは、第1実施形態のリードフレーム1と同様な効果を奏する。
また、第5実施形態では、端子部50の側面突起Pは一つではあるが、銅板10の上面及び下面からのエッチングを分けて行うため、上面からのエッチング深さによって側面突起Pの高さ位置を調整することができる。
また、ダイパッド部40においても、端子部50と同様に、上から順に、第1側面S1及び第2側面S2を備えている。そして、ダイパッド部40の第1側面S1が配置された側の面が電子部品搭載面となっている。
さらに、図26に示すように、第2実施形態の図17と同様に、リードフレーム1dのダイパッド部40の上に半導体チップ30が搭載される。そして、半導体チップ30の接続部と端子部50とがワイヤ32で接続される。
さらに、半導体チップ30、ワイヤ32及びリードフレーム1dが封止樹脂34で封止される。その後に、リードフレーム1bのタイバー(不図示)が切断されて、ダイパッド部40及び各端子部50が相互に分離される。
以上により、第5実施形態の電子部品装置2dが得られる。
第5実施形態においても、リードフレーム1dのダイパッド部40の代わりに端子部50を形成し、その端子部50に半導体チップ30のバンプ電極をフリップチップ接続してもよい。
以上、第1〜第5実施形態で説明したように、本実施形態では、銅板10の上面及び下面からのエッチング回数、各エッチングの深さを調整することで、設計デザインに合わせた各種の断面形状を有するリードフレームを製造することができる。
1,1a,1b,1c、1d,1x、1y…リードフレーム、2,2a,2b,2c,2d…電子部品装置、10…銅板、21…第1レジスト層、21a,23a…開口部、22…第2レジスト層、23…第3レジスト層、24…第4レジスト層、25…第5レジスト層14、26…第6レジスト層、28a,28b…金属めっき層、30…半導体チップ、32…ワイヤ、34…封止樹脂、40…ダイパッド部、50…端子部、A…ダイパッド領域、B…端子領域、C…凹部、C1…第1凹部、C2…第2凹部、P…側面突起、S1…第1側面、S2…第2側面、S3…第3側面、S4…第4側面、T…突出部。
Claims (10)
- 金属板から形成された端子部と、
前記金属板から形成されたダイパッド部とを備え、
前記端子部及びダイパッド部は、
上端から下側に凹曲面状に形成された第1側面と、
前記第1側面の下端から下側に凹曲面状に形成された第2側面とをそれぞれ有し、
前記第1側面と第2側面との境界部分が外側方向に突出する突出部となっており、
前記第2側面は第1側面の位置よりも内部に食い込んでおり、
前記第2側面の上端から下端までの距離は、前記第1側面の上端から下端までの距離よりも長く、かつ、
前記ダイパッド部の前記第1側面が配置された側の面が電子部品搭載面であることを特徴とするリードフレーム。 - 前記第2側面の下端から下側に凹曲面状に形成された第3側面を有することを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記第3側面の下端から下側に凹曲面状に形成された第4側面を有し、
前記第1側面及び第2側面と、前記第3側面と第4側面とは、前記第2側面と前記第3側面との境界線を軸にして対称に配置されていることを特徴とする請求項2に記載のリードフレーム。 - 前記端子部及び前記ダイパッド部は、平板状の前記金属板の一面から突出して形成されていることを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 金属板から形成された端子部を備え、
前記端子部は、
上端から下側に凹曲面状に形成された第1側面と、
前記第1側面の下端から下側に凹曲面状に形成された第2側面とを有し、
前記第1側面と第2側面との境界部分が外側方向に突出する突出部となっており、
前記第2側面は第1側面の位置よりも内部に食い込んでおり、
前記第2側面の上端から下端までの距離は、前記第1側面の上端から下端までの距離よりも長いことを特徴とするリードフレーム。 - 金属板から形成された端子部と、
前記金属板から形成されたダイパッド部とを備え、
前記端子部及びダイパッド部は、
上端から下側に凹曲面状に形成された第1側面と、
前記第1側面の下端から下側に凹曲面状に形成された第2側面とをそれぞれ有し、
前記第1側面と第2側面との境界部分が外側方向に突出する突出部となっており、
前記第2側面は第1側面の位置よりも内部に食い込んでおり、
前記第2側面の上端から下端までの距離は、前記第1側面の上端から下端までの距離よりも長く、かつ、
前記ダイパッド部の前記第1側面が配置された側の面が電子部品搭載面であるリードフレームと、
前記リードフレームの電子部品搭載面に搭載され、前記端子部に電気的に接続された電子部品と、
前記電子部品と、前記端子部及び前記ダイパッド部の前記第1側面及び前記第2側面とを被覆して形成された封止樹脂と
を有することを特徴とする電子部品装置。 - 前記第2側面の下端から下側に凹曲面状に形成された第3側面を有し、前記第3側面は前記封止樹脂から露出していることを特徴とする請求項6に記載の電子部品装置。
- 金属板の上面に、開口部が設けられた第1レジスト層を形成する工程と、
前記第1レジスト層の開口部を通して、前記金属板を厚みの途中までウェットエッチングして、第1凹部を形成する第1のエッチング工程と、
前記第1レジスト層を除去する工程と、
前記金属板の上面に、前記第1凹部の内壁面の周縁部を第2レジスト層で被覆した状態で、前記第1凹部の上に開口部が設けられた前記第2レジスト層を形成する工程と、
前記第2レジスト層の開口部を通して、前記第1凹部の底面から前記金属板をウェットエッチングする第2のエッチング工程とを有し、
前記第2のエッチング工程を行うことにより、
前記第1凹部の内壁面の周縁部から得られる凹曲面状の第1側面と、前記第1側面の下端に接して配置される凹曲面状の第2側面とが形成され、
前記第1側面と第2側面との境界部分が外側方向に突出する突出部となって形成され、
前記第2側面は第1側面の位置よりも内部に食い込んで形成され、かつ、
前記第2側面の上端から下端までの距離は、前記第1側面の上端から下端までの距離よりも長く設定されることを特徴とするリードフレームの製造方法。 - 金属板の上面に、開口部が設けられた第1レジスト層を形成する工程と、
前記第1レジスト層の開口部を通して、前記金属板を厚みの途中までウェットエッチングして、第1凹部を形成する第1のエッチング工程と、
前記第1レジスト層を除去する工程と、
前記金属板の上面に、前記第1凹部の内壁面の周縁部を第2レジスト層で被覆した状態で、前記第1凹部の上に開口部が設けられた前記第2レジスト層を形成する工程と、
前記第2レジスト層の開口部を通して、前記第1凹部の底面から前記金属板をウェットエッチングする第2のエッチング工程とを有し、
前記第2のエッチング工程を行うことにより、ダイパッド部になる領域と、端子部になる領域とが形成されたリードフレームを得る工程と、
ダイパッド部になる領域に電子部品を搭載する工程と、
前記金属板の一面側と、前記端子部になる領域及び前記ダイパッド部になる領域の前記第1側面及び第2側面と、前記電子部品とを封止樹脂で封止する工程と、
前記金属板を他面側からエッチングすることにより、前記端子部と前記ダイパッド部とを得る工程とを有することを特徴とする電子部品装置の製造方法。 - 前記金属板を他面側からエッチングする工程において、
前記第2側面の下端から下側に第3側面が形成され、
前記第3側面は前記封止樹脂から露出し、前記封止樹脂から下側に突出して形成されることを特徴とする請求項9に記載の電子部品装置の製造方法。
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