JP2017102011A - 物理量測定装置 - Google Patents
物理量測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017102011A JP2017102011A JP2015235138A JP2015235138A JP2017102011A JP 2017102011 A JP2017102011 A JP 2017102011A JP 2015235138 A JP2015235138 A JP 2015235138A JP 2015235138 A JP2015235138 A JP 2015235138A JP 2017102011 A JP2017102011 A JP 2017102011A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor module
- claw
- joint
- physical quantity
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/144—Multiple part housings with dismountable parts, e.g. for maintenance purposes or for ensuring sterile conditions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
物理量測定装置の従来例として、圧力センサをホルダで保持する圧力センサユニットがある(特許文献1)。
特許文献1では、ホルダは、圧力センサの開口端側の端部を保持するフランジ部が形成された第1のホルダと、圧力センサのダイアフラム側の端部を保持するフランジ部が形成された第2のホルダとを有するものであり、第1のホルダと第2のホルダとは別体として形成される。
特許文献2では、支持機構部品はプラスチック等から形成されており、固定爪が一体に形成されている。
特許文献3では、取付部は、合成樹脂製であり、センサ本体の外周部を取り囲む鍔部と、鍔部に取り付けられた一対の取付片と、取付片に設けられた係合爪とを有し、係合爪が筒状部に形成された係合孔に係合される。
特許文献2では、振動を検出するものであって、圧力を検出するものではない。そのため、センサモジュールに被測定流体を流通させる孔部が形成された継手は不要となり、継手へセンサモジュールを取り付ける構造については、何ら開示されるものではない。
従って、本発明では、センサモジュールを継手に取り付けるにあたり、溶接等の作業が不要となるので、継手へのセンサモジュールの取付作業を容易に行うことができる。しかも、継手本体と爪部とは合成樹脂から一体形成されるので、継手本体と爪部とを別々に製造することを要せず、部品点数が減少する。
この構成では、変形阻止部材で爪部の外周を押さえることで、爪部が広がってセンサモジュールが外れることを防止する。
この構成では、変形阻止部材の筒部により、爪部のセンサモジュールから離れる方向への変形が阻止されるので、爪部でセンサモジュールを確実に保持することができる。変形阻止部材には筒部に一体形成された板部があるので、変形阻止部材の強度が増加するだけでなく、センサモジュールが覆われることから、埃等が入り込むことを防止できる。
この構成では、変形阻止部材の開口から電気的接続部の一部が露出するので、電気的接続部と他の電子機器、例えば、制御機器との接続が容易となる。そのため、検出部で検出された検出信号が電気的接続部を通じて他の電子機器に出力されることになる。
この構成では、センサモジュールの係止用溝に爪部が係止されるので、センサモジュールの周方向の移動が阻止される。
本実施形態の物理量測定装置の全体構成が図1から図3に示されている。
図1から図3において、物理量測定装置は、継手1と、継手1に設けられたセンサモジュール2と、センサモジュール2に設けられた電子部品3と、センサモジュール2を覆う変形阻止部材4と、電子部品3に接続された電気的接続部5とを備えて構成されている。本実施形態の物理量測定装置は、被測定流体の圧力を検出する圧力検出装置である。
継手本体11の内部にはセンサモジュール2に被測定流体を導入する圧力導入孔13が軸芯に沿って形成されている。
継手本体11の外周部は、その一端が被取付部材に螺合される雄ねじ部14であり、その他端が雄ねじ部14をねじ込むための多角形部15である。なお、本実施形態では、継手本体11の構造は、雄ねじ部14に限定されるものではなく、フランジを形成し、軸シールで被取付部材に取り付ける構造や、その他の構造であってもよい。
継手本体11は、その他端側の端面11Aから突出する突出部16を有する。突出部16は、端面11Aに形成された大径部16Aと、大径部16Aに形成された小径部16Bとを有し、小径部16Bに圧力導入孔13が開口されている。
継手本体11の端面11Aの外周縁には段差11Bが形成されている。
大径部16Aと小径部16Bとの境界部分は、継手本体11の径方向に延びる平面内にある平坦面16Cとされている。
爪部12は、内周面がセンサモジュール2の外周面と対向する角柱状の立上部12Aと、立上部12Aの先端からセンサモジュール2の軸芯に向かって折り曲げ形成されたフック部12Bとを有する。
立上部12Aの内周面とフック部12Bのセンサモジュール2と対向する面とのなす角度αは、図では、90°とされる。フック部12Bのセンサモジュール2と対向する面とは反対側の面には、センサモジュール2を継手本体11に装着する際にガイド面として機能する傾斜面12Cが形成されている。なお、本実施形態では、センサモジュール2が上方向に抜けることを阻止できる形状であれば、図で示される形状に限定されるものではなく、例えば、角度αは90°に限定されるものではない。
モジュール本体20は、ダイアフラム部21とダイアフラム部21の周縁部に一体形成された筒状部22とを有する。
ダイアフラム部21は、継手本体11から導入される被測定流体の圧力により変位するものであり、薄い円板状に形成されている。
ダイアフラム部21の被測定流体が接触する面とは反対側の面は検出部23が形成される平面21Aである。検出部23は、図示しない歪みゲージ及び導電パターンを有する。
係止用溝220は、爪部12の立上部12Aの内周面と対向する第一対向面220Aと、第一対向面220Aの両端で直交して形成されそれぞれ立上部12Aの側面と対向する第二対向面220Bとを有するもので、平面がコ字状に形成されている。
筒状部22の内周部には開口と連通する大径部22Aと大径部22Aに連続形成された小径部22Bとが形成されている。大径部22Aと小径部22Bとの境界部分は筒状部22の径方向に延びる平面内にある平坦面22Cとされている。
平坦面16Cと平坦面22Cとの間にはOリング6が配置されている。Oリング6は、被測定流体をシールするよう適切な形状とされる。
電気的接続部5は、センサモジュール2のダイアフラム部21に設置されており、信号処理回路31及び電子回路32と電気的に接続されている端子部51と、端子部51を保持する端子ホルダ52とを有する。センサモジュール2のパッド、電子部品3及び電気的接続部5は、電気回路で接続されており、検出部23で検出された出力信号が最終的に電気的接続部5から外部機器(図示せす)に出力される。
端子ホルダ52は、直方体状に形成された合成樹脂製部材であり、図中、上方に向けて端子部51を露出、及び相手コネクタと嵌合し、接続するための切欠52Aが形成されている。
筒部41は、爪部12のセンサモジュール2から離れる方向の変形を阻止するためのものであり、その内周部で爪部12の立上部12Aをセンサモジュール2に向けて押さえるものである。
筒部41の開口端部は、継手本体11の端面11Aの段差11Bと係合する段差41Aが形成されている。
板部42は、円板状に形成されており、その一部に、電気的接続部5を外部に露出するための開口42Aが形成されている。開口42Aは、電気的接続部5の形状と対応させるために、平面矩形状に形成されている。
まず、センサモジュール2に電子部品3と電気的接続部5とをそれぞれ取り付けておき、このセンサモジュール2を継手本体11に装着する(図3参照)。
そのために、センサモジュール2の係止用溝220の端部と継手1の爪部12とを位置合わせしておき、そのまま、センサモジュール2を継手1の継手本体11に向けて押しつける。
その後、変形阻止部材4でセンサモジュール2を覆う。その際、変形阻止部材4の板部42に形成された開口42Aに電気的接続部5を挿通させる。開口42Aを通じて外部に露出された電気的接続部5に図示しない電子機器がケーブルを通じて接続される。
(1)センサモジュール2が取り付けられた合成樹脂製の継手1を、被取付部材に取り付けられる継手本体11と、継手本体11に形成されセンサモジュール2を係止する弾性変形可能な爪部12とを有する構成とした。爪部12は、その弾性力により、センサモジュール2を保持した状態を維持するので、センサモジュール2を継手1に取り付けるにあたり、溶接等の作業が不要となる。しかも、継手本体11と爪部12とは合成樹脂から一体形成されるので、継手本体11と爪部12とを別々に製造することを要しない。
例えば、前記実施形態では、変形阻止部材4は、筒部41と板部42とを有する構成としたが、本発明では、筒部41の内周部で爪部12を押さえる構成であれば変形阻止部材4の具体的な形状は限定されるものではない。例えば、板部42を省略し、筒部41のみから変形阻止部材4を構成するものでもよい。さらに、筒部41の内周形状は、楕円であっても矩形であってもよい。また、本発明では、爪部12の強度が大きなものであれば、変形阻止部材4自体を不要なものにできる。
さらに、爪部12は、継手本体11に形成された立上部12Aと、立上部12Aの先端からセンサモジュール2に一体形成されたたフック部12Bとを有する構成としたが、本発明では、フック部12Bを省略した構造であってもよい。立上部12Aとセンサモジュール2との間の摩擦抵抗を大きくする工夫、例えば、立上部12Aとセンサモジュール2との間にゴムシートを設ける等を採用することにより、フック部12Bを省略することができる。仮に、フック部12Bを設けるとしても、前記実施形態の形状に限定されるものではなく、例えば、立上部12Bの先端を凸状にしたり、球状にしたりするものでもよい。さらに、本発明では、立上部12Aを長く形成しておき、係止用溝220に立上部12Aを案内させながらセンサモジュール2を継手1の継手本体11に向けて押しつけ、その後、立上部12Aの先端部をセンサモジュール2の中心側に向けて折り曲げてフック部12Bを形成するものでもよい。立上部12Aの先端部を折り曲げるために、種々の手段を採用することができる。例えば、立上部12Aの先端部を加熱して変形させたり、超音波振動により変形させたりすることが可能である。
また、前記実施形態では、センサモジュール2は、ダイアフラム部21及び筒状部22を有する構造としたが、本発明では、センサモジュール2の構成は前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、基板と、基板の一面に対向配置されるダイアフラム部と、ダイアフラムと基板とに設けられダイアフラム部の変位を検出する検出部とを備えてセンサモジュールを構成してもよい。この場合、継手本体11から突出部16を省略して継手本体を形成し、継手本体に対してセンサモジュールをOリングで面シールする構成とする。さらに、電気的接続部5には、センサモジュールの検出部から出力される信号を適切な形式で外部に出力するための必要な回路部品に接続される。
その上、本発明では、ダイアフラム部及び筒状部を有する場合であっても、これらがセラミック製であることは限定されるものではなく、金属製であってもよい。
さらに、本発明の物理量測定装置は、前記実施形態のように圧力の測定に用いられるものに限定されるものではなく、例えば、差圧測定に用いるものであってもよい。
以上の通り、本発明では、継手と一体の爪形状により、センサモジュールを保持するための具体的な構成が含まれる。
Claims (5)
- 被測定流体の圧力を検出する検出部が設けられたダイアフラム部を有するセンサモジュールと、前記センサモジュールが取り付けられ前記センサモジュールに被測定流体を導入する圧力導入孔が形成された継手とを備え、
前記継手は、合成樹脂製であり、かつ、被取付部材に取り付けられる継手本体と、前記継手本体に形成され前記センサモジュールを係止する弾性変形可能な爪部とを有する
ことを特徴とする物理量測定装置。 - 請求項1に記載の物理量測定装置において、
前記爪部の前記センサモジュールから離れる方向の変形を阻止し前記爪部の外周に設けられた変形阻止部材を備えた
ことを特徴とする物理量測定装置。 - 請求項2に記載の物理量測定装置において、
前記爪部は、前記センサモジュールの外周縁部を保持し、前記変形阻止部材は、板部と前記板部の外周縁に一体形成された筒部とを有し、前記筒部の内周部で前記爪部を押さえる
ことを特徴とする物理量測定装置。 - 請求項3に記載の物理量測定装置において、
前記センサモジュールには電気的接続部が設置され、前記電気的接続部を外部に露出する開口が前記変形阻止部材に設けられている
ことを特徴とする物理量測定装置。 - 請求項4に記載の物理量測定装置において、
前記センサモジュールには前記爪部を係止する係止用溝が形成されている
ことを特徴とする物理量測定装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015235138A JP6412851B2 (ja) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 物理量測定装置 |
US15/363,184 US10145749B2 (en) | 2015-12-01 | 2016-11-29 | Physical quantity measuring device including a sensor module and a joint for locking the sensor module |
EP16201487.2A EP3176559B1 (en) | 2015-12-01 | 2016-11-30 | Pressure sensor |
CN201611081833.0A CN107014557B (zh) | 2015-12-01 | 2016-11-30 | 物理量测定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015235138A JP6412851B2 (ja) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 物理量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017102011A true JP2017102011A (ja) | 2017-06-08 |
JP6412851B2 JP6412851B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=57442583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015235138A Active JP6412851B2 (ja) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 物理量測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10145749B2 (ja) |
EP (1) | EP3176559B1 (ja) |
JP (1) | JP6412851B2 (ja) |
CN (1) | CN107014557B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3715814A1 (en) | 2019-03-29 | 2020-09-30 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Physical quantity measuring device and manufacturing method of physical quantity measuring device |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6235548B2 (ja) * | 2015-12-02 | 2017-11-22 | 第一環境株式会社 | 漏水監視装置 |
JP6480375B2 (ja) * | 2016-04-07 | 2019-03-06 | 長野計器株式会社 | 圧力センサ |
JP6483050B2 (ja) * | 2016-06-02 | 2019-03-13 | 長野計器株式会社 | 物理量測定装置 |
JP2018163074A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 日本電産トーソク株式会社 | 油圧センサ取付構造 |
CN108106756A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-01 | 苏州康姆普机械有限公司 | 一种可拆卸式压力传感器 |
CN107907248A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-04-13 | 苏州康姆普机械有限公司 | 一种稳定连接的压力传感器 |
CN108548630B (zh) * | 2018-04-05 | 2020-06-26 | 宁波依诺汽车电子有限公司 | 汽车压力传感器 |
JP6964063B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2021-11-10 | 長野計器株式会社 | センサアッシーおよび物理量測定装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5351550A (en) * | 1992-10-16 | 1994-10-04 | Honeywell Inc. | Pressure sensor adapted for use with a component carrier |
JP2003042882A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Denso Corp | 圧力センサの取付け構造 |
US20030150274A1 (en) * | 2002-02-11 | 2003-08-14 | Pitzer Paul J. | Insert-molded pressure sensor with high pressure stainless steel sensing element |
US20030154795A1 (en) * | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Pitzer Paul J. | Three-piece pressure sensor with high pressure stainless steel sensing element |
JP2008203066A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサ |
US20140260649A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Measurement Ltd. | Low profile pressure sensor |
JP2014182011A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Denso Corp | 圧力センサの実装構造および実装方法 |
DE102013220091A1 (de) * | 2013-10-02 | 2015-04-02 | Kavlico GmbH | Drucksensor |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6584851B2 (en) * | 2000-11-30 | 2003-07-01 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Fluid pressure sensor having a pressure port |
US20030056100A1 (en) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Rodney Beatson | Method and system for authenticating a digitized signature for execution of an electronic document |
JP2004325210A (ja) | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Noritz Corp | センサの取付構造 |
JP2005214843A (ja) | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Toshiba Corp | 漏水検知機能付量水器 |
US8028584B2 (en) | 2007-08-20 | 2011-10-04 | Denso Corporation | Pressure sensor and method for manufacturing the same |
US20130056100A1 (en) | 2010-07-13 | 2013-03-07 | Mitsubishi Electric Corporation | Pressure sensor unit and brake device |
JP5852609B2 (ja) * | 2013-06-10 | 2016-02-03 | 長野計器株式会社 | センサ |
-
2015
- 2015-12-01 JP JP2015235138A patent/JP6412851B2/ja active Active
-
2016
- 2016-11-29 US US15/363,184 patent/US10145749B2/en active Active
- 2016-11-30 EP EP16201487.2A patent/EP3176559B1/en active Active
- 2016-11-30 CN CN201611081833.0A patent/CN107014557B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5351550A (en) * | 1992-10-16 | 1994-10-04 | Honeywell Inc. | Pressure sensor adapted for use with a component carrier |
JP2003042882A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Denso Corp | 圧力センサの取付け構造 |
US20030150274A1 (en) * | 2002-02-11 | 2003-08-14 | Pitzer Paul J. | Insert-molded pressure sensor with high pressure stainless steel sensing element |
US20030154795A1 (en) * | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Pitzer Paul J. | Three-piece pressure sensor with high pressure stainless steel sensing element |
JP2008203066A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサ |
US20140260649A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Measurement Ltd. | Low profile pressure sensor |
JP2014182011A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Denso Corp | 圧力センサの実装構造および実装方法 |
DE102013220091A1 (de) * | 2013-10-02 | 2015-04-02 | Kavlico GmbH | Drucksensor |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3715814A1 (en) | 2019-03-29 | 2020-09-30 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Physical quantity measuring device and manufacturing method of physical quantity measuring device |
US11293820B2 (en) | 2019-03-29 | 2022-04-05 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Physical quantity measurement including improved corrosion protection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107014557A (zh) | 2017-08-04 |
JP6412851B2 (ja) | 2018-10-24 |
EP3176559B1 (en) | 2018-10-03 |
US10145749B2 (en) | 2018-12-04 |
US20170153157A1 (en) | 2017-06-01 |
EP3176559A1 (en) | 2017-06-07 |
CN107014557B (zh) | 2020-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6412851B2 (ja) | 物理量測定装置 | |
JP6301230B2 (ja) | 物理量測定装置 | |
US10113926B2 (en) | Ceramic sensor module including diaphragm and cylindrical portion integrated with the diaphragm | |
US10365174B2 (en) | Load detection apparatus having a strain detection element attached to a connection portion opposite the circuit board | |
KR101847359B1 (ko) | 필름형 누설감지 센서 커넥터 | |
US20170038470A1 (en) | Fastening member, and obstacle detecting device employing fastening member | |
TWI674398B (zh) | 物理量測定裝置及其製造方法 | |
KR102612893B1 (ko) | 압력 검출 장치 | |
CN107271098B (zh) | 压力传感器 | |
TWI663388B (zh) | 物理量測定裝置 | |
JP6608334B2 (ja) | 物理量測定装置 | |
JP6088345B2 (ja) | コネクタ | |
JP2016223998A (ja) | 電磁界計測装置 | |
US9671256B2 (en) | Proximity sensor | |
JP6407462B2 (ja) | センサモジュール | |
KR101538225B1 (ko) | 압력 측정 장치 | |
JP5997686B2 (ja) | 物理量測定センサ | |
JP2016170171A (ja) | 圧力トランスデューサ | |
KR20180045948A (ko) | 압력센서 | |
JP6030539B2 (ja) | センサモジュール及び物理量測定センサ | |
JP2019113332A (ja) | 圧力センサー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180911 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181001 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6412851 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |