JP2017096144A - 形状記憶合金アクチュエータ、形状記憶合金アクチュエータ制御装置、及びその方法 - Google Patents

Abstract

【課題】形状記憶合金アクチュエータが拘束された場合にも形状記憶合金部材が破損するおそれが低い形状記憶合金アクチュエータ制御装置を提供する。【解決手段】形状記憶合金アクチュエータ制御装置１は、形状記憶合金部材３の抵抗値を測定する抵抗値測定部４０と、形状記憶合金部材３に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて減少するように目標抵抗値を設定する目標抵抗値設定部５３３と、抵抗値測定部４０が測定した測定抵抗値と目標抵抗値との間の差を示す抵抗値差を演算する抵抗値差演算部５３４と、抵抗値差に応じた電流を形状記憶合金部材に供給する電流供給部３０と、を有し、目標抵抗値設定部５３３は、抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定したときに、目標抵抗値を、現在の目標抵抗値よりも大きい所望の値に変更する。【選択図】図２

Description

本発明は、形状記憶合金アクチュエータ、形状記憶合金アクチュエータ制御装置、及びその方法に関する。

Ｔｉ−Ｎｉ系合金、Ｔｉ−Ｚｒ−Ｎｉ系合金、Ｔｉ−Ｎｉ−Ｃｕ合金、Ｔｉ−Ｎｉ−Ｚｎ合金及びＴｉ−Ｎｉ−Ａｌ合金等により形成された形状記憶合金（Shape Memory Alloy、ＳＭＡ）部材を介して可動部を可動する形状記憶合金アクチュエータが知られる。形状記憶合金アクチュエータは、１０ｍＷ程度と消費電力が非常に小さいこと、機械的ノイズ及び電気的ノイズが小さいこと、小型化及び軽量化が可能なこと、及び簡便な操作が可能であること等の多くの利点を有する。形状記憶合金アクチュエータは、機械，電気，自動車，宇宙航空，医療など多くの分野での実用化が期待される。例えば、形状記憶合金アクチュエータは、任意の位置に撮像部を配置可能な能動内視鏡に応用可能である。

形状記憶合金部材の抵抗値を使用して、形状記憶合金部材の長さを制御する形状記憶合金アクチュエータ制御装置が知られる。

特許文献１には、単位時間変化に対する抵抗変化の割合が第１の割合から第１の割合と異なる第２の割合に変化する第１抵抗値を算出し、形状記憶合金ワイヤを弛緩させる場合には第１抵抗値で位置制御することが記載される。

特許文献２には、形状記憶合金部材における単位温度変化に対する抵抗変化の割合が第１割合から第１割合と異なる第２割合に変化する第１変化点を与える第１抵抗値を基準に可動部材の位置を制御することが記載される。

特許文献３には、ＳＭＡアクチュエータをその変態点にまでＰＷＭで加熱し、デューティーサイクルにおけるオフタイムに対するオンタイムのパーセンテージが変化するときに、ＳＭＡに発生された出力の総量を制御することが記載される。

特開２０１１−１５７９２３号公報 特開２００８−２７６７５０号公報 特表２００３−５０７６２５号公報

形状記憶合金部材の抵抗値を使用して、形状記憶合金部材の長さを制御することにより、高精度の位置制御が可能になる。

しかしながら、形状記憶合金部材の抵抗値を使用して、形状記憶合金部材の長さを制御するときに形状記憶合金アクチュエータが障害物等により拘束された場合、形状記憶合金アクチュエータは、形状記憶合金部材の長さを抵抗値に応じた長さにする制御を継続する。障害物等により拘束されたにもかかわらず、形状記憶合金部材の長さを抵抗値に応じた長さにする制御を継続することにより、形状記憶合金部材に過電流が流れると共に過剰な応力が発生するために、形状記憶合金部材が破損するおそれがある。

本発明は、形状記憶合金アクチュエータが障害物等により拘束された場合にも形状記憶合金部材が破損するおそれが低い形状記憶合金アクチュエータ制御装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、形状記憶合金部材の抵抗値を測定する抵抗値測定部と、形状記憶合金部材に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて減少するように目標抵抗値を設定する目標抵抗値設定部と、抵抗値測定部が測定した測定抵抗値と目標抵抗値との間の差を示す抵抗値差を演算する抵抗値差演算部と、抵抗値差に応じた電流を形状記憶合金部材に供給する電流供給部と、を有し、目標抵抗値設定部は、抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定したときに、目標抵抗値を、現在の目標抵抗値よりも大きい所望の値に変更する、ことを特徴とする。

さらに、本発明に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置では、目標抵抗値設定部は、抵抗値差がしきい値よりも大きいと判定したときに、目標抵抗値を、所望の値に固定することが好ましい。

さらに、本発明に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、目標抵抗値設定部が抵抗値差がしきい値よりも大きいと判定したときに、電流供給部に供給停止指示を出力する供給停止指示部を更に有し、電流供給部は、供給停止指示に応じて形状記憶合金部材への電流の供給を停止することが好ましい。

また、本発明に係る形状記憶合金アクチュエータ制御方法は、形状記憶合金部材の抵抗値を測定し、形状記憶合金部材に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて減少するように目標抵抗値を設定し、測定された測定抵抗値と目標抵抗値との間の差を示す抵抗値差を演算し、抵抗値差に応じた電流を形状記憶合金部材に供給し、抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定したときに、目標抵抗値を、現在の目標抵抗値よりも大きい所望の値に変更する、ことを有することを特徴とする。

また、本発明に係る形状記憶合金アクチュエータは、形状記憶合金部材と、形状記憶合金部材に電気的に接続された形状記憶合金アクチュエータ制御装置とを有し、形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、形状記憶合金部材の抵抗値を測定する抵抗値測定部と、形状記憶合金部材に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて減少するように目標抵抗値を設定する目標抵抗値設定部と、抵抗値測定部が測定した測定抵抗値と目標抵抗値との間の差を示す抵抗値差を演算する抵抗値差演算部と、抵抗値差に応じた電流を形状記憶合金部材に供給する電流供給部と、を有し、目標抵抗値設定部は、抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定したときに、目標抵抗値を、現在の目標抵抗値よりも大きい所望の値に変更する、ことを特徴とする。

本発明では、形状記憶合金アクチュエータが障害物等により拘束された場合にも形状記憶合金部材が破損するおそれが低い形状記憶合金アクチュエータ制御装置を提供することが可能になった。

（ａ）は第１実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータを示す図であり、（ｂ）は（ａ）に示す形状記憶合金部材の形状変化を示す図である。 第１実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の回路図である。 図２に示す形状記憶合金部材の長さと抵抗値との関係を示す図である。 （ａ）は形状記憶合金部材に電流が供給されてからの時間と形状記憶合金部材の抵抗値との関係を示す図であり、（ｂ）は図２に示す抵抗値経時変化テーブルを示す図である。 図２に示す形状記憶合金アクチュエータ制御装置の位置制御動作を示すフローチャートである。 （ａ）は形状記憶合金部材が拘束されないときの形状記憶合金部材の抵抗値の変化を示す図であり、（ｂ）は形状記憶合金部材が拘束されるときの形状記憶合金部材の抵抗値の変化を示す図である。 （ａ）は形状記憶合金部材が拘束されないときの実施例の形状記憶合金部材の長さ、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図であり、（ｂ）は測定抵抗値と、形状記憶合金部材が拘束されないときの実施例の形状記憶合金部材に供給される電流との関係を示す図である。 （ａ）は形状記憶合金部材が拘束されたときの比較例の形状記憶合金部材の長さ、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図であり、（ｂ）は形状記憶合金部材が拘束されたときの比較例の形状記憶合金部材に供給される電流、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図であり、（ｃ）は形状記憶合金部材が拘束されたときの比較例の形状記憶合金部材に発生する応力、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図である。 （ａ）は形状記憶合金部材が拘束されたときの実施例の形状記憶合金部材の長さ、目標抵抗値及び測定抵抗値の関係を示す図であり、（ｂ）は形状記憶合金部材が拘束されたときの実施例の形状記憶合金部材に供給される電流、目標抵抗値及び測定抵抗値の関係を示す図であり、（ｃ）は形状記憶合金部材が拘束されたときの実施例の形状記憶合金部材に発生する応力、目標抵抗値及び測定抵抗値の関係を示す図である。 第２実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の回路図である。 図１０に示す形状記憶合金アクチュエータ制御装置の位置制御動作を示すフローチャートである。 図１０に示す形状記憶合金アクチュエータ制御装置の位置制御動作による形状記憶合金部材の抵抗値の変化を示す図である。

以下図面を参照して、本発明に係る形状記憶合金アクチュエータ、形状記憶合金アクチュエータ制御装置、及びその方法について説明する。但し、本発明の技術的範囲はそれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された発明との均等物に及ぶ点に留意されたい。

（実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の概要）
実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、形状記憶合金部材の測定抵抗値と、形状記憶合金部材に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて減少する目標抵抗値との間の抵抗値差がしきい値よりも大きいときに、目標抵抗値を増加する。実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、測定抵抗値と目標抵抗値の間の抵抗値差が大きいときに目標抵抗値を増加することで、目標抵抗値と測定抵抗値の間の抵抗値差を小さくして形状記憶合金部材に流れる電流を抑制する。実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、形状記憶合金部材が障害物等により拘束されたときに、目標抵抗値と測定抵抗値の間の抵抗値差を小さくすることで、形状記憶合金部材が破損するおそれを低減する。

（第１実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータの構成及び機能）
図１（ａ）は第１実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータを示す図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す形状記憶合金部材の形状変化を示す図である。

形状記憶合金アクチュエータ１００は、形状記憶合金アクチュエータ制御装置１と、一端が固定された形状記憶合金部材３と、一端が形状記憶合金部材３に接続され且つ他端が固定された弾性部材１１０とを有する。形状記憶合金アクチュエータ制御装置１と、固定された形状記憶合金部材３の両端とは電気的に接続される。形状記憶合金アクチュエータ制御装置１は、形状記憶合金部材３に電流を供給して通電加熱することにより、形状記憶合金部材３の長さを収縮する。また、形状記憶合金アクチュエータ制御装置１は、形状記憶合金部材３への電流の供給を停止して冷却すると共に、弾性部材１１０の弾性力を形状記憶合金部材３に印加することにより、形状記憶合金部材３の長さを伸張する。

（第１実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の構成及び機能）
図２は、第１実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置１の回路図である。

形状記憶合金アクチュエータ制御装置１は、指示抵抗値設定部１０と、抵抗値フィードバック部２０と、電流供給部３０と、抵抗値測定部４０と、制御部５０とを有する。形状記憶合金アクチュエータ制御装置１は、電流供給部３０及び抵抗値測定部４０が形状記憶合金部材３の両端に接続される。電流供給部３０は形状記憶合金部材３に電流を供給し、抵抗値測定部４０は形状記憶合金部材３の抵抗値を測定する。抵抗値フィードバック部２０は、制御部４０から入力される目標抵抗値、及び抵抗測定部４０が測定した測定抵抗値に基づいて、抵抗値形状記憶合金部材３の長さをフィードバック制御する。

指示抵抗値設定部１０は、第１ポテンショメータ１１と、第２ポテンショメータ１２と、第３ポテンショメータ１３とを有し、形状記憶合金部材３の所望の長さに対応する指示抵抗値を設定する。

図３は、形状記憶合金部材３の長さＤと、形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａとの関係を示す図である。図３において、横軸は形状記憶合金部材３の長さＤを示し、縦軸は形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａを示す。

形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａは、形状記憶合金部材３の長さＤが長くなるに従って単調減少するため、形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａと長さＤとは一対一で対応する。形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａと長さＤとが一対一で対応するので、形状記憶合金アクチュエータ制御装置１が抵抗値Ｒｓｍａを指示抵抗値Ｒａｉｍに制御することにより、形状記憶合金部材３の長さＤを所望の長さＤａｉｍに制御することができる。

第１ポテンショメータ１１は指示抵抗値Ｒａｉｍの上限値を規定し、第２ポテンショメータ１２は指示抵抗値Ｒａｉｍの下限値を規定する。第３ポテンショメータ１３は、第１ポテンショメータ１１が規定する指示抵抗値Ｒａｉｍの上限値と第２ポテンショメータ１２が規定する指示抵抗値Ｒａｉｍの下限値との間で、指示抵抗値Ｒａｉｍを規定する。

抵抗値フィードバック部２０は、測定抵抗値反転回路２１と、目標抵抗値比較回路２２とを有する。測定抵抗値反転回路２１は、抵抗値測定部４０から入力される測定抵抗値を示す測定抵抗値信号Ｖ７を反転して目標抵抗値比較回路２２に出力する。目標抵抗値比較回路２２は、制御部５０から入力される目標抵抗値を示す目標抵抗値信号Ｖ１と測定抵抗値信号Ｖ７の反転信号−Ｖ７を加算し、すなわち目標抵抗値信号Ｖ１から測定抵抗値信号Ｖ７を減算する。目標抵抗値比較回路２２は、目標抵抗値信号Ｖ１から測定抵抗値信号Ｖ７を減算した信号の反転信号である抵抗差信号Ｖ２を出力する。抵抗差信号Ｖ２は、目標抵抗値と測定抵抗値との間の抵抗値差を示す信号の反転信号である。抵抗差信号Ｖ２は、目標抵抗値比較回路２２が有するキャパシタの容量値及び可変抵抗の抵抗値に応じて遅延して出力される。

電流供給部３０は、電流供給スイッチ３１と、フォトダイオード３２と、フォトトランジスタ３３と、電流供給トランジスタ３４とを有する。電流供給スイッチ３１は、制御部５０から入力される電流供給指示及び供給停止指示に応じてオンオフする。電流供給スイッチ３１は、制御部５０から電流供給指示が入力されるときオンし、制御部５０から供給停止指示が入力されるときオフする。フォトダイオード３２は、アノードが電源電圧ＶＤＤに接続され、カソードが電流供給スイッチ３１に接続される。フォトダイオード３２は、制御部５０から電流供給指示が入力されて電流供給スイッチ３１がオンするときに導通して発光する。フォトトランジスタ３３は、コレクタが目標抵抗値比較回路２２に接続され、エミッタが電流供給トランジスタ３４のベースに接続される。フォトトランジスタ３３は、フォトダイオード３２から光を受光したときに、目標抵抗値信号Ｖ１と測定抵抗値信号Ｖ７との間の抵抗差に応じて、電流供給トランジスタ３４のベースにベース電流を供給する。電流供給トランジスタ３４は、コレクタが電源電圧ＶＤＤに接続され、エミッタが形状記憶合金部材３の一端に接続される。電流供給トランジスタ３４は、制御部５０から電流供給指示が入力されて電流供給スイッチ３１がオンするときに、形状記憶合金部材３にエミッタ電流を供給する。なお、電流供給トランジスタ３４は、電流供給スイッチ３１がオフする間、微小電流を形状記憶合金部材３に供給する。電流供給トランジスタ３４が電流供給スイッチ３１がオフする間、微小電流を形状記憶合金部材３に供給することで、形状記憶合金部材３の両端に電圧が印加される。

抵抗値測定部４０は、基準抵抗４１と、基準抵抗出力回路４２と、形状記憶合金抵抗出力回路４３と、測定抵抗値信号生成回路４４とを有する。基準抵抗４１は、基準抵抗値Ｒｃｒｔを有し、一端が形状記憶合金部材３に接続され、他端が接地される。基準抵抗出力回路４２は、基準抵抗４１に印加される基準電圧Ｖ４が入力され、基準抵抗４１の抵抗値を示す基準抵抗信号Ｖ５を出力する。形状記憶合金抵抗出力回路４３は、形状記憶合金部材３の一端の電圧Ｖ３から形状記憶合金部材３の他端の電圧に相当する基準電圧Ｖ４を減算して、形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａを示す形状記憶合金抵抗信号Ｖ６を出力する。測定抵抗値信号生成回路４４は、入力される基準抵抗信号Ｖ５及び形状記憶合金抵抗信号Ｖ６、並びに不図示の記憶部に記憶される基準抵抗４１の抵抗値である基準抵抗値Ｒｃｒｔから、測定抵抗値を示す測定抵抗値信号Ｖ７を生成し、出力する。測定抵抗値信号生成回路４４は、Ｖ６×Ｒｃｒｔ／Ｖ５の演算を実行することにより、測定抵抗値信号Ｖ７を生成する。

制御部５０は、マイクロプロセッサ等の制御回路であり、入出力部５１と、記憶部５２と、処理部５３とを有する。入出力部５１は、指示抵抗値設定部１０及び抵抗値測定部４０から入力されたアナログ信号をデジタル信号に変換して記憶部５２及び処理部５３に出力する。また、入出力部５１は、記憶部５２及び処理部５３から入力されたデジタル信号をアナログ信号に変換して抵抗値フィードバック部２０及び電流供給部３０に出力する。

記憶部５２は、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）を含み、処理部５３での処理に用いられるオペレーティングシステムプログラム、ドライバプログラム、アプリケーションプログラム、データ等を記憶する。記憶部５２は、アプリケーションプログラムとして、形状記憶合金アクチュエータ制御処理を、処理部５３に実行させるための形状記憶合金アクチュエータ制御プログラムを記憶する。

また、記憶部５２は、形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間と形状記憶合金部材３の抵抗値との関係を示す抵抗値経時変化テーブル５２１を記憶する。

図４（ａ）は形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間ｔと形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａとの関係を示す図であり、図４（ｂ）は抵抗値経時変化テーブル５２１を示す図である。図４（ａ）において、横軸は時間を示し、縦軸は形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａを示す。

形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａは、時間ｔ₀ではＲｓｍａ₀であり、時間ｔ₁ではＲｓｍａ₀より小さいＲｓｍａ₁であり、時間ｔ₂ではＲｓｍａ₁より小さいＲｓｍａ₂であり、Ｒｓｍａ_n-1より小さい時間ｔ_nではＲｓｍａ_nである。

処理部５３は記憶部５２に記憶されているプログラム（ドライバプログラム、オペレーティングシステムプログラム、アプリケーションプログラム等）に基づいて処理を実行する。また、処理部５３は、複数のプログラム（アプリケーションプログラム等）を並列に実行できる。

処理部５３は、供給開始指示部５３１と、測定抵抗値取得部５３２と、目標抵抗値設定部５３３と、抵抗値差演算部５３４とを有する。これらの各部は、処理部５３で実行されるプログラムにより実現される機能モジュールである。

（第１実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の位置制御動作）
図５は形状記憶合金アクチュエータ制御装置１の位置制御動作を示すフローチャートであり、図６は形状記憶合金アクチュエータ制御装置１の位置制御動作による形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａの変化を示す図である。図６（ａ）は形状記憶合金部材３が拘束されないときの形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａの変化を示し、図６（ｂ）は形状記憶合金部材３が拘束されるときの形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａの変化を示す。図６（ａ）及び６（ｂ）において、横軸は時間ｔを示し、縦軸は形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａを示す。図６（ａ）において、線１０１は目標抵抗値を示し、図６（ｂ）において、線２０１は形状記憶合金部材３が拘束される前の目標抵抗値を示し、線２０２は形状記憶合金部材３が拘束された後の目標抵抗値を示し、白丸は測定抵抗値を示す。

まず、形状記憶合金部材３が拘束されないときについて説明する。図６（ａ）の矢印Ａで示される時間ｔ_n1において、供給開始指示部５３１は、不図示の上位制御装置から制御開始指示を取得する（Ｓ１０１）。

次いで、供給開始指示部５３１は、電流供給部３０に電流供給指示を示す電流供給指示信号を出力する（Ｓ１０２）。電流供給部３０に電流供給指示を示す電流供給指示信号が入力されると、電流供給スイッチ３１がオンする。電流供給スイッチ３１がオンすると、フォトダイオード３２は、導通して発光する。フォトダイオード３２が導通して発光すると、フォトトランジスタ３３は、目標抵抗値信号Ｖ１と測定抵抗値信号Ｖ７との差に応じて、電流供給トランジスタ３４のベースにベース電流を供給する。フォトトランジスタ３３が電流供給トランジスタ３４のベースにベース電流を供給すると、電流供給トランジスタ３４は、形状記憶合金部材３へのエミッタ電流の供給を開始する。

次いで、供給開始指示部５３１は、指示抵抗値設定部１０に設定された指示抵抗値を取得する（Ｓ１０３）。次いで、測定抵抗値取得部５３２は、抵抗値測定部４０から出力される測定抵抗値信号Ｖ７に対応する測定抵抗値を入出力部５１を介して取得する（Ｓ１０４）。次いで、目標抵抗値設定部５３３は、形状記憶合金部材３に電流を供給した電流供給時間及び抵抗値経時変化テーブル５２１から現在の抵抗値の設定値である目標抵抗値を設定する（Ｓ１０５）。抵抗値経時変化テーブル５２１では、目標抵抗値は、形状記憶合金部材に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて徐々に減少するように規定される。目標抵抗値設定部５３３は、電流供給時間及び抵抗値経時変化テーブル５２１から目標抵抗値を設定することにより、形状記憶合金部材３に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて徐々に減少するように目標抵抗値を設定する。目標抵抗値設定部５３３は、設定した目標抵抗値を示す目標抵抗値信号Ｖ７を抵抗値フィードバック部２０に出力する。次いで、抵抗値差演算部５３４は、測定抵抗値取得部５３２が取得した測定抵抗値と、目標抵抗値設定部５３３が設定した目標抵抗値との差を示す抵抗値差を演算する（Ｓ１０６）。

次いで、目標抵抗値設定部５３３は、抵抗値差演算部５３４が演算した抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいか否かを判定する（Ｓ１０７）。形状記憶合金部材３は拘束されておらず、測定抵抗値と目標抵抗値との差を示す抵抗値差は、しきい値以下であり、処理はＳ１０８に進む。目標抵抗値設定部５３３は、目標抵抗値は指示抵抗値と一致しないと判定し（Ｓ１０８）、処理はＳ１０３に戻る。形状記憶合金部材３が拘束されて抵抗値差がしきい値よりも大きくなる、又は目標抵抗値が指示抵抗値に一致するまで、Ｓ１０３〜Ｓ１０８の処理は繰り返される。

そして、図６（ａ）の矢印Ｂで示される時間ｔ_nnにおいて、目標抵抗値設定部５３３が目標抵抗値は指示抵抗値と一致すると判定する（Ｓ１０８）と、処理はＳ１０９に進み、目標抵抗値設定部５３３は、目標抵抗値を現在の値に固定する（Ｓ１０９）。

次に、形状記憶合金部材３が拘束されるときについて説明する。図６（ｂ）の矢印Ａで示される時間ｔ_b1において、供給開始指示部５３１は、不図示の上位制御装置から制御開始指示を取得する（Ｓ１０１）。形状記憶合金部材３が拘束されるまでのＳ１０２〜Ｓ１０８の処理は、先に説明した処理と同様なので、詳細な説明は省略する。

図６（ｂ）の矢印Ｂで示される時間ｔ_bnにおいて、形状記憶合金部材３が拘束されると、形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａは、電流が供給されるにもかかわらず、一定値となり、抵抗値測定部４０が測定する測定抵抗値は一定値になる。一方、線２０１で示される目標抵抗値は、電流が供給されてからの時間と形状記憶合金部材３の抵抗値との関係を示す抵抗値経時変化テーブル５２１を使用して設定されるので、形状記憶合金部材３が拘束される間も、電流が供給されてからの時間に応じて減少する。

形状記憶合金部材３が拘束されて測定抵抗値は一定値になり、且つ目標抵抗値が減少して、測定抵抗値と目標抵抗値との差である抵抗値差がしきい値よりも大きくなると、目標抵抗値設定部５３３は、抵抗値差がしきい値よりも大きいと判定する（Ｓ１０７）。次いで、目標抵抗値設定部５３３は、図６（ｂ）において矢印Ｃで示すように、目標抵抗値設定部５３３は、目標抵抗値を、現在の目標抵抗値よりも大きい拘束抵抗値に変更した（Ｓ１１０）後に、目標抵抗値を拘束抵抗値に固定する（Ｓ１１１）。拘束抵抗値は、測定抵抗値との間の抵抗値差がしきい値よりも小さい所望の値である。

（形状記憶合金部材３が拘束されないときの制御動作の一例）
図７（ａ）は、形状記憶合金部材３が拘束されないときの実施例の形状記憶合金部材３の長さＤ、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図である。図７（ｂ）は、測定抵抗値と、形状記憶合金部材３が拘束されないときの実施例の形状記憶合金部材３に供給される電流との関係を示す図である。図７（ａ）において、横軸は形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間を秒単位で示し、左側縦軸は抵抗値を示し、右側縦軸は形状記憶合金部材３の長さを示す。また、図７（ａ）において、実線は目標抵抗値を示し、黒丸は測定抵抗値を示し、破線は形状記憶合金部材３の長さＤを示す。図７（ｂ）において、横軸は形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間を秒単位で示し、左側縦軸は抵抗値を示し、右側縦軸は形状記憶合金部材３に供給される電流値を示す。また、図７（ｂ）において、実線は測定抵抗値を示し、白抜き四角は形状記憶合金部材３に供給される電流値を示す。

測定抵抗値は目標抵抗値の減少に追従して減少し、形状記憶合金部材３の長さＤは目標抵抗値の減少に追従して増加する。形状記憶合金アクチュエータ制御装置が位置制御動作を実行する間、形状記憶合金部材３に供給される電流値は、最大値０．２８Ａ以下で変動する。形状記憶合金アクチュエータ制御装置が位置制御動作が終了した後、形状記憶合金部材３に供給される電流値は、０．２１Ａで安定する。

（形状記憶合金部材３が拘束されたときの比較例の動作の一例）
図８（ａ）は、形状記憶合金部材３が拘束されたときの比較例の形状記憶合金部材３の長さＤ、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図である。図８（ｂ）は、形状記憶合金部材３が拘束されたときの比較例の形状記憶合金部材３に供給される電流、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図である。図８（ｃ）は、形状記憶合金部材３が拘束されたときの比較例の形状記憶合金部材３に発生する応力、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図である。図８（ａ）において、横軸は形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間を秒単位で示し、左側縦軸は抵抗値を示し、右側縦軸は形状記憶合金部材３の長さを示す。また、図８（ａ）において、実線は目標抵抗値を示し、黒丸は測定抵抗値を示し、白丸は形状記憶合金部材３の長さＤを示す。図８（ｂ）において、横軸は形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間を秒単位で示し、左側縦軸は抵抗値を示し、右側縦軸は形状記憶合金部材３に供給される電流値を示す。また、図８（ｂ）において、実線は目標抵抗値を示し、黒丸は測定抵抗値を示し、白丸は形状記憶合金部材３に供給される電流値を示す。図８（ｃ）において、横軸は形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間を秒単位で示し、左側縦軸は抵抗値を示し、右側縦軸は形状記憶合金部材３に発生する応力を示す。また、図８（ｃ）において、実線は目標抵抗値を示し、黒丸は測定抵抗値を示し、黒三角は形状記憶合金部材３に発生する応力を示す。図８に示す例において、形状記憶合金部材３は、長さＤが４ｍｍのときに拘束される。また、図８に示す例において、形状記憶合金部材３の最大許容応力は１１３ＭＰａである。

形状記憶合金部材３が拘束される前では、測定抵抗値は目標抵抗値の減少に追従して減少するが、形状記憶合金部材３が拘束された後では、測定抵抗値は目標抵抗値の減少に追従して減少せずに、徐々に増加する。形状記憶合金部材３が拘束された後に目標抵抗値が減少する一方、測定抵抗値が増加することにより、目標抵抗値と測定抵抗値との間の抵抗差は、増大する。形状記憶合金部材３が拘束される前では、形状記憶合金部材３に供給される電流は０．２６Ａ程度であるが、形状記憶合金部材３が拘束された直後に急増し、形状記憶合金部材３が拘束された後の形状記憶合金部材３に供給される最大電流は０．５９Ａである。形状記憶合金部材３が拘束される前では、形状記憶合金部材３に発生する応力は、形状記憶合金部材３が拘束された直後に急増し、形状記憶合金部材３が拘束された後の最大応力は５６２ＭＰａであり、最大許容応力である１１３ＭＰａの５倍程度の応力が発生する。

（形状記憶合金部材３が拘束されたときの実施例の動作の一例）
図９（ａ）は、形状記憶合金部材３が拘束されたときの実施例の形状記憶合金部材３の長さＤ、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図である。図９（ｂ）は、形状記憶合金部材３が拘束されたときの実施例の形状記憶合金部材３に供給される電流、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図である。図９（ｃ）は、形状記憶合金部材３が拘束されたときの実施例の形状記憶合金部材３に発生する応力、目標抵抗値、及び測定抵抗値の関係を示す図である。図９（ａ）において、横軸は形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間を秒単位で示し、左側縦軸は抵抗値を示し、右側縦軸は形状記憶合金部材３の長さを示す。また、図９（ａ）において、実線は目標抵抗値を示し、黒丸は測定抵抗値を示し、白丸は形状記憶合金部材３の長さＤを示す。図９（ｂ）において、横軸は形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間を秒単位で示し、左側縦軸は抵抗値を示し、右側縦軸は形状記憶合金部材３に供給される電流値を示す。また、図９（ｂ）において、実線は目標抵抗値を示し、黒丸は測定抵抗値を示し、白丸は形状記憶合金部材３に発生する応力を示す。図９（ｃ）において、横軸は形状記憶合金部材３に電流が供給されてからの時間を秒単位で示し、左側縦軸は抵抗値を示し、右側縦軸は形状記憶合金部材３に発生する応力を示す。また、図９（ｃ）において、実線は目標抵抗値を示し、黒丸は測定抵抗値を示し、白抜き四角は形状記憶合金部材３が拘束されないときの目標抵抗値を示し、黒三角は形状記憶合金部材３に発生する応力を示す。図９に示す例において、形状記憶合金部材３は、長さＤが４ｍｍのときに拘束される。また、図９に示す例において、形状記憶合金部材３の最大許容応力は１１３ＭＰａである。

形状記憶合金部材３が拘束される前では、測定抵抗値は目標抵抗値の減少に追従して減少するが、形状記憶合金部材３が拘束された後では、測定抵抗値は目標抵抗値の減少に追従して減少せずに、一定値になる。形状記憶合金部材３が拘束された後に目標抵抗値が減少する一方、測定抵抗値が一定値になることにより、目標抵抗値と測定抵抗値との間の抵抗差は、増大する。抵抗値差がしきい値よりも大きくなると、目標抵抗値設定部５３３は、目標抵抗値を現在の目標抵抗値よりも大きい所望の値である拘束抵抗値に変更した後、目標抵抗値を拘束抵抗値に固定する。測定抵抗値及び目標抵抗値は一定値を維持する。形状記憶合金部材３が拘束されると、形状記憶合金部材３に供給される電流は０．４１Ａまで上昇するものの、測定抵抗値と目標抵抗値との間の抵抗値差が減少することにより、形状記憶合金部材３に供給される電流は０．１９Ａで一定となる。形状記憶合金部材３に発生する応力は、形状記憶合金部材３が拘束された直後に９４ＭＰａまで増加するが、形状記憶合金部材３に供給される電流の減少に従って、緩やかに減少する。実施例の形状記憶合金部材３では、形状記憶合金部材３が拘束されたときに、測定抵抗値と目標抵抗値との間の抵抗値差を減少させることにより、形状記憶合金部材３に発生する応力を最大許容応力である１１３ＭＰａ以下に抑制することができる。

（第２実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の構成及び機能）
図１０は、第２実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の回路図である。

形状記憶合金アクチュエータ制御装置２は、処理部５３の代わりに処理部６３を有する制御部６０が制御部５０の代わりに配置されることが、形状記憶合金アクチュエータ制御装置１と相違する。処理部６３以外の形状記憶合金アクチュエータ制御装置２の構成要素は、同一符号が付された形状記憶合金アクチュエータ制御装置１の構成要素と同一の機能及び構成を有するので、ここでは詳細な説明を省略する。

処理部６３は記憶部５２に記憶されているプログラムに基づいて処理を実行する。また、処理部６３は、複数のプログラムを並列に実行できる。

処理部６３は、供給開始指示部６３１と、測定抵抗値取得部６３２と、目標抵抗値設定部６３３と、抵抗値差演算部６３４と、供給停止指示部６３５とを有する。これらの各部は、処理部６３で実行されるプログラムにより実現される機能モジュールである。

（実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の位置制御動作）
図１１は形状記憶合金アクチュエータ制御装置２の位置制御動作を示すフローチャートであり、図１２は形状記憶合金アクチュエータ制御装置２の位置制御動作による形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａの変化を示す図である。図１２において、横軸は時間ｔを示し、縦軸は形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａを示す。図１２において、線３０１は形状記憶合金部材３が拘束される前の目標抵抗値を示し、線３０２は形状記憶合金部材３が拘束中の目標抵抗値を示し、線３０１は形状記憶合金部材３が解放された後の目標抵抗値を示す。また、白丸は測定抵抗値を示す。

図１２の矢印Ａで示される時間ｔ_b1において、供給開始指示部６３１は、不図示の上位制御装置から制御開始指示を取得する（Ｓ２０１）。次いで、供給開始指示部６３１は、電流供給部３０に電流供給指示を示す電流供給指示信号を出力する（Ｓ２０２）。次いで、供給開始指示部６３１は、指示抵抗値設定部１０に設定された指示抵抗値を取得する（Ｓ２０３）。次いで、測定抵抗値取得部６３２は、抵抗値測定部４０から出力される測定抵抗値信号Ｖ７に対応する測定抵抗値を入出力部５１を介して取得する（Ｓ２０４）。次いで、目標抵抗値設定部６３３は、電流供給時間、及び抵抗値経時変化テーブル５２１から目標抵抗値を設定し、設定した目標抵抗値を示す目標抵抗値信号Ｖ７を抵抗値フィードバック部２０に出力する（Ｓ２０５）。次いで、抵抗値差演算部６３４は、目標抵抗値設定部６３３が取得した測定抵抗値と、目標抵抗値設定部６３３が設定した目標抵抗値との差を示す抵抗値差を演算する（Ｓ２０６）。

次いで、目標抵抗値設定部６３３は、目標抵抗値設定部５３３が演算した抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいか否かを判定する（Ｓ２０７）。形状記憶合金部材３は拘束されておらず、測定抵抗値と目標抵抗値との差を示す抵抗値差は、しきい値以下であり、処理はＳ２０８に進む。供給停止指示部５３５は、電流供給部３０が形状記憶合金部材３に電流を供給中であると判定し（Ｓ２０８）、且つ目標抵抗値は指示抵抗値と一致しないと判定し（Ｓ２０９）、処理はＳ２０３に戻る。形状記憶合金部材３が拘束されるまで、Ｓ２０３〜Ｓ２０９の処理は繰り返される。

図１２の矢印Ｂで示される時間において、形状記憶合金部材３が拘束されると、形状記憶合金部材３の抵抗値Ｒｓｍａは、電流が供給されるにもかかわらず、一定値となり、測定抵抗値は一定値になる。一方、線３０１で示される目標抵抗値は、電流が供給されてからの時間と形状記憶合金部材３の抵抗値との関係を示す抵抗値経時変化テーブル５２１を使用して設定されるので、形状記憶合金部材３が拘束される間も、電流が供給されてからの時間に応じて減少する。

形状記憶合金部材３が拘束されて測定抵抗値は一定値になり、且つ目標抵抗値が減少して、測定抵抗値と目標抵抗値との差である抵抗値差がしきい値よりも大きくなると、目標抵抗値設定部６３３は、抵抗値差がしきい値よりも大きいと判定する（Ｓ２０７）。次いで、供給停止指示部６３５は、電流供給部３０が形状記憶合金部材３に電流を供給中であると判定し（Ｓ２１０）、供給停止指示を電流供給部３０に出力する（Ｓ２１１）。電流供給部３０では、供給停止指示が入力されると、電流供給スイッチ３１がオフし、フォトダイオード３２が通電しなくなり、発光を停止し、フォトトランジスタ３３から電流供給トランジスタ３４へのベース電流の供給が停止する。フォトトランジスタ３３から電流供給トランジスタ３４へのベース電流の供給が停止することで、電流供給トランジスタ３４は、形状記憶合金部材３への電流の供給を停止する。

処理はＳ２０３に戻り、Ｓ２０３〜Ｓ２０７の処理が実行される。目標抵抗値設定部６３３が抵抗値差がしきい値より大きいと判定すると（Ｓ２０７）、供給停止指示部６３５は、形状記憶合金部材３への電流の供給が停止中であると判定する（Ｓ２１０）。次いで、図１２において矢印Ｃで示すように、目標抵抗値設定部６３３は、目標抵抗値を増加して（Ｓ２１２）、処理はＳ２０３に戻り、Ｓ２０３〜Ｓ２０７の処理が実行される。

Ｓ２１２において目標抵抗値が増加されることにより、抵抗値差がしきい値以下であると判定され（Ｓ２０７）、供給停止指示部６３５は、形状記憶合金部材３への電流の供給が停止中であると判定し（Ｓ２０８）、処理はＳ２０２に戻る。Ｓ２０２において、供給開始指示部６３１が電流供給部３０に電流供給指示信号を出力し、電流供給部３０は、形状記憶合金部材３への電流の供給を再開する。次いで、Ｓ２０３〜Ｓ２０７の処理が実行される。Ｓ２０５において目標抵抗値設定部６３３が抵抗値経時変化テーブル５２１から形状記憶合金部材３への電流供給が再開されてからの時間に応じて目標抵抗値を設定すると、図１２の矢印Ｄで示されるように、抵抗値差がしきい値よりも大きくなる。抵抗値差がしきい値よりも大きくなるので、目標抵抗値設定部６３３が抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定し（Ｓ２０７）、且つ供給停止指示部６３５が形状記憶合金部材３に電流を供給中であると判定する（Ｓ２１０）。供給停止指示部６３５は、供給停止指示を電流供給部３０に出力する（Ｓ２１１）。

形状記憶合金部材３が拘束される間、形状記憶合金部材３に電流を供給中にＳ２０７において、抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定されると、形状記憶合金部材３への電流の供給が停止される（Ｓ２１１）。形状記憶合金部材３への電流の供給を停止中にＳ２０７において抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定されると、目標抵抗値が増加される（Ｓ２１２）。また、形状記憶合金部材３への電流の供給を停止中にＳ２０７において、抵抗値差が所定のしきい値以下と判定されると、形状記憶合金部材３への電流の供給が再開される（Ｓ２０２）。形状記憶合金アクチュエータ制御装置２は、形状記憶合金部材３が拘束される間、Ｓ２０２〜Ｓ２１２の処理を繰り返すことにより、測定抵抗値と、目標抵抗値との間の偏差が一定の範囲内に収まるように制御する。

図１２の矢印Ｅで示される時間ｔ_a1において、形状記憶合金部材３が拘束から解放されると、図１２の矢印Ｂで示される時間において形状記憶合金部材３が拘束される前と同様に、Ｓ２０３〜Ｓ２０９の処理は繰り返される。図１２の矢印Ｆで示される時間ｔ_anにおいて、供給停止指示部６３５は、指示抵抗値設定部１０に設定された指示抵抗値と、目標抵抗値設定部６３３が設定した目標抵抗値とが一致したと判定する（Ｓ２０９）。そして、目標抵抗値設定部６３３は、目標抵抗値を現在の目標抵抗値に固定する（Ｓ２１３）。

（実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の作用効果）
実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、形状記憶合金部材が拘束されたときに、測定抵抗値と目標抵抗値との間の差である抵抗値差がしきい値よりも大きいと判定して、目標抵抗値を増加して、抵抗値差を小さくする。実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、測定抵抗値と目標抵抗値との間の差である抵抗値差がしきい値よりも大きいと判定したときに抵抗値差を小さくすることで、形状記憶合金部材に流れる電流、及び形状記憶合金部材に発生する応力を抑制する。実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、形状記憶合金部材が拘束されたときに、形状記憶合金部材に流れる電流、及び形状記憶合金部材に発生する応力を抑制することで、形状記憶合金部材が破損するおそれを低減する。

（実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置の変形例）
形状記憶合金アクチュエータ制御装置１及び２では、目標抵抗値と指示抵抗値とが一致したときに形状記憶合金部材３が所望の長さになったと判定するが、測定抵抗値と指示抵抗値とが一致したときに形状記憶合金部材３が所望の長さになったと判定してもよい。

また、指示抵抗値設定部１０、抵抗値フィードバック部２０、電流供給部３０及び抵抗値測定部４０の少なくとも一部は、制御部５０又は制御部６０に組み込まれてもよい。また、処理部５３又は処理部６３で実行されるプログラムにより実現される機能モジュールの少なくとも一部は、ハードウェアにより実現されてもよい。

また、形状記憶合金アクチュエータ制御装置１は、形状記憶合金部材３が拘束されて、目標抵抗値が拘束抵抗値に固定されてから所定の時間が経過したとき、形状記憶合金部材３が拘束されたことを示す警報信号を出力してもよい。また、形状記憶合金アクチュエータ制御装置２は、形状記憶合金部材３が拘束されてから抵抗値差としきい値とを比較するＳ２０７の処理を所定の回数に亘って実行したとき、形状記憶合金部材３が拘束されたことを示す警報信号を出力してもよい。

（他の実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置）
なお、別の見方をすると、実施形態に係る形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、
ＳＭＡに流れる電流値から抵抗値を検出する抵抗値検出部と、
ＳＭＡの変位量との関係で対応する抵抗値から電流値を設定する抵抗値設定部と、
前記抵抗値検出部からの検出抵抗値及び前記指抵抗値設定部からの指令抵抗値に基づいてＳＭＡに電圧を印加して加熱することによって、ＳＭＡの抵抗値を予め決定された変位量に対応する抵抗値に設定してＳＭＡを伸縮させる駆動部とを有する形状記憶合金アクチュエータ制御装置において、
前記抵抗値検出部からの検出抵抗値と抵抗値設定部から目標抵抗値とを逐次比較し、その偏差が所定の範囲以上になった時に目標抵抗値を増加する、すなわちＳＭＡに印加される電圧を低減させて、検出抵抗値と目標抵抗値の偏差を一定に保持することを特徴とするＳＭＡの過負荷を防ぐ「ＳＭＡの位置＋トルク」制御システムということになる。

１、２ 形状記憶合金アクチュエータ制御装置
３ 形状記憶合金部材
１０ 指示抵抗値設定部
２０ 抵抗値フィードバック部
３０ 電流供給部
４０ 抵抗値測定部
５０ 制御部
１００ 形状記憶合金アクチュエータ
５３１、６３１ 供給開始指示部
５３２、６３２ 測定抵抗値取得部
５３３、６３３ 目標抵抗値設定部
５３４、６３４ 抵抗値差演算部
６３５ 供給停止指示部

Claims (5)

1. 形状記憶合金部材の抵抗値を測定する抵抗値測定部と、
   前記形状記憶合金部材に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて減少するように目標抵抗値を設定する目標抵抗値設定部と、
   前記抵抗値測定部が測定した測定抵抗値と前記目標抵抗値との間の差を示す抵抗値差を演算する抵抗値差演算部と、
   前記抵抗値差に応じた電流を前記形状記憶合金部材に供給する電流供給部と、を有し、
   前記目標抵抗値設定部は、前記抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定したときに、前記目標抵抗値を、現在の目標抵抗値よりも大きい所望の値に変更する、ことを特徴とする形状記憶合金アクチュエータ制御装置。
2. 前記目標抵抗値設定部は、前記抵抗値差が前記しきい値よりも大きいと判定したときに、前記目標抵抗値を、前記所望の値に固定する、請求項１に記載の形状記憶合金アクチュエータ制御装置。
3. 前記目標抵抗値設定部が抵抗値差が前記しきい値よりも大きいと判定したときに、前記電流供給部に供給停止指示を出力する供給停止指示部を更に有し、
   前記電流供給部は、前記供給停止指示に応じて前記形状記憶合金部材への電流の供給を停止する、請求項１に記載の形状記憶合金アクチュエータ制御装置。
4. 形状記憶合金部材の抵抗値を測定し、
   前記形状記憶合金部材に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて減少するように目標抵抗値を設定し、
   測定された測定抵抗値と前記目標抵抗値との間の差を示す抵抗値差を演算し、
   前記抵抗値差に応じた電流を前記形状記憶合金部材に供給し、
   前記抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定したときに、前記目標抵抗値を、現在の目標抵抗値よりも大きい所望の値に変更する、
   ことを有することを特徴とする形状記憶合金アクチュエータ制御方法。
5. 形状記憶合金部材と、
   前記形状記憶合金部材に電気的に接続された形状記憶合金アクチュエータ制御装置とを有し、前記形状記憶合金アクチュエータ制御装置は、
   前記形状記憶合金部材の抵抗値を測定する抵抗値測定部と、
   前記形状記憶合金部材に電流を供給する電流供給時間の経過に応じて減少するように目標抵抗値を設定する目標抵抗値設定部と、
   前記抵抗値測定部が測定した測定抵抗値と前記目標抵抗値との間の差を示す抵抗値差を演算する抵抗値差演算部と、
   前記抵抗値差に応じた電流を前記形状記憶合金部材に供給する電流供給部と、を有し、
   前記目標抵抗値設定部は、前記抵抗値差が所定のしきい値よりも大きいと判定したときに、前記目標抵抗値を、現在の目標抵抗値よりも大きい所望の値に変更する、ことを特徴とする形状記憶合金アクチュエータ。

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