JP2017091854A - セラミックヒータ - Google Patents

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    • H05B2203/027Heaters specially adapted for glow plug igniters

Abstract

【課題】ヒータ本体における活性金属材と金属部材の環状接合部とをロウ材によって接合する場合において、セラミック基体にクラックが生じないようにすることができるセラミックヒータを提供すること。
【解決手段】セラミックヒータ1は、ヒータ本体2、活性金属材4、金属部材3及びロウ材5を備える。金属部材3の環状接合部31の内側先端311は、活性金属材4の先端面401よりも軸方向Lの先端側にオフセットしている。環状接合部31と活性金属材4とを接合するロウ材5は、活性金属材4の先端面401を覆って環状接合部31のオフセット部分33の内周まで設けられている。活性金属材4の先端面401から環状接合部31の内側先端311までのオフセット量Xと活性金属材4の軸方向Lの長さYとは、X≧Y×0.05の関係を有する。
【選択図】図2

Description

本発明は、燃料、雰囲気ガス等の加熱を行うセラミックヒータに関する。
絶縁性を有する棒状のセラミック基体の内部に、通電によって発熱するヒータ素子を内蔵して構成されたセラミックヒータは、種々の用途に用いられる。例えば、セラミックヒータは、ディーゼルエンジン等の内燃機関のシリンダヘッドに配置されるグロープラグとして用いられる。この場合、セラミックヒータは、エンジンの冷間時において、燃料の圧縮着火を補助するために用いられる。
セラミックヒータにおいては、ヒータ素子に繋がる電極がセラミック基体の表面に配置され、セラミック基体が、円筒形状の部分を有する金属部材の内周側に配置される。そして、セラミック基体における電極が金属部材に導通される。金属部材の熱膨張係数とセラミック基体の熱膨張係数とは異なっており、内燃機関の冷熱サイクル等を受けて、金属部材からセラミック基体には熱応力が作用することになる。そのため、セラミック基体における電極を金属部材に接合する構造において、セラミック基体をいかにして熱応力から保護するかが重要となる。
例えば、特許文献1に開示されたセラミックヒータ及びこれを用いたグロープラグにおいては、セラミックヒータを構成するセラミック基体の側面の電極引出部を含む部位に、活性金属を含む第1メタライズ層を形成し、第1メタライズ層の周辺に、ガラスを含む第2メタライズ層を形成している。セラミック基体の電極引出部を含む部位は、各メタライズ層を介して金属管と接合している。そして、セラミック基体の電極引出部を含む部位を、ロウ付けによって金属管に接合し、電極引出部の通電耐久性を向上させている。
特開2012−33340号公報
しかしながら、特許文献1等の従来のセラミックヒータにおいて、活性金属材としてのメタライズ層が設けられたセラミック基体を、ロウ材によって金属部材としての金属管に接合する際には、次の課題が生じる。
具体的には、セラミックヒータが加熱・冷却される際には、金属部材の端面の内周側に対向するセラミック基体の部位に、金属部材の膨張・収縮による熱応力の集中が生じる。このとき、セラミック基体に設けられた活性金属材の端面と金属部材の端面とが揃った状態にあると、熱応力の集中が大きくなり、場合によってはセラミック基体にクラック(亀裂)、割れ等が生じるおそれがある。
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたもので、ヒータ本体における活性金属材と金属部材の環状接合部とをロウ材によって接合する場合において、セラミック基体にクラックが生じないようにすることができるセラミックヒータを提供しようとして得られたものである。
本発明の一態様は、棒状のセラミック基体(21)、該セラミック基体に埋設されたヒータ素子(22)、該ヒータ素子の一端に接続され、上記セラミック基体の側面における軸方向(L)の基端部分(211)に設けられた陽極(23)、及び上記ヒータ素子の他端に接続され、上記セラミック基体の側面における、上記陽極よりも上記軸方向の先端側の部分に設けられた陰極(24)を有するヒータ本体(2)と、
該ヒータ本体の上記基端部分に、上記陽極の表面を覆う状態で設けられ、上記セラミック基体と反応して接合された活性金属材(4)と、
該活性金属材の表面を覆う環状接合部(31)を有する金属部材(3)と、
上記環状接合部と上記活性金属材とを接合するロウ材(5)と、を備え、
上記環状接合部の内側先端(311)は、上記活性金属材の先端面(401)よりも上記軸方向の先端側にオフセットしており、
上記ロウ材は、上記活性金属材の先端面を覆って上記環状接合部のオフセット部分(33)の内周まで設けられており、
上記活性金属材の先端面から上記環状接合部の内側先端までのオフセット量Xと上記活性金属材の上記軸方向の長さYとは、X≧Y×0.05の関係を有する、セラミックヒータにある。
上記セラミックヒータにおいては、ヒータ本体に設けられた活性金属材と金属部材の環状接合部とをロウ材によって接合する場合に、セラミック基体を保護する工夫をしている。
具体的には、金属部材の環状接合部の内側先端は、活性金属材の先端面よりも軸方向の先端側にオフセットしている。これにより、環状接合部の内側先端の内周側に活性金属材の先端面が対向しない。そして、セラミックヒータが加熱・冷却され、環状接合部が膨張・収縮する際には、金属部材の熱膨張係数がセラミック基体の熱膨張係数よりも大きいことにより、金属部材の環状接合部からセラミック基体に熱応力が作用する。
このとき、環状接合部の内側先端からセラミック基体の内周側及び軸方向に作用する熱応力と、活性金属材の先端面からセラミック基体の内周側及び軸方向に作用する熱応力とが、セラミック基体の軸方向における同じ位置に作用しないようにすることができる。
また、環状接合部と活性金属材とを接合するロウ材は、活性金属材の先端面を覆って環状接合部のオフセット部分の内周まで設けられている。これにより、環状接合部が膨張・収縮する際には、熱応力が集中しやすい活性金属材の先端面をロウ材によって覆うことができる。
上述した金属部材の環状接合部がオフセットする構成、及びオフセット部分までロウ材が設けられた構成により、環状接合部が膨張・収縮する際に、セラミック基体の内周側及び軸方向へ作用する熱応力を緩和することができる。そのため、セラミック基体にクラック(亀裂)が生じないようにすることができる。
また、活性金属材の先端面から環状接合部の内側先端までのオフセット量Xと活性金属材の軸方向の長さYとは、X≧Y×0.05の関係を有している。活性金属材の先端面から環状接合部の内側先端までのオフセット量は、小さすぎても熱応力を緩和する効果が得られにくい。そこで、オフセット量が、活性金属材の軸方向の長さの5%以上の長さであることにより、セラミック基体に作用する熱応力を効果的に緩和することができる。
なお、オフセット量が大きくなり過ぎると、セラミック基体と環状接合部との軸方向における重なり量が不必要に大きくなるおそれがある。そのため、オフセット量Xは、例えば、Y×0.2≧X≧Y×0.05の関係を満たすよう決定することができる。
それ故、上記セラミックヒータによれば、ヒータ本体における活性金属材と金属部材の環状接合部とをロウ材によって接合する場合において、セラミック基体にクラックが生じないようにすることができる。
金属部材の内面又は活性金属材の表面には、ロウ材による接合を改善するためのメッキ層が設けられていてもよい。この場合には、ロウ材による環状接合部と活性金属材との接合は、メッキ層を介して間接的に行われる。
上記セラミックヒータは、自動車等の内燃機関における燃料の圧縮着火を補助するグロープラグ、燃焼式車載暖房装置における点火用のヒータ、石油ファンヒータ等の各種燃焼機器における点火用のヒータ、ガスセンサ等の各種センサにおける加熱用のヒータ、その他の各種測定機器等に用いられるヒータを構成することができる。
実施形態にかかる、セラミックヒータを示す断面説明図。 実施形態にかかる、ヒータ本体における活性金属材と金属部材の環状接合部との接合部分の周辺を示す断面説明図。 実施形態にかかる、金属部材の環状接合部のオフセット部分の周辺を示す断面説明図。
上述したセラミックヒータにかかる好ましい実施形態について、図面を参照して説明する。
(実施形態)
本形態のセラミックヒータ1は、図1〜図3に示すように、ヒータ本体2、活性金属材4、金属部材3及びロウ材5を備える。ヒータ本体2は、棒状のセラミック基体21、セラミック基体21に埋設されたヒータ素子22、ヒータ素子22の一端に接続された陽極23、及びヒータ素子22の他端に接続された陰極24を有する。陽極23は、セラミック基体21の側面201における軸方向Lの基端部分211に設けられており、陰極24は、セラミック基体21の側面201における、陽極23よりも軸方向Lの先端側の部分に設けられている。活性金属材4は、ヒータ本体2の側面201における軸方向Lの基端部分211に、陽極23の表面を覆う状態で設けられており、セラミック基体21と反応して接合されている。金属部材3は、活性金属材4の表面を覆う環状接合部31を有する。環状接合部31と活性金属材4とは、ロウ材5によって接合されている。
図2、図3に示すように、環状接合部31の内側先端311は、活性金属材4の先端面401よりも軸方向Lの先端側にオフセットしている。ロウ材5は、活性金属材4の先端面401を覆って環状接合部31のオフセット部分33の内周まで設けられている。活性金属材4の先端面401から環状接合部31の内側先端311までのオフセット量Xと活性金属材4の軸方向Lの長さYとは、X≧Y×0.05の関係を有する。なお、オフセット部分33とは、環状接合部31における、活性金属材4の先端面401よりも先端側の部分のことをいう。
以下に、本形態のセラミックヒータ1についてさらに詳説する。
図1に示すように、セラミックヒータ1は、自動車のディーゼルエンジン等のエンジンにおいて使用されるグロープラグを構成する。グロープラグは、エンジンのシリンダヘッド7に設けられたプラグ取付孔71に配置され、シリンダヘッド7の燃焼室73内における燃料混合気の予熱を行うために用いられる。セラミックヒータ1は、燃料混合気の予熱を行う際には、ヒータ素子22に通電を行い、ヒータ素子22を発熱させるよう構成されている。
なお、セラミック基体21の軸方向Lの先端側とは、燃焼室73側をいい、軸方向Lの基端側とは、燃焼室73とは反対側をいう。
同図に示すように、セラミックヒータ1は、ヒータ本体2等の他に、ヒータ本体2の外周を保持する金属製のスリーブ61と、スリーブ61の軸方向Lの基端側に連結された金属製のハウジング62と、金属部材3に連結された金属製の導通端子63とを備えている。
スリーブ61は、円筒形状を有しており、ヒータ本体2の先端側部分を軸方向Lの先端側に突出させている。スリーブ61の基端側部分の外周には、先端側部分の外周よりも拡径した拡径部611が形成されている。拡径部611は、シリンダヘッド7のプラグ取付孔71に設けられた段差部72に当接している。そして、ヒータ本体2における陰極24は、スリーブ61を介して、グラウンド電位にあるシリンダヘッド7に導通されている。ハウジング62は、円筒形状を有しており、スリーブ61の基端側に溶接によって接合されている。導通端子63は、ハウジング62内に挿通されており、導通端子63の先端部は金属部材3に接合されている。導通端子63は、ハウジング62の外部に配置された通電用の電源等に接続されている。
図2に示すように、本形態の金属部材3は、環状接合部31と、環状接合部31の軸方向Lの基端に繋がり、軸方向Lの基端側に行くほど内径が縮小する傾斜部32とを有する。金属部材3は、環状接合部31の基端側が傾斜部32によって塞がれたカップ形状を有する。なお、金属部材3は、カップ形状とする以外にも、円筒形状等の種々の形状とすることができる。環状接合部31の内周面301と傾斜部32の内周面302との間には、内周側角部による境界部303が形成されている。活性金属材4の基端面402は、境界部303に位置して、金属部材4に対する軸方向Lの位置決めがなされている。
図1に示すように、ヒータ本体2におけるヒータ素子22は、セラミック基体21の先端側部分に内蔵されており、U字状に折れ曲がって形成されている。陽極23は、セラミック基体21の軸方向Lの基端部に配置されており、陰極24は、セラミック基体21の軸方向Lにおける陽極23の配置位置よりも先端側の位置に配置されている。陽極23の表面及び陰極24の表面は、セラミック基体21の側面201としての外周面に配置されている。また、ヒータ素子22の一端と陽極23との間、及びヒータ素子22の他端と陰極24との間は、それぞれリード線25によって接続されている。
リード線25は、一対の電極としての陽極23及び陰極24を構成する導通性材料と同じ材料によって構成することができる。リード線25は、導通性を有する金属材料から構成することができ、導通性を有するセラミック材料から構成することもできる。陽極23、陰極24及びリード線25を構成する材料の比抵抗に比べて、ヒータ素子22を構成する材料の比抵抗は大きい。そして、陽極23と陰極24との間に通電を行うと、ヒータ素子22が発熱する。
陽極23及び陰極24は、導通性を有するタングステンカーバイト等によって構成されている。セラミック基体21は、導通性を有しない窒化珪素等のセラミックによって構成されている。なお、セラミック基体21は、アルミナ等から構成することもできる。
本形態の活性金属材4は、陽極23の表面を含むセラミック基体21の側面201における基端部分211の全周に形成されている。なお、活性金属材4は、陽極23の表面を含むセラミック基体21の側面201における基端部分211の周方向の一部のみに形成されていてもよい。
図3に示すように、活性金属材4は、活性金属メタライズ層とも呼ばれ、セラミック基体21の側面201に化学反応を伴って接合された反応層41と、反応層41の表面に形成された導通層42とを有している。反応層41は、活性金属材4中の活性金属成分が、セラミック基体21中のセラミック成分と化学反応して形成されたものである。反応層41が形成されていることにより、活性金属材4は、セラミック基体21に強固に接合されている。導通層42は、活性金属材4中の導通成分が、反応層41の表面に積層されて形成されたものである。反応層41及び導通層42によって、陽極23と金属部材3との導通性が確保される。
本形態の活性金属材4は、セラミック基体21を構成するセラミック成分との反応層41を形成する活性金属成分としてのTi(チタン)と、導電性を確保するための金属成分としてのAg(銀)及びCu(銅)とを含有するTi−Ag−Cu系の金属材料から構成されている。反応層41は、活性金属材4中のTiと、セラミック基体21におけるセラミック成分中のSi(珪素)とが化学反応して形成されたTi5Si3(珪化チタン)等によって形成されている。導通層42は、AgとCuとの合金として形成されている。
なお、活性金属材4における活性金属成分は、Mg等であってもよい。
金属部材3の環状接合部31の内面及び活性金属材4における導通層42の表面の全体には、ロウ材5の流動性を改善するためのNiのメッキ層34,43が設けられている。ロウ材5は、金属部材3におけるメッキ層34と活性金属材4におけるメッキ層43とを接合している。ロウ材5は、メッキ層34とメッキ層43との隙間を充填するように配置されている。ロウ材5は、Ag、Cu等から構成されている。Niのメッキ層34,43の形成により、環状接合部31の内側先端311が活性金属材4の先端面401よりも軸方向Lの先端側にオフセットしていても、ロウ材5をメッキ層34とメッキ層43との隙間に容易に充填することができるようになる。
金属部材3の0〜649℃における平均熱膨張係数は、11.9×10-6〜18.7×10-6(1/℃)である。金属部材3は、SUS304、SUS430等のステンレス材料から構成されている。SUS304の平均熱膨張係数は、18.7×10-6(1/℃)であり、SUS430の平均熱膨張係数は、11.9×10-6(1/℃)である。セラミック基材の0〜649℃における平均熱膨張係数は、2.6×10-6〜7.8×10-6(1/℃)である。活性金属材4を構成する反応層41及び導通層42の平均熱膨張係数及びメッキ層43の平均熱膨張係数は、セラミック基材の平均熱膨張係数よりも大きい。
なお、平均熱膨張係数は、所定の温度の範囲内における熱膨張係数の平均値として表す。
金属部材3、活性金属材4及びメッキ層43の熱膨張係数はセラミック基体21の熱膨張係数よりも大きい。そのため、セラミックヒータ1の使用時に、セラミックヒータ1が膨張・収縮を行うときには、金属部材3、メッキ層43が設けられた活性金属材4からセラミック基体21には、セラミック基体21の径方向及び軸方向Lに向けた熱応力が作用する。
また、ヒータ本体2における陽極23の軸方向Lの長さは2〜4mmの範囲内にあり、活性金属材4の軸方向Lの長さは陽極23の軸方向Lの長さよりも長い。また、セラミック基体21の外径は、φ2.8〜3.5mmの範囲内にある。本形態のセラミックヒータ1は、これらの各寸法を満たす場合に好適である。
また、図3に示すように、金属部材3の環状接合部31の先端面310の全体は、軸方向Lの基端側に向かうほど縮径するテーパ形状に形成されている。なお、先端面310の内側の部分(角部)のみをテーパ形状にし、先端面310の外側の部分(角部)は、軸方向Lに垂直な面としてもよい。環状接合部31の先端面310をテーパ形状に形成することにより、環状接合部31の内側先端311からセラミック基体21に作用する熱応力の集中を緩和することができる。
なお、金属部材3の環状接合部31の先端面310の全体又は内側の部分は、円弧形状に形成することもできる。この場合にも、先端面310をテーパ形状に形成する場合と同様の効果を得ることができる。
また、活性金属材4の先端面401は、軸方向Lに略垂直に形成されている。ただし、製造上、活性金属材4の先端面401は、完全に垂直にはならないと考えられる。この場合、オフセット量Xは、活性金属材4の先端面401における最も先端側の位置から環状接合部31の内側先端311までとする。
また、同図に示すように、環状接合部31のオフセット部分33の内周に設けられたロウ材5における、セラミック基体21と接触する側の部分には、軸方向Lの基端側に向かうほど縮径するテーパ状又は円弧状の面が形成されていてもよい。この場合には、環状接合部31のオフセット部分33からロウ材5を介してセラミック基体21に作用する熱応力を緩和することができる。
また、本形態の金属部材3の環状接合部31の内周面301は、金属部材3の軸方向Lに対して平行に形成されている。これ以外にも、環状接合部31の内周面301は、金属部材3の軸方向Lの基端側に向かうほど縮径するテーパ面に形成されていてもよい。また、この場合には、ヒータ本体2の側面201における基端部も、ヒータ本体2の軸方向Lの基端側に向かうほど縮径するテーパ面に形成することができる。
また、ヒータ本体2における陰極24の表面には、ガラス金属材が設けられている。ガラス金属材は、ガラスメタライズ層とも呼ばれ、導通性を確保するための金属成分とガラス成分とを含有する。ガラス成分の熱膨張係数は、金属成分の熱膨張係数に比べてセラミック基体21を構成するセラミック成分の熱膨張係数に近い。また、ガラス金属材の表面には、Ni等のメッキ層が形成されており、このメッキ層とスリーブ61とはロウ材5によって接合されている。
次に、ヒータ本体2の側面201に活性金属材4を形成する方法について説明する。
活性金属材4を形成するに当たっては、まず、活性金属材4を形成するためのペーストを、陽極23の表面を含むセラミック基体21の側面201の基端部分211の全周に塗布し、このペーストを熱処理する。このペーストには、活性金属成分としてのTi、金属成分としてのAg、Cu、溶媒等を含むものを用いる。そして、ペーストの熱処理を行うときには、ペースト中の活性金属成分であるTiが、セラミック基体21中のセラミック成分であるSi34と反応し、陽極23の表面を含むセラミック基体21の側面201の基端部分211の全周には、反応層41としてのTi5Si3の層が形成される。また、反応層41の表面には、Ag及びCuによる導通層42が形成される。こうして、セラミック基体21の側面201には、反応層41と導通層42とを有する活性金属材4が形成される。
その後、活性金属材4の表面には、Niによって構成されるメッキ層43を形成する。
ヒータ本体2は、金属部材3の内周に、ロウ材5及び締り嵌めによって接合されている。
次に、ヒータ本体2を金属部材3の内周に接合する方法について説明する。
ヒータ本体2をロウ付けによって金属部材3の内周に接合する際には、環状接合部31の先端面310が下方を向く状態で金属部材3をパレットに配置する。また、ヒータ本体2の基端面202に固形状のロウ材5を配置するとともに、このヒータ本体2を金属部材3の下方から環状接合部31の内周に配置する。次いで、パレットを介して金属部材3を加熱したときには、金属部材3の内周が熱膨張によって拡大し、金属部材3とヒータ本体2との間に形成された隙間に、溶融したロウ材5が流れ込む。その後、金属部材3が冷却されたときには、ロウ材5が凝固するとともに環状接合部31の内径が収縮する。そして、環状接合部31からヒータ本体2に圧縮応力が作用した状態で、ヒータ本体2と環状接合部31とがロウ材5によって接合される。こうして、ヒータ本体2がロウ材5及び締り嵌めによって金属部材3の環状接合部31と接合される。
次に、本形態のセラミックヒータ1による作用効果について説明する。
本形態のセラミックヒータ1において、金属部材3の環状接合部31の内側先端311は、活性金属材4の先端面401よりも軸方向Lの先端側にオフセットしている。これにより、環状接合部31の内側先端311の内周側に活性金属材4の先端面401が対向しない。そして、エンジンの冷熱サイクルを受けてセラミックヒータ1が加熱・冷却され、環状接合部31が膨張・収縮する際には、金属部材3の熱膨張係数がセラミック基体21の熱膨張係数よりも大きいことにより、金属部材3の環状接合部31からセラミック基体21に熱応力が作用する。
このとき、環状接合部31の内側先端311からセラミック基体21の内周側及び軸方向Lに作用する熱応力と、活性金属材4の先端面401からセラミック基体21の内周側及び軸方向Lに作用する熱応力とが、セラミック基体21の軸方向Lにおける同じ位置に作用しないようにすることができる。
また、環状接合部31と活性金属材4とを接合するロウ材5は、活性金属材4の先端面401を覆って環状接合部31のオフセット部分33の内周まで設けられている。これにより、環状接合部31が膨張・収縮する際には、熱応力が集中しやすい活性金属材4の先端面401をロウ材5によって覆うことができる。
上述した金属部材3の環状接合部31がオフセットする構成、及びオフセット部分33までロウ材5が設けられた構成により、環状接合部31が膨張・収縮する際に、セラミック基体21の内周側及び軸方向Lへ作用する熱応力を緩和することができる。そのため、セラミック基体21にクラック(亀裂)が生じないようにすることができる。
また、ヒータ本体2と環状接合部31とはロウ材5及び締り嵌めによって接合されており、環状接合部31からヒータ本体2へは、締り嵌めを行ったことによる残留応力も作用している。そのため、残留応力及び熱応力が作用する場合においても、上述した金属部材3の環状接合部31がオフセットする構成、及びオフセット部分33までロウ材5が設けられた構成により、セラミック基体21におけるクラックの発生を防止することができる。
また、活性金属材4の先端面401から環状接合部31の内側先端311までのオフセット量Xと活性金属材4の軸方向Lの長さYとは、X≧Y×0.05の関係を有している。活性金属材4の先端面401から環状接合部31の内側先端311までのオフセット量Xは、小さすぎても熱応力を緩和する効果が得られにくい。そこで、オフセット量Xが、活性金属材4の軸方向Lの長さの5%以上の長さであることにより、セラミック基体21に作用する熱応力を効果的に緩和することができる。
なお、オフセット量Xが大きくなり過ぎると、セラミック基体21と環状接合部31との軸方向Lにおける重なり量が不必要に大きくなるおそれがある。そのため、オフセット量Xは、例えば、Y×0.2≧X≧Y×0.05の関係を満たすよう決定することができる。
それ故、本形態のセラミックヒータ1によれば、ヒータ本体2における活性金属材4と金属部材3の環状接合部31とをロウ材5によって接合する場合において、セラミック基体21にクラックが生じないようにすることができる。
(確認試験)
本確認試験においては、活性金属材4の先端面401から金属部材3の環状接合部31の内側先端311までのオフセット量Xと、活性金属材4の軸方向Lの長さYとの最適な関係を確認した。
この確認試験においては、活性金属材4の軸方向Lの長さY、オフセット量X、セラミック基体21の外径、及び金属部材3の材質が異なる複数種類のセラミックヒータ1のサンプルを準備した。セラミックヒータ1のサンプルにおいて、活性金属材4の軸方向Lの長さYは、4.0mm、3.6mm、2.0mmの3種類に変化させた。また、オフセット量Xは、0.08mm、0.10mm、0.12mm、0.14mm、0.16mm、0.18mm、0.20mm、0.22mmの8種類に変化させた。また、セラミック基体21の材質は、SUS304、SUS430の2種類に変化させた。さらに、セラミック基体21の外径は、φ2.8mm、φ3.5mmの2種類に変化させた。
そして、セラミックヒータ1の各サンプルについて、セラミック基体21に微小なクラックが生じたか否かの確認をした。このクラックは極めて微小な亀裂であることが多く、その確認は、次の方法によって行った。具体的には、ロウ材5を再度溶融させて金属部材3からヒータ本体2を取り出し、ヒータ本体2のセラミック基体21の側面201をサンドペーパで軽く磨いた。次いで、この側面201に、蛍光深傷液を塗布した後、ブラックライトを照射して、微小なクラックの有無を確認した。
この確認を行った結果を表1に示す。同表の確認結果においては、微小なクラックが生じた場合を×によって示し、微小なクラックが生じなかった場合を○によって示す。
Figure 2017091854
同表の各サンプルについて、活性金属材4の軸方向Lの長さYを4mmとした場合に、オフセット量Xが0.08〜0.18mmの範囲内にあるときには、オフセット量Xと長さYとの関係がX<Y×0.05となり、セラミック基体21における、金属部材3の環状接合部31の内側先端311に対向する部位に、クラックが発生した。一方、この場合に、オフセット量Xが0.20〜0.22mmの範囲内にあるときには、オフセット量Xと長さYとの関係がX≧Y×0.05となり、セラミック基体21にクラックは発生しなかった。
また、各サンプルについて、活性金属材4の軸方向Lの長さYを3.6mmとした場合に、オフセット量Xが0.08〜0.16mmの範囲内にあるときには、オフセット量Xと長さYとの関係がX<Y×0.05となり、セラミック基体21における、金属部材3の環状接合部31の内側先端311に対向する部位に、クラックが発生した。一方、この場合に、オフセット量Xが0.18〜0.22mmの範囲内にあるときには、オフセット量Xと長さYとの関係がX≧Y×0.05となり、セラミック基体21にクラックは発生しなかった。
さらに、各サンプルについて、活性金属材4の軸方向Lの長さYを2.0mmとした場合に、オフセット量Xが0.08mmであるときには、オフセット量Xと長さYとの関係がX<Y×0.05となり、セラミック基体21における、金属部材3の環状接合部31の内側先端311に対向する部位に、クラックが発生した。一方、この場合に、オフセット量Xが0.10〜0.22mmの範囲内にあるときには、オフセット量Xと長さYとの関係がX≧Y×0.05となり、セラミック基体21にクラックは発生しなかった。
以上の結果より、活性金属材4の先端面401から環状接合部31の内側先端311までのオフセット量Xが、活性金属材4の軸方向Lの長さYの5%以上である場合には、セラミック基体21をクラックの発生から保護できることが分かる。一方、オフセット量Xが活性金属材4の軸方向Lの長さYの5%未満である場合には、オフセット量Xが不十分であり、セラミック基体21をクラックの発生から保護することが困難になる。
なお、本発明は、上記実施形態のみに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲においてさらに異なる実施形態に適用することが可能である。
1 セラミックヒータ
2 ヒータ本体
21 セラミック基体
22 ヒータ素子
23 陽極
3 金属部材
31 環状接合部
33 オフセット部分
4 活性金属材
5 ロウ材

Claims (8)

  1. 棒状のセラミック基体(21)、該セラミック基体に埋設されたヒータ素子(22)、該ヒータ素子の一端に接続され、上記セラミック基体の側面における軸方向(L)の基端部分(211)に設けられた陽極(23)、及び上記ヒータ素子の他端に接続され、上記セラミック基体の側面における、上記陽極よりも上記軸方向の先端側の部分に設けられた陰極(24)を有するヒータ本体(2)と、
    該ヒータ本体の上記基端部分に、上記陽極の表面を覆う状態で設けられ、上記セラミック基体と反応して接合された活性金属材(4)と、
    該活性金属材の表面を覆う環状接合部(31)を有する金属部材(3)と、
    上記環状接合部と上記活性金属材とを接合するロウ材(5)と、を備え、
    上記環状接合部の内側先端(311)は、上記活性金属材の先端面(401)よりも上記軸方向の先端側にオフセットしており、
    上記ロウ材は、上記活性金属材の先端面を覆って上記環状接合部のオフセット部分(33)の内周まで設けられており、
    上記活性金属材の先端面から上記環状接合部の内側先端までのオフセット量Xと上記活性金属材の上記軸方向の長さYとは、X≧Y×0.05の関係を有する、セラミックヒータ。
  2. 上記環状接合部の上記軸方向の基端には、上記軸方向の基端側に行くほど内径が縮小する傾斜部(32)が繋がっており、
    上記活性金属材の基端面(402)は、上記環状接合部と上記傾斜部との内周側の境界部(303)によって位置決めされている、請求項1に記載のセラミックヒータ。
  3. 上記環状接合部の先端面(310)の全体又は内側の部分は、テーパ形状又は円弧形状に形成されている、請求項1又は2に記載のセラミックヒータ。
  4. 上記活性金属材は、上記セラミック基体を構成するセラミックとの反応層(41)を形成するTi、導電性を確保するためのAg及びCuを含有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のセラミックヒータ。
  5. 上記金属部材の0〜649℃における平均熱膨張係数は、11.9×10-6〜18.7×10-6(1/℃)である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のセラミックヒータ。
  6. 上記陽極の上記軸方向の長さは2〜4mmであり、上記活性金属材の上記軸方向の長さは上記陽極の上記軸方向の長さよりも長い、請求項1〜5のいずれか一項に記載のセラミックヒータ。
  7. 上記金属部材の内面には、Niのメッキ層(34)が設けられている、請求項1〜6のいずれか一項に記載のセラミックヒータ。
  8. 上記活性金属材の表面には、Niのメッキ層(43)が設けられている、請求項1〜7のいずれか一項に記載のセラミックヒータ。
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