JP2017090117A - Inspection device and inspection method of sheet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シートの検査装置及び検査方法に関する。 The present invention relates to a sheet inspection apparatus and inspection method.
従来、例えば偏光板は、帯状の偏光子(原反シート)の両面に保護フィルム(原反シート)が積層され、一方の保護フィルムに接着剤を介して位相差フィルム(原反シート)が積層され、さらに位相差フィルムに粘着剤を介してセパレータ(原反シート)が積層され、また、他方の保護フィルムには表面処理剤層が積層されて構成されている。かかる偏光板は、表面処理剤層に剥離ライナー(原反シート)が積層された積層体(積層シート)の状態で、異物検査等の検査を経て流通されている。 Conventionally, for example, in a polarizing plate, a protective film (original fabric sheet) is laminated on both sides of a strip-shaped polarizer (original fabric sheet), and a retardation film (original fabric sheet) is laminated on one protective film via an adhesive. Further, a separator (raw sheet) is laminated on the retardation film via an adhesive, and a surface treatment agent layer is laminated on the other protective film. Such a polarizing plate is in the state of a laminate (laminated sheet) in which a release liner (raw fabric sheet) is laminated on a surface treatment agent layer, and is distributed through inspections such as foreign matter inspection.
この種のシートの検査に用いられる検査装置として、例えば、積層シートに光を照射する光源部と、該光が照射されている積層シートを撮像する撮像部とを有する検査部を備え、移動している積層シートに光源部によって光を照射し、該光が照射されている積層シートを撮像部で撮像するように構成された検査装置が提案されている(特許文献1、2参照)。また、かかる検査装置は、原反シート同士を積層する積層部の後段に据え付けられ、積層シートに対する撮像部の位置及び焦点が合わされたうえで、積層シートと撮像部との位置関係が変化しないように固定配置された状態で積層シートを検査するようになっている(特許文献1、2参照)。 As an inspection apparatus used for inspecting this type of sheet, for example, an inspection unit including a light source unit that irradiates light to a laminated sheet and an imaging unit that images the laminated sheet irradiated with the light is moved. 2. Description of the Related Art There has been proposed an inspection apparatus configured to irradiate a laminated sheet that is irradiated with light by a light source unit, and to image the laminated sheet irradiated with the light with an imaging unit (see Patent Documents 1 and 2). In addition, such an inspection apparatus is installed at the subsequent stage of the stacking unit that stacks the original fabric sheets so that the position and focus of the imaging unit with respect to the stacked sheet are adjusted, and the positional relationship between the stacked sheet and the imaging unit does not change. The laminated sheet is inspected in a state of being fixedly arranged on the sheet (see Patent Documents 1 and 2).
ところで、上記したような積層シートの検査は、積層シートへの異物の混入といった不良が発生した不良品を市場に流通させないように行われるものであるが、市場への流通を防ぐだけでは、歩留まりが低下してしまう。そこで、製品不良が発見されたら、その発生原因を突き止め、それ以降の積層シートの作製において、製品不良の発生を抑制する対策を施すことが望ましい。 By the way, the inspection of the laminated sheet as described above is performed so as not to distribute a defective product in which a defect such as mixing of foreign matters into the laminated sheet is distributed to the market. Will fall. Therefore, when a product defect is discovered, it is desirable to determine the cause of the occurrence and to take measures to suppress the occurrence of the product defect in the subsequent production of the laminated sheet.
しかし、完成段階で出荷前に検査を行う特許文献1、2の検査装置では、異物等の不良の発生原因を十分に突き止めることが困難である。
また、このことは、積層シートだけの問題点だけではなく、積層されていないシートの問題点でもある。
However, in the inspection apparatuses of Patent Documents 1 and 2 that inspect before shipment at the completion stage, it is difficult to sufficiently determine the cause of the occurrence of a defect such as a foreign object.
This is not only a problem of the laminated sheet alone, but also a problem of the non-laminated sheets.
上記事情に鑑み、本発明は、シート不良の発生位置及び発生原因を十分に特定し得るシートの検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a sheet inspection apparatus and inspection method capable of sufficiently specifying the occurrence position and cause of sheet failure.
本発明に係るシートの検査装置は、
移動経路に沿って移動する帯状のシートを検査するシートの検査装置であって、
移動可能な架台と、
前記架台に支持されて前記シートを検査する検査部とを備え、
前記検査部は、
前記シートに光を照射する光源部と、
前記架台が前記移動経路における任意の位置に配された状態で前記シートに対する相対的な撮像位置及び撮像角度を調整可能に構成され、且つ、前記光源部によって光が照射されている前記シートを撮像する撮像部とを有している。
The sheet inspection apparatus according to the present invention includes:
A sheet inspection apparatus for inspecting a belt-shaped sheet moving along a movement path,
A movable mount;
An inspection unit supported by the gantry and inspecting the sheet;
The inspection unit
A light source unit for irradiating the sheet with light;
The sheet is configured so that the relative imaging position and imaging angle relative to the sheet can be adjusted in a state in which the gantry is arranged at an arbitrary position in the movement path, and the light source unit irradiates light. And an imaging unit.
かかる構成によれば、検査部と共に架台を移動させることによって、シートの移動経路における任意の位置に検査装置を移動させることができる。そして、このように架台を移動させた位置で、シートに対する撮像部の撮像位置及び撮像角度を調整することができる。これにより、撮像部の撮像対象領域及び焦点を適切に合わせて、シートの検査を行うことが可能となる。
従って、どの位置でどのような不良が発生したのかといった、シート不良の発生位置及び発生原因を十分に特定し得る。
According to such a configuration, the inspection apparatus can be moved to an arbitrary position in the sheet movement path by moving the gantry together with the inspection unit. And the imaging position and imaging angle of the imaging part with respect to a sheet | seat can be adjusted in the position which moved the mount frame in this way. Accordingly, it is possible to inspect the sheet by appropriately adjusting the imaging target region and the focus of the imaging unit.
Therefore, it is possible to sufficiently specify the occurrence position and cause of the sheet defect, such as what kind of defect has occurred at which position.
上記構成のシートの検査装置においては、
前記撮像部は、
撮像本体部と、
前記シートに対して前記撮像本体部を移動させて前記相対的な撮像位置を調整することが可能な位置調整部と、
前記シートに対して前記撮像本体部を回転させて前記相対的な撮像角度を調整することが可能な角度調整部とを有していることが好ましい。
In the sheet inspection apparatus configured as described above,
The imaging unit
An imaging body,
A position adjusting unit capable of adjusting the relative imaging position by moving the imaging main body with respect to the sheet;
It is preferable to have an angle adjustment unit capable of adjusting the relative imaging angle by rotating the imaging main body with respect to the sheet.
かかる構成によれば、位置調整部によって、シートに対して撮像本体部を移動させて上記相対的な撮像位置を調整し、角度調整部によって、シートに対して撮像本体部を回転させて上記相対的な撮像角度を調整することができる。
これにより、シートに対する撮像本体部の撮像位置調整と撮像角度調整とを独立して行うことも、これら撮像位置調整と撮像角度調整とを組み合わせて行うこともできるため、シートに対する撮像本体部の撮像位置及び撮像角度をより詳細に調整し得る。
従って、架台の配置状態に影響されることなく、撮像本体部の撮像位置と撮像角度とを、所望の撮像位置と撮像角度とに調整することができ、これにより、シート不良の発生位置及び発生原因をより十分に特定し得る。
According to this configuration, the position adjustment unit moves the imaging body relative to the sheet to adjust the relative imaging position, and the angle adjustment unit rotates the imaging body relative to the sheet to move the relative position. The general imaging angle can be adjusted.
As a result, the imaging position adjustment and the imaging angle adjustment of the imaging main body with respect to the sheet can be performed independently, or the imaging position adjustment and the imaging angle adjustment can be performed in combination. The position and imaging angle can be adjusted in more detail.
Therefore, it is possible to adjust the imaging position and imaging angle of the imaging main body to a desired imaging position and imaging angle without being affected by the arrangement state of the gantry. The cause can be identified more fully.
上記構成のシートの検査装置においては、
前記撮像部と電気的に接続されて、前記撮像部からの検査結果を取得する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記架台の移動に応じて移動可能に構成されていることが好ましい。
In the sheet inspection apparatus configured as described above,
A control unit that is electrically connected to the imaging unit and obtains a test result from the imaging unit;
It is preferable that the control unit is configured to be movable according to the movement of the gantry.
かかる構成によれば、架台の移動(すなわち撮像部の移動)に応じて制御部を移動させて、撮像部からの検査結果を制御部が取得できるため、その分、撮像部と制御部とを電気的に接続するための配線を短くすることができる。また、撮像部と制御部の配置の自由度が高まるため、両者をより移動させ易くなり、これにより、より簡便にシートを検査し得る。しかも、複数の位置での検査結果をより簡便に取得し得る。
また、複数の位置で検査結果を取得する態様を採用した場合には、取得した複数の検査結果を比較し、より異物が発生し易い位置を特定することが可能となるため、シートの移動経路における検査すべき位置をより適切に特定し得る。
このように、検査装置がより有用なものとなる。
According to such a configuration, since the control unit can acquire the inspection result from the imaging unit by moving the control unit in accordance with the movement of the gantry (that is, the movement of the imaging unit), the imaging unit and the control unit are connected accordingly. Wiring for electrical connection can be shortened. Moreover, since the freedom degree of arrangement | positioning of an imaging part and a control part increases, it becomes easy to move both, and, thereby, a sheet | seat can be test | inspected more simply. In addition, test results at a plurality of positions can be acquired more easily.
In addition, when an aspect in which inspection results are acquired at a plurality of positions is employed, it is possible to compare a plurality of acquired inspection results and specify a position where foreign matter is more likely to occur. The position to be inspected can be more appropriately specified.
Thus, the inspection device becomes more useful.
本発明に係るシートの検査方法は、
前記シートの検査装置を用い、
前記シートを検査する。
The sheet inspection method according to the present invention includes:
Using the sheet inspection device,
Inspect the sheet.
以上の通り、本発明によれば、シート不良の発生位置及び発生原因を十分に特定し得るシートの検査装置及び検査方法が提供される。 As described above, according to the present invention, a sheet inspection apparatus and inspection method capable of sufficiently specifying the occurrence position and cause of sheet failure are provided.
以下、本発明の実施形態に係るシートの検査装置及び検査方法について、図面を参照しながら説明する。なお、図1〜図7、図10〜図13、図15においてシートの搬送方向を白抜き矢印で示す。 Hereinafter, a sheet inspection apparatus and an inspection method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In FIGS. 1 to 7, 10 to 13, and 15, the sheet conveyance direction is indicated by a white arrow.
まず、本実施形態のシートの検査装置を備えたシートの搬送装置について説明する。 First, a sheet conveying apparatus including the sheet inspection apparatus according to the present embodiment will be described.
本実施形態のシート40の搬送装置1は、帯状のシート40としての原反シート60が巻き回されてなるロール体61から原反シート60をそれぞれ繰り出す複数の繰り出し部3と、繰り出された原反シート60同士を積層してシート40としての積層シート50を形成する積層部7と、積層シート50を巻き取ってロール体51として回収する巻き取り部9と、移動可能であって、シート40を検査可能な検査装置20とを備えている。
本実施形態では、2つの検査装置20がシート40の幅方向に沿って対をなすようにして備えられ、これら一対の検査装置20が、シート40を検査するようになっている。
The sheet conveying apparatus 1 of the present embodiment includes a plurality of
In the present embodiment, two
この搬送装置1は、繰り出し部3から繰り出された原反シート60同士が積層部7で積層されて積層シート50が形成され、形成された積層シート50が巻き取り部9によって巻き取られるようになっている。
また、このシート40の移動の際、シート40が検査装置20によって検査されるようになっている。
In the conveying device 1, the
Further, when the
図2及び図3に示すように、検査装置20は、移動経路に沿って移動する帯状のシート40を検査するシート40の検査装置20であって、移動可能な架台21と、前記架台21に支持されて前記シート40を検査する検査部22とを備え、前記検査部22は、前記シート40に光を照射する光源部23と、前記架台21がシート40の移動経路における任意の位置に配された状態で前記シート40に対する相対的な撮像位置及び撮像角度を調整可能に構成され、且つ、前記光源部23によって光が照射されている前記シート40を撮像する撮像部25とを有している。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
また、シート40の検査装置20は、前記撮像部25と電気的に接続されて、前記撮像部25からの検査結果を取得する制御部37をさらに備え、前記制御部37は、架台21の移動に応じて移動可能に構成されている。
The
架台21は、検査箇所を移動させるべく移動可能に構成されており、シート40の移動経路において任意の位置に移動されるものである。この架台21が検査部22と共に移動されることによって、検査装置20が移動されるようになっている。
架台21は、シート40の移動経路において、搬送装置1が有するフレーム5に取り付けられるようになっている。例えば、架台21は、ボルト等によってフレーム5に取り付けられるようになっている。
図1には、2つの繰り出し部3のうち一方の繰り出し部3の近傍のフレーム5に架台21が取り付けられた状態を例示する。
The
The
FIG. 1 illustrates a state in which the
架台21は、作業者が持ち運びできるような大きさに形成されている。
このように、架台21が持ち運び可能に形成されていることによって、架台21の移動が容易となる。
The
As described above, since the
図2、図3に示すように、架台21は、その主体をなすL字状の本体部21aと、該本体部21aを補強する補強部21bとを有している。本体部21aのL字の一端側はフレーム5の側面にボルト等によって固定され、他端側はフレーム5の側面側から内側に突出している。上記L字の一端側には、光源部23が固定されている。上記L字の他端側には、撮像部25が固定されている。補強部21bは、本体部21aの側面部に配されて、該本体部21aを補強するようになっている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
検査部22は、シート40に光を照射する光源部23と、架台21がシート40の移動経路における任意の位置に配された状態でシート40に対する相対的な撮像位置及び撮像角度を調整可能に構成され、且つ、前記光源部23によって光が照射されている前記シート40を撮像する撮像部25とを有している。
The
光源部23は、シート40に光を照射するものである。該光源部23は、光源本体部23aと、架台21に接続される接続部23bとを有しており、該接続部23bが架台21の上記一端側に接続されている。光源部23は、シート40の一面(ここでは下面)側からシート40に光を照射するようになっている。
The
撮像部25は、シート40に対する相対的な撮像位置及び撮像角度を調整可能に構成され、且つ、前記光源部23によって光が照射されている前記シート40を撮像するものである。
上記撮像角度は、シート40の被撮像面と撮像部25の撮像方向とがなす角度である。
本実施形態では、撮像部25は、シート40の一面(ここでは下面)側から光が照射されているシート40を、他面(ここでは上面)側から撮像するようになっている。
The
The imaging angle is an angle formed by the imaging surface of the
In the present embodiment, the
撮像部25は、シート40に対する相対的な撮像位置及び撮像角度を調整可能であるように構成されている。
具体的には、図4〜7に示すように、撮像部25は、撮像本体部27と、シート40に対して撮像本体部27を移動させて上記相対的な撮像位置を調整することが可能な位置調整部31と、シート40に対して撮像本体部27を回転させて上記相対的な撮像角度を調整することが可能な角度調整部33とを有している。
The
Specifically, as illustrated in FIGS. 4 to 7, the
撮像本体部27は、シート40を撮像する主体をなすものである。
かかる撮像本体部27としては、従来公知のカメラ等を採用し得る。
The imaging
As the imaging
位置調整部31は、シート40に対して撮像本体部27を移動させることによって上記相対的な撮像位置を調整可能なものである。具体的には、位置調整部31は、一方向及び該一方向に垂直な方向に撮像本体部27を移動させることが可能に構成されている。
The
より具体的には、位置調整部31は、シート40に対して接近及び離間する方向(ここでは鉛直方向)に撮像本体部27を移動させることが可能な第1の位置調整部31aと、該第1の位置調整部31aによる移動方向に垂直な方向(ここでは水平方向、すなわちシート40の幅方向)に撮像本体部27を移動させることが可能な第2の位置調整部31bとを有している。
More specifically, the
図8に示すように、第1の位置調整部31aは、互いに相対的に移動可能な2つのステージ部31aa、31abと、2つのステージ部31aa、31abの相対的な移動量を調整するための移動量調整部31acとを有している。移動量調整部31acとしては、回転させることによって上記移動量を調整可能なツマミ部が採用されている。
このような第1の位置調整部31aとしては、一方が他方に対して直線的に移動するように2つのステージ部31aa、31abがラックピニオン機構によって連結されてなるものが用いられ得る。かかる第1の位置調整部31aとしては、シグマ光機社製の粗微動ラックピニオンステージ(例えば、品番TAR−38801D等)が挙げられる。
この第1の位置調整部31aは、2つのステージ部31aa、31abが、シート40に対して接近及び離間する方向(ここでは鉛直方向)に互いに相対的に移動可能になるように配されている。
As shown in FIG. 8, the first
As such a first
The first
また、第2の位置調整部31bは、互いに相対的に移動可能な2つのステージ部31ba、31bbと、2つのステージ部31ba、31bbの相対的な移動量を調整するための移動量調整部31bcとを有している。移動量調整部31bcとしては、回転させることによって上記移動量を調整可能なツマミ部が採用されている。
このような第2の位置調整部31bとしては、一方が他方に対して直線的に移動するように2つのステージ部31ba、31bbがラックピニオン機構によって連結されてなるものが用いられ得る。かかる第2の位置調整部31bとしては、上記同様、シグマ光機社製の粗微動ラックピニオンステージ(例えば、品番TAR−38801D等)が挙げられる。
この第2の位置調整部31bは、2つのステージ部31ba、31bbが、第1の位置調整部31aによる移動方向に垂直な方向(ここでは水平方向、すなわちシート40の幅方向)に互いに相対的に移動可能になるように配されている。
The second
As such a second
In the second
なお、本実施形態では、第1及び第2の位置調整部31a、31bとして、同じ構成を有する2つの位置調整部が、互いの移動方向が90°傾いているように配されたものを採用する。
In the present embodiment, as the first and second
図5、図7に示すように、第1の位置調整部31aの一方のステージ部31abは、第2の位置調整部31bの一方のステージ部31baに、不図示の接続部によって連結されている。また、第1の位置調整部31aの他方のステージ部31aaは、不図示の接続部によって架台21に取り付けられている。
As shown in FIGS. 5 and 7, one stage 31ab of the first
角度調整部33は、シート40に対して撮像本体部27を回転させることによって上記相対的な撮像角度を調整可能なものである。なお、撮像角度の変更は、撮像本体部27の姿勢の変更に相当する。具体的には、角度調整部33は、任意の一の回転軸R1及び該回転軸R1に垂直な回転軸R2を中心として撮像本体部27を回転させるように構成されている(図4、図6参照)。
The
より具体的には、角度調整部33は、回転軸R1(ここでは第1の角度調整部33aの底面33adに平行、且つ、シート40の幅方向に平行な回転軸、すなわち、シート40の幅方向に平行な回転軸)を中心として、シート40に対して撮像本体部27を回転させる第1の角度調整部33aと、該第1の角度調整部33aの回転軸R1に垂直な回転軸R2(ここでは、第2の角度調整部33bの底面33bdに平行、且つ、第1の角度調整部33aの回転軸R1に垂直な回転軸)を中心として、シート40に対して撮像本体部27を回転させる第2の角度調整部33bとを有している。
More specifically, the
図5、図7及び図9に示すように、第1の角度調整部33aは、互いに相対的に回転可能な2つのステージ部33aa、33abと、2つのステージ部33aa、33abの相対的な回転量を調整するための回転量調整部33acとを有している。回転量調整部33acとしては、回転させることによって上記回転量を調整可能なツマミ部が採用されている。
このような第1の角度調整部33aとしては、一方が他方に対して円弧を描いて移動するように2つのステージ部33aa、33abが連結されてなるゴニオステージが用いられ得る。かかる第1の角度調整部33aとしては、シグマ光機社製のα軸ゴニオステージ(例えば、品番GOH−60A115、GOH−60A50等)が挙げられる。
この第1の角度調整部33aは、2つのステージ部33aa、33abが、ステージ部33aaの底面(すなわち、第1の角度調整部33aの底面)33adに平行、且つ、シート40の幅方向に平行な回転軸R1(すなわち、シート40の幅方向に平行な回転軸)を中心として互いに相対的に回転可能になるように配されている。
As shown in FIGS. 5, 7, and 9, the first
As such a first
In the first
また、第2の角度調整部33bは、互いに相対的に回転可能な2つのステージ部33ba、33bbと、2つのステージ部33ba、33bbの相対的な回転量を調整するための回転量調整部33bcとを有している。回転量調整部33bcとしては、回転させることによって上記回転量を調整可能なツマミ部が採用されている。
このような第2の角度調整部33bとしては、一方が他方に対して円弧を描いて移動するように2つのステージ部33ba、33bbが連結されてなるゴニオステージが用いられ得る。かかる第2の角度調整部33bとしては、上記同様、シグマ光機社製のα軸ゴニオステージ(例えば、品番GOH−60A115、GOH−60A50等)が挙げられる。
この第2の位置調整部33bは、2つのステージ部33ba、33bbが、ステージ部33baの底面(すなわち、第2の角度調整部33bの底面)33bdに平行、且つ、第1の角度調整部33aの回転軸R1に垂直な回転軸R2を中心として互いに相対的に回転可能になるように配されている。
The second
As such a second
In the second
なお、本実施形態では、第1及び第2の角度調整部33a、33bとして、同じ構成を有する2つの角度調整部が、互いの回転軸が90°傾いているように配されたものが採用されている。
In the present embodiment, as the first and second
図5、図7に示すように、第1の角度調整部33aの一方のステージ部33abは、第2の角度調整部33bの一方のステージ部33baに、不図示の接続部によって連結されている。また、第1の角度調整部33aの他方のステージ部33aaは、第2の位置調整部31bにおける第1の位置調整部31aとは反対の側のステージ部31bbに不図示の接続部によって連結されている。
As shown in FIGS. 5 and 7, one stage portion 33ab of the first
上記位置調整部31及び角度調整部33による、シート40に対する撮像本体部27の撮像位置及び撮像角度の調整について説明する。
The adjustment of the imaging position and imaging angle of the imaging
図10に示すように、第1の位置調整部31aの移動量調整部31acを回転させて該第1の位置調整部31aを作動させると、架台21に取り付けられたステージ部31aaに対して他方のステージ部31abが、上記の通り、鉛直方向に移動する。この移動に伴って、第2の位置調整部31b、角度調整部33、及び撮像本体部27が、上記の通り、鉛直方向に移動する。これにより、シート40に垂直な方向におけるシート40に対する撮像本体部27の撮像位置(すなわち、シート40と撮像本体部27の中心とを結ぶ最短距離)を調整し得る。
As shown in FIG. 10, when the movement amount adjustment unit 31ac of the first
図11に示すように、第2の位置調整部31bの移動量調整部31bcを回転させて該第2の位置調整部31bを作動させると、第1の位置調整部31aのステージ部31abに連結された第2の位置調整部31bのステージ部31baに対して、他方のステージ部31bbが、上記の通り、シート40の幅方向に移動する。この移動に伴って、角度調整部33、及び撮像本体部27が、上記の通り、シート40の幅方向に移動する。これにより、シート40の幅方向におけるシート40に対する撮像本体部27の撮像位置を調整し得る。
As shown in FIG. 11, when the movement amount adjustment unit 31bc of the second
図12に示すように、第1の角度調整部33aの回転量調整部33acを回転させて該第1の角度調整部33aを作動させると、第2の位置調整部31bのステージ部31bbに連結された第1の角度調整部33aのステージ部33aaに対して、他方のステージ部33abが、上記の通り、シート40の幅方向に平行な回転軸R1を中心として回転する。この回転に伴って、第2の角度調整部33b、及び撮像本体部27が、上記の通り、シート40の幅方向に平行な回転軸R1を中心として回転する。これにより、シート40に対する撮像本体部27の撮像角度のうち、シート40に垂直、且つ、シート40の幅方向に垂直(長手方向に平行)な仮想平面における撮像角度成分θ1を調整し得る。
As shown in FIG. 12, when the rotation amount adjustment unit 33ac of the first
図13に示すように、第2の角度調整部33bの回転量調整部33bcを回転させて該第2の角度調整部33bを作動させると、第1の角度調整部33aのステージ部33abに連結された第2の角度調整部33bのステージ部33baに対して、他方のステージ部33bbが、上記の通り、ステージ部33baの底面33bdに平行、且つ、第1の角度調整部33aの回転軸R1に垂直な回転軸R2を中心として回転する。この回転に伴って、撮像本体部27が、上記の通り、ステージ部33baの底面33bdに平行、且つ、第1の角度調整部33aの回転軸R1に垂直な回転軸R2を中心として回転する。これにより、シート40に対する撮像本体部27の撮像角度のうち、シート40に平行な仮想平面における撮像角度成分θ2を調整し得る。
As shown in FIG. 13, when the rotation amount adjustment unit 33bc of the second
上記した第1の位置調整部31aによる撮像本体部27の移動動作と第2の位置調整部31bによる撮像本体部27の移動動作とを組み合わせることにより、シート40に対する撮像本体部27の撮像位置を自在に調整することができる。
By combining the moving operation of the imaging
上記した第1の角度調整部33aによる撮像本体部27の回転動作と第2の角度調整部33bによる撮像本体部27の回転動作とを組み合わせることにより、シート40に対する撮像本体部27の撮像角度を自在に調整することができる。
By combining the rotation operation of the imaging
制御部37は、撮像部25と電気的に接続されており、撮像部25での検査結果が電子データとして送信され、送信された検査結果を取得するものである。
また、制御部37は、移動可能に構成されており、これにより、架台21の移動に伴って制御部37が移動されるようになっている。
かかる制御部37としては、中央処理装置(CPU)を備えたコンピューター等が挙げられる。
The
Moreover, the
Examples of the
次に、本実施形態のシート40の搬送装置1において、移動しているシート40を、検査装置20を用いて検査する検査方法について説明する。
Next, an inspection method for inspecting the moving
まず、搬送装置1のフレーム5に、検査装置20を移動させて架台21を取り付ける。
例えば、図1に示すように、原反シート60(シート40)の繰り出し部3の近傍のフレーム5に、検査装置20の架台21を取り付ける。
First, the
For example, as shown in FIG. 1, the
架台21を取り付けた後(すなわち、架台21がシート40の移動経路における任意の位置に配された状態で)、位置調整部31及び角度調整部33によって、原反シート60に対する撮像部25の撮像位置及び撮像角度を調整する。
After the
具体的には、上記したように、第1の位置調整部31aによる、原反シート60に対して接近する方向及び離間する方向における撮像本体部27の撮像位置調整(図10参照)と、第2の位置調整部31bによる、原反シート60の幅方向における撮像本体部27の撮像位置調整(図11参照)と、第1の角度調整部33aによる、原反シート60に垂直且つ原反シート60の幅方向に垂直な仮想平面上での原反シート60に対する撮像本体部27の撮像角度成分θ1の調整(図12参照)と、第2の角度調整部33bによる、原反シート60に平行な仮想平面上での原反シート60に対する撮像本体部27の撮像角度成分θ2の調整(図13参照)とを組み合わせて行うことにより、原反シート60に対する撮像本体部27の撮像位置及び撮像角度を調整し、これによって撮像本体部27の撮像対象領域及び焦点を適切なものとする。
Specifically, as described above, the imaging position adjustment (see FIG. 10) of the imaging
この状態で、ロール体61から繰り出し部3によって原反シート60を繰り出し、この繰り出しによって移動している原反シート60に光源部23によって光を照射し、光が照射されている原反シート60を撮像部25の撮像本体部27によって撮像して、検査する。
In this state, the
得られた検査結果は、電子データとして撮像部27から制御部37に送信される。
The obtained inspection result is transmitted from the
このように、繰り出し部3の近傍のクレーム5に検査装置20を移動させて、原反シート60を検査する。
In this way, the
また、このように原反シート60の検査を行いつつ、検査された原反シート60と、他の繰り出し部3から繰り出された原反シート60とを積層部7で積層して積層シート50(シート40)を形成し、形成された積層シート50を、巻き取り部9によって巻き取ってロール体51として回収する。
Further, while inspecting the
さらに、シート40の移動経路において、他の位置でシート40の検査を行う場合には、巻き取り部3の近傍のフレーム5から検査装置20を取り外し、例えば、積層部7の近傍のフレーム(不図示)に検査装置20を移動させ、該フレームに検査装置20を上記と同様にして取り付けて、積層シート50の検査を行う。
Furthermore, when the
本実施形態のシート40の検査装置20及びシート40の検査方法は、以下のような利点を有する。
The
すなわち、本実施形態のシート40の検査装置20は、移動経路に沿って移動する帯状のシート40を検査するシート40の検査装置であって、移動可能な架台21と、架台21に支持されてシート40を検査する検査部22とを備え、検査部22は、シート40に光を照射する光源部23と、架台21がシート40の移動経路における任意の位置に配された状態でシート40に対する相対的な撮像位置及び撮像角度を調整可能に構成され、且つ、光源部23によって光が照射されているシート40を撮像する撮像部25とを有している。
That is, the
かかる構成によれば、検査部22と共に架台21を移動させることによって、シート40の移動経路における任意の位置に検査装置20を移動させることができる。そして、このように移動させた位置で、シート40に対する撮像部25の撮像位置及び撮像角度を調整することができる。これにより、撮像部25の撮像対象領域及び焦点を適切に合わせて、シート40の検査を行うことが可能となる。
従って、どの位置でどのような不良が発生したのかといった、シート不良の発生位置及び発生原因を十分に特定し得る。
According to this configuration, the
Therefore, it is possible to sufficiently specify the occurrence position and cause of the sheet defect, such as what kind of defect has occurred at which position.
本実施形態のシート40の検査装置20においては、撮像部25は、撮像本体部27と、シート40に対して撮像本体部27を移動させて上記相対的な撮像位置を調整することが可能な位置調整部31と、シート40に対して撮像本体部27を回転させて上記相対的な撮像角度を調整することが可能な角度調整部33とを有している。
In the
かかる構成によれば、位置調整部31によって、シート40に対して撮像本体部27を移動させて上記相対的な撮像位置を調整し、角度調整部33によって、シート40に対して撮像本体部27を回転させて上記相対的な撮像角度を調整することができる。
これにより、シート40に対する撮像本体部27の撮像位置調整と撮像角度調整とを独立して行うことも、これら撮像位置調整と撮像角度調整とを組み合わせて行うこともできるため、シート40に対する撮像本体部27の撮像位置及び撮像角度をより詳細に調整し得る。
従って、架台21の配置状態に影響されることなく、撮像本体部27の撮像位置と撮像角度とを、所望の撮像位置と撮像角度とに調整することができ、これにより、シート不良の発生位置及び発生原因をより十分に特定し得る。
According to such a configuration, the
Accordingly, the imaging position adjustment and the imaging angle adjustment of the imaging
Therefore, the imaging position and imaging angle of the imaging
本実施形態のシート40の検査装置20においては、光源部23がシート40の下側に配され、撮像部25がシート40の上側に配されるようになっている。
In the
かかる構成によれば、異物等が撮像部25に落下することを抑制し得るため、該撮像部25への異物の付着に起因する検査精度の低下を抑制し得る。
According to such a configuration, it is possible to suppress a foreign matter or the like from falling on the
本実施形態のシート40の検査装置20においては、撮像部25と電気的に接続されて、撮像部25からの検査結果を取得する制御部37をさらに備え、制御部37は、架台21の移動に応じて移動可能に構成されている。
In the
かかる構成によれば、架台21の移動(すなわち、撮像部25の移動)に応じて制御部37を移動させて、撮像部25からの検査結果を制御部37が取得できるため、その分、撮像部25と制御部37とを電気的に接続するための配線を短くすることができる。また、撮像部25と制御部37の配置の自由度が高まるため、両者をより移動させ易くなり、これにより、より簡便にシート40を検査し得る。しかも、複数の位置での検査結果をより簡便に取得し得る。
また、複数の位置で検査結果を取得する態様を採用した場合には、取得した複数の検査結果を比較し、より異物が発生し易い位置を特定することが可能となるため、シート40の移動経路における検査すべき位置をより適切に特定し得る。
このように、検査装置20がより有用なものとなる。
According to this configuration, the
In addition, when an aspect in which inspection results are acquired at a plurality of positions is adopted, it is possible to compare a plurality of acquired inspection results and specify a position where foreign matter is more likely to be generated. The position to be inspected in the path can be specified more appropriately.
Thus, the
本実施形態のシート40の検査方法は、シート40の検査装置20を用い、シート40を検査する。
かかる構成によれば、上記シート40の検査装置20を用いてシート40の検査を行うことによって、上記と同様、シート不良の発生位置及び発生原因を十分に特定し得る。
The
According to such a configuration, by inspecting the
本実施形態のシート40の検査方法は、シート40の検査装置20を用い、移動経路における所定の位置に検査装置20を移動させてシート40を検査する。
かかる構成によれば、検査装置20を用いて検査を行うことによって、シート不良の発生位置及び発生原因を十分に特定し得る。
The
According to such a configuration, by performing inspection using the
本実施形態のシート40の検査装置20が備えられた搬送装置1は、検査装置20によってシート40を検査しながらシート40を搬送することができる。
このように、検査装置20を用いて検査を行いながらシート40を搬送することによって、シート不良の発生位置及び発生原因を十分に特定しながらシート40を搬送することが可能となる。
The conveyance apparatus 1 provided with the
In this way, by transporting the
本実施形態のシート40の検査装置20を用いたシート40の搬送方法は、シート40を検査しながらシート40を搬送することができる。
このように、検査装置20を用いて検査を行いながらシート40を搬送することによって、シート不良の発生位置及び発生原因を十分に特定しながらシート40を搬送することが可能となる。
The
In this way, by transporting the
以上の通り、本実施形態によれば、シート不良の発生位置及び発生原因を十分に特定し得るシート40の検査装置20及び検査方法が提供される。
As described above, according to the present embodiment, the
本実施形態のシート40の検査装置1及び検査方法は、上記のごとき構成を備え、上記のごとき利点を有するが、本発明は、上記実施形態に限定されず、本発明の意図する範囲内において適宜設計変更されることが可能である。
The inspection apparatus 1 and the inspection method for the
例えば、検査装置20で検査されるシート40として、図14に示すような積層シート(偏光板)50を採用してもよい。図14に示す積層シート50は、それぞれ原反シートとしてのセパレータ60a、位相差フィルム60b、保護フィルム60c、偏光子60d、保護フィルム60e、剥離ライナー60fの各ローラ体から繰り出し部によって各シートが繰り出されて積層部に供給されつつ、積層部にて積層されて積層シート50が形成されるようになっており、さらに、形成された積層シート50が巻き取られて回収されるようになっている。
このような各原反フィルム60a〜60f、及び、積層シート50のいずれかの移動経路において任意の位置に検査装置20を移動させて、該いずれかのシートを検査する態様を採用してもよい。
For example, a laminated sheet (polarizing plate) 50 as shown in FIG. 14 may be employed as the
A mode of inspecting one of the
また、例えば、図15に示すように、シート40としての原反シート60が巻き回されてなるロール体61から繰り出し部3によって原反シート60が繰り出され、繰り出された原反シート60が第1の乾燥部71によって乾燥され、コロナ処理部73によってコロナ処理された後、塗工部75によって原反シート60に塗工液が塗工され、第2の乾燥部77によって乾燥されて、原反シート60に塗工膜が形成されてなるシート63(シート40)が形成された後、該シート63がテンションローラ79に架け渡されながら移動し、巻き取り部9によって巻き取られてロール体65として回収するように構成された搬送装置1に、検査装置20が備えられる態様を採用することもできる。この場合、原反シート60及び塗工膜が形成されてなるシート63の移動経路において任意の位置に検査装置20を移動させて、各シートを検査し得る。
Further, for example, as shown in FIG. 15, the
1:搬送装置、3:繰り出し部、7:積層部、9:巻き取り部、20:検査装置、21:架台、22:検査部、23:光源部、25:撮像部、27:撮像本体部、31:位置調整部、33:角度調整部、37:制御部、40:シート、50:積層シート、60:原反シート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Conveyance apparatus, 3: Feeding part, 7: Lamination | stacking part, 9: Winding part, 20: Inspection apparatus, 21: Mounting stand, 22: Inspection part, 23: Light source part, 25: Imaging part, 27: Imaging main-body part 31: Position adjustment unit, 33: Angle adjustment unit, 37: Control unit, 40: Sheet, 50: Laminated sheet, 60: Original fabric sheet
Claims (4)
移動可能な架台と、
前記架台に支持されて前記シートを検査する検査部とを備え、
前記検査部は、
前記シートに光を照射する光源部と、
前記架台が前記移動経路における任意の位置に配された状態で前記シートに対する相対的な撮像位置及び撮像角度を調整可能に構成され、且つ、前記光源部によって光が照射されている前記シートを撮像する撮像部とを有している、シートの検査装置。 A sheet inspection apparatus for inspecting a belt-shaped sheet moving along a movement path,
A movable mount;
An inspection unit supported by the gantry and inspecting the sheet;
The inspection unit
A light source unit for irradiating the sheet with light;
The sheet is configured so that the relative imaging position and imaging angle relative to the sheet can be adjusted in a state in which the gantry is arranged at an arbitrary position in the movement path, and the light source unit irradiates light. A sheet inspection apparatus having an imaging unit.
撮像本体部と、
前記シートに対して前記撮像本体部を移動させて前記相対的な撮像位置を調整することが可能な位置調整部と、
前記シートに対して前記撮像本体部を回転させて前記相対的な撮像角度を調整することが可能な角度調整部とを有する、請求項1に記載のシートの検査装置。 The imaging unit
An imaging body,
A position adjusting unit capable of adjusting the relative imaging position by moving the imaging main body with respect to the sheet;
The sheet inspection apparatus according to claim 1, further comprising: an angle adjusting unit capable of adjusting the relative imaging angle by rotating the imaging main body with respect to the sheet.
前記制御部は、前記架台の移動に応じて移動可能に構成されている、請求項1または2に記載のシートの検査装置。 A control unit that is electrically connected to the imaging unit and obtains a test result from the imaging unit;
The sheet inspection apparatus according to claim 1, wherein the control unit is configured to be movable in accordance with the movement of the gantry.
前記シートを検査する、シートの検査方法。 Using the sheet inspection apparatus according to claim 1,
A sheet inspection method for inspecting the sheet.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015217560A JP6774176B2 (en) | 2015-11-05 | 2015-11-05 | Sheet inspection equipment and inspection method |
PCT/JP2016/071719 WO2017077744A1 (en) | 2015-11-05 | 2016-07-25 | Sheet inspection device and sheet inspection method |
KR1020187010774A KR102569341B1 (en) | 2015-11-05 | 2016-07-25 | Sheet inspection device and inspection method |
CN201680061620.3A CN108139337B (en) | 2015-11-05 | 2016-07-25 | Sheet inspection apparatus and inspection method |
TW105123845A TWI704341B (en) | 2015-11-05 | 2016-07-28 | Sheet inspection apparatus and inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015217560A JP6774176B2 (en) | 2015-11-05 | 2015-11-05 | Sheet inspection equipment and inspection method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017090117A true JP2017090117A (en) | 2017-05-25 |
JP6774176B2 JP6774176B2 (en) | 2020-10-21 |
Family
ID=58661892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015217560A Active JP6774176B2 (en) | 2015-11-05 | 2015-11-05 | Sheet inspection equipment and inspection method |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6774176B2 (en) |
KR (1) | KR102569341B1 (en) |
CN (1) | CN108139337B (en) |
TW (1) | TWI704341B (en) |
WO (1) | WO2017077744A1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116147544B (en) * | 2023-04-03 | 2023-09-29 | 广东汇发塑业科技有限公司 | Plastic film surface flatness detection device |
CN116879292B (en) * | 2023-07-11 | 2024-04-30 | 山东凯大新型材料科技有限公司 | Quality evaluation method and device for photocatalyst diatom mud board |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04343049A (en) * | 1991-05-20 | 1992-11-30 | Sekisui Chem Co Ltd | Device for monitoring surface of sheet-shaped body |
JP3224624B2 (en) | 1993-02-22 | 2001-11-05 | 三菱レイヨン株式会社 | Fish eye inspection equipment |
JPH07311161A (en) * | 1994-05-20 | 1995-11-28 | Nippon Steel Corp | Inspection method and device for flaw on surface of steel piece |
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JP2005062165A (en) | 2003-07-28 | 2005-03-10 | Nitto Denko Corp | Inspection method for sheet-shaped product, inspection system, sheet-shaped product and image display apparatus |
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JP2007192660A (en) | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Fujifilm Corp | Surface flaw detecting method and detector of film |
JP2008309503A (en) | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Mitsubishi Electric Corp | Optical drive mechanism and inspection device |
CN201170772Y (en) * | 2008-03-26 | 2008-12-24 | 广州中国科学院工业技术研究院 | Industry detection apparatus |
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CN202748322U (en) * | 2012-07-10 | 2013-02-20 | 无锡日联科技有限公司 | Omnibearing scanning device of X-ray equipment |
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CN103728316B (en) * | 2014-01-13 | 2016-04-06 | 深圳市永光神目科技有限公司 | The pick-up unit of PCBA board |
JP2015190835A (en) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 大日本印刷株式会社 | Web inspection device and web inspection method |
CN204133607U (en) * | 2014-09-24 | 2015-02-04 | 林新颖 | To perform the operation special shooting support |
-
2015
- 2015-11-05 JP JP2015217560A patent/JP6774176B2/en active Active
-
2016
- 2016-07-25 WO PCT/JP2016/071719 patent/WO2017077744A1/en active Application Filing
- 2016-07-25 KR KR1020187010774A patent/KR102569341B1/en active IP Right Grant
- 2016-07-25 CN CN201680061620.3A patent/CN108139337B/en active Active
- 2016-07-28 TW TW105123845A patent/TWI704341B/en active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017077744A1 (en) | 2017-05-11 |
CN108139337B (en) | 2022-06-17 |
KR20180078237A (en) | 2018-07-09 |
JP6774176B2 (en) | 2020-10-21 |
KR102569341B1 (en) | 2023-08-22 |
CN108139337A (en) | 2018-06-08 |
TW201716771A (en) | 2017-05-16 |
TWI704341B (en) | 2020-09-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180615 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190927 |
|
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200417 |
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