KR102373254B1 - Optical member inspection method, optical product manufacturing method, and optical member inspection apparatus - Google Patents

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KR102373254B1 KR1020200073511A KR20200073511A KR102373254B1 KR 102373254 B1 KR102373254 B1 KR 102373254B1 KR 1020200073511 A KR1020200073511 A KR 1020200073511A KR 20200073511 A KR20200073511 A KR 20200073511A KR 102373254 B1 KR102373254 B1 KR 102373254B1
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Abstract

광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 특정한 배치를 한 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 상기 광학 부재를 통과시켜 당해 광학 부재의 검사를 행한다.The optical member is supplied to an inspection apparatus having a light source unit and an imaging unit as an inspection object, and the optical member is inspected by passing the optical member between the light source unit and the imaging unit having a specific arrangement.

Description

광학 부재의 검사 방법, 광학 제품의 제조 방법 및 광학 부재의 검사 장치 {OPTICAL MEMBER INSPECTION METHOD, OPTICAL PRODUCT MANUFACTURING METHOD, AND OPTICAL MEMBER INSPECTION APPARATUS}The inspection method of an optical member, the manufacturing method of an optical product, and the inspection apparatus of an optical member {OPTICAL MEMBER INSPECTION METHOD, OPTICAL PRODUCT MANUFACTURING METHOD, AND OPTICAL MEMBER INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 광학 부재의 검사 방법, 광학 제품의 제조 방법 및 광학 부재의 검사 장치에 관한 것이며, 보다 상세하게는 피검사물에 광을 조사하는 광원부와 상기 광원부에 의해 광이 조사된 부분을 반대측으로부터 촬상하는 촬상부를 갖는 검사 장치, 상기 검사 장치로 광학 부재를 검사하는 방법, 및 상기 검사된 광학 부재를 사용한 광학 제품의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for inspecting an optical member, a method for manufacturing an optical product, and an inspection apparatus for an optical member, and more particularly, an image of a light source unit irradiating light to an object to be inspected, and a portion irradiated with light by the light source unit from the opposite side It relates to an inspection apparatus having an imaging unit that

종래, 화상 표시 장치 등의 광학 제품에 적용되는 광학 필름으로서 편광 필름(편광판)이 사용되고 있다.DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, a polarizing film (polarizing plate) is used as an optical film applied to optical products, such as an image display apparatus.

이 편광 필름은, 광학 필름 메이커에 있어서, 예를 들어 그 적어도 한쪽 면 위에 점착층을 개재하여 보호 필름이 적층된 필름 적층체의 상태로 제품화되어 있다.In an optical film maker, this polarizing film is commercialized in the state of the film laminated body on which the protective film was laminated|stacked through the adhesion layer on the at least one surface, for example.

그리고, 편광 필름은, 광학 제품 메이커에 있어서, 상기 보호 필름이 박리되어 화상 표시 장치 등에 조립되어 있다.And the said protective film peels, and the polarizing film is assembled in an image display apparatus etc. in an optical product maker.

그런데, 편광 필름은 통상 연속적으로 제작되어 긴 띠 형상으로 되어 있다.By the way, a polarizing film is produced continuously normally, and has become a long strip|belt shape.

그리고, 편광 필름은 점착층을 개재하여 적어도 한쪽 면에 상기 보호 필름이 적층된 필름 적층체로 되고, 또한 이 필름 적층체가 롤 형상으로 권취된 원재료 롤이라고 불리는 형태로 일단 보관된다.Then, the polarizing film becomes a film laminate in which the protective film is laminated on at least one surface through an adhesive layer, and the film laminate is temporarily stored in a form called a raw material roll in which the film laminate is wound in a roll shape.

그 후, 편광 필름은 펀칭 등에 의해 상기 원재료 롤로부터 소정 형상을 갖는 시트편으로 가공되고, 상기 시트편이 광학 제품에 조립되기 위한 제품이 된다.Then, a polarizing film is processed into the sheet piece which has a predetermined shape from the said raw material roll by punching etc., and becomes a product for the said sheet piece to be assembled into an optical product.

또한, 상기 원재료 롤은 반드시 전체면에 걸쳐 양품으로 되어 있다고는 할 수 없으며, 통상, 상기 펀칭 전에 검사 장치를 거치면서 결함 부분의 검출이 행해진다.In addition, the said raw material roll cannot necessarily be said to be a good product over the whole surface, and the detection of a defective part is normally performed while passing through the inspection apparatus before the said punching.

이 원재료 롤과 같은 시트 형상의 광학 부재를 검사하는 검사 장치로서는 광원부와 촬상부를 갖는 것이 알려져 있으며, 상하로 대향 배치된 촬상부와 광원부 사이에서 피검사물인 광학 부재를 수평 방향으로 통과시키면서 상기 광학 부재에 하면측으로부터 상기 광원부에 의해 광 조사하고, 상기 광 조사 부분을 광학 부재의 상측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 결함을 검출하는 타입의 것이 알려져 있다(하기 특허문헌 1 참조).As an inspection apparatus for inspecting a sheet-shaped optical member such as this raw material roll, one having a light source unit and an imaging unit is known, and the optical member as an inspection object passes in the horizontal direction between the image sensing unit and the light source unit arranged opposite to each other in the vertical direction while passing the optical member. The thing of the type which irradiates light with the said light source part from the lower surface side, and the said imaging part images the said light irradiation part from the upper side of an optical member, and detects a defect is known (refer patent document 1 below).

또한, 광학 부재를 수평으로 하여 검사를 행하는 것이 아니라, 광학 부재의 이동 방향이 수직 방향이 되는 검사 방법도 알려져 있다(하기 특허문헌 2 참조).Moreover, the inspection method in which the movement direction of an optical member becomes a vertical direction instead of making an optical member horizontal and performing an inspection is also known (refer following patent document 2).

즉, 종래의 광학 제품의 제조 방법에 있어서는, 시트 형상의 광학 부재의 결함을 검출하는 공정, 및 상기 공정 후의 광학 부재로부터 상기 광학 부재보다 소형의 시트편을 잘라내는 공정이 실시되고, 상기 시트편을 사용하여 광학 제품이 제조되고 있다.That is, in the manufacturing method of the conventional optical product, the process of detecting the defect of a sheet-shaped optical member, and the process of cutting out a sheet piece smaller than the said optical member from the optical member after the said process are performed, the said sheet piece Optical products are being manufactured using

그리고, 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 공정은, 통상, 상기 광학 부재에 대한 상기 광원부로부터의 광 조사 부분을 고정함과 함께, 상기 광 조사 부분을 상기 촬상부에 의한 촬상 부분으로 하고, 상기 촬상부와 상기 광원부 사이를 광학 부재를 통과시킴으로써 상기 광학 부재의 길이 방향을 따라 순서대로 결함을 검출하는 방법으로 행해지고 있다.And the process of detecting the defect of the said optical member usually fixes the light irradiation part from the said light source part with respect to the said optical member, makes the said light irradiation part an imaging part by the said imaging part, The said imaging It is performed by the method of detecting defects in order along the longitudinal direction of the said optical member by passing an optical member between a part and the said light source part.

일본 특허 공개 제2007-213016호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2007-213016 일본 특허 공개 제2009-069142호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2009-069142

상기와 같은 검사 장치를 사용한 검사 방법에 있어서는, 당연히 촬상부에 의한 촬상 후에 광학 부재에 부착된 부착물은 당해 검사 장치에 의해 검지할 수 없다.In the inspection method using the inspection apparatus as described above, of course, the deposit adhering to the optical member after imaging by the imaging unit cannot be detected by the inspection apparatus.

따라서, 부착물이 최종적인 광학 제품에 혼입되어 광학 제품의 수율이 저하하는 것을 방지하는 측면에서, 상기 촬상 부분을 통과한 후에 부착물을 발생시키지 않을 것이 요구된다.Accordingly, it is required not to generate deposits after passing through the imaging portion in terms of preventing the deposits from being mixed into the final optical product and lowering the yield of the optical product.

특히, 광학 부재가 최표면에 점착층을 갖고, 또한 상기 점착층의 배면측에 상기 편광 필름이 적층된 적층체이며, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이에서 상기 점착층을 상면측으로 하여 통과시키는 형태에 있어서는, 점착층의 표면 점착력에 의해 부착물이 탈락하기 어려워, 촬상 후에 부착된 부착물이 자연스럽게 광학 부재로부터 탈락하는 것을 기대하기가 곤란하다.In particular, it is a laminate in which the optical member has an adhesive layer on the outermost surface and the polarizing film is laminated on the back side of the adhesive layer, and the adhesive layer is passed between the light source unit and the imaging unit as the upper surface side. In this case, it is difficult to expect that an adherent is hard to fall off by the surface adhesive force of an adhesion layer, and the adhered substance falls off naturally from an optical member after imaging.

따라서, 이러한 형태에 있어서는, 상기 촬상 후에 부착물을 발생시키지 않는 것이 특히 강하게 요구된다.Therefore, in such a form, it is requested|required especially strongly that deposits do not generate|occur|produce after the said imaging.

이러한 요망에 대하여, 상기 특허문헌 2(일본 특허 공개 제2009-069142)에 개시되어 있는 바와 같이, 점착층과 편광 필름의 적층체의 이동 방향을 수직 방향으로 하여 검사를 행하여, 촬상 후의 부착물의 발생을 방지하는 것을 고려할 수 있다.In response to such a request, as disclosed in Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2009-069142), the movement direction of the laminate of the adhesive layer and the polarizing film is perpendicular to the direction of the inspection, and the adhesion after imaging is generated. can be considered to prevent

그러나, 그러한 검사 방법은, 적층체의 이동 방향이 수직이 되기 때문에 장치 높이가 높아져, 작업성을 저하시킬 우려가 있기 때문에 채용하기가 어렵다.However, it is difficult to adopt such an inspection method because the movement direction of the laminate becomes vertical, so that the height of the device increases and there is a risk of lowering workability.

또한, 촬상 후에 부착물을 발생시키지 않는 것이 요구되는 것은, 점착층을 갖는 것에서 사용되는 편광 필름에 한정되는 것이 아니라, 그 밖의 광학 필름에 대해서도 마찬가지이다.In addition, it is not limited to the polarizing film used by what has an adhesion layer that it is calculated|required not to generate a deposit after imaging, It is the same also about another optical film.

그러나, 종래의 광학 부재의 검사 방법에 있어서는, 상기와 같은 요망이 충분히 충족되지 않아, 광학 제품의 제조에 있어서 종래 이상으로 수율을 향상시키기가 곤란하게 되어 있다.However, in the conventional inspection method of an optical member, the above requests are not fully satisfied, In manufacture of an optical product, it becomes difficult to improve a yield more than conventionally.

본 발명은 이러한 문제를 해결하는 것을 과제로 하고 있으며, 검사 장치 자체, 혹은 상기 검사 장치를 포함하는 광학 부재의 제조 라인의 설비 높이가 높아지는 것을 억제하면서도, 상기 촬상 후에 광학 부재에 부착물이 발생하는 것을 억제시킬 수 있는 광학 부재의 검사 방법을 제공하고, 나아가 광학 제품의 제조에서의 수율을 향상시키는 것을 과제로 하고 있다.The present invention has an object to solve this problem, and while suppressing the increase in the equipment height of the inspection device itself or the manufacturing line of the optical member including the inspection device, the occurrence of deposits on the optical member after the imaging It is making it a subject to provide the inspection method of the optical member which can suppress and to improve the yield in manufacture of an optical product further.

본 발명자는 상기 과제를 해결하기 위하여 예의 검토한바, 촬상부나 광원부로부터 미소한 이물이 발생되는 일이 있어, 이것이 촬상부에 의한 촬상 부분을 통과한 후의 광학 부재에의 부착물의 원인이 되는 경우가 있다는 것, 및 광학 부재의 상측에 위치하는 촬상부 또는 광원부를 상기 촬상 부분의 바로 위보다 상류측에 위치시키는 것이 상기 부착물의 억제에 유효하다는 것을 알아내어, 본 발명을 완성시키기에 이른 것이다.The present inventor earnestly studied in order to solve the above-mentioned problem, and as a result, a minute foreign matter may be generated from the imaging part or the light source part, and this may cause adhesion to the optical member after passing through the imaging part by the imaging part. and locating the imaging unit or the light source unit located above the optical member on the upstream side rather than directly above the imaging portion is effective for suppressing the deposit, and thus the present invention has been completed.

즉, 상기 과제를 해결하기 위한 광학 부재의 검사 방법에 관한 본 발명은, 시트 형상의 광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 상기 광학 부재를 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키면서 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광을 조사하고, 또한 상기 광이 조사된 부분을 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 광학 부재의 검사 방법이며, 상기 광학 부재를 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키고, 또한 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것을 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치시켜 상기 결함의 검출을 실시하는 것을 특징으로 하고 있다.That is, the present invention relates to an inspection method of an optical member for solving the above problems, a sheet-shaped optical member is used as an inspection object to be supplied to an inspection apparatus having a light source unit and an imaging unit, and the optical member is provided to the light source unit and the imaging unit An optical member for detecting a defect in the optical member by irradiating light from the light source unit to one side of the optical member while passing between them, and imaging the portion irradiated with the light by the imaging unit from the other side of the optical member of the inspection method, wherein the optical member passes between the light source unit and the imaging unit in a horizontal state or in a state inclined with respect to the horizontal direction, and is located above the optical member among the light source unit and the imaging unit. The defect is detected by positioning it on the upstream side in the moving direction of the optical member rather than directly above the imaging portion of the optical member by the negative.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 광학 제품의 제조 방법에 관한 본 발명은, 시트 형상의 광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 상기 광학 부재를 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키면서 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광을 조사하고, 또한 상기 광이 조사된 부분을 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 공정, 및 상기 공정 후의 광학 부재로부터 상기 광학 부재보다 소형인 시트편을 잘라내는 공정을 실시하고, 상기 시트편을 사용하여 광학 제품을 제조하는 광학 제품의 제조 방법이며, 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 상기 공정에서는, 상기 광학 부재를 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키고, 또한 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것을 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치시켜 상기 결함의 검출을 실시하여, 시트편을 잘라내는 상기 공정에서는, 광학 부재의 결함이 발견되지 않은 부분으로부터 상기 시트편을 잘라내는 것을 특징으로 하고 있다.In addition, the present invention relates to a method of manufacturing an optical product for solving the above problems, using a sheet-shaped optical member as an inspection object and supplying it to an inspection apparatus having a light source unit and an imaging unit, and supplying the optical member to the light source unit and the imaging unit A step of irradiating light from the light source unit to one side of the optical member while passing between them, and detecting a defect in the optical member by imaging the portion irradiated with the light by the imaging unit from the other side of the optical member, And it is the manufacturing method of the optical product which performs the process of cutting out a sheet piece smaller than the said optical member from the optical member after the said process, It is the manufacturing method of the optical product which manufactures an optical product using the said sheet piece, The said which detects the defect of the said optical member In the step, the optical member is passed between the light source unit and the imaging unit in a horizontal state or in a state inclined with respect to the horizontal direction, and is positioned above the optical member among the light source unit and the imaging unit in the imaging unit In the said process of detecting the said defect by positioning it on the moving direction upstream of the said optical member rather than just above the imaging part of the optical member by It is characterized by cutting the pieces.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 검사 장치에 관한 본 발명은, 시트 형상의 광학 부재를 검사하기 위하여 사용되고, 광원부와 촬상부를 갖고, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광이 조사되고, 상기 광이 조사된 부분이 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상되어 결함이 검출되는 광학 부재의 검사 장치이며, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 광학 부재가 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사진 상태가 되도록 상기 광학 부재의 이동 경로가 형성되어 있고, 또한 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것이 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.In addition, the present invention relates to an inspection apparatus for solving the above problems, used for inspecting a sheet-shaped optical member, has a light source unit and an imaging unit, and passes between the light source unit and the imaging unit on one side of the optical member An inspection apparatus for an optical member in which light is irradiated from the light source unit, and the light-irradiated portion is imaged by the imaging unit from the other surface side of the optical member to detect a defect, wherein the optical member passes between the light source unit and the imaging unit The movement path of the optical member is formed so that the member is in a horizontal state or a state inclined with respect to the horizontal direction, and the optical member by the imaging unit is located above the optical member among the light source unit and the imaging unit It is located in the moving direction upstream of the said optical member rather than just above an imaging part, It is characterized by the above-mentioned.

본 발명에 따르면, 검사 장치의 촬상부 및 광원부 중, 광학 부재의 상측에 위치하는 것이 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치된다.According to the present invention, among the imaging unit and the light source unit of the inspection apparatus, the one located above the optical member is located on the upstream side in the movement direction of the optical member rather than just above the imaging portion of the optical member by the imaging unit.

따라서, 본 발명에 따르면 촬상부에서 검지되지 않은 부착물이 최종적인 광학 제품에 혼입되는 것을 억제할 수 있다.Therefore, according to the present invention, it is possible to suppress the mixing of the deposits not detected by the imaging unit into the final optical product.

그리고, 본 발명은 그에 의해 광학 제품의 수율이 저하되는 것을 억제할 수 있다.And this invention can suppress that the yield of an optical product falls thereby.

또한, 본 발명에 따르면, 촬상부와 광원부 사이에 있어서 광학 부재를 수직 방향으로 이동시키지 않기 위하여 검사 장치 자체나 광학 부재의 제조 설비의 높이가 높아져 버리는 것을 억제할 수 있다.Moreover, according to this invention, in order not to move an optical member vertically between an imaging part and a light source part, it can suppress that the height of the manufacturing facility of the inspection apparatus itself or an optical member becomes high.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기와 같은 효과를 보다 현저하게 발휘시키는 측면에서, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 상기 광학 부재를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 하여 상기 결함의 검출을 실시하는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, in terms of exhibiting the above effect more significantly, the optical member passing between the light source unit and the image pickup unit is inclined to the direction of movement, and the defect is detected. It is preferable to carry out

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 광원부나 상기 촬상부를 광학 부재에 접근시킨 배치로 하기 쉬워 공간 절약화에 유효해지는 측면에서, 상기 광원부와 상기 촬상부를 연결하는 선분이, 상기 광학 부재의 이동 방향에 대하여 직교하는 방향이 되도록 상기 광원부와 상기 촬상부를 배치하여 상기 결함의 검출을 실시하는 것이 바람직하다.Further, in the present invention, from the viewpoint of making it easy to arrange the light source unit and the imaging unit close to the optical member and effective for space saving, the line segment connecting the light source unit and the imaging unit is defined with respect to the moving direction of the optical member. It is preferable that the said defect is detected by arranging the said light source part and the said imaging part so that it may become a direction orthogonal to it.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 광학 부재가 최표면에 점착층을 갖고, 또한 상기 점착층의 배면측에 편광 필름이 적층된 적층체이며, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 상기 점착층을 상면측으로 하여 상기 광학 부재를 통과시키는 경우에, 촬상부에서 검지되지 않은 부착물이 최종적인 광학 제품에 혼입되는 것을 억제하는 효과를 보다 현저하게 발휘시킬 수 있다.Further, in the present invention, the optical member has an adhesive layer on the outermost surface, and a polarizing film is laminated on the back side of the adhesive layer. Thus, when the optical member is passed through, the effect of suppressing the mixing of deposits not detected by the imaging unit into the final optical product can be exhibited more remarkably.

도 1은 본 발명의 검사 방법이 적용되는 광학 부재의 구성을 도시한 개략 사시도.
도 2는 본 발명의 검사 방법이 실시되는 설비의 개략을 도시한 개략 설비도.
도 3은 도 2의 주요부를 확대하여 도시한 주요부 확대도.
1 is a schematic perspective view showing the configuration of an optical member to which the inspection method of the present invention is applied.
Fig. 2 is a schematic equipment diagram showing the outline of equipment in which the inspection method of the present invention is implemented.
Fig. 3 is an enlarged view of the main part showing the main part of Fig. 2 on an enlarged scale;

이하에, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of this invention is described.

우선, 본 발명의 검사 방법이 적용되는 광학 부재의 구성을 도시한 도 1을 참조하면서 당해 광학 부재에 대하여 설명한다.First, the said optical member is demonstrated, referring FIG. 1 which shows the structure of the optical member to which the inspection method of this invention is applied.

본 발명의 실시 형태에 관한 상기 광학 부재는, 적어도 광학 필름을 구비한 시트 형상의 광학 부재이며, 상기 광학 필름을 포함하는 복수의 필름을 포함하는 필름 적층체이다.The said optical member which concerns on embodiment of this invention is a sheet-shaped optical member provided with at least an optical film, It is a film laminated body containing the some film containing the said optical film.

상기 필름 적층체는, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 긴 띠 형상의 광학 필름(fx)과, 상기 광학 필름(fx)의 양면을 보호하기 위한 2매의 보호 필름(fy, fz)을 갖는다.As shown in FIG. 1 , the film laminate includes a long band-shaped optical film fx and two protective films fy and fz for protecting both surfaces of the optical film fx. .

상기 필름 적층체(f0)에서의 2매의 상기 보호 필름(fy, fz)은, 광학 필름(fx)과 동일 형상을 갖고, 각각 점착층(a1, a2)을 개재하여 광학 필름(fx)에 접착되어 있다.The two protective films fy and fz in the film laminate f0 have the same shape as the optical film fx, respectively, to the optical film fx via the adhesive layers a1 and a2. is glued

따라서, 본 실시 형태에서의 필름 적층체(f0)는, 평면 형상이 광학 필름(fx)과 동일 형상이고, 두께가 광학 필름(fx)보다 두껍고, 도 1의 위에서부터 보호 필름(fy), 점착층(a1), 광학 필름(fx), 점착층(a2) 및 보호 필름(fz)의 순서가 되는 층 구성을 갖고 있다.Therefore, as for the film laminated body f0 in this embodiment, a planar shape is the same shape as the optical film fx, thickness is thicker than the optical film fx, and the protective film fy and adhesion from the top of FIG. It has the layer structure used as the order of a layer (a1), an optical film (fx), an adhesion layer (a2), and a protective film (fz).

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 2매의 상기 보호 필름(fy, fz)은 양쪽 모두 검사 장치에서의 검사 전에 광학 필름(fx)으로부터 박리된다.In addition, in this embodiment, both said protective films fy and fz peel from the optical film fx before the test|inspection by an inspection apparatus.

보다 상세하게 설명하면, 상기 보호 필름(fy, fz) 중, 상측의 보호 필름(fy)은 광학 필름(fx)과의 사이의 점착층(a1)(이하, 「제1 점착층(a1)」이라고도 함)의 표면으로부터 검사 전에 박리된다.More specifically, among the protective films fy and fz, the upper protective film fy is an adhesive layer (a1) between the optical film fx (hereinafter, “first adhesive layer (a1)”). It is peeled off before inspection from the surface of the

한편, 하측의 보호 필름(fz)은, 광학 필름(fx)과의 사이의 점착층(a2)(이하, 「제2 점착층(a2)」이라고도 함)을 수반하여 점착층을 갖는 보호 필름(fb)이 되어 검사 전에 광학 필름(f0)의 표면으로부터 박리된다.On the other hand, the lower protective film fz is a protective film ( fb) and peeled from the surface of the optical film f0 before inspection.

또한, 이하에 있어서, 단순히 「보호 필름」이라고 칭하는 경우에는, 특별히 언급이 없는 한 점착층을 갖는 보호 필름(fb)이 되어 광학 필름(fx)으로부터 박리되는 하측의 보호 필름(fz)을 의미하는 것으로 하고, 제1 점착층(a1)의 표면으로부터 박리되는 상측의 보호 필름(fy)은, 「제1 보호 필름(fy)」 또는 「세퍼레이터(fy)」라고 칭하여 하측의 보호 필름(fz)과 구별하기로 한다.In addition, in the following, when simply referred to as a "protective film", unless otherwise specified, it becomes a protective film fb having an adhesive layer and means a lower protective film fz peeled from the optical film fx The upper protective film fy peeled from the surface of the first adhesive layer (a1) is referred to as "first protective film fy" or "separator fy", and the lower protective film fz and to distinguish

또한, 이하에 있어서는, 보다 구별이 명확해지도록 하측의 보호 필름(fz)을 「제2 보호 필름(fz)」이라고 칭하는 경우가 있다.In addition, below, the lower protective film fz may be called a "2nd protective film fz" so that a distinction may become clearer.

상기와 같이 본 실시 형태에 있어서는, 검사 장치에서의 검사는 점착층을 갖는 보호 필름(fb)과 세퍼레이터(fy)가 광학 필름(fx)으로부터 제거되어 실시된다.As mentioned above, in this embodiment, the test|inspection by an inspection apparatus removes the protective film fb and the separator fy which have an adhesion layer from the optical film fx, and is performed.

따라서, 본 실시 형태에 있어서 검사 장치로 검사되는 피검사물은, 상기 제1 점착층을 최표면에 구비하고, 상기 제1 점착층(a1)의 배면측에 상기 광학 필름(fx)이 적층된 적층체(fa)가 된다.Accordingly, the object to be inspected in the present embodiment is a laminate in which the first adhesive layer is provided on the outermost surface, and the optical film fx is laminated on the back side of the first adhesive layer (a1). becomes fa.

본 실시 형태의 검사 방법을 실시하는 적층체(fa)를 구성하는 상기 광학 필름(fx)은, 예를 들어 중합체 필름간에 편광자가 끼워져 이루어지는 편광 필름으로 할 수 있다.The said optical film fx which comprises the laminated body fa which implements the test|inspection method of this embodiment can be set as the polarizing film in which a polarizer is pinched|interposed between polymer films, for example.

계속해서, 이 광학 필름(fx)과 점착층이 적층되어 이루어지는 적층체(fa)의 결함 부분을 검사하기 위한 설비에 대하여 도 2, 3을 참조하면서 설명한다.Then, it demonstrates, referring FIGS. 2 and 3 about the installation for test|inspecting the defect part of the laminated body fa in which this optical film fx and an adhesive layer are laminated|stacked.

도 2는 상기 적층체(fa)의 이동 방향에 대하여 측방으로부터 설비를 본 모습을 도시하는 것이다.2 : shows the state which looked at the equipment from the side with respect to the moving direction of the said laminated body fa.

이 도 2에도 도시되어 있는 바와 같이, 상기 설비에는 필름 적층체(f0)가 롤 형상으로 권취되어 이루어지는 원재료 롤이 장착되고, 상기 원재료 롤의 외측으로부터 상기 필름 적층체(f0)가 풀어내어지는 송출기(1)가 구비되어 있다.As also shown in FIG. 2, the equipment is equipped with a raw material roll in which the film laminate f0 is wound in a roll shape, and a feeder through which the film laminate f0 is released from the outside of the raw material roll. (1) is provided.

또한, 당해 설비에는, 상기 제2 보호 필름(fz)과 상기 제2 점착층(a2)의 적층체인 점착층을 갖는 보호 필름(fb)을 상기 송출기(1)로부터 풀어내어진 필름 적층체(f0)로부터 박리하여 권취하는 보호 필름 권취기(2)가 구비되어 있다.Further, in the facility, a protective film fb having an adhesive layer, which is a laminate of the second protective film fz and the second adhesive layer a2, is fed out from the sender 1, a film laminate f0 ) is provided with a protective film winder 2 to peel and wind.

또한, 당해 설비에는, 상기 필름 적층체(f0)로부터 세퍼레이터(fy)를 더 박리하여 권취하기 위한 세퍼레이터 권취기(3), 및 점착층을 갖는 보호 필름(fb)과 세퍼레이터(fy)가 필름 적층체(f0)로부터 박리 제거되어 얻어진 적층체(fa)를 피검사물로 하여 검사를 행하는 검사 장치(10)가 구비되어 있다.Moreover, in the said facility, the separator winder 3 for further peeling and winding up the separator fy from the said film laminated body f0, and the protective film fb and the separator fy which have an adhesion layer are film lamination|stacking. An inspection device 10 is provided that inspects the laminate fa obtained by peeling and removing from the sieve f0 as an inspection object.

또한, 도시하지 않았지만, 상기 설비는, 상기 검사 장치(10)에 의해 찾아낸 결함 부분을 마킹하여 명시하기 위한 마킹 장치를 상기 검사 장치(10)의 하류측에 구비하고 있다.Moreover, although not shown in figure, the said facility is equipped with the downstream side of the said inspection apparatus 10 with the marking apparatus for marking and specifying the defect part found by the said inspection apparatus 10. As shown in FIG.

상기 검사 장치(10)는, 적층체(fa)의 결함 부분을 찾아내기 위한 촬상부(11)와, 상기 촬상부(11)에 의한 촬상 부분에 배면측으로부터 광을 조사하기 위한 광원부(12)를 갖고 있다.The inspection device 10 includes an imaging unit 11 for finding a defective portion of the laminate fa, and a light source unit 12 for irradiating light from the back side to the imaging portion by the imaging unit 11 . has a

상기 검사 장치(10)는, 본 실시 형태에 있어서는 흠집 부분, 박육 부분, 핀 홀 부분, 이물 부착 부분, 이들 이외를 원인으로 하여 허용 범위를 초과하여 편광 특성이 주위와 상이한 부분 등을 결함 부분으로서 검지할 수 있도록 구성되어 있다.In the present embodiment, the inspection device 10 includes a flaw, a thin portion, a pinhole portion, a foreign material adhesion portion, and a portion having a polarization characteristic different from that of the surroundings beyond the allowable range due to other causes as a defective portion. It is designed to be detected.

상기 검사 장치(10)의 상기 촬상부(11)는, 예를 들어 라인 센서 카메라나 에어리어 센서 카메라 등에 의해 구성시킬 수 있다.The said imaging part 11 of the said test|inspection apparatus 10 can be comprised with a line sensor camera, an area sensor camera, etc., for example.

상기 라인 센서 카메라나 에어리어 센서 카메라는 단독으로 사용될 필요는 없고, 복수대를 적층체(fa)의 폭 방향(대략 수평 방향)으로 배열 배치하여 촬상부(11)를 형성시키도록 하여도 된다.The line sensor camera or the area sensor camera need not be used alone, and a plurality of units may be arranged in the width direction (approximately horizontal direction) of the stacked body fa to form the imaging unit 11 .

또한, 요컨대 상기 촬상부(11)는 다른 기능을 갖는 복수대의 기기에 따라 구성되어도 된다.In other words, the imaging unit 11 may be configured according to a plurality of devices having different functions.

상기 광원부(12)는 형광등, 할로겐 램프, 메탈 할라이드 램프, LED 등을 사용하여 형성시킬 수 있다.The light source unit 12 may be formed using a fluorescent lamp, a halogen lamp, a metal halide lamp, an LED, or the like.

상기 광원부(12)도, 상기 촬상부(11)와 마찬가지로 형광등, 할로겐 램프, 메탈 할라이드 램프, LED 등이 적층체(fa)의 폭 방향으로 복수 배열되어 형성되어도 되며, 그 경우에 동일한 광원을 배열하여 배치할 필요가 없는 점에 대해서도 촬상부(11)와 동일하다.The light source unit 12 may also be formed by arranging a plurality of fluorescent lamps, halogen lamps, metal halide lamps, LEDs, etc. in the width direction of the laminate fa, in the same manner as the imaging unit 11, in which case the same light sources are arranged. It is the same as that of the imaging unit 11 also in the point that it is not necessary to arrange it.

본 실시 형태의 검사 장치(10)는, 상기 촬상부(11)와 상기 광원부(12)가 수직 방향으로 고저차를 두고 설치되며, 보다 상세하게는 상기 촬상부(11)가 상기 광원부(12)보다 상위에 배치되어 있다.In the inspection apparatus 10 of the present embodiment, the imaging unit 11 and the light source unit 12 are installed with a height difference in the vertical direction, and in more detail, the imaging unit 11 is higher than the light source unit 12 . is placed on top.

그리고, 본 실시 형태의 검사 장치(10)는, 상기 촬상부(11)와 상기 광원부(12)가 수평 방향으로 위치 어긋나 설치되어 있다.And in the inspection apparatus 10 of this embodiment, the said imaging part 11 and the said light source part 12 are shifted in the horizontal direction, and are provided.

즉, 상기 촬상부(11)는, 상기 광원부(12)의 바로 위에 배치되어 있는 것이 아니라, 상기 광원부(12)의 비스듬하게 상측에 배치되어 있다.That is, the imaging unit 11 is not disposed directly above the light source unit 12 , but is disposed obliquely above the light source unit 12 .

그리고, 본 실시 형태의 검사 장치(10)에는, 피검사물인 상기 적층체(fa)가 상기 촬상부(11)와 상기 광원부(12) 사이를 통과하도록 상기 적층체(fa)의 이동 경로가 형성되어 있고, 상기 이동 경로는 촬상부(11)와 광원부(12) 사이를 상기 통과하는 적층체(fa)를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 할 수 있도록 구성되어 있다.And, in the inspection apparatus 10 of this embodiment, the movement path of the laminated body fa is formed so that the said laminated body fa which is an object to be inspected passes between the imaging unit 11 and the light source unit 12 . The moving path is configured so that the stacked body fa passing between the imaging unit 11 and the light source unit 12 can be inclined so that the tip rises in the moving direction.

그리고, 상기 촬상부(11)와 상기 광원부(12)는, 이들을 연결하는 선분이 촬상부(11)와 상기 광원부(12) 사이를 통과하는 상기 적층체(fa)와 직교하도록 배치되어 있다.In addition, the imaging unit 11 and the light source unit 12 are arranged such that a line connecting them is perpendicular to the stacked body fa passing between the imaging unit 11 and the light source unit 12 .

즉, 상기 촬상부(11)에 의한 상기 적층체(fa)의 촬상 부분은, 상기 촬상부(11)로부터 적층체 표면에 대하여 수선이 되도록 그린 가상선(도 2의 X1)과 당해 적층체(fa)와의 교점을 통과하여, 적층체(fa)의 폭 방향에 평행한 직선 형상의 영역(도 3의 A)이 된다.That is, the imaging part of the laminate fa by the imaging unit 11 is a imaginary line (X1 in FIG. 2) drawn so as to be perpendicular to the surface of the laminate from the imaging unit 11 and the laminate ( It passes through the intersection with fa) and becomes a linear area|region (A of FIG. 3) parallel to the width direction of the laminated body fa.

또한, 여기에서는 촬상 부분을 가는 직선 형상의 것으로서 예시하고 있지만, 본 실시 형태에서의 촬상 부분은 이러한 형상에 한정되는 것은 아니다.In addition, although the imaging part is illustrated as a thin linear thing here, the imaging part in this embodiment is not limited to such a shape.

즉, 촬상되는 영역은, 당연히 상기 촬상부(11)를 구성하는 기기에 따라 넓이나 형상 등이 상이하며, 예를 들어 상기 라인 센서 카메라로 상기 촬상부(11)를 구성한 경우에는 도 3에 도시한 바와 같은 세선 형상의 영역이 되고, 상기 에어리어 센서 카메라로 촬상부(11)를 구성한 경우에는 라인 센서 카메라를 사용한 경우보다 폭 넓게 형성되게 되지만, 본 실시 형태에 있어서는 당해 영역의 형상이 특별히 한정되는 것은 아니다.That is, the area to be imaged naturally has a different area, shape, etc. depending on the device constituting the imaging unit 11. For example, when the imaging unit 11 is configured with the line sensor camera, it is shown in FIG. 3 . In the case of forming the image pickup unit 11 with the area sensor camera, the area is formed to be wider than when a line sensor camera is used, but in this embodiment, the shape of the area is particularly limited. it is not

상기 광원부(12)는, 그 광 조사가 적어도 이 촬상 부분(A)의 이측에 대하여 충분한 조도로 실시되도록 검사 장치(10)에 배치되어 있다.The said light source part 12 is arrange|positioned in the inspection apparatus 10 so that the light irradiation may be performed with sufficient illumination intensity with respect to at least the back side of this imaging part A.

이 검사 장치(10)를 사용한 적층체(fa)의 검사 방법에 있어서는, 상기 적층체(fa)는 피검사물로 하여 상기 검사 장치(10)에 공급되고, 상기 광원부(12)와 상기 촬상부(11) 사이를 통과할 때, 그 하면측에 상기 광원부(12)로부터 광이 조사되고, 또한 상기 광이 조사된 부분이 반대측으로부터 상기 촬상부(11)에서 촬상되어 결함이 검출된다.In the inspection method of the laminated body fa using this inspection apparatus 10, the laminated body fa is supplied to the inspection apparatus 10 as an object to be inspected, and the light source unit 12 and the imaging unit ( 11) When passing through the gap, light is irradiated from the light source unit 12 to the lower surface side, and the portion irradiated with the light is imaged by the imaging unit 11 from the opposite side, and a defect is detected.

나아가, 광원부(12)와 촬상부(11) 사이를 상기 통과하는 적층체(fa)를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 함으로써, 상기 적층체(fa)는, 그 상측에 위치하는 상기 촬상부(11)를 촬상 부분(A)의 바로 위보다 상기 이동 방향(D)의 상류측에 위치시켜 상기 결함이 검출된다.Furthermore, by making the laminate fa passing between the light source unit 12 and the imaging unit 11 in an inclined state in which the tip rises in the moving direction, the laminate fa is positioned above the imaging unit fa. The defect is detected by positioning the portion 11 on the upstream side in the moving direction D rather than just above the imaging portion A.

여기에서는, 상기 촬상부(11)는, 그 전체가 상기 촬상 부분(A)의 바로 위(도 3의 가상선(X2))보다 상기 적층체(fa)의 이동 방향 상류측(BW)에 위치되어 있고, 하류측(FW)에는 일부분도 존재하고 있지 않다.Here, the imaging unit 11 as a whole is located on the upstream side BW in the movement direction of the laminate fa rather than directly above the imaging part A (virtual line X2 in FIG. 3 ). and is not partially present on the downstream side (FW).

이에 의해, 가령 촬상부(11)를 구성하고 있는 라인 센서 카메라의 외부에 부착되어 있던 진애 등이 적층체(fa) 상에 낙하하거나, 상기 라인 센서 카메라의 내부로부터 미소 이물이 발생하여 이것이 적층체(fa) 상에 낙하하는 일이 있어도, 이것들은 촬상 부분(A)보다 상류측에 낙하할 가능성이 높아진다.As a result, for example, dust or the like attached to the outside of the line sensor camera constituting the imaging unit 11 falls on the stacked body fa, or a minute foreign matter is generated from the inside of the line sensor camera, and this is the layered body. Even if they fall on (fa), the possibility that these fall on the upstream side than the imaging part (A) becomes high.

그리고, 상기 미소 이물은 촬상부(11)에서 촬상되어 결함으로서 인식될 수 있다.In addition, the minute foreign material may be imaged by the imaging unit 11 and recognized as a defect.

따라서, 본 실시 형태의 검사 방법은, 종래의 적층체를 수평으로 이동시키면서 상기 적층체를 바로 위에서 촬상하는 검사 방법에 비하여, 검지되지 않는 결함이 최종 제품의 광학 제품에 혼입될 우려를 저감할 수 있다.Therefore, the inspection method of the present embodiment can reduce the risk of undetectable defects mixing into the optical product of the final product, compared to the inspection method of imaging the laminate from directly above while moving the laminate horizontally in the prior art. there is.

또한, 이러한 효과의 발휘는, 촬상부(11)와 광원부(12)가 바뀌는 경우에 있어서도 동일하게 발휘될 수 있다.In addition, this effect can be exhibited in the same way even when the imaging unit 11 and the light source unit 12 are switched.

즉, 상기 효과는 광원부와 촬상부 사이에서 상기 통과하는 적층체를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 하고, 상기 적층체의 상측에 위치하는 광원부를 상기 촬상부에 의한 적층체의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 이동 방향의 상류측에 위치시켜 상기 결함을 검출시킨 경우에도 마찬가지로 발휘될 수 있다.That is, the effect is obtained by making the laminate passing between the light source unit and the imaging unit in an inclined state in which the tip rises in the moving direction, and the light source unit located above the laminate is the imaging part of the laminate by the imaging unit. It can be exhibited similarly even when the defect is detected by locating it on the upstream side of the moving direction rather than directly above it.

또한, 상기 효과를 얻는 측면에서, 적층체의 상측에 위치하는 촬상부 또는 광원부를 상기 촬상부에 의한 적층체의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 적층체의 이동 방향 상류측에 위치시킴과 함께 상기 적층체를 끝이 올라가는 경사로 하는 것이 특히 유효하게 된다.In addition, in terms of obtaining the above effect, the imaging unit or the light source unit located above the laminate is positioned on the upstream side in the movement direction of the laminate rather than just above the imaging part of the laminate by the imaging unit, and It becomes particularly effective to use the sieve on a ramp with a raised tip.

이에 대하여 설명하면, 촬상부와 광원부 사이를 통과하는 적층체의 이동 경로를, 이동 방향을 향하여 끝이 내려가는 경사 상태나 수평 상태로 하여도 적층체의 상측에 위치하는 촬상부 또는 광원부를 상기 촬상부에 의한 적층체의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 적층체의 이동 방향 상류측에 위치시킴으로써 검지되지 않는 결함이 최종 제품의 광학 제품에 혼입될 우려를 저감시킬 수 있다.To explain this, even if the movement path of the laminate passing between the imaging unit and the light source unit is in an inclined state or horizontal state with the tip going down in the moving direction, the imaging unit or the light source unit located above the laminate is the imaging unit. By positioning it on the upstream side in the moving direction of the laminate rather than directly above the imaging portion of the laminate by , it is possible to reduce the possibility that defects that cannot be detected are mixed into the optical product of the final product.

한편, 상기 적층체를 끝이 올라가는 경사로 하는 경우에는, 촬상부와 광원 부를 적층체에 대하여 직교하는 방향에 있어서 대향하도록 배치함으로써, 상기 적층체의 상측에 위치하는 촬상부 또는 광원부는, 촬상 부분의 바로 위보다 상기 적층체의 이동 방향의 상류측에 배치되게 된다.On the other hand, in the case where the laminate is inclined upward, the imaging unit and the light source unit are disposed to face each other in a direction orthogonal to the laminate, so that the imaging unit or the light source unit located above the laminate is formed of an imaging part. It is arranged on the upstream side of the moving direction of the laminate rather than directly above it.

따라서, 상기 적층체를 끝이 올라가는 경사로 하는 경우에는, 촬상부나 광원부를 적층체에 대하여 접근한 배치로 하면서 촬상 부분의 바로 위보다 상기 적층체의 이동 방향의 상류측에 촬상부나 광원부를 배치시키기 쉽다.Therefore, in the case where the laminate is inclined upward, it is easier to arrange the imaging unit and the light source unit on the upstream side in the moving direction of the laminate rather than directly above the imaging part while the imaging unit and the light source unit are arranged close to the laminate. .

즉, 적층체를 끝이 올라가는 경사로 함으로써, 검사를 위한 공간을 절약화시킬 수 있다.That is, the space for inspection can be saved by making the laminated body a slope upwards.

또한, 적층체의 이동 방향을 수직 방향으로 한 경우에도, 촬상부에 의한 촬상 부분의 바로 위에 당해 촬상부나 상기 광원부를 위치시키지 않고, 촬상부와 광원부를 적층체에 대하여 접근한 배치로 할 수 있다.In addition, even when the movement direction of the laminate is vertical, the imaging unit and the light source unit are placed close to the laminate without locating the imaging unit or the light source unit directly above the imaging portion by the imaging unit. .

그러나, 보호 필름이나 세퍼레이터가 제거된 후의 상기 적층체에 대하여 롤러 등을 접촉시켜 이동 방향의 전환을 행하는 것은 바람직한 것이 아니며, 특히 점착층의 표면에 대해서는 어떠한 부재이든 접촉시키는 것이 극히 곤란하다.However, it is not preferable to change the direction of movement by contacting a roller or the like with respect to the laminate after the protective film or separator has been removed, and in particular, it is extremely difficult to bring any member into contact with the surface of the pressure-sensitive adhesive layer.

따라서, 적층체의 이동 방향을 수직 방향으로 한 경우, 검사 장치 전후에 배치되는 장치류를 수직 방향으로 배치할 필요성이 높아지는 결과로서 설비의 높이가 높아져 버릴 우려가 있다.Therefore, when the moving direction of a laminated body is made into a vertical direction, there exists a possibility that the height of an installation may become high as a result of the necessity to arrange|position the apparatuses arrange|positioned before and behind an inspection apparatus in a vertical direction.

설비 높이가 높아지면, 검사 장치에 피검사물을 세트하거나, 이 검사 장치의 설정을 행하거나 할 때의 작업성을 저하시켜 버릴 우려를 갖는다.When an installation height becomes high, there exists a possibility of reducing the workability|operativity at the time of setting a to-be-inspected object in an inspection apparatus, or setting this inspection apparatus.

이에 반하여, 적층체를 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 하여 촬상부와 광원부 사이를 통과시키도록 하면 설비의 높이가 높아져 버릴 우려를 억제할 수 있다.On the other hand, when the laminate is made to pass between the imaging unit and the light source unit in a horizontal state or in a state inclined with respect to the horizontal direction, it is possible to suppress the possibility that the height of the equipment will become high.

즉, 적층체의 각도(앙각)가 0°(수평 상태), -90° 초과 0° 미만(끝이 내려가는 경사), 또는 0° 초과 90° 미만(끝이 올라가는 경사)이 되도록 촬상부와 광원부 사이에서의 적층체의 이동 경로를 설정함으로써, 설비는 그 높이가 필요 이상으로 높아지는 것을 방지할 수 있다.That is, the imaging unit and the light source unit so that the angle (elevation angle) of the laminate is 0° (horizontal state), more than -90° and less than 0° (slope downward), or more than 0° and less than 90° (inclination upward). By setting the movement path of the laminate in between, the equipment can prevent its height from becoming higher than necessary.

이렇게 상기 촬상부와 상기 광원부 사이를 통과할 때의 적층체의 각도(앙각)는, 설비의 높이를 억제하는 측면에서 -90° 초과 90° 미만이 된다.In this way, the angle (elevation angle) of the laminate when passing between the imaging unit and the light source unit is greater than -90° and less than 90° from the viewpoint of suppressing the height of the equipment.

상기 촬상부와 상기 광원부 사이를 통과할 때의 적층체의 각도(앙각)는, 장치 높이를 억제하는 효과를 보다 현저하게 발휘시키는 측면에서, 0° 초과 70° 이하로 하는 것이 바람직하고, 0° 초과 60° 이하로 하는 것이 특히 바람직하다.The angle (elevation angle) of the laminate when passing between the imaging unit and the light source unit is preferably set to be more than 0° and not more than 70° from the viewpoint of exhibiting the effect of suppressing the device height more significantly, 0° It is especially preferable to set it as exceeding 60 degrees or less.

또한, 이러한 검사 방법이 실시된 후에는, 다시 상기 점착층을 갖는 보호 필름과 세퍼레이터를 검사 후의 적층체(fa)에 접합하여, 원래와 동일한 필름 적층체를 형성시킨 후에 상기 마킹 장치에 의해 결함 부분을 명시시켜 외형 가공을 행하여 광학 제품에의 조립에 사용하면 된다.In addition, after this inspection method is performed, the protective film having the adhesive layer and the separator are again bonded to the laminate fa after inspection to form the same film laminate as the original, and then the defective part is made by the marking device. It can be used for assembling into optical products by specifying and external processing.

즉, 본 실시 형태에 있어서는, 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 공정을 실시한 후에, 상기 광학 부재에 대하여 외형 가공을 행하는 공정을 실시하여 광학 제품을 제작할 수 있다.That is, in this embodiment, after implementing the process of detecting the defect of the said optical member, the process of externally processing the said optical member can be performed, and an optical product can be produced.

보다 구체적으로는, 광학 제품의 제조 방법에 있어서는, 본 실시 형태의 광학 부재의 검사 방법이 실시된 후의 필름 적층체로부터, 상기 필름 적층체보다 소형의 시트편을 잘라내는 공정을 실시하여 편광판으로 하고, 나아가 검사에 의해 찾아낸 결함 부분 이외로부터 상기 시트편을 잘라낸 편광판을 그 밖의 부재와 함께 조립하여 광학 제품을 제조할 수 있다.More specifically, in the manufacturing method of an optical product, the process of cutting out a sheet piece smaller than the said film laminated body from the film laminated body after the inspection method of the optical member of this embodiment is implemented, and it is set as a polarizing plate, Furthermore, an optical product can be manufactured by assembling the polarizing plate which cut out the said sheet piece from other than the defect part found by inspection with another member.

상기 편광판의 절단은 톰슨 칼날형이나 펀칭 프레스 등에 의한 펀칭 방법을 비롯하여 종래 공지된 방법을 적용할 수 있다.The cutting of the polarizing plate may be applied by a conventionally known method, including a punching method by a Thompson blade type or a punching press.

또한, 광학 제품의 제조 방법에 있어서는, 잘라낸 상기 편광판은, 또한 위상차층을 형성시키거나, 방현 처리를 실시하거나, 반사 필름과 조합하는 등으로 하여 화상 표시 장치의 구성 부재로 할 수 있다.Moreover, in the manufacturing method of an optical product, the said polarizing plate cut out can be made into the structural member of an image display apparatus by further forming a retardation layer, giving an anti-glare treatment, combining with a reflective film, etc.

또한, 상기 편광판이 조립되는 광학 제품으로서는, 예를 들어 액정 표시 장치, 유기 EL(일렉트로루미네센스) 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 패널 등의 화상 표시 장치나 터치 패널 등의 입력 장치를 들 수 있다.Moreover, as an optical product to which the said polarizing plate is assembled, input devices, such as image display apparatuses, such as a liquid crystal display device, an organic EL (electroluminescence) display device, a plasma display panel, and a touch panel, are mentioned, for example.

상기 광학 제품의 제조 방법에 있어서는, 상기와 같이 시트 형상의 광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 상기 광학 부재를 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키면서 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광을 조사하고, 또한 상기 광이 조사된 부분을 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 공정, 및 상기 공정 후의 광학 부재로부터 상기 광학 부재보다 소형의 시트편을 잘라내는 공정이 실시된다.In the manufacturing method of the optical product, as described above, a sheet-shaped optical member is used as an object to be inspected and supplied to an inspection apparatus having a light source unit and an imaging unit, and the optical member is passed between the light source unit and the imaging unit while passing the optical member. a step of irradiating light from the light source unit to one side of the optical member, and imaging the portion irradiated with the light by the imaging unit from the other side of the optical member to detect a defect in the optical member, and from the optical member after the step The process of cutting out a sheet piece smaller than the said optical member is implemented.

나아가, 상기 제조 방법에 있어서 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 상기 공정에서는, 상기 광학 부재를 수평 상태 또는 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키고, 또한 상기 광원부 및 상기 촬상부 중, 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것을 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치시켜 상기 결함의 검출이 실시된다.Further, in the step of detecting the defect of the optical member in the manufacturing method, the optical member is passed between the light source unit and the image pickup unit in a horizontal state or in a state inclined with respect to the horizontal direction, and further, the light source unit and the Among the imaging units, the defect is detected by locating the one located above the optical member on the upstream side in the moving direction of the optical member rather than just above the imaging portion of the optical member by the imaging unit.

또한, 상기 제조 방법에 있어서, 상기 시트편을 잘라내는 상기 공정에서는 광학 부재의 결함을 찾지 못한 부분으로부터 상기 시트편이 잘라내어진다.Moreover, in the said manufacturing method, in the said process of cutting out the said sheet piece, the said sheet piece is cut out from the part in which the defect of an optical member was not found.

이와 같이 하여 제작되는 광학 제품은, 편광판의 원재료가 되는 필름 적층체의 결함 부분이 적어지기 때문에, 당해 필름 적층체의 제품으로의 이용률이 높아져 비용면에 있어서도 유리하게 된다.In the optical product produced in this way, since the defect part of the film laminated body used as the raw material of a polarizing plate decreases, the utilization rate to the product of the said film laminated body becomes high, and it becomes advantageous also in a cost point.

또한, 본 실시 형태에 있어서 제조되는 광학 제품은, 검사로 인식되지 않은 결함을 갖는 편광판이 조립될 우려가 억제되기 때문에, 종래에 비하여 수율 향상을 기대할 수 있음과 함께 상기 편광판과 함께 조립한 위상차 필름이나 반사 필름이 낭비되어 버리거나, 조립을 위한 수고가 낭비되어 버리는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the optical product manufactured in this embodiment, since the possibility of assembling a polarizing plate having defects not recognized by inspection is suppressed, a yield improvement can be expected compared to the prior art, and retardation film assembled with the polarizing plate It can prevent that a reflective film is wasted or the effort for assembling is wasted.

따라서, 광학 제품의 제조 효율을 종래보다 향상시킬 수 있다.Therefore, the manufacturing efficiency of an optical product can be improved compared to the prior art.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 편광 필름에 점착층을 적층한 적층체에 대하여 검사를 행하는 경우를 예로 들고 있다.In addition, in this embodiment, the case where test|inspection is performed with respect to the laminated body which laminated|stacked the adhesion layer on the polarizing film is mentioned as an example.

그리고, 촬상 부분을 통과한 후에 부착된 부착물이 자연스럽게 탈락하는 것을 기대하기가 곤란하여, 본 발명의 효과를 보다 현저하게 발휘시킬 수 있는 점에서, 광학 부재가 상기와 같은 적층체이고, 또한 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 상기 점착층을 상면측으로 하여 통과시키는 형태를 예시하고 있지만, 상기 점착층을 하면측으로 하여 검사를 실시하는 경우도 본 발명의 광학 부재의 검사 방법으로서 의도하는 범위의 것이다.And, since it is difficult to expect that the adhered matter to naturally fall off after passing through the imaging part, and the effect of the present invention can be exhibited more conspicuously, the optical member is a laminate as described above, and the light source part Although an example is exemplified in which the pressure-sensitive adhesive layer passes between the and the imaging unit as the upper surface side, it is also within the intended range as the inspection method of the optical member of the present invention when the inspection is performed with the pressure-sensitive adhesive layer on the lower surface side.

또한, 본 발명의 검사 방법은, 그 대상을 편광 필름과 점착층의 2층 구조의 것에 한정하는 것도 아니며, 편광 필름 단층의 경우나, 또한 다른 광학 필름이 적층된 것 등에 대하여 실시되는 검사 방법도 본 발명이 의도하는 범위의 것이다.In addition, the inspection method of this invention is not limited to the thing of the two-layer structure of a polarizing film and an adhesive layer, The inspection method performed with respect to the case of a polarizing film single layer, and another optical film laminated|stacked also It is within the intended scope of the present invention.

즉, 본 실시 형태에 있어서는, 세퍼레이터(fy)와 보호 필름(fz)의 양쪽을 박리하여 편광 필름의 검사를 행하는 경우를 예시하고 있지만, 예를 들어 보호 필름(fz)을 박리하지 않고 검사를 행하는 경우도 본 발명이 의도하는 범위의 것이다.That is, in this embodiment, although the case where both the separator fy and the protective film fz are peeled and the test|inspection of a polarizing film is exemplified, for example, the test|inspection is performed without peeling the protective film fz The cases are also within the intended scope of the present invention.

나아가, 본 발명의 검사 방법은, 광학 부재가 구비하는 광학 필름을 편광 필름에 한정하는 것은 아니다.Furthermore, the inspection method of this invention does not limit the optical film with which an optical member is equipped to a polarizing film.

예를 들어, 위상차 필름, 휘도 향상 필름 등에 대하여 본 실시 형태에 있어서 나타낸 바와 같은 검사가 실시되는 경우도 본 발명이 의도하는 범위의 것이다.For example, also when the test|inspection as shown in this embodiment is performed with respect to retardation film, a brightness improvement film, etc., it is a thing of the range which this invention intends.

또한, 편광 필름, 위상차 필름, 휘도 향상 필름 등 중의 복수의 것을 적층한 적층 필름에 대하여 본 실시 형태에 있어서 나타낸 바와 같은 검사가 실시되는 경우도 본 발명이 의도하는 범위의 것이다.Moreover, also when the test|inspection as shown in this embodiment is performed with respect to the laminated|multilayer film which laminated|stacked the some among a polarizing film, retardation film, a brightness improvement film, etc., it is a thing of the range which this invention intends.

또한, 상기 예시에 있어서는, 촬상부와 광학부의 배치를 광학 부재의 통과 방향과 직교하도록 배치하고 있지만, 촬상부와 광학부를 연결하는 선분이 광학 부재의 통과 방향에 대하여 직각 이외가 되도록 실시하여도 된다.In the above example, the imaging unit and the optical unit are arranged so as to be orthogonal to the passage direction of the optical member, but it may be implemented so that the line segment connecting the imaging unit and the optical unit is not perpendicular to the passage direction of the optical member. .

즉, 본 발명은, 그 효과가 현저하게 손상되지 않는 범위에 있어서는, 상기 예시에 대하여 적절하게 변경을 가하는 것이 가능한 것이다.That is, in this invention, it is possible to add a change suitably with respect to the said illustration in the range in which the effect is not impaired remarkably.

10: 검사 장치
11: 촬상부
12: 광학부
fa: 적층체(피검사물)
fx: 광학 필름
fy: 보호 필름(세퍼레이터)
fz: 보호 필름
10: inspection device
11: imaging unit
12: optics
fa: laminate (object to be inspected)
fx: optical film
fy: protective film (separator)
fz: protective film

Claims (4)

시트 형상의 광학 부재를 피검사물로 하여 광원부와 촬상부를 갖는 검사 장치에 공급하고, 상기 광학 부재를 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키면서 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광을 조사하고, 또한 상기 광이 조사된 부분을 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상하여 상기 광학 부재의 결함을 검출하는 광학 부재의 검사 방법이며,
상기 광학 부재를 수평 방향에 대하여 경사지게 한 상태로 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키고,
상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 상기 광학 부재를 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태로 하고,
상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것을 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치시키고, 또한 상기 광원부와 상기 촬상부를 연결하는 선분이, 상기 광학 부재의 이동 방향에 대하여 직교하는 방향이 되도록 상기 광원부와 상기 촬상부를 배치하여,
상기 촬상 부분의 바로 위에는 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 어느 것도 존재하지 않는 상태로, 상기 결함의 검출을 실시하고,
상기 결함의 검출에는 상기 광학 부재에의 부착물의 검출이 포함되는 것을 특징으로 하는 광학 부재의 검사 방법.
Using a sheet-shaped optical member as an object to be inspected, supplying it to an inspection apparatus having a light source unit and an imaging unit, passing the optical member between the light source unit and the imaging unit, and irradiating light from the light source unit to one side of the optical member, It is also an inspection method of an optical member for detecting a defect of the optical member by imaging the portion irradiated with the light from the other surface side of the optical member by the imaging unit,
passing between the light source unit and the imaging unit in a state where the optical member is inclined with respect to the horizontal direction,
The optical member passing between the light source unit and the imaging unit is in an inclined state in which the tip rises in the moving direction,
Among the light source unit and the imaging unit, the one located above the optical member is located on the upstream side in the movement direction of the optical member rather than just above the imaging portion of the optical member by the imaging unit, and the light source unit and the imaging unit are connected The light source unit and the imaging unit are arranged so that a line segment to be made is in a direction orthogonal to the moving direction of the optical member,
The defect is detected in a state in which neither the light source part nor the imaging part exists immediately above the imaging part;
The detection method of the optical member characterized in that the detection of the said defect includes detection of the adhesion|attachment to the said optical member.
제1항에 있어서, 상기 광학 부재가, 최표면에 점착층을 갖고 또한 상기 점착층의 배면측에 편광 필름이 적층된 적층체이며, 상기 광학 부재를, 상기 점착층을 상면측으로 하여 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과시키는 광학 부재의 검사 방법.The optical member according to claim 1, wherein the optical member has an adhesive layer on the outermost surface and is a laminate in which a polarizing film is laminated on the back side of the adhesive layer, and the optical member includes the light source unit with the adhesive layer on the top side. A method of inspecting an optical member to pass between the imaging units. 시트 형상의 광학 부재로부터 상기 광학 부재보다 소형인 시트편을 잘라내고, 상기 시트편을 사용하여 광학 제품을 제조하는 광학 제품의 제조 방법이며,
제1항 또는 제2항에 기재된 광학 부재의 검사 방법이 실시된 광학 부재를 사용하여, 상기 검사 방법으로 결함을 찾지 못한 부분으로부터 상기 시트편을 잘라내는 광학 제품의 제조 방법.
It is a manufacturing method of the optical product which cuts out a sheet piece smaller than the said optical member from a sheet-shaped optical member, and manufactures an optical product using the said sheet piece,
The manufacturing method of the optical product which cuts out the said sheet piece from the part which did not find a defect by the said inspection method using the optical member to which the inspection method of the optical member of Claim 1 or 2 was given.
시트 형상의 광학 부재를 검사하기 위하여 사용되고, 광원부와 촬상부를 가지며, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 상기 광학 부재의 일면측에 상기 광원부로부터 광이 조사되고, 상기 광이 조사된 부분이 상기 광학 부재의 타면측으로부터 상기 촬상부에서 촬상되어 결함이 검출되는 광학 부재의 검사 장치이며,
상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 통과하는 광학 부재가 수평 방향에 대하여 경사진 상태가 되고, 상기 광원부와 상기 촬상부 사이를 상기 통과하는 상기 광학 부재가 이동 방향을 향하여 끝이 올라가는 경사 상태가 되도록 상기 광학 부재의 이동 경로가 형성되어 있고, 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 상기 광학 부재의 상측에 위치하는 것이 상기 촬상부에 의한 광학 부재의 촬상 부분의 바로 위보다 상기 광학 부재의 이동 방향 상류측에 위치하고, 또한 상기 광원부와 상기 촬상부를 연결하는 선분이, 상기 이동 경로에 대하여 직교하는 방향이 되도록 상기 광원부와 상기 촬상부가 배치되어 있고, 상기 촬상 부분의 바로 위에는 상기 광원부 및 상기 촬상부 중 어느 것도 존재하지 않고,
상기 결함의 검출에는 상기 광학 부재에의 부착물의 검출이 포함되는 것을 특징으로 하는 광학 부재의 검사 장치.
It is used to inspect a sheet-shaped optical member, has a light source unit and an imaging unit, and the light is irradiated from the light source unit to one side of the optical member passing between the light source unit and the imaging unit, and the light-irradiated portion is the It is an inspection apparatus of the optical member which is imaged by the said imaging part from the other surface side of an optical member, and a defect is detected,
The optical member passing between the light source unit and the imaging unit is inclined with respect to the horizontal direction, and the optical member passing between the light source unit and the imaging unit is in an inclined state in which the tip rises in the moving direction. A movement path of the optical member is formed, and the one located above the optical member among the light source unit and the imaging unit is located on the upstream side in the movement direction of the optical member rather than just above the imaging portion of the optical member by the imaging unit , the light source unit and the imaging unit are arranged so that a line segment connecting the light source unit and the imaging unit is in a direction orthogonal to the movement path, and neither of the light source unit nor the imaging unit is directly above the imaging part without,
The detection of the defect includes detection of a deposit on the optical member.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6255186B2 (en) * 2013-08-07 2017-12-27 日東電工株式会社 Optical member inspection method, optical product manufacturing method, and optical member inspection apparatus
JP6807637B2 (en) * 2015-09-30 2021-01-06 日東電工株式会社 Polarizer inspection method and polarizing plate manufacturing method
JP6898492B2 (en) * 2015-09-30 2021-07-07 日東電工株式会社 Polarizer inspection method and polarizing plate manufacturing method
JP6795883B2 (en) * 2015-10-05 2020-12-02 日東電工株式会社 Polarizer manufacturing method
JP6986614B2 (en) * 2015-10-05 2021-12-22 日東電工株式会社 How to manufacture a transducer
JP2020502492A (en) * 2016-10-26 2020-01-23 ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム High-throughput, high-resolution optical metrology for reflective and transmissive nanophotonic devices

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002048726A (en) * 2000-07-31 2002-02-15 Dainippon Printing Co Ltd Flaw inspecting device for light scattering and transmitting sheet
JP2006113575A (en) * 2004-09-17 2006-04-27 Sumitomo Chemical Co Ltd Optical laminate
JP2007298416A (en) * 2006-04-28 2007-11-15 Kaneka Corp Device and method for inspecting sheet-like transparent body, and manufacturing method for sheet-like transparent body
JP2009205138A (en) 2008-01-28 2009-09-10 Nitto Denko Corp Manufacturing method and manufacturing system for optical display unit

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3677133B2 (en) * 1996-12-18 2005-07-27 株式会社ヒューテック Transparency inspection device
JP2003344301A (en) * 2002-05-31 2003-12-03 Sumitomo Chem Co Ltd Method and equipment for inspecting polarization film
JP4755888B2 (en) * 2005-11-21 2011-08-24 住友化学株式会社 Sheet-fed film inspection apparatus and sheet-fed film inspection method
JP5051874B2 (en) 2006-01-11 2012-10-17 日東電工株式会社 Laminated film manufacturing method, laminated film defect detection method, laminated film defect detection apparatus
JP4960161B2 (en) * 2006-10-11 2012-06-27 日東電工株式会社 Inspection data processing apparatus and inspection data processing method
JP2008175609A (en) * 2007-01-17 2008-07-31 Sekisui Chem Co Ltd Inspection method of optical film and optical film
JP2009069142A (en) * 2007-08-23 2009-04-02 Nitto Denko Corp Method for inspecting defect of laminated film and its apparatus
JP4785944B2 (en) * 2008-04-16 2011-10-05 日東電工株式会社 Manufacturing method of optical display device
JP4503691B1 (en) * 2009-10-13 2010-07-14 日東電工株式会社 Method and apparatus for continuous production of liquid layer display element
JP2011085520A (en) * 2009-10-16 2011-04-28 Kaneka Corp Defect discrimination device, defect discrimination method, and sheet-like material
JP2011226957A (en) * 2010-04-21 2011-11-10 Sanritz Corp Defect inspection method and defect inspection device of polarizing plate
WO2011148790A1 (en) * 2010-05-25 2011-12-01 東レ株式会社 Film defect inspection device, defect inspection method, and release film
JP4921597B1 (en) * 2011-03-18 2012-04-25 日東電工株式会社 Liquid crystal display panel continuous manufacturing system, liquid crystal display panel continuous manufacturing method, inspection apparatus and inspection method
JP6255186B2 (en) * 2013-08-07 2017-12-27 日東電工株式会社 Optical member inspection method, optical product manufacturing method, and optical member inspection apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002048726A (en) * 2000-07-31 2002-02-15 Dainippon Printing Co Ltd Flaw inspecting device for light scattering and transmitting sheet
JP2006113575A (en) * 2004-09-17 2006-04-27 Sumitomo Chemical Co Ltd Optical laminate
JP2007298416A (en) * 2006-04-28 2007-11-15 Kaneka Corp Device and method for inspecting sheet-like transparent body, and manufacturing method for sheet-like transparent body
JP2009205138A (en) 2008-01-28 2009-09-10 Nitto Denko Corp Manufacturing method and manufacturing system for optical display unit

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JP6255186B2 (en) 2017-12-27
KR20150017663A (en) 2015-02-17
TWI649555B (en) 2019-02-01

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