JP2017088395A - 物品搬送設備 - Google Patents

物品搬送設備 Download PDF

Info

Publication number
JP2017088395A
JP2017088395A JP2015225076A JP2015225076A JP2017088395A JP 2017088395 A JP2017088395 A JP 2017088395A JP 2015225076 A JP2015225076 A JP 2015225076A JP 2015225076 A JP2015225076 A JP 2015225076A JP 2017088395 A JP2017088395 A JP 2017088395A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
target position
transfer device
learning
information
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015225076A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6531629B2 (ja
Inventor
坂本 純一
Junichi Sakamoto
純一 坂本
秀郎 吉岡
Hideo Yoshioka
秀郎 吉岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Priority to JP2015225076A priority Critical patent/JP6531629B2/ja
Priority to TW105137395A priority patent/TWI694045B/zh
Priority to US15/352,956 priority patent/US9682821B2/en
Priority to KR1020160152510A priority patent/KR102424654B1/ko
Priority to CN201611011914.3A priority patent/CN106865085B/zh
Publication of JP2017088395A publication Critical patent/JP2017088395A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6531629B2 publication Critical patent/JP6531629B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/045Storage devices mechanical in a circular arrangement, e.g. towers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • H01L21/6779Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks the workpieces being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0485Check-in, check-out devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/06Storage devices mechanical with means for presenting articles for removal at predetermined position or level
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/137Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67718Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/681Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Sewing Machines And Sewing (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)

Abstract

【課題】撮像装置にて撮像したときに大きさや形状を適切に認識し易い反射板を備えた物品搬送設備を提供する。【解決手段】収納部6と搬送装置と制御装置と学習用モジュール31と、を備え、搬送装置は、支持部を備えた移載装置13と、投受光装置と、を備え、制御装置に、物品を移載するときに移載装置13が位置する第2目標位置を示す情報と、支持部を突出させた第1目標位置を示す情報と、を記憶させ、複数の収納部6の夫々は反射体26を備え、制御装置が実行する学習制御は、学習用モジュール31の撮像装置32にて反射体26を撮像した画像の情報及び学習前位置の情報に基づいて第1目標位置及び第2目標位置を学習し、反射体26は、反射体26の外縁を形成する第1領域と第1領域内の第2領域と、を備え、第1領域と第2領域とは、反射する光の反射率と波長との関係が異なる。【選択図】図8

Description

本発明は、複数の収納部と、物品を前記収納部に搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御装置と、学習用モジュールと、を備えた物品搬送設備に関する。
かかる物品搬送設備の従来例が、特開2010−083593号公報(特許文献1)に記載されている。特許文献1の物品搬送設備では、移載装置を第2目標位置に移動させた後、支持体を基準位置と第1目標位置との間で移動させて、物品を支持体と収納部との間で移載するように構成されている。つまり、搬送装置が支持部から収納部に物品を移載するときは、移載装置を上側の第2目標位置に位置する状態で、支持部を基準位置から第1目標位置に突出させた後に移載装置を下側の第2目標位置に下降させて収納部に物品を降し、その後、支持部を第1目標位置から基準位置に引退させる。搬送装置が収納部から支持部に物品を移載するときは、搬送装置が支持部から収納部に物品を移載するときの逆の動きで行われる。
そして、特許文献1の物品搬送設備では、学習用モジュールに、単眼の撮像装置を一対備えており、学習対象の収納部についての第1目標位置及び第2目標位置を学習するときは、移載装置にて学習用モジュールを支持し且つ学習対象の収納部に対応した学習前位置に移載装置が位置した状態で、一対の撮像装置にて反射体を撮像し、その一対の撮像装置にて撮像した画像の情報と学習前位置を示す情報とに基づいて、学習対象の収納部についての第1目標位置及び第2目標位置を学習するようになっている。
特開2010−083593号公報
上記した従来の物品搬送設備では、一対の撮像装置のうちの一方の撮像装置を正面視用として設け、他方の撮像装置を斜視用として設けている。そのため、これら一対の撮像装置を互いに間隔を空けて設ける必要があるため、学習用モジュールが大型になり易い。また、学習用モジュールに備える撮像装置が一対必要であるため、学習用モジュールの製造コストが高くなり易い。
そこで、学習用モジュールに単眼の撮像装置を1つのみ設け、その1つの撮像装置が撮像した反射板の画像の情報と学習前位置を示す情報とに基づいて、学習対象の収納部についての第1目標位置及び第2目標位置を学習することが考えられる。しかし、1つの撮像装置にて撮像した反射板の画像に基づいて第1目標位置及び第2目標位置を学習する場合、撮像装置にて撮像した画像に基づいて反射板の形状や大きさをより適切に認識する必要がある。
そこで、撮像装置にて撮像したときに大きさや形状を適切に認識し易い反射板を備えた物品搬送設備が求められる。
本発明に係る物品搬送設備の特徴構成は、複数の収納部と、物品を前記収納部に搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御装置と、学習用モジュールと、を備えた物品搬送設備において、
前記搬送装置は、物品を支持する支持部を備えた移載装置と、前記移載装置を移動させる第1駆動部と、前記移載装置と一体的に移動する投受光装置と、を備え、前記移載装置は、前記支持部を移動させる第2駆動部を備え、前記支持部を基準位置と当該基準位置から前記収納部が存在する方向に突出させた第1目標位置とに移動させて前記支持部と前記収納部との間で物品を移載し、前記制御装置に、複数の前記収納部の夫々に対する、前記移載装置が前記支持部と前記収納部との間で物品を移載するときに前記移載装置が位置する第2目標位置を示す情報と、前記第1目標位置を示す情報と、が記憶され、前記投受光装置は、前記基準位置から前記第1目標位置に向かう突出方向に沿って投光し、複数の前記収納部の夫々は、前記収納部に対する前記移載装置の適正な位置である適正位置に前記移載装置が位置する状態で前記投受光装置からの光を前記投受光装置に反射する反射体を備え、前記学習用モジュールは、前記反射体を撮像する単眼の撮像装置を1つのみ備え、前記制御装置は、移動制御と学習制御とを実行し、前記移動制御は、移載対象の前記収納部に対応する前記第2目標位置に前記移載装置を移動させた後、前記投受光装置にて投射された光を前記反射体が反射して前記投受光装置にて受光されている場合は、前記支持部を前記基準位置から前記第1目標位置に移動させるように、前記第1駆動部及び前記第2駆動部を作動させる制御であり、前記学習制御は、前記移載装置にて前記学習用モジュールを支持し且つ学習対象の前記収納部に対応した学習前位置に前記移載装置が位置した状態で、前記撮像装置にて前記反射体を撮像した画像の情報及び前記学習前位置を示す情報に基づいて、前記学習対象の前記収納部についての前記第1目標位置及び前記第2目標位置を学習し、前記反射体は、前記突出方向に見たときの前記反射体の外縁を形成する第1領域と、前記第1領域内において前記第1領域に囲まれる第2領域と、を備え、前記第1領域と前記第2領域とは、反射する光の反射率と波長との関係が異なる点にある。
この特徴構成によれば、制御装置が移動制御を実行して、移載装置を第2目標位置に移動させた後、支持体を基準位置と第1目標位置との間で移動させることで、物品を支持体と収納部との間で移載することができる。
また、制御装置が学習制御を実行して、移載装置にて学習用モジュールを支持し且つ学習対象の収納部に対応した学習前位置に移載装置が位置した状態で、撮像装置にて反射体を撮像した画像の情報及び学習前位置を示す情報に基づいて、学習対象の収納部についての第1目標位置及び第2目標位置を学習できる。
そして、投受光装置の光を反射する反射体を撮像装置にて撮像することで、学習制御において撮像装置が撮像する対象となる部材を収納部に別途設ける必要がないため、収納部の構成の簡素化を図ることができる。また、学習用モジュールに設けられている撮像装置が単眼の撮像装置1つのみなので、学習用モジュールに単眼の撮像装置を一対設ける場合に比べて学習用モジュールの大型化や製造コストの増大を抑えることができる。
また、反射体は、突出方向に見たときの反射体の外縁を形成する第1領域と、第1領域内において第1領域に囲まれる第2領域と、を備え、第1領域と第2領域とは、反射する光の反射率と波長との関係が異なる。そのため、制御装置は、撮像装置が撮像した画像における第1領域の外縁の大きさや形状に加えて第2領域の大きさや形状に基づいて、反射体の大きさや形状を認識できるため、制御装置は、撮像装置が撮像した画像に基づいて反射体の大きさや形状を認識し易くなる。
また、第1領域内に形成された第2領域は、少なくとも一部が第1領域に囲まれているため、反射板の外縁である第1領域の外縁が外光によって認識し難い場合でも、第2領域の少なくとも一部は反射板の外縁より内側に位置するために外光の影響を受け難く、第2領域の外縁の少なくとも一部の大きさや形状を認識し易くなる。
このように、撮像装置にて撮像したときに大きさや形状を適切に認識し易い反射板を物品搬送設備に備えることができる。
ここで、前記反射体は、前記第1領域を形成する第1板と、前記第2領域を形成する第2板とを備え、前記第1板は、その外縁が前記第1領域の外縁と同じ形状に形成され且つ前記突出方向に前記第2領域の外縁と同じ形状の貫通孔が形成され、前記第2板は、前記第1板に対して前記突出方向に位置し且つ前記第1板における前記貫通孔を塞ぐ状態で備えられていると好適である。
この構成によれば、第1板の貫通孔が第2領域の外縁と同じ形状に形成されているため、第2板を、第1板に対して突出方向に位置し且つ第1板における貫通孔を塞ぐ状態で備えることで、第2板における貫通孔から覗く部分にて第2領域を形成することができる。よって、第2板が第1板に対して多少ずれていたとしても第1領域に対して第2領域がずれないため、第1板と第2板とを重ね合わせるときに第1領域と第2領域との位置合わせが不要となる。
また、前記制御装置は、複数のパターン画像の夫々を示す複数のパターン画像情報と複数のズレ量情報とを対応付けて記憶し、複数の前記パターン画像情報は、前記移載装置が前記適正位置に位置する状態で前記撮像装置にて前記反射体を撮像した場合の画像の情報、及び、前記適正位置から前記ズレ量情報が示すずれ量だけずれた位置に前記移載装置が位置する状態で前記撮像装置にて前記反射体を撮像した場合の画像の情報であり、前記学習制御は、前記撮像装置が撮像した画像の情報に基づいて、複数の前記パターン画像情報から当該撮像した画像に近いパターン画像を示す前記パターン画像情報を選択し、前記学習前位置の情報と選択した当該パターン画像情報に対応する前記ズレ量情報とに基づいて、前記学習対象の前記収納部についての前記第1目標位置及び前記第2目標位置を学習すると好適である。
この構成によれば、学習制御を実行する前に複数のパターン画像情報が記憶されており、学習制御においては撮像装置にて撮像された画像に近いパターン画像を選択することで適正位置と1目標位置及び第2目標位置とのズレ量情報を導きだせるため、例えば、撮像装置にて反射体を撮像した画像の情報から第1領域の周縁の位置及び第2領域の周縁の位置を判別し、画像横幅方向や画像上下幅方向における第1領域や第2領域の大きさ等に基づいてズレ量を演算により求める場合に比べて、学習処理の簡素化を図ることができる。
また、前記第1駆動部は、前記移載装置を上下方向に移動させる上下駆動部と、上下方向に沿う回転軸心を中心に前記移載装置を回転させる回転駆動部と、を備え、前記収納部は、上下方向にみて前記回転軸心を中心とした周方向に沿って複数並設されていると好適である。
この構成によれば、周方向に並ぶ収納部の数を増やすことで、移載装置と収納部との離間距離が大きくなり易い。そのため、学習用モジュールに撮像装置として正面視用と斜視用との一対の撮像装置を備えた場合は、収納部と撮像装置との離間距離が大きくなる分だけ一対の撮像装置を互いに大きく離間して設ける必要があり、学習用モジュールが大型になり易いが、学習用モジュールに単一の撮像装置のみを設けているため、上述の如く収納部を設置したとしても、学習用モジュールの大型化を回避できる。
また、前記第1領域の外縁は、矩形状であり、前記第2領域の外縁は、円形状であると好適である。
この構成によれば、第1領域の外縁が矩形状であるため、反射板の縦幅に相当する距離以内又は横幅に相当する距離以内で移載装置が適正位置からずれている場合でも、投受光装置からの光を反射体にて投受光装置に向けて反射することができる。
そして、第2領域の外縁が円形状に形成されているため、収納部やその収納部の周辺には円形の異物が存在しない場合に、撮像装置が撮像した画像において反射板とともに撮像された円形の異物を第2領域と誤って判別し難くなる。
物品搬送設備の斜視図 昇降式搬送装置における一対の入出搬送装置が設けられている段を示す横断面図 昇降式搬送装置における1つの入出搬送装置が設けられている段を示す横断面図 昇降式搬送装置における入出搬送装置が設けられていない段を示す横断面図 収納部と移載装置とを示す斜視図 収納部と上側第2目標位置に位置する移載装置とを示す側面図 収納部と下側第2目標位置に位置する移載装置とを示す側面図 収納部と学習用モジュールを支持した移載装置とを示す斜視図 主パターン画像と副パターン画像とを示す図 反射板の斜視図 制御ブロック図 搬送制御のフローチャート 学習制御のフローチャート
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、物品搬送設備には、複数階(上側の階から順に上階U、中階M、下階Dと称する)の間で物品としての容器1を搬送する昇降式搬送装置2と、天井近くを走行して容器1を搬送する天井搬送車3と、床面上を走行して容器1を搬送する床面搬送車7と、固定状態に設置されて容器1を搬送する入出搬送装置4と、が設けられている。
尚、半導体基板を収容するFOUP(Front Opening Unified Pod)を容器1(物品)としている。
図1に示すように、昇降式搬送装置2は、筒体5の内側に上階Uから下階Dに亘って配設されている。天井搬送車3及び床面搬送車7は、筒体5の外側に配設されている。図2及び図3に示すように、入出搬送装置4は、筒体5の内側から外側に亘って配設されており、筒体5の外側に位置する外部側箇所8と筒体5の内側に位置する内部側箇所9との間で容器1を搬送する。図2〜図4に示すように、筒体5の内部には、容器1を収納する収納部6が複数備えられている。
物品搬送設備では、天井搬送車3や床面搬送車7や作業者にて入出搬送装置4の外部側箇所8に容器1が載せられると、当該容器1は、入出搬送装置4にて外部側箇所8から内部側箇所9に搬送された後、昇降式搬送装置2にて内部側箇所9から収納部6に搬送されて、容器1が収納部6に収納される。
また、収納部6に収納されている容器1は、昇降式搬送装置2にて収納部6から入出搬送装置4の内部側箇所9に搬送された後、入出搬送装置4にて内部側箇所9から外部側箇所8に載置搬送される。外部側箇所8の容器1は、天井搬送車3、床面搬送車7又は作業者にて外部側箇所8から降ろされる。
尚、昇降式搬送装置2が、物品を収納部6に搬送する搬送装置に相当する。また、昇降式搬送装置2にて内部側箇所9から別の内部側箇所9に容器1を搬送する場合もある。
〔昇降式搬送装置〕
図2〜図4に示すように、昇降式搬送装置2は、上下方向Xに沿って配置された案内レール11と、案内レール11に沿って上下方向Xに移動する昇降体12と、容器1を支持する支持部16を備えた移載装置13と、を備えている。また、図5〜図7に示すように、昇降式搬送装置2は、更に、昇降体12と移載装置13との間に介在して移載装置13を回転軸心P周りに回転させる回転装置14と、投受光装置15と、を備えている。
移載装置13は、支持部16に加えてリンク機構17を備えている。リンク機構17の基部は、回転装置14に連結されており、リンク機構17の先端部は、支持部16に連結されている。
図5〜図7に示すように、支持部16には、容器1の底部に形成された凹部に係合する3つの第1係合部18が備えられており、支持部16は、容器1の凹部に3つの第1係合部18を係合させて水平方向に位置決めした状態で容器1を下方から支持するように構成されている。
投受光装置15は、突出方向Z1に向かって投光し且つ移載装置13と一体的に移動するように支持部16に支持されている。そして、投受光装置15として、突出方向Z1に向けて斜め上方に投光する第1投受光装置15aと、突出方向Z1に向けて斜め下方に向けて投光する第2投受光装置15bと、の一対の投受光装置15が支持部16に支持されている。第1投受光装置15aは、第2投受光装置15bに比べて下方に設置されている。
図11に示すように、昇降式搬送装置2は、昇降体12を上下方向Xに移動させる第1モータM1と、回転装置14を駆動させて移載装置13を周方向Y周りに回転させる第2モータM2と、を備えている。移載装置13は、リンク機構17を伸縮させて支持部16を出退方向Zに出退させる第3モータM3を備えている。
そして、第1モータM1の駆動により昇降体12が昇降することで、昇降体12と一体的に移載装置13も昇降するように構成されている。また、移載装置13は、第2モータM2の駆動により回転装置14を駆動させることで、移載装置13が周方向Yに移動するように構成されている。また、移載装置13は、第3モータM3の駆動によりリンク機構17を伸縮させることで、支持部16を昇降体12上に引退させた基準位置と、支持部16を基準位置から収納部6又は内部側箇所9が存在する方向に突出させた第1目標位置と、に移動するように構成されている。
尚、第1モータM1が、移載装置13を上下方向Xに移動させる上下駆動部に相当し、第2モータM2が、上下方向Xに沿う回転軸心Pを中心に移載装置13を回転させる回転駆動部に相当する。そして、移載装置13を移動させる第1駆動部は、上下駆動部及び回転駆動部を備えている。また、第3モータM3が、支持部16を移動させる第2駆動部に相当する。
昇降式搬送装置2は、移載装置13の上下方向Xでの位置を検出するための第1検出装置21と、移載装置13の周方向Yでの位置を検出するための第2検出装置22と、を備えている。また、移載装置13は、支持部16の出退方向Zでの位置を検出するための第3検出装置23を備えている。
これら第1検出装置21、第2検出装置22及び第3検出装置23には、ロータリエンコーダやレーザー距離計等の検出装置が用いられている。本実施形態では、第1検出装置21として、上下方向Xでの基準位置から昇降体12までの距離を検出するレーザー距離計が用いられ、第2検出装置22として、移載装置13の周方向Yの移動に伴ってパルスを出力するロータリエンコーダが用いられ、第3検出装置23として、支持部16の出退に伴ってパルスを出力するロータリエンコーダが用いられている。そして、後述する搬送制御装置30は、第1検出装置21にて検出された昇降基準位置から昇降体12までの距離を示す情報に基づいて移載装置13の上下方向Xでの位置を判別し、第2検出装置22が出力するパルス数を計数することで、移載装置13の周方向Yでの位置を判別し、第3検出装置23が出力するパルス数を計数することで、支持部16の出退方向Zでの位置を判別する。
複数の収納部6の夫々に対して、移載装置13が支持部16と収納部6との間で容器1を移載するときの第1目標位置(支持部16の基準位置に対する位置)が設定されている。また、複数の収納部6の夫々に対して、移載装置13が支持部16と収納部6との間で容器1を移載するときに移載装置13が位置する第2目標位置が設定されている。
第2目標位置は、上下方向Xの位置と周方向Yの位置とにより定められている。また、第2目標位置として、支持部16から収納部6への容器1の移載を開始するべく支持部16を基準位置から突出させるときに移載装置13が位置する上側第2目標位置(図6参照)と、収納部6から支持部16への容器1の移載を開始するべく支持部16を基準位置から突出させるときに移載装置13が位置する下側第2目標位置(図7参照)と、が設定されている。
尚、複数の内部側箇所9の夫々に対しても、収納部6と同様に、第1目標位置や第2目標位置が設定されている。
昇降式搬送装置2が支持部16から収納部6に容器1を移載するときについて説明する。まず、昇降式搬送装置2は、容器1を支持している移載装置13を昇降及び回転させて、移載装置13を移載対象の収納部6に対応する上側第2目標位置に移動させる。次に、昇降式搬送装置2は、支持部16を基準位置から第1目標位置に突出させた後に移載装置13を下側第2目標位置に下降させて収納部6に容器1を降し、その後、支持部16を第1目標位置から基準位置に引退させる。
次に、昇降式搬送装置2が収納部6から支持部16に容器1を移載するときについて説明する。まず、昇降式搬送装置2は、容器1を支持していない移載装置13を昇降及び回転させて、移載装置13を移載対象の収納部6に対応する下側第2目標位置に移動させる。次に、昇降式搬送装置2は、支持部16を基準位置から第1目標位置に突出させた後に移載装置13を上側第2目標位置に上昇させて収納部6の容器1を掬い、その後、支持部16を第1目標位置から基準位置に引退させる。
このように、移載装置13は、支持部16を基準位置と第1目標位置とに移動させて支持部16と収納部6との間で容器1を移載する。
〔入出搬送装置〕
次に、入出搬送装置4について説明する。
入出搬送装置4は、容器1を下方から支持する支持体(図示せず)を備えており、その支持体を並び方向(上下方向Xに見て、案内レール11と昇降体12とが並ぶ方向)に沿って移動させることで容器1を外部側箇所8や内部側箇所9に搬送するように構成されている。また、入出搬送装置4は、支持体を上下方向Xに沿う軸心周りに回転させる装置(図示せず)を備えており、支持体を回転させることで容器1の姿勢を外部側箇所8や内部側箇所9に適した姿勢に変更できるように構成されている。
図2及び図3に示すように、内部側箇所9は、案内レール11に対して並び方向で昇降体12が存在する方向に位置し、外部側箇所8は、案内レール11に対して並び方向で昇降体12が存在しない方向に位置している。
入出搬送装置4として、天井近くに設置された第1の入出搬送装置4と、床面近くに設置された第2の入出搬送装置4と、が設けられている。第1の入出搬送装置4の外部側箇所8に対しては、天井搬送車3が容器1を載せ降しし、第2の入出搬送装置4の外部側箇所8に対しては、床面搬送車7や作業者が容器1を載せ降しする。
〔収納部〕
収納部6は、上下方向Xに複数段並び、且つ、回転軸心Pを中心として周方向Yに沿って複数並設されている。本実施形態では、入出搬送装置4が設けられていない段は、図4に示すように、周方向Yに5つの収納部6が設置されている。また、入出搬送装置4が設けられている段は、図2及び図3に示すように、内部側箇所9と周方向Yに並ぶ状態で3つ又は4つの収納部6が並設されている。このように、収納部6は、上下方向Xにみて回転軸心Pを中心とした周方向Yに沿って複数並設されている。
次に、収納部6について説明を加えるが、当該収納部6と支持部16との間で移載装置13が容器1を移載するときに、上下方向Xにみて支持部16が移動する方向を出退方向Zとして説明する。また、その出退方向Zにおいて、基準位置から第1目標位置に向かう方向を突出方向Z1とし、第1目標位置から基準位置に向かう方向を引退方向Z2として説明する。
図5に示すように、複数の収納部6の夫々は、上下方向Xに見て引退方向Z2に開口するU字状に形成された板状の支持板25と、その支持板25に取り付けられて再帰性反射(入射光を光源方向に向けて反射)する反射体としての反射板26と、を備えている。収納部6の支持板25には、容器1の底部に形成された凹部に係合する3つの第2ピン27が備えられており、支持板25は、容器1の凹部に第2ピン27を係合させて水平方向に位置決めした状態で容器1を下方から支持するように構成されている。収納部6では、このように支持板25にて容器1を下方から支持した状態で収納されている。
反射板26は、支持板25における引退方向Z2側の端部に取り付けられている。
図6及び図7に示すように、収納部6に対する移載装置13の適正な位置である適正位置に移載装置13が位置し且つ支持部16が基準位置に位置している状態で、投受光装置15からの光が反射板26に入射するように、反射板26は支持板25に取り付けられている。
また、反射板26は、上下方向X及び周方向Yに幅を有する。そのため、移載装置13が適正位置から許容範囲内で上下方向Xや周方向Yにずれている場合でも、反射板26は、投受光装置15からの光が反射板26に入射する。
そして、移載装置13が適正位置から許容範囲を超えて上下方向Xや周方向Yにずれている場合は、投受光装置15から投光された光は反射板26から外れるため反射板26に入射しない。
よって、移載装置13が適正位置や適正位置からのズレ量が許容範囲内となる位置に位置する場合は、投受光装置15からの光が反射板26に入射し、且つ、反射板26はその光を当該投受光装置15に向けて反射する。また、移載装置13が適正位置からのズレ量が許容範囲を超えた位置に位置する場合は、投受光装置15からの光は反射板26に入射されないため、反射板26は光を当該投受光装置15に向けて反射しない。
ちなみに、図6に示すように、上側の適正位置に移載装置13が位置し且つ支持部16が基準位置に位置している状態で、反射板26が第1投受光装置15aからの光を第1投受光装置15aに向けて反射し、図7に示すように、下側の適正位置に移載装置13が位置し且つ支持部16が基準位置に位置している状態で、反射板26が第2投受光装置15bからの光を第2投受光装置15bに向けて反射するように、反射板26は支持板25に取り付けられている。
このように、複数の収納部6の夫々は、収納部6に対する移載装置13の適正な位置である適正位置に移載装置13が位置する状態で投受光装置15からの光を当該投受光装置15に反射する反射板26を備えている。
尚、図6に示すように、支持部16から収納部6への容器1の移載を開始するときにおける移載装置13の適正位置を上側の適正位置とし、図7に示すように、収納部6から支持部16への容器1の移載を開始するときにおける移載装置13の適正位置を下側の適正位置としている。
図10に示すように、反射板26は、突出方向Z1に見たときの反射板26の外縁を形成する第1領域E1と、第1領域E1内において全周が第1領域E1に囲まれる第2領域E2と、を備えている。第1領域E1と第2領域E2とは、反射する光の反射率と波長との関係(分光分布)が異なっている。そのため、第1領域E1と第2領域E2とでは、色相、明度及び彩度のうちの少なくとも1つが異なり、第1領域E1と第2領域E2は異なる色となっている。
反射板26について説明を加える。反射板26は、第1領域E1を形成する第1板26aと、第2領域E2を形成する第2板26bと、を備えている。第1板26aは、その外縁が第1領域E1の外縁と同じ形状に形成され且つ出退方向Z(突出方向Z1)に第2領域E2の外縁と同じ形状の貫通孔28が形成されている。第2板26bは、第1板26aに対して突出方向Z1に位置し且つ第1板26aにおける貫通孔28を塞ぐ状態で備えられている。第1板26aの外縁(第1領域E1の外縁)にて囲まれる形状は、矩形状であり、第1板26aの貫通孔28の形状(第2領域E2の外縁にて囲まれる形状)は、円形状である。
そして、第1板26aは、白色の再帰性反射シートにて構成されており、第2板26bは、赤色の再帰性反射シートにて構成されている。このように色が異なる第1領域E1と第2領域E2とを備えた反射板26を構成することで、後述する撮像装置32が反射板26を撮像したときに、当該撮像した情報に基づいて画像における第1領域E1と第2領域E2との境界を精度よく認識して、第2領域E2の輪郭を適切に認識し易くなっている。
第2板26bが第1板26aに対して突出方向Z1に位置するように第1板26aと第2板26bとを突出方向Z1に重ねて反射板26が構成されている。第1板26aの引退方向Z2を向く面にて第1領域E1が形成されており、第2板26bの引退方向Z2を向く面における貫通孔28から覗く部分にて第2領域E2が形成されている。
〔搬送制御装置〕
物品搬送設備には、昇降式搬送装置2を制御する搬送制御装置30が備えられている。
搬送制御装置30には、複数の収納部6及び複数の内部側箇所9の夫々に対する、第1目標位置を示す情報と第2目標位置を示す情報とが記憶されている。
図12に示すように、搬送制御では、第1移動処理、第1確認処理、第1移載処理、第2移動処理、第2確認処理、第2移載処理、が実行される。
第1移動処理は、移載対象の収納部6又は内部側箇所9に対応する下側第2目標位置に移載装置13を移動させるべく、第1モータM1及び第2モータM2を作動させる制御である。第1確認処理は、第1投受光装置15aにて投射された光を反射板26が反射して第1投受光装置15aが当該光を受光しているか否かを確認する処理である。第1移載処理は、支持部16を基準位置から第1目標位置に突出させた後に移載装置13を上側第2目標位置に上昇させた後、支持部16を第1目標位置から基準位置に引退させるように、第1モータM1及び第3モータM3を制御する処理である。
第2移動処理は、移載対象の収納部6又は内部側箇所9に対応する上側第2目標位置に移載装置13を移動させるべく、第1モータM1及び第2モータM2を作動させる制御である。第2確認処理は、第2投受光装置15bにて投射された光を反射板26が反射して第2投受光装置15bが当該光を受光しているか否かを確認する処理である。第2移載処理は、支持部16を基準位置から第1目標位置に突出させた後に移載装置13を下側第2目標位置に下降させた後、支持部16を基準位置に引退させるように、第1モータM1及び第3モータM3を制御する処理である。
搬送制御について、内部側箇所9から収納部6に容器1を搬送する場合を例に挙げて説明する。
まず、搬送制御装置30は、内部側箇所9に対応する下側第2目標位置に移載装置13を移動させる第1移動処理を実行した後、第1確認処理を実行し、第1投受光装置15aが受光している場合は第1移載処理を実行する。このように第1移載処理を実行することで、内部側箇所9から移載装置13の支持部16に容器1が移載される。
次に、搬送制御装置30は、収納部6に対応する上側第2目標位置に移載装置13を移動させる第2移動処理を実行した後、第2確認処理を実行し、第2投受光装置15bが受光している場合は第2移載処理を実行する。このように第2移載処理を実行することで、移載装置13の支持部16から収納部6に容器1が移載される。
そして、搬送制御装置30は、第1確認処理において第1投受光装置15aが受光していない場合や第2確認処理において第2投受光装置15bが受光していない場合は、搬送制御を中断する非常停止処理を実行する。
このように、搬送制御は、移載対象の収納部6に対応する第2目標位置に移載装置13を移動させた後、投受光装置15にて投射された光を反射板26が反射して投受光装置15にて当該光が受光されている場合は、支持部16を基準位置から第1目標位置に移動させるように、第1モータM1、第2モータM2及び第3モータM3を作動させる制御である。
〔学習用モジュール〕
物品搬送設備には、第1目標位置や第2目標位置を学習するときに用いる学習用モジュール31が備えられている。この学習用モジュール31は、後述する制御装置Hが学習制御を実行するときに、図8に示すように支持部16に支持される。
図8に示すように、学習用モジュール31は、反射板26を撮像する撮像装置32と、反射板26に向けて光を照射する照明装置33(図11参照)と、撮像装置32にて撮像した画像を表示する表示装置34と、学習制御装置35(図11参照)と、を備えている。
学習用モジュール31は、撮像装置32と照明装置33と表示装置34と学習制御装置35とが基台36に固定されて一体化されている。また、学習用モジュール31は、支持部16に対して着脱自在に構成されており、学習用モジュール31を支持部16に取り付けて支持部16にて学習用モジュール31を支持した状態では、移載装置13を昇降及び回転させることで移載装置13と一体的に学習用モジュール31も昇降及び回転する。
学習用モジュール31は、撮像装置32として単眼の撮像装置32を1つのみ備えている。そして、図6に示すように、移載装置13が収納部6に対する上側の適正位置に位置し且つ支持部16が基準位置に位置している状態で、反射板26の正面に撮像装置32が位置して当該反射板26を撮像装置32にて撮像できるように、撮像装置32は学習用モジュール31に備えられている。
学習制御装置35は、複数のパターン画像の夫々についての複数のパターン画像情報と複数のズレ量情報とを対応付けて記憶している。複数のパターン画像情報は、移載装置13が適正位置(上側の適正位置)に位置する状態で撮像装置32にて反射板26を撮像した場合の画像の情報、及び、適正位置からズレ量情報が示すずれ量だけずれた位置に移載装置13が位置する状態で撮像装置32にて反射板26を撮像した場合の画像の情報である。
本実施形態では、図9に示すように、学習制御装置35は、上側の適正位置に位置する状態で反射板26を撮像することで主パターン画像aを生成し、その主パターン画像aに基づいて、上下方向X、周方向Y及び出退方向Zにおいて反射板26と撮像装置32とが相対的にずれたときに撮像されると想定される画像を副パターン画像bとして生成する。そして、学習制御装置35は、主パターン画像aや複数の副パターン画像bをパターン画像情報として記憶するとともに、主パターン画像aについてはズレ量が0を示すずれ量情報と対応付けて記憶し、複数の副パターン画像bについては想定されるズレ量を示すずれ量情報と対応付けて記憶する。
搬送制御装置30と学習制御装置35との協働で学習制御が実行される。そして、搬送制御装置30と学習制御装置35とで、搬送制御と学習制御とを実行する制御装置Hが構成されている。搬送制御装置30と学習制御装置35とは、無線通信により情報を互いに送受信可能に構成されている。
搬送制御装置30は、作業モードと学習モードとを切り換え可能に構成されている。
作業モードは、搬送指令装置(図示せず)から搬送制御装置30への搬送指令情報に基づいて、搬送制御装置30が搬送制御を実行するモードである。例えば、作業モードに切り換えられている状態において、内部側箇所9から収納部6に容器1を搬送する搬送指令情報を搬送制御装置30が受信すると、内部側箇所9から収納部6に容器1を搬送するべく搬送制御を実行する。また、学習モードに切り換えられている状態では、搬送制御装置30に入力された学習情報に基づいて、搬送制御装置30が学習制御装置35と協働で学習制御を実行する。尚、学習情報は、学習対象とする収納部6や内部側箇所9を指定する情報である。
次に、学習制御について説明する。
図13に示すように、学習制御では、第3移動処理、撮像処理、判別処理、更新処理、が実行される。
第3移動処理は、学習対象の収納部6又は内部側箇所9に対応する上側第2目標位置に移載装置13を移動させるべく、第1モータM1及び第2モータM2を作動させる制御である。撮像装置32は、撮像装置32にて反射板26を撮像するべく撮像装置32を作動させる制御である。判別処理は、撮像処理にて撮像装置32が撮像した画像の情報に基づいて、複数のパターン画像情報から当該撮像した画像に近いパターン画像を示すパターン画像情報を選択する処理である。更新処理は、学習前位置の情報と判別処理にて選択したパターン画像情報に対応するズレ量情報とに基づいて、学習対象の収納部6又は内部側箇所9についての第1目標位置及び第2目標位置を記憶する制御である。
このように学習制御では、第3移動処理、撮像処理、判別処理、更新処理の順に実行することで、撮像装置32が撮像した画像の情報に基づいて、複数のパターン画像情報から当該撮像した画像に近いパターン画像についてのパターン画像情報を選択し、学習前位置の情報と選択した当該パターン画像情報に対応するズレ量情報とに基づいて、学習対象の収納部6についての第1目標位置及び第2目標位置を学習する。
ちなみに、物品搬送設備を新たに設置した後、物品搬送設備の運転を開始する前においては、搬送制御装置30に第1目標位置や第2目標位置が記憶されていない場合は、作業者が学習前位置を示す情報を搬送制御装置30に入力して当該入力した情報を学習前位置の情報として学習制御が行われる。尚、学習前位置を示す情報としては、上側の適正位置に相当する位置情報を入力することが好ましい。
また、経年変化により第2目標位置が適正位置からずれた場合において第2目標位置を再学習する場合等のように、物品搬送設備の運転が開始された後において搬送制御装置30に第1目標位置や第2目標位置を示す情報が記憶されている状態で学習制御を実行する場合は、搬送制御装置30に記憶されている上側第2目標位置を示す情報を学習前位置の情報として学習制御が行われる。
学習制御について、学習情報にて学習対象の収納部6として複数の収納部6が指定されている場合を例に挙げて説明する。
まず、搬送制御装置30は、複数ある学習対象の収納部6のうちの1つの収納部6に対応する学習前位置に移動させる第3移動処理を実行した後、撮像処理を実行して撮像装置32にて1つめの学習対象の収納部6に対する反射板26を撮像する。次に、判別処理を実行して、複数のパターン画像情報から撮像した画像に近いパターン画像を示すパターン画像情報を選択する。そして、選択されたパターン画像情報に対応するズレ量情報(出退方向Zのズレ量情報)に基づいて第1目標位置を学習するとともにズレ量情報(上下方向X及び周方向Yのズレ量情報)に基づいて上側第2目標位置を学習し、このズレ量情報と予め設定されている上側第2目標位置と下側第2目標位置との高低差の情報とに基づいて下側第2目標位置を学習する。
その後、学習情報にて指定された収納部6についての学習が全て完了しているか否かを判別し、完了していなければ第3移動処理、撮像処理、判別処理、更新処理を繰り返し実行し、完了していれば学習制御を終了する。
ちなみに、本実施形態では、上側第2目標位置と下側第2目標位置との高低差は、第1移載処理や第2移載処理において移載装置13を昇降させる距離と同じとなっているが、第1移載処理や第2移載処理において移載装置13を昇降させる距離は、当該高低差と異なる距離としてもよい。
このように、学習制御は、移載装置13にて学習用モジュール31を支持し且つ学習対象の収納部6に対応した学習前位置(当該学習制御にて学習する前の第1目標位置)に移載装置13が位置した状態で、撮像装置32にて反射板26を撮像した画像の情報及び学習前位置を示す情報(当該学習制御にて学習する前の第1目標位置を示す情報)に基づいて、学習情報にて指定された学習対象の収納部6についての第1目標位置及び第2目標位置を学習する。
〔別実施形態〕
(1)上記実施形態では、第1領域を矩形状とし第2領域を円形状としたが、第1領域の形状及び第2領域の形状は適宜変更してもよい。
具体的には、例えば、第1領域を円形状に形成し、第2領域を多角形に形成してもよい。また、第2領域の形状を、例えば収納部の番地等の他の情報を含むマトリクス型の二次元コードの外形としてもよい。また、第1領域の形状と第2領域の形状とは異なっていることが好ましいが、第1領域の形状と第2領域の形状とを同じ形状としてもよい。
また、上記実施形態では、第2領域の全周が第1領域に囲まれるように反射体に第2領域を備えたが、反射体の外縁の一部を第2領域にて形成するように反射体に第2領域を備えて、第2領域の一部が第1領域に囲まれないように反射体に第2領域を備えてもよい。
(2)上記実施形態では、第2板を第1板に対して突出方向側に位置させたが、第1板に貫通孔を形成せずに、第2板の外縁が第2領域の外縁を形成する形状に形成して、第2板を第1板に対して引退方向側に位置させてもよい。また、反射体を、第1板と第2板との2枚の板状体にて構成したが、反射体を一枚の板状体にて構成してもよい。
(3)上記実施形態では、第1領域を白色とし、第2領域を赤色としたが、第1領域の色と第2領域の色とは適宜変更してもよい。また、第1領域と第2領域とは、撮像装置として赤外線カメラを用いた場合に撮像した場合や反射板にブラックライトを照射した状態で撮像装置にて撮像した場合等において、その画像から第1領域と第2領域とが別の色と判別できればよい。
(4)上記実施形態では、制御装置に、複数のパターン画像情報と複数のズレ量情報とを対応付けて記憶し、学習制御において、撮像装置が反射体を撮像した画像に近いパターン画像についてのパターン画像情報を選択して、学習前位置とパターン画像情報に対応するズレ量情報に基づいて第1目標位置及び第2目標位置を学習したが、次のように学習制御してもよく、撮像装置にて反射体を撮像した画像の情報及び学習前位置の情報に基づいて第1目標位置及び第2目標位置を学習する学習制御の具体的処理については適宜変更してもよい。
つまり、例えば、学習制御として、撮像装置にて反射体を撮像した画像の情報から第1領域の周縁の位置及び第2領域の周縁の位置を判別し、画像横幅方向や画像上下幅方向における第1領域や第2領域の大きさに基づいて、上下方向、周方向及び出退方向のズレ量を演算により求め、この演算により求めたズレ量と学習前位置の情報とに基づいて第1目標位置及び第2目標位置を学習するようにしてもよい。
また、ズレ量情報(上下方向X及び周方向Yのズレ量情報)に基づいて上側第2目標位置を学習し、このすれ量情報と予め設定されている上側第2目標位置と下側第2目標位置との高低差の情報とに基づいて下側第2目標位置を学習したが、ズレ量情報(上下方向X及び周方向Yのズレ量情報)に基づいて下側第2目標位置を学習し、このズレ量情報と高低差の情報とに基づいて上側第2目標位置を学習するようにしてもよい。
(5)上記実施形態では、上下方向と周方向とに並ぶ状態で収納部を複数並設したが、上下方向とこの上下方向に対して直交する横幅方向に直線状に並ぶ状態で収納部を複数並設してもよい。この場合、例えば、搬送装置としては、走行台車の走行と昇降体の昇降と荷より移載装置を上下方向及び横幅方向に移動させるスタッカークレーンを用いることができる。
また、上下方向、周方向及び横幅方向のうちの一方向にのみ収納部を並設してもよい。また、周方向に収納部を複数並設した場合に、入出搬送装置が設けられていない段についても周方向に4つの収納部のみを並設する等、周方向に並設される収納部の数は適宜変更してもよい。
ちなみに、周方向に並設される収納部同士の間隔や収納部と移載装置との間隔は適宜変更してもよい。また、搬送装置としては、昇降式搬送装置やスタッカークレーンの他に、天井搬送車や床面走行車等の他の搬送装置を用いてもよい。
1 容器(物品)
2 昇降式搬送装置(搬送装置)
6 収納部
13 移載装置
15 投受光装置
16 支持部
26 反射板(反射体)
26a 第1板
26b 第2板
28 貫通孔
31 学習用モジュール
32 撮像装置
E1 第1領域
E2 第2領域
H 制御装置
M1 第1モータ(第1駆動部、上下駆動部)
M2 第2モータ(第1駆動部、回転駆動部)
M3 第3モータ(第2駆動部)
X 上下方向
Y 周方向
Z1 突出方向

Claims (5)

  1. 複数の収納部と、物品を前記収納部に搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御装置と、学習用モジュールと、を備えた物品搬送設備であって、
    前記搬送装置は、物品を支持する支持部を備えた移載装置と、前記移載装置を移動させる第1駆動部と、前記移載装置と一体的に移動する投受光装置と、を備え、
    前記移載装置は、前記支持部を移動させる第2駆動部を備え、前記支持部を基準位置と当該基準位置から前記収納部が存在する方向に突出させた第1目標位置とに移動させて前記支持部と前記収納部との間で物品を移載し、
    前記制御装置に、複数の前記収納部の夫々に対する、前記移載装置が前記支持部と前記収納部との間で物品を移載するときに前記移載装置が位置する第2目標位置を示す情報と、前記第1目標位置を示す情報と、が記憶され、
    前記投受光装置は、前記基準位置から前記第1目標位置に向かう突出方向に沿って投光し、
    複数の前記収納部の夫々は、前記収納部に対する前記移載装置の適正な位置である適正位置に前記移載装置が位置する状態で前記投受光装置からの光を前記投受光装置に反射する反射体を備え、
    前記学習用モジュールは、前記反射体を撮像する単眼の撮像装置を1つのみ備え、
    前記制御装置は、移動制御と学習制御とを実行し、
    前記移動制御は、移載対象の前記収納部に対応する前記第2目標位置に前記移載装置を移動させた後、前記投受光装置にて投射された光を前記反射体が反射して前記投受光装置にて受光されている場合は、前記支持部を前記基準位置から前記第1目標位置に移動させるように、前記第1駆動部及び前記第2駆動部を作動させる制御であり、
    前記学習制御は、前記移載装置にて前記学習用モジュールを支持し且つ学習対象の前記収納部に対応した学習前位置に前記移載装置が位置した状態で、前記撮像装置にて前記反射体を撮像した画像の情報及び前記学習前位置の情報に基づいて、前記学習対象の前記収納部についての前記第1目標位置及び前記第2目標位置を学習し、
    前記反射体は、前記突出方向に見たときの前記反射体の外縁を形成する第1領域と、前記第1領域内において前記第1領域に囲まれる第2領域と、を備え、
    前記第1領域と前記第2領域とは、反射する光の反射率と波長との関係が異なる物品搬送設備。
  2. 前記反射体は、前記第1領域を形成する第1板と、前記第2領域を形成する第2板とを備え、
    前記第1板は、その外縁が前記第1領域の外縁と同じ形状に形成され且つ前記突出方向に前記第2領域の外縁と同じ形状の貫通孔が形成され、
    前記第2板は、前記第1板に対して前記突出方向に位置し且つ前記第1板における前記貫通孔を塞ぐ状態で備えられている請求項1記載の物品搬送設備。
  3. 前記制御装置は、複数のパターン画像の夫々を示す複数のパターン画像情報と複数のズレ量情報とを対応付けて記憶し、
    複数の前記パターン画像情報は、前記移載装置が前記適正位置に位置する状態で前記撮像装置にて前記反射体を撮像した場合の画像の情報、及び、前記適正位置から前記ズレ量情報が示すずれ量だけずれた位置に前記移載装置が位置する状態で前記撮像装置にて前記反射体を撮像した場合の画像の情報であり、
    前記学習制御は、前記撮像装置が撮像した画像の情報に基づいて、複数の前記パターン画像情報から当該撮像した画像に近いパターン画像を示す前記パターン画像情報を選択し、前記学習前位置の情報と選択した当該パターン画像情報に対応する前記ズレ量情報とに基づいて、前記学習対象の前記収納部についての前記第1目標位置及び前記第2目標位置を学習する請求項1又は2記載の物品搬送設備。
  4. 前記第1駆動部は、前記移載装置を上下方向に移動させる上下駆動部と、上下方向に沿う回転軸心を中心に前記移載装置を回転させる回転駆動部と、を備え、
    前記収納部は、上下方向にみて前記回転軸心を中心とした周方向に沿って複数並設されている請求項1から3の何れか1項に記載の物品搬送設備。
  5. 前記第1領域の外縁は、矩形状であり、前記第2領域の外縁は、円形状である請求項1から4のいずれか1項に記載の物品搬送設備。
JP2015225076A 2015-11-17 2015-11-17 物品搬送設備 Active JP6531629B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015225076A JP6531629B2 (ja) 2015-11-17 2015-11-17 物品搬送設備
TW105137395A TWI694045B (zh) 2015-11-17 2016-11-16 物品搬送設備
US15/352,956 US9682821B2 (en) 2015-11-17 2016-11-16 Article transport facility
KR1020160152510A KR102424654B1 (ko) 2015-11-17 2016-11-16 물품 반송 설비
CN201611011914.3A CN106865085B (zh) 2015-11-17 2016-11-17 物品输送设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015225076A JP6531629B2 (ja) 2015-11-17 2015-11-17 物品搬送設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017088395A true JP2017088395A (ja) 2017-05-25
JP6531629B2 JP6531629B2 (ja) 2019-06-19

Family

ID=58691362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015225076A Active JP6531629B2 (ja) 2015-11-17 2015-11-17 物品搬送設備

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9682821B2 (ja)
JP (1) JP6531629B2 (ja)
KR (1) KR102424654B1 (ja)
CN (1) CN106865085B (ja)
TW (1) TWI694045B (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6597551B2 (ja) * 2016-10-21 2019-10-30 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US10703563B2 (en) * 2017-11-10 2020-07-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Stocker
US11778956B2 (en) * 2018-04-06 2023-10-10 Walmart Apollo, Llc Automated vertical farming system using mobile robots
CN108792360B (zh) * 2018-07-20 2023-09-26 北京瑞华康源科技有限公司 一种污物回收系统及方法
JP7184003B2 (ja) * 2019-09-17 2022-12-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備
WO2021053833A1 (ja) * 2019-09-20 2021-03-25 株式会社Fuji 保管庫
CN111739780B (zh) * 2020-07-29 2020-12-01 山东元旭光电股份有限公司 一种自动上片机

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01174902A (ja) * 1987-12-29 1989-07-11 Kawasaki Steel Corp ターゲツトを有するパレツト
JPH09309083A (ja) * 1996-05-27 1997-12-02 Kokusai Electric Co Ltd 搬送装置
JP2010083593A (ja) * 2008-09-29 2010-04-15 Daifuku Co Ltd 物品収納設備における学習装置
JP2012159470A (ja) * 2011-02-02 2012-08-23 Toyota Motor Corp 車両用画像認識装置
JP2013206970A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Daifuku Co Ltd 物品保管設備及び物品搬送設備

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100485439B1 (ko) * 2001-10-19 2005-04-27 가부시키가이샤 다이후쿠 현수 반송설비와 그 학습장치
JP2004276151A (ja) * 2003-03-13 2004-10-07 Yaskawa Electric Corp 搬送用ロボットおよび搬送用ロボットの教示方法
JP2005093821A (ja) * 2003-09-18 2005-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体検査装置、及びそれに使用するウェハ
JP4993614B2 (ja) * 2008-02-29 2012-08-08 東京エレクトロン株式会社 搬送手段のティーチング方法、記憶媒体及び基板処理装置
BRPI0906261A2 (pt) * 2008-03-31 2015-07-07 Genentech Inc "métodos de diagnóstico de um subtipo de asma em uma amostra de paciente, usos de um agente terapêutico e kits de diagnóstico de um subtipo de asma em uma amostra de paciente"
JP5321913B2 (ja) * 2009-12-07 2013-10-23 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP5884507B2 (ja) 2012-01-23 2016-03-15 株式会社ダイフク 物品保管設備の学習方法
KR101496788B1 (ko) * 2013-02-21 2015-02-27 주식회사 신성에프에이 스토커의 오토 티칭 시스템

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01174902A (ja) * 1987-12-29 1989-07-11 Kawasaki Steel Corp ターゲツトを有するパレツト
JPH09309083A (ja) * 1996-05-27 1997-12-02 Kokusai Electric Co Ltd 搬送装置
JP2010083593A (ja) * 2008-09-29 2010-04-15 Daifuku Co Ltd 物品収納設備における学習装置
JP2012159470A (ja) * 2011-02-02 2012-08-23 Toyota Motor Corp 車両用画像認識装置
JP2013206970A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Daifuku Co Ltd 物品保管設備及び物品搬送設備

Also Published As

Publication number Publication date
TWI694045B (zh) 2020-05-21
TW201722818A (zh) 2017-07-01
CN106865085B (zh) 2020-04-24
CN106865085A (zh) 2017-06-20
KR20170057846A (ko) 2017-05-25
US9682821B2 (en) 2017-06-20
US20170137220A1 (en) 2017-05-18
JP6531629B2 (ja) 2019-06-19
KR102424654B1 (ko) 2022-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102424654B1 (ko) 물품 반송 설비
US10233039B2 (en) Raising/lowering conveyance apparatus for article conveying container with container condition sensors
US10431485B2 (en) Article transport facility
JP5945968B2 (ja) ロボットハンド、ロボットシステム、及び物品のデパレタイズ方法
TW201641412A (zh) 物品搬送設備及檢查單元
WO2018066230A1 (ja) 搬送装置、及び搬送方法
CN113056406B (zh) 桥式吊车、桥式吊车系统、以及障碍物的检测方法
US10964573B2 (en) Ceiling carrier vehicle
WO2023036221A1 (zh) 一种集装箱锁销拆装系统及其工作方法
JP6743967B2 (ja) 天井搬送車システム及びティーチングユニット
US20240153806A1 (en) Apparatus and method for automated wafer carrier handling
KR102421675B1 (ko) 반송 장치 및 제어 방법
JP7310854B2 (ja) 搬送装置
US11345541B2 (en) Article transport facility
CN115910877A (zh) 装载端口
CN215658835U (zh) 一种集装箱锁销拆装系统
JP2012086955A (ja) 物品搬送装置
US20240153805A1 (en) Transport Vehicle
JP6795361B2 (ja) 搬送設備
TWI487652B (zh) Automatic warehouse and item confirmation control method
JP2006264968A (ja) 物品移載装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180926

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181016

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190423

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190506

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6531629

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250