JP2017087197A - 触媒の製造方法、および触媒 - Google Patents
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Abstract
Description
メタンを分解するために用いられる触媒としては、一般的に、含浸法などによって金属を担体に担持させた担持触媒が用いられる。担持触媒は、例えば、ハニカム構造の基材等に保持された状態で使用される(非特許文献1)。しかし、担持触媒は、メタン分解性能が十分でないため、より多くのメタンを分解するためには、例えば、触媒の量を増やすために触媒を保持する装置全体のサイズを大きくする必要がある。
本発明は、比較的低温でも十分な触媒機能が得られる触媒を製造することができる触媒の製造方法、および触媒を提供することを目的とする。
担体に触媒機能付き材料を担持させた触媒の製造方法であって、
前記触媒機能付き材料から主に構成される20nm以下のサイズの複数の粒子を前記担体の表面に形成するステップを含み、
前記粒子は、前記担体の表面に沿った面内において、1×1010〜1×1015個/cm2の密度で形成され、
前記面内における前記粒子の密度の変動係数は50%以内であることを特徴とする。
担体と、
前記担体の表面に担持され、触媒機能付き材料から主に構成される20nm以下のサイズの複数の粒子と、を備え、
前記粒子は、1×1010〜1×1015個/cm2の密度で担持され、
前記担体の表面に沿った面内における前記粒子の密度の変動係数は50%以内であることを特徴とする。
(触媒)
本実施形態の触媒について説明する。
図1および図2に、本実施形態の触媒の例を模式的に示す。図1および図2の触媒1は、後述する触媒の製造方法によって製造されたものである。
本実施形態の触媒1は、担体2と、担体2に担持された複数の粒子9と、を含む。粒子9は、触媒機能付き材料(以降、触媒材料という)から主に構成される、20nm以下のサイズの粒子である。粒子9は、担体2の表面に沿った面内(以降、単に面内ともいう)において、1×1010〜1×1015個/cm2の密度で担持されている。面内における粒子9の密度の変動係数は50%以内である。
担体の材質として、金属酸化物、金属、セラミックス、その他の材質が挙げられる。金属としては、例えば、Al、Feが挙げられる。金属酸化物としては、例えば、アルミナ、チタニア、酸化バナジウム、酸化錫が挙げられる。その他の材質としては、例えば、シリコン、ゼオライト、金属窒化物、金属炭化物が挙げられる。担体に用いられる材質は、1種であってもよく、複数種であってもよい。複数種の材質を用いる例として、互いに異なる材料で構成された、基板、および、基板表面に形成された酸化膜、が挙げられる。
担体2は、担体の一例に過ぎず、例えば、1種の材質からなるバルクであってもよい。バルクは、特に制限されないが、例えば、アルミナ等の金属酸化物を材質とする。
触媒材料は、触媒機能を有する材料であれば、特に制限されることなく用いることができる。触媒機能とは、対象とする化学反応を促進(低温化、高速化)させる機能をいい、例えば酸化および還元のいずれの反応を生じさせるものであってもよい。触媒機能の具体例として、炭化水素ガスの分解(例えばメタンの一酸化炭素への酸化)、窒素酸化物(NOX)の分解(例えばN2への還元)、硫黄酸化物(SOX)の分解(例えば硫黄への還元)、臭気あるいは毒性を有する物質の分解(例えば、アルデヒドのCO2+O2への酸化)、水素ガスの活性化(H2のイオン化もしくはラジカル化)等が挙げられる。
なお、触媒1には、20nmを超えるサイズの粒子が含まれていてもよい。この場合、単位測定領域に含まれる、20nmを超えるサイズの粒子のすべての粒子の数に占める割合は、例えば10%以下である。なお、図1および図2において、粒子9のサイズは、説明の便宜のため、粒子9の間で均一に示されているが、所定の範囲でばらつきを有していていもよい。この点は後述する。また、粒子9の形状は、図1および図2に示されるとおりには制限されない。
密度の変動係数(%)=(密度の標準偏差)/(密度の平均値)×100
測定領域には、面内から無作為に抽出された20箇所以上の領域を用いることが好ましい。測定領域は、特に制限されないが、例えば、1μm四方の正方形の領域とすることができる。粒子9の密度の変動係数が上記範囲にあることで、対象とする反応を促進するのに最適な密度で均一に分散した粒子9を得ることができる。粒子の密度の変動係数は、好ましくは30%以内である。
サイズの変動係数(%)=(サイズの標準偏差)/(サイズの平均値)×100
測定領域には、面内から無作為に抽出された30箇所以上の領域を用いることが好ましい。測定領域は、例えば、1μm四方の正方形の領域とすることができる。粒子9のサイズの変動係数は、好ましくは30%以内である。
また、本実施形態の触媒1は、担体2と粒子9との密着性が良好であることで、耐薬品性にも優れている。含浸法で作製した触媒は、強酸の溶液中に浸漬すると、粒子等の触媒材料が担体から容易に剥がれ落ちてしまうが、本実施形態の触媒1では、粒子9が担体2から剥離し難い。
次に、本実施形態の触媒の製造方法について説明する。
本実施形態の触媒の製造方法は、担体に触媒材料を担持させた触媒の製造方法であって、複数の粒子を担体の表面に形成するステップを含む。複数の粒子は、触媒機能付き材料から主に構成される20nm以下のサイズのものであり、上記説明したものと同様である。
本実施形態の触媒の製造方法は、種々の方法を用いて行うことができるが、ここでは原子層堆積法(ALD)を用いて、ALD装置の成膜室(処理空間)内で行う場合を例に説明する。
粒子を形成するステップは、具体的には、成膜室への原料ガスの供給、および、成膜室への反応ガスの供給、を交互に行いことによって行われ、さらに、成膜室内に原料ガスを供給した後、原料ガスを成膜室内に保持すること、および、処理空間に反応ガスを供給した後、反応ガスを成膜室内に保持すること、を行うことが好ましい。原料ガス、反応ガスの保持は、具体的には、原料ガス、反応ガスを成膜室内に供給した後、ALD装置に設けられた後述するバルブを閉じて成膜室を密閉(封止)することで行われる。原料ガス、反応ガスは、成膜室内で保持された後、それぞれ成膜室から排気される。このように、粒子を形成するステップでは、原料ガスの供給、原料ガスの保持、原料ガスの排気、反応ガスの供給、反応ガスの保持、反応ガスの排気を行うことを1つのサイクルとして、このサイクルを繰り返す。原料ガスの排気は、反応ガスの成膜室への供給と並行して行われてもよい。
なお、本実施形態で用いられるALD装置の成膜室には、原料ガスの供給源および反応ガスの供給源がそれぞれ接続されている。原料ガスは、成膜室に至る経路の途中で、N2等のキャリアガスと混合され、混合ガスとして成膜室に供給される。また、成膜室には、成膜室を減圧するための減圧装置(例えば真空ポンプ)がバルブを介して接続されており、バルブを開くことにより、原料ガス、反応ガスの供給、排気を行い、バルブを閉じることにより、原料ガス、反応ガスの保持を行うことができる。
また、本実施形態の触媒の製造方法では、担体として、曲げ加工等が可能な板状部材(例えば金属板)を用いて粒子を形成するステップを行い、粒子を形成するステップの後、粒子が形成された板状部材に対し、曲げ加工等を行うステップを行ってもよい。このステップを行うことによって、例えばハニカム構造等の構造体を形成し、触媒装置として用いることができる。
以下、実施例を示して、本発明をより具体的に説明する。
上記説明したALD装置の成膜室内で、厚さ0.7mm、6インチ四方のシリコン基板を、ステージ上に載置し、成膜室を100Paに減圧し、シリコン基板を150〜200℃に加熱し、この状態で、トリメチルアルミニウムとオゾンを交互に供給しながら、シリコン基板状に、厚さ20nmのアルミナ酸化膜を作製した。続けて、ステージを300〜350℃未満に維持しながらアルミナ酸化膜付きシリコン基板を270℃に加熱した状態で、トリメチルメチルシクロペンタジエニルプラチナ((CH3)3(CH3C5H4)Pt)とN2との混合ガスと、オゾンガスとを交互に成膜室内に供給しながら作製した。その際、原料ガスの供給を1.5秒、その後の成膜室の封止を5秒、オゾンの供給(並行して原料ガスの排気)を2秒、その後の成膜室の封止を10秒、オゾンの排気を5秒、順に行うことを1サイクルとして、このサイクルを50回繰り返し、触媒を作製した。成膜室の圧力は、オゾン供給時の圧力で5kPaとした。また、サイクルを140回繰り返した点を除いて、サイクル数50回で触媒を作製したときと同じ条件で、触媒を作製した。
上記の要領で得られた触媒のSEM画像(図3および図4)を観察し、サイズ、密度の測定、および密度の変動係数を計算したところ、サイクル数が50回であった触媒に関して、20nm以下のサイズの粒子が1.4×1012個/cm2の密度で、かつ、密度の変動係数が10%以内であることが確認された。図3および図4に、サイクル数50回、140回で作製した触媒の平面方向のSEM画像を示す。また、サイクル数が140回であった触媒は、20nm以下のサイズの粒子が1×1012個/cm2の密度で、かつ、密度の変動係数が10%以内であることが確認された。測定は、走査範囲500nmで行った。測定結果に基づいて、担体表面に沿った面内の密度を求めた。また、面内において、60nm四方の測定領域20箇所を無作為に抽出し、それぞれにおいてSEM画像に基づいて各領域の密度を求め、上記式を用いて、密度の変動係数を計算した。合わせて、同じ測定領域のSEM画像に基づいて、各領域に含まれる粒子のサイズを測定し、上記式を用いてサイズの変動係数を計算した。
図5および図6に、サイクル数50回、140回で作製した触媒の高さ方向(図5および図6の上下方向)のSEM画像を示す。図5および図6のいずれにも、担体の表面に複数の粒子が独立して形成されていることを確認できた。図6に示されるように、粒子同士が接触している場合であっても、その界面が明りょうに表れており、一体化せずに独立して存在していることを確認できた。
なお、得られた触媒を、X線光電子分光(XPS)装置を用いて分析したところ、70.9eVと74eVの2箇所で白金の鋭いピークが現れており、粒子が白金からなることを確認できた。
担体として、充填容積5cm3分の粒径2mmのアルミナボールに、上記ALD装置を用いて、ボールの表面に白金の粒子を形成した。製造条件は、成膜温度を120℃とした点を除いて、上記した粒子の形態を確認したときと同様の条件(サイクル数140回)で触媒を作製した。ランダムに取り出した5個のいずれのアルミナボールの表面にも、20nm以下のサイズの粒子が、密度1×1012個/cm2で、変動係数10%で形成されていることを確認できた。図7に、このうちの1個の白金付きアルミナボール(触媒)の表面のSEM画像を示す。変動係数を計算するための測定領域は、各ボール表面の面内において、60nm四方の測定領域20箇所を抽出した。得られた触媒を用いて、下記要領でメタン分解試験を行った。
メタン分解率(%)=(1―反応管を加熱したときの反応管の出口側のメタン濃度/常温の反応管の出口側のメタン濃度)×100
結果を、図8に、■のプロットで示す。図8は、反応温度ごとのメタン分解率を示すグラフである。
これとは別に、触媒として、含浸法によって作製した触媒を用い、反応管内にセットした点を除いて同様の試験を行った。触媒の作製は、まず、蒸留水に塩化白金塩を溶解した塩化白金塩溶液にアルミナボールを浸漬し、70℃に保ったまま1時間撹拌し、その後取り出し、12時間真空乾燥を行った。次いで、500℃で5時間焼成し、400℃で4時間、H2還元を行って、0.5質量%の白金担持アルミナボールを得た。結果を、図8に、◆のプロットで示す。
また、反応管内に触媒をセットしなかった点を除いて同様の試験を行った。結果を、図8に、▲のプロットで示す。
また、本実施形態の触媒に含まれる触媒材料の重量は、含浸法で作製した触媒に含まれる触媒材料の重量の1/50程度であった。このことから、本実施形態の触媒によれば、含浸法で作製した触媒と比べ、ガス分解率が3倍程度であるにも関わらず、用いられる触媒材料の重量は1/50以下で済むことがわかった。この理由は、本実施形態の触媒では、20nm以下のサイズの粒子が高密度に均等に配置されているのに対し、含浸法で作製した触媒では、そのような形態で粒子が配置されていないためと考えられる。
2 担体
5 触媒材料(触媒機能付き材料)
7 膜
9 粒子
Claims (6)
- 担体に触媒機能付き材料を担持させた触媒の製造方法であって、
前記触媒機能付き材料から主に構成される20nm以下のサイズの複数の粒子を前記担体の表面に形成するステップを含み、
前記粒子は、前記担体の表面に沿った面内において、1×1010〜1×1015個/cm2の密度で形成され、
前記面内における前記粒子の密度の変動係数は50%以内であることを特徴とする触媒の製造方法。 - 前記面内における前記粒子のサイズの変動係数は50%以内である、請求項1に記載の触媒の製造方法。
- 前記粒子にハロゲンが実質的に含まれていない、請求項1または2に記載の触媒の製造方法。
- 前記粒子を形成するステップでは、350℃未満の温度に維持された支持手段で前記担体を支持しながら前記粒子を形成する、請求項1から3のいずれか1項に記載の触媒の製造方法。
- 前記触媒構造を形成するステップでは、前記触媒機能付き材料として、周期表の第4族および第8族〜第11族に含まれる金属の中から選択された1種以上の金属を含有する原料ガスと、オゾン、酸素ラジカル、酸素イオン、酸素プラズマのうち少なくともいずれか1種と、を用いて前記粒子を形成する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の触媒の製造方法。
- 担体と、
前記担体の表面に担持され、触媒機能付き材料から主に構成される20nm以下のサイズの複数の粒子と、を備え、
前記粒子は、1×1010〜1×1015個/cm2の密度で担持され、
前記担体の表面に沿った面内における前記粒子の密度の変動係数は50%以内であることを特徴とする触媒。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070265159A1 (en) * | 2006-03-06 | 2007-11-15 | Elam Jeffrey W | Method of preparing size-selected metal clusters |
JP2008525635A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 化学気相堆積によって基質の上に分散した金属または金属合金のナノ粒子を調製する方法 |
JP2009178644A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Japan Fine Ceramics Center | 金属微粒子担持体の製造方法及び金属微粒子担持体 |
JP2011500327A (ja) * | 2007-10-29 | 2011-01-06 | イエフペ エネルジ ヌヴェル | パラジウム含有触媒および選択的水素化におけるその適用 |
JP2015525286A (ja) * | 2012-05-22 | 2015-09-03 | コリア インスティテュート オブ インダストリアル テクノロジー | 高機能性複合ナノ粒子およびその製造方法 |
-
2015
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008525635A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 化学気相堆積によって基質の上に分散した金属または金属合金のナノ粒子を調製する方法 |
US20070265159A1 (en) * | 2006-03-06 | 2007-11-15 | Elam Jeffrey W | Method of preparing size-selected metal clusters |
JP2011500327A (ja) * | 2007-10-29 | 2011-01-06 | イエフペ エネルジ ヌヴェル | パラジウム含有触媒および選択的水素化におけるその適用 |
JP2009178644A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Japan Fine Ceramics Center | 金属微粒子担持体の製造方法及び金属微粒子担持体 |
JP2015525286A (ja) * | 2012-05-22 | 2015-09-03 | コリア インスティテュート オブ インダストリアル テクノロジー | 高機能性複合ナノ粒子およびその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113164923A (zh) * | 2018-12-27 | 2021-07-23 | 优美科触媒日本有限公司 | 废气净化用催化剂和废气净化方法 |
CN113164923B (zh) * | 2018-12-27 | 2024-04-19 | 优美科触媒日本有限公司 | 废气净化用催化剂和废气净化方法 |
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