JP2017073268A - 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 142
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 66
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 429
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 58
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 32
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 25
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 23
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 10
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 10
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 8
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 3
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 279
- 239000010408 film Substances 0.000 description 75
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 47
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
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- H05B33/22—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/123—Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
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- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
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- H10K50/00—Organic light-emitting devices
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- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/82—Cathodes
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- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K50/852—Arrangements for extracting light from the devices comprising a resonant cavity structure, e.g. Bragg reflector pair
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
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- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
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- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/302—Details of OLEDs of OLED structures
- H10K2102/3023—Direction of light emission
- H10K2102/3026—Top emission
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
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- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8426—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
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- H10K50/844—Encapsulations
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- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
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- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
- H10K59/352—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels the areas of the RGB subpixels being different
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/873—Encapsulations
- H10K59/8731—Encapsulations multilayered coatings having a repetitive structure, e.g. having multiple organic-inorganic bilayers
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Abstract
【解決手段】有機EL装置100は、素子基板10に設けられた、有機EL素子30と、有機EL素子30を覆う封止層34と、封止層34上に設けられたカラーフィルター36と、を備え、カラーフィルター36は、有機EL素子30G,30Rと平面視で重なる着色層36G,36Rと、有機EL素子30Bと平面視で重なる透明層36Tとを含む。
【選択図】図4
Description
この構成によれば、透明層を基準として、封止層上における着色層の位置を精度よく位置決めできる。したがって、第1有機EL素子からの発光を確実に着色層を透過させて取り出すことができる。ゆえに、優れた表示品質を有する有機EL装置を提供できる。
第1コンタクト部及び第2コンタクト部は、第1及び第2有機EL素子の他の部分に比べて凹凸が生ずるおそれがある。該凹凸が生じた部分で発光が散乱すると、光学特性の低下を招くおそれがある。この構成によれば、着色層は、平面視で第1コンタクト部と第2コンタクト部とに重なって設けられているため、該凹凸の部分で散乱した不必要な発光の少なくとも一部が着色層により吸収されるため、光学特性の低下を抑制することができる。
この構成によれば、フォトリソグラフィー法を用いて着色層及び透明層を形成することが可能となることから、封止層上において位置精度よく着色層及び透明層を配置できる。
この構成によれば、光透過性に優れた透明層とすることができる。
この構成によれば、第1有機EL素子及び第2有機EL素子から互いに異なる共振波長の発光が得られる。第1有機EL素子からの発光は着色層を透過することから色純度がさらに高まる。また、第2有機EL素子からの発光は透明層を透過するものの、共振波長に基づく色純度の光を取り出すことができる。つまり、見栄えのよいカラー表示が可能となる。
この構成によれば、封止層に加えて第2基板を有することから、外部から水分や酸素などが有機EL素子に侵入することを抑制して、安定した発光が得られると共に発光寿命が長い有機EL装置を提供できる。
この構成によれば、第2有機EL素子からの発光は透明層を透過して取り出されることから、第1有機EL素子に比べて第2有機EL素子の発光面積を小さくしても所望の明るさを得ることが可能となる。
この構成によれば、有機EL素子からの発光における明るさは発光面積に依存する。つまり、第2有機EL素子の発光面積を大きくすれば、第1有機EL素子を流れる電流量に比べて少ない電流量で第1有機EL素子と同程度の明るさの光を第2有機EL素子から取り出すことが可能となる。
このように、発光が着色層を透過する第1有機EL素子の発光面積に対して、発光が透明層を透過する第2有機EL素子の発光面積を調整することで、第1有機EL素子及び第2有機EL素子間の明るさの調整や消費電力の調整を可能とし、発光寿命を含めて優れた光学特性を有する有機EL装置を実現できる。
この方法によれば、フォトリソグラフィー法を用いて着色層及び透明層を形成することから、封止層上において位置精度よく着色層及び透明層を形成できる。
この方法によれば、フォトリソグラフィー法を用いて着色層及び透明層を形成する場合、透明層の方が高い位置精度を実現し易い。したがって、透明層を先に形成することで、透明層を基準として着色層を位置精度よく形成できる。
第1コンタクト部及び第2コンタクト部は、第1及び第2有機EL素子の他の部分に比べて凹凸が生ずるおそれがある。該凹凸が生じた部分で発光が散乱すると、光学特性の低下を招くおそれがある。この方法によれば、着色層は、平面視で第1コンタクト部と第2コンタクト部とに重なって形成されるため、該凹凸の部分で散乱した不必要な発光の少なくとも一部を着色層で吸収させ、光学特性の低下を抑制することができる。
この方法によれば、第1有機EL素子及び第2有機EL素子のそれぞれに対応して光共振構造が形成され、第1有機EL素子及び第2有機EL素子から互いに異なる共振波長の発光が得られる。第1有機EL素子からの発光は着色層を透過することから色純度がさらに高まる。また、第2有機EL素子からの発光は透明層を透過するものの、共振波長に基づく色純度の光を取り出すことができる。つまり、見栄えのよいカラー表示が可能な有機EL装置を製造することができる。
この方法によれば、封止層に加えて第2基板を第1基板に充填剤を介して貼り合わせることから、外部から水分や酸素などが有機EL素子に侵入することを抑制して、安定した発光が得られると共に発光寿命が長い有機EL装置を製造することができる。
本適用例によれば、優れた光学特性を有する有機EL装置を備えていることから、高い表示品質を有する電子機器を提供することができる。
<有機EL装置>
まず、本実施形態の有機EL装置について、図1〜図5を参照して説明する。図1は第1実施形態の有機EL装置の構成を示す概略平面図、図2は有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図、図3は有機EL装置のサブ画素における有機EL素子とカラーフィルターの配置を示す概略平面図である。図4は図3のA−A’線に沿ったサブ画素の構造を示す概略断面図、図5は図3のB−B’線に沿ったサブ画素における画素電極のコンタクト部の構造を示す概略断面図である。
本実施形態に係る有機EL装置100は、後述するヘッドマウントディスプレイ(HMD)の表示部に好適な自発光型のマイクロディスプレイである。
なお、素子基板10は本発明における「第1基板」の一例である。保護基板40は、本発明における「第2基板」の一例である。
以降の説明では、サブ画素18B、サブ画素18G、及びサブ画素18Rを総称して、サブ画素18と称する場合がある。
なお、図1では、表示領域Eにおけるサブ画素18B,18G,18Rの配置を示しているが、行方向(X方向)におけるサブ画素18の配置は、B、G、Rの順であることに限定されない。例えば、G,B,Rの順であってもよい。また、サブ画素18の配置は、ストライプ方式であることに限定されず、デルタ方式や、ベイヤー方式、Sストライプ方式であってもよく、加えて、サブ画素18B,18G,18Rの形状や大きさは同じであることに限定されない。
図2に示すように、有機EL装置100は、互いに交差する走査線12及びデータ線13と、電源線14とを有している。走査線12は走査線駆動回路16に電気的に接続され、データ線13はデータ線駆動回路15に電気的に接続されている。また、走査線12とデータ線13とで区画された領域にサブ画素18が設けられている。
なお、画素回路20の構成は、2つのトランジスター21,23を有することに限定されず、例えば、有機EL素子30に流れる電流を制御するためのトランジスターをさらに備えていてもよい。
次に、図3を参照して、サブ画素18における有機EL素子30の画素電極31及びカラーフィルター36の配置について説明する。
図3に示すように、X方向とY方向とにマトリックス状に配置された複数のサブ画素18には、それぞれ有機EL素子30の画素電極31が配置されている。具体的には、X方向に並ぶ、サブ画素18Bには有機EL素子30Bの画素電極31Bが配置され、サブ画素18Gには有機EL素子30Gの画素電極31Gが配置され、サブ画素18Rには有機EL素子30Rの画素電極31Rが配置されている。画素電極31B,31G,31Rのそれぞれは、平面視で長方形であり、長手方向がY方向に沿って配置されている。本実施形態では、画素電極31B,31G,31RのY方向の長さは同じである。また、画素電極31BのX方向の長さは、他の画素電極31G,31RのX方向の長さよりも短い。
次に、図4及び図5を参照して、有機EL装置100におけるサブ画素18の構造について説明する。
図4に示すように、有機EL装置100は、充填剤42を介して対向配置された素子基板10と保護基板40とを有している。充填剤42は、素子基板10と保護基板40とを接着する役割を有し、光透過性を有する例えばエポキシ樹脂やアクリル樹脂などで構成されている。
なお、基板本体11は、シリコンなどの半導体基板に限定されず、例えば石英やガラスなどの基板であってもよい。換言すれば、画素回路20を構成するトランジスターは、半導体基板にアクティブ層を有するMOS型トランジスターであってもよいし、石英やガラスなどの基板に形成された薄膜トランジスターや電界効果トランジスターであってもよい。
第1封止層34a及び第2封止層34cは、例えばプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法などを用いて形成された例えば酸窒化シリコンで構成され、水分や酸素に対して高いバリア性を有している。
発光機能層32で発した光は、反射層25と対向電極33との間で繰り返し反射され、反射層25と対向電極33との間の光学的な距離に対応する特定波長(共振波長)の光の強度が増幅され、表示光として保護基板40からZ方向に射出される。
これに対して、サブ画素18Gの有機EL素子30Gに封止層34を介して着色層36Gが配置され、サブ画素18Rの有機EL素子30Rに封止層34を介して着色層36Rが配置されている。したがって、540nmをピーク波長とする緑色光(G)が着色層36Gを透過することによって色純度が高められ、610nmをピーク波長とする赤色光(R)が着色層36Rを透過することによって色純度が高められる。その一方で、緑色光(G)や赤色光(R)は着色層を透過することで輝度が低下する。
本実施形態では、素子基板10の基板本体11としてシリコンなどの半導体基板が用いられている。画素回路20を構成するスイッチング用トランジスター21や駆動用トランジスター23は、MOS型トランジスターである。具体的には、図5に示すように、基板本体11には、半導体基板にイオンを注入することによって形成されたウェル部10Wと、ウェル部10Wとは異なる種類のイオンをウェル部10Wに注入することにより形成されたアクティブ層であるイオン注入部10Dとが設けられている。ウェル部10Wは、画素回路20におけるトランジスター21,23のチャネルとして機能する。イオン注入部10Dは、画素回路20におけるトランジスター21,23のソース・ドレインや配線の一部として機能する。なお、図5では、駆動用トランジスター23のドレインとして機能するイオン注入部10Dと、ウェル部10Wとを示すものである。
基板本体11上において、絶縁膜10aと反射層25との間には3つの層間絶縁膜10e,10f,10gが順に積層されている。層間絶縁膜10e,10f,10gが設けられた複数の配線層において、前述した走査線12、データ線13、電源線14、あるいは蓄積容量22が設けられている。
画素電極31Bは、第1絶縁膜26aを貫通して中継層25Bに至るコンタクトホールの内部を被覆するように形成され、中継層25Bに電気的に接続されている。中継層25Bは、層間絶縁膜10e,10f,10g及び絶縁膜10aを貫通して駆動用トランジスター23のドレイン(イオン注入部10D)に至るコンタクトホールを埋めた導電部材により、駆動用トランジスター23に電気的に接続されている。
画素電極31Gは、第1絶縁膜26a及び第2絶縁膜26bを貫通して中継層25Gに至るコンタクトホールの内部を被覆するように形成され、中継層25Gに電気的に接続されている。画素電極31Rは、第1絶縁膜26a及び第2絶縁膜26b並びに第3絶縁膜26cを貫通して中継層25Rに至るコンタクトホールの内部を被覆するように形成され、中継層25Rに電気的に接続されている。
中継層25G及び中継層25Rのそれぞれもまた、層間絶縁膜10e,10f,10g及び絶縁膜10aを貫通して駆動用トランジスター23のドレイン(イオン注入部10D)に至るコンタクトホールを埋めた導電部材により、駆動用トランジスター23に電気的に接続されている。
図6は図1のH−H’線に沿った有機EL装置の概略断面図、図7及び図8は隣り合うサブ画素の境界における素子基板の構造を示す断面図である。詳しくは、図7はサブ画素18Rとサブ画素18Bとの境界における素子基板10の構造を示す断面図、図8はサブ画素18Bとサブ画素18Gとの境界における素子基板10の構造を示す断面図である。
なお、図6は、有機EL装置100の構造を簡略化して示す断面図であり、素子基板10の構成要素のうち有機EL素子30と封止層34とカラーフィルター36とが図示され、素子基板10の他の構成要素の図示が省略されている。図7及び図8では、素子基板10が拡大されて図示され、充填剤42及び保護基板40の図示が省略されている。
一方で、角度θ1が臨界角αと等しいかそれよりも大きい場合、有機EL素子30で発せられた光L1は、保護基板40と大気71との界面で全反射され、素子基板10の側に向かう。つまり光L3の強度が強くなって光L1を効率よく取り出すことができなくなる。
なお、光L1とZ方向とがなす角度θ1と、光L3とZ方向とがなす角度は同じである。例えば、角度θ1が臨界角α(45度)である場合Z方向となす角度が臨界角α(45度)の光L3が素子基板10の側に向かい、角度θ1が70度である場合Z方向となす角度が70度の光L3が素子基板10の側に向かう。
詳しくは、角度θ1が臨界角αと同じまたは臨界角αより大きい場合の光L3は、角度θ1が臨界角αより小さい場合の光L3よりも輝度が格段に大きくなるので、全反射による光L3が、絶縁膜28の開口部の端部に入射すると、表示に与える悪影響が大きくなる。
つまり、図7において、光L3AとZ方向とがなす角度は概略45度であり、光L3BとZ方向とがなす角度は概略45度よりも大きい。
ゆえに、本実施形態では、着色層36Rの膜厚RD1は、着色層36Rの端部R1と開口部28KBの端部28aとの間隔RD2よりも大きくなっている。すなわち、着色層36Rの膜厚RD1は、上記間隔RD2よりも大きいほうが好ましい。
ゆえに、本実施形態では、着色層36Gの膜厚GD1は、着色層36Gの端部G1と開口部28KBの端部28aの間隔GD2よりも大きくなっている。すなわち、着色層36Gの膜厚GD1は、上記間隔GD2よりも大きいほうが好ましい。
次に、本実施形態の有機EL装置100の製造方法について、図9〜図16を参照して説明する。図9は第1実施形態の有機EL装置の製造方法を示すフローチャート、図10〜図16は第1実施形態の有機EL装置の製造方法を示す概略断面図である。図10〜図16は有機EL装置の構造を示す図4に対応する概略断面図である。
なお、本実施形態の有機EL装置100の製造方法において、基板本体11上に有機EL素子30を形成する方法は、前述したように公知技術を用いていることから、封止層34の形成工程以降の工程について説明する。
これにより、図4に示した、有機EL装置100ができあがる。なお、カラーフィルター形成工程における現像後の透明層36K,36T及び着色層36G,36Rのポストベークや熱硬化型の充填剤42の硬化などの熱処理は、発光機能層32の各層におけるガラス転移点以下の温度で行われる。
(1)封止層34上において、サブ画素18G(サブ画素18R)に着色層36G(着色層36R)を形成し、サブ画素18Bに着色層を形成せずに、透明層36Tを形成する。したがって、サブ画素18Bの発光面積が他のサブ画素18G,18Rよりも小さくても、サブ画素18Bにおける輝度の低下が抑えられ、所望の輝度を有する有機EL装置100を提供あるいは製造することができる。
また、サブ画素18Bの発光面積を他のサブ画素18G,18Rよりも小さくすることで、発光面積が同じである場合に比べて、単位面積あたりの表示単位である画素19の大きさを小さくすることができることから、所望の輝度を確保しつつ画素19の高精細化を図ることができる。
(2)透明層36K,36T及び着色層36G,36Rは、感光性アクリル系樹脂を主成分とする感光性樹脂層を露光・現像することで形成される。また、透明層36K,36Tを形成した後に、着色層36G,36Rが形成される。色材を含まない透明層36K,36Tは、色材を含む着色層36G,36Rよりも高い位置精度で且つ高精細な形成が可能である。したがって、先に透明層36K,36Tを形成することで、透明層36K,36Tを基準にして着色層36G,36Rが形成されることから、高い位置精度で着色層36G,36Rを形成できる。また、後から形成される着色層36G,36Rの膜厚を確保し易くなる。つまり、サブ画素18G,18Rにおいて有機EL素子30からの発光を確実に着色層36G,36Rを透過させて射出させることができる。ゆえに、見栄えのよいカラー表示が可能な有機EL装置100を提供あるいは製造することができる。
(3)素子基板10に充填剤42を介して保護基板40を貼り合わせるので、素子基板10におけるカラーフィルター36や有機EL素子30の損傷を防ぐことができる。加えて、有機EL素子30は封止層34だけでなく保護基板40によっても保護されるため、外部から酸素や水分が侵入して有機EL素子30の発光特性や発光寿命に影響を与えることが抑制される。つまり、安定した発光特性や長い発光寿命を有する有機EL装置100を提供あるいは製造することができる。
<有機EL装置とその製造方法>
次に、第2実施形態の有機EL装置について、図17〜図19を参照して説明する。図17は第2実施形態の有機EL装置における画素電極及びカラーフィルターの配置を示す概略平面図、図18は図17のC−C’線に沿ったサブ画素の構造を示す概略断面図、図19は図17のD−D’線に沿った画素電極のコンタクト部の構造を示す概略断面図である。第2実施形態の有機EL装置200は、上記第1実施形態の有機EL装置100に対して、サブ画素18における特にカラーフィルター36の構成を異ならせたものであり、有機EL装置100と同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
(4)封止層34上において、サブ画素18Rに着色層36Rを形成し、サブ画素18B,18Gに着色層を形成せずに、透明層36Tを形成する。したがって、サブ画素18B,18Gの発光面積がサブ画素18Rよりも小さくても、サブ画素18B,18Gにおける輝度の低下が抑えられ、所望の輝度を有する有機EL装置200を提供あるいは製造することができる。
(5)発光面積が小さいサブ画素18B,18Gに透明層36Tを配置することにより、サブ画素18B,18Gにおける輝度を確保しつつ、有機EL素子30B,30Gに流れる電流量を有機EL素子30Rよりも抑えることが可能となる。したがって、上記第1実施形態の有機EL装置100よりも消費電力を低減させた有機EL装置200を提供あるいは製造することができる。
(6)上記第1実施形態で説明したように、コンタクト部31CB,31CG,31CRは絶縁膜28で覆われるものの、その表面には凹凸が生じている。このようなコンタクト部31CB,31CG,31CRに発光領域から光が入射すると、散乱が生じ易い。このような散乱光が生じても、上記第2実施形態では、コンタクト部31CB,31CG,31CRの上層に着色層36Rが配置されているので、着色層36Rによって散乱光を吸収させることができる。つまり、コンタクト部31CB,31CG,31CRにおける散乱光の影響を低減して、見栄えのよいカラー表示を実現できる。とりわけ、視感度が高い緑色の光を吸収可能な赤色の着色層36R(または青色の着色層36B)をコンタクト部31CB,31CG,31CRの上層に配置することが好ましい。
<有機EL装置とその製造方法>
次に、第3実施形態の有機EL装置について、図20及び図21を参照して説明する。図20は第3実施形態の有機EL装置における画素電極及びカラーフィルターの配置を示す概略平面図、図21は図20のF−F’線に沿ったサブ画素の構造を示す概略断面図である。第3実施形態の有機EL装置300は、上記第1実施形態の有機EL装置100に対して、サブ画素18の配置とカラーフィルター36の構成とを異ならせたものであり、有機EL装置100と同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
(7)封止層34上において、サブ画素18Bに着色層36Bを形成し、サブ画素18Rに着色層36Rを形成し、サブ画素18Gに着色層を形成せずに、透明層36Tを形成する。したがって、サブ画素18Gの発光面積がサブ画素18Bやサブ画素18Rよりも小さくても、サブ画素18Gにおける輝度の低下が抑えられ、所望の輝度を有するペンタイル方式の有機EL装置300を提供あるいは製造することができる。
(8)発光面積が小さいサブ画素18Gに透明層36Tを配置することにより、サブ画素18Gにおける輝度を確保しつつ、有機EL素子30Gに流れる電流量を有機EL素子30B,30Rよりも抑えることが可能となる。したがって、サブ画素18Gに着色層36Gを配置した場合に比べて、消費電力を低減させたペンタイル方式の有機EL装置300を提供あるいは製造することができる。
(a)着色層を配置しなくても取り出される光成分の色純度が他のサブ画素に比べて優れているサブ画素18。
(b)有機EL素子30(発光機能層32)の発光寿命が他のサブ画素に比べて短いサブ画素18。
(c)有機EL素子30(発光機能層32)の発光面積が他のサブ画素18に比べて小さいサブ画素18。
(d)有機EL素子30(発光機能層32)に流す電流密度を他のサブ画素に比べて少なくしたいサブ画素18。換言すれば、有機EL素子30(発光機能層32)の発光面積が他のサブ画素18に比べて大きいサブ画素18。
<電子機器>
次に、本実施形態の有機EL装置を備えた電子機器としてヘッドマウントディスプレイ(HMD)を例に挙げ、図22を参照して説明する。
図22は、電子機器の一例としてのヘッドマウントディスプレイの概略図である。
図22に示すように、ヘッドマウントディスプレイ1000は、左右の目に対応して設けられた2つの表示部1001を有している。観察者Mはヘッドマウントディスプレイ1000を眼鏡のように頭部に装着することにより、表示部1001に表示された文字や画像などを見ることができる。例えば、左右の表示部1001に視差を考慮した画像を表示すれば、立体的な映像を見て楽しむこともできる。
変形例の有機EL装置400では、4つのサブ画素18B,18G,18R,18Wによって表示単位が構成され、カラー表示がなされる。なお、各サブ画素18B,18G,18R,18Wにおける画素電極31B,31G,31R,31Wの開口部28KB,28KG,28KR,28KWの大きさは適宜設定することができる。また、サブ画素18B,18G,18R,18Wに配置された有機EL素子30B,30G,30R,30Wの発光機能層32からは白色発光が得られる構成となっている。これによれば、白色発光が取り出されるサブ画素18Wを備えていることから、より明るい表示が可能となる。
Claims (16)
- 第1基板と、
前記第1基板に設けられた、第1有機EL素子及び第2有機EL素子と、
前記第1有機EL素子及び前記第2有機EL素子を覆う封止層と、
前記封止層上に設けられたカラーフィルターと、を備え、
前記カラーフィルターは、前記第1有機EL素子と平面視で重なる着色層と、前記第2有機EL素子と平面視で重なる透明層とを含むことを特徴とする有機EL装置。 - 前記第1有機EL素子及び前記第2有機EL素子は、前記第1基板上において一の方向に隣り合って配置され、
前記透明層は、前記一の方向における前記第1有機EL素子と前記第2有機EL素子との間で前記着色層に接して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の有機EL装置。 - 前記第1基板に設けられ、前記第1有機EL素子に第1コンタクト部を介して接続された第1駆動用トランジスターと、前記第2有機EL素子に第2コンタクト部を介して接続された第2駆動用トランジスターと、を備え、
前記着色層は、平面視で前記第1コンタクト部と前記第2コンタクト部とに重なって設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL装置。 - 前記着色層及び前記透明層の主成分は、光透過性の感光性樹脂であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の有機EL装置。
- 前記感光性樹脂は、感光性アクリル系樹脂であることを特徴とする請求項4に記載の有機EL装置。
- 前記第1有機EL素子及び前記第2有機EL素子のそれぞれは、光透過性を有する画素電極と、光透過性と反射性とを兼ね備える対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に配置された発光機能層とを含み、
前記第1基板の基板本体と前記画素電極との間に設けられた反射層を備え、
前記第1有機EL素子と前記第2有機EL素子とにおいて、前記反射層から前記対向電極までの光学的な距離が異なることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の有機EL装置。 - 前記カラーフィルター上に充填剤を介して配置された光透過性の第2基板を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の有機EL装置。
- 前記第1有機EL素子の発光面積に対して、前記第2有機EL素子の発光面積が小さいことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の有機EL装置。
- 前記第1有機EL素子の発光面積に対して、前記第2有機EL素子の発光面積が大きいことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の有機EL装置。
- 第1基板上に第1有機EL素子と第2有機EL素子とを形成する工程と、
前記第1有機EL素子及び前記第2有機EL素子を覆う封止層を形成する工程と、
前記封止層上において、平面視で前記第1有機EL素子と重なる位置に着色層を形成すると共に、平面視で前記第2有機EL素子と重なる位置に透明層を形成するカラーフィルター形成工程と、を備えたことを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 前記カラーフィルター形成工程では、色材を含む感光性樹脂層を形成して露光・現像することにより前記着色層を形成し、色材を含まない感光性樹脂層を形成して露光・現像することにより前記透明層を形成することを特徴とする請求項10に記載の有機EL装置の製造方法。
- 前記カラーフィルター形成工程では、前記透明層を形成した後に前記着色層を形成することを特徴とする請求項10または11に記載の有機EL装置の製造方法。
- 前記第1基板に第1駆動用トランジスター及び第2駆動用トランジスターを形成する工程と、
前記第1駆動用トランジスター及び第2駆動用トランジスターを覆う層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜に、前記第1駆動用トランジスターと前記第1有機EL素子とを接続させる第1コンタクト部を形成すると共に、前記第2駆動用トランジスターと前記第2有機EL素子とを接続させる第2コンタクト部を形成する工程と、を備え、
前記カラーフィルター形成工程では、平面視で前記第1コンタクト部と前記第2コンタクト部とに重なるように前記着色層を形成することを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法。 - 前記第1有機EL素子及び前記第2有機EL素子のそれぞれは、光透過性を有する画素電極と、光透過性と反射性とを兼ね備える対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に配置された発光機能層とを含み、
前記第1基板の基板本体と前記画素電極との間に反射層を形成する工程と、
前記反射層と前記画素電極との間に透光層を形成する工程と、を備え、
前記第1有機EL素子と前記第2有機EL素子とにおいて、前記反射層から前記対向電極までの光学的な距離が異なるように前記画素電極及び前記透光層のうち少なくとも一方の膜厚を調整して形成することを特徴とする請求項10乃至13のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法。 - 前記着色層及び前記透明層を覆うように充填剤を塗布する工程と、
前記第1基板に前記充填剤を介して光透過性の第2基板を貼り合わせる工程と、を備えることを特徴とする請求項10乃至14のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の有機EL装置を備えたことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015199159A JP6696143B2 (ja) | 2015-10-07 | 2015-10-07 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 |
CN201610570713.0A CN106571379B (zh) | 2015-10-07 | 2016-07-19 | 有机el装置、有机el装置的制造方法、电子设备 |
US15/217,201 US10269882B2 (en) | 2015-10-07 | 2016-07-22 | Organic EL device, method of manufacturing organic EL device, and electronic device |
TW105132094A TWI730991B (zh) | 2015-10-07 | 2016-10-04 | 有機el裝置、有機el裝置之製造方法、電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015199159A JP6696143B2 (ja) | 2015-10-07 | 2015-10-07 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017073268A true JP2017073268A (ja) | 2017-04-13 |
JP6696143B2 JP6696143B2 (ja) | 2020-05-20 |
Family
ID=58498929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015199159A Active JP6696143B2 (ja) | 2015-10-07 | 2015-10-07 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10269882B2 (ja) |
JP (1) | JP6696143B2 (ja) |
CN (1) | CN106571379B (ja) |
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JP2008066216A (ja) | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置とその製造方法及び電子機器 |
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- 2015-10-07 JP JP2015199159A patent/JP6696143B2/ja active Active
-
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Publication number | Publication date |
---|---|
TW201724603A (zh) | 2017-07-01 |
JP6696143B2 (ja) | 2020-05-20 |
US10269882B2 (en) | 2019-04-23 |
US20170104045A1 (en) | 2017-04-13 |
CN106571379B (zh) | 2023-04-07 |
TWI730991B (zh) | 2021-06-21 |
CN106571379A (zh) | 2017-04-19 |
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