JP2017070030A - 圧電駆動装置、モーター、ロボット及びポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る圧電駆動装置は、複数の振動ユニットを含む圧電駆動装置であって、振動ユニットは、固定部と、振動部と、固定部及び振動部を接続する接続部と、を有する振動板と、振動部の上方に設けられた第1電極と、第1電極の上方に設けられた第1圧電体層と、第1圧電体層の上方に設けられた第2電極と、固定部の上方に設けられた第3電極と、第3電極の上方に設けられた第2圧電体層と、第2圧電体層の上方に設けられた第4電極と、を含み、第1電極、第1圧電体層及び第2電極が圧電素子を構成し、振動ユニットが、振動板の板面に垂直な方向に重なるように配置されている。
【選択図】図6
Description
複数の振動ユニットを含む圧電駆動装置であって、
前記振動ユニットは、
固定部と、振動部と、前記固定部及び前記振動部を接続する接続部と、を有する振動板と、
前記振動部の上方に設けられた第1電極と、
前記第1電極の上方に設けられた第1圧電体層と、
前記第1圧電体層の上方に設けられた第2電極と、
前記固定部の上方に設けられた第3電極と、
前記第3電極の上方に設けられた第2圧電体層と、
前記第2圧電体層の上方に設けられた第4電極と、
を含み、
前記第1電極、前記第1圧電体層及び前記第2電極が圧電素子を構成し、
前記振動ユニットが、前記振動板の板面に垂直な方向に重なるように配置されている。
前記振動ユニットは、
前記第2電極及び前記第4電極の上方に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層の上方に設けられた配線層と、
を含み、
前記第2電極及び前記第4電極の少なくとも一つが、前記配線層に電気的に接続されていてもよい。
隣り合って配置された前記振動ユニットの前記配線層が互いに電気的に接続されてインダクターを構成してもよい。
前記第3電極、前記第2圧電体層及び前記第4電極が、キャパシターを構成してもよい。
きる。さらに、キャパシターを構成する第2圧電体層が、圧電素子を構成する第1圧電体層と同様の材質である場合には、キャパシターの温度特性が圧電素子の温度特性と類似することになり、しかも両者が空間的に近い位置に配置されるため、例えば、温度変化に対応するための駆動回路や制御を簡略化することができる。
前記キャパシターは、前記振動ユニットの電源からみて、前記圧電素子と電気的に並列に接続されていてもよい。
前記配線層がインダクターを構成していてもよい。
前記インダクターは、前記振動ユニットの電源からみて、前記圧電素子と電気的に並列に接続されていてもよい。
上述の圧電駆動装置と、
前記圧電駆動装置によって回転されるローターと、
を含む。
複数のリンク部と、
複数の前記リンク部を接続する関節部と、
複数の前記リンク部を前記関節部で回動させる上述の圧電駆動装置と、
を含む。
上述の圧電駆動装置と、
液体を輸送するチューブと、
前記圧電駆動装置の駆動によって前記チューブを閉塞する複数のフィンガーと、
を含む。
本実施形態の圧電駆動装置1000は、複数の振動ユニット100を含む。そして、圧電駆動装置1000は、振動ユニット100が重なるように配置されて構成されている。以下、振動ユニット100について説明した後、振動ユニット100の厚さ及び配置等について説明する。
まず、本実施形態に係る圧電駆動装置の振動ユニットについて、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る振動ユニット100の振動板10を模式的に示す平面図である。図2は、本実施形態に係る振動ユニット100を模式的に示す平面図である。図3は、本実施形態に係る振動ユニット100を模式的に示す図2のII−II線断面図である。図4は、本実施形態に係る振動ユニット100を模式的に示す図2のI−I線断面図である。
。
図1は、振動板10を平面的に見た模式図である。振動板10は、固定部12と、振動部14と、接続部16と、突起部18と、を含む。
(図2参照)。また、絶縁性等に配慮しながら孔11が係る構成を貫通するように配置してもよい。
第1電極32は、振動板10の振動部14の上方に設けられる。第1電極32と振動板10との間には、例えば、密着、結晶制御、配向制御、絶縁等の機能を有する層が形成されてもよい。
第1圧電体層34は、振動板10の振動部14の上方の第1電極32の上方に設けられる。第1電極32と第1圧電体層34との間には、例えば、密着、結晶制御、配向制御、絶縁等の機能を有する層が形成されてもよい。ここで密着層を設ける場合の密着層の材質としては、例えば、TiW層、Ti層、Cr層、NiCr層や、これらの積層体である。第1圧電体層34は、第1電極32と第2電極36との間に位置する。
第2電極36は、第1圧電体層34の上方に設けられる。第2電極36と第1圧電体層34との間には、例えば、密着、結晶制御、配向制御、絶縁等の機能を有する層が形成されてもよい。ここで密着層を設ける場合の密着層の材質としては、例えば、TiW層、Ti層、Cr層、NiCr層や、これらの積層体である。
上述のように、第1電極32、第1圧電体層34及び第2電極36の組によって、振動板10の振動部14の上方に圧電素子が構成されるが、係る圧電素子の形状、数、配置等は、振動部14が所定の振動を生じ得る限り任意である。図示の例では、圧電素子は、振動部14の上方に5つ形成されている。そして図示しない配線により、適宜の電圧がそれぞれの圧電素子の電極に印加されることにより、振動ユニット100を屈曲振動させたり伸縮振動させたりすることができる。
振動ユニット100は、固定部112に第3電極42を有している。第3電極42は、振動板10の固定部12の上方に設けられる。第3電極42と振動板10との間には、例えば、密着、結晶制御、配向制御、絶縁等の機能を有する層が形成されてもよい。
振動ユニット100は、固定部112に第2圧電体層44を有している。第2圧電体層44は、振動板10の固定部12の上方の第3電極42の上方に設けられる。第3電極42と第2圧電体層44との間には、例えば、密着、結晶制御、配向制御、絶縁等の機能を有する層が形成されてもよい。第2圧電体層44は、第3電極42と第4電極46との間に位置する。
振動ユニット100は、固定部112に第4電極46を有している。第4電極46は、第2圧電体層44の上方に設けられる。第4電極46と第2圧電体層44との間には、例えば、密着、結晶制御、配向制御、絶縁等の機能を有する層が形成されてもよい。
本実施形態の振動ユニット100は、その他の構成を含むことができる。そのような構成として、例えば、配線、配線のための絶縁体の層、複数の振動ユニット100を積層する接着のための層などを含んでもよい。以下、配線層50を設けるための絶縁層60、及び、上述の各電極と電気的に接続する配線層50について説明する。
本実施形態の振動ユニット100は、第2電極36及び第4電極46の上方に設けられた配線層50を含む。配線層50は、絶縁層60(後述)の上方に設けられる。配線層50は、下方に位置する絶縁層60や圧電体層にコンタクトホールを設けることによって、その下方に位置する導電体(電極等)と電気的に接続することができる。
絶縁層60は、少なくとも第2電極36及び第4電極46の上方に設けられる。絶縁層60は、各電極と配線層50の間に設けられてもよい。さらに、絶縁層60は、電極や配線を絶縁する機能を有する。また、絶縁層60は、配線層50の上方に設けられてもよい。配線層50の上方に絶縁層60が形成されると、例えば、隣接する振動ユニット100の振動板10が導電性である場合などに、隣接する振動ユニット100間を絶縁することができる。
図2及び図3に示す例では、配線層50は、1つの振動ユニット100に対して1層が形成されているが、所定の配線を形成するために複数の配線層50が形成されてもよい。また、図1ないし図4の例では、振動板10の片側の主面に圧電素子やキャパシターが設けられているが、振動板10の両方の主面に上述した構成が設けられてもよい。
本実施形態の振動ユニット100は、振動板10の固定部12及び振動部14において実質的に同じ厚さとなるように形成される。例えば、図4に示すように、振動部114において、下方から順に、振動板10、第1電極32、第1圧電体層34、第2電極36、絶縁層60、配線層50、及び絶縁層60が積層した合計の厚さ(図中、厚さα)は、固定部112において、下方から順に、振動板10、第3電極42、第2圧電体層44、第4電極46、絶縁層60、配線層50、及び絶縁層60が積層した合計の厚さ(図中、厚さβ)と同じになるように形成される。
上述のように、第3電極42、第2圧電体層44及び第4電極46の組によって、振動板10の固定部12の上方に(振動ユニット100の固定部112に)キャパシターとなり得る構造が形成されるが、係るキャパシターの形状、数、配置等は、任意である。図示の例では、キャパシターとなり得る構造は、2つの固定部12にそれぞれ2つずつ、合計4つ形成されている。したがって、それぞれの電極が適宜に接続されれば、キャパシタンス(コンデンサー)として機能させることができる。
のみに用いられてもよい。換言すると、本実施形態の振動ユニット100では、固定部112の厚さβと振動部114の厚さαとを同じにしやすくするために、固定部112にも圧電素子と同様の積層構造体を配置しているが、係る積層構造体は、キャパシターとしても利用可能である。
本実施形態の振動ユニット100は、配線層50を有する場合、配線層50を用いてインダクターを構成してもよい。インダクターは、配線層50の他に、上述の各電極や、他の導電層を形成してこれを構成してもよい。
振動ユニット104を平面的に見た模式図及び駆動回路70の概念図である。図9〜図11では、第2電極36及び第4電極46よりも上方に位置する構成は省略され、配線層50によって形成される配線については、線画によって模式的に描かれている。また、図9〜図11の振動ユニット102、振動ユニット103、振動ユニット104は、上述の振動ユニット100と同様に突起部18及び孔11が形成されてもよいが、図9〜図11では説明の便利のために省略されている。
クター58において、ビアの代わりに積層された振動ユニット105の側面に導電体(導電塗料等)を適宜に設けて多層配線を電気的に接続してもよい。この場合にもインダクター58は、固定部112及び振動部114のいずれに形成されてもよい。
図13は、本実施形態の圧電駆動装置を駆動する回路の概念図の一例を示す図である。図中、Sは電源、R1は配線抵抗、R2は抵抗(機械的損失)、Cdは圧電駆動装置、L1及びL2はインダクタンス、C1及びC2はキャパシタンスをそれぞれ示している。図13に示すように、駆動回路は、電気素子Eと音響素子Aとを接続した回路とみなすことができる。以下、このような考えに基づいて説明する。
駆動装置の圧電素子の温度特性と、キャパシターの温度特性が同様となる。そして、圧電素子とキャパシターが空間的に近い位置に設けられることになる。そのため、圧電駆動装置が置かれた環境の温度の変化に対して、圧電素子及びキャパシターを、電気特性において同様に変化させることができる。これにより、例えば、環境温度の変化により共振周波数が変化した際の、駆動回路による周波数の調節範囲を小さくすることができる。したがって、環境温度の変化に対して安定性が良好で、かつより共振周波数の調節をより容易化することができる。
本発明に係る圧電駆動装置は、共振を利用することで被駆動体に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。本発明に係る圧電駆動装置は、例えば、モーター、ロボット(電子部品搬送装置(ICハンドラー)も含む)、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置の紙送り機構等の各種の機器における駆動装置として用いることができる。以下、代表的な実施の形態について説明する。以下では、本発明に係る圧電駆動装置として、圧電駆動装置1000を含む装置について説明する。
図14は、上述の圧電駆動装置1000を用いたモーター1001を模式的に示す図である。モーター1001に使用される圧電駆動装置1000は上で説明したと同様であり、詳細な説明は省略する。図14においては、圧電駆動装置1000の詳細な構成は省略して描かれている。なお、図14に描かれる圧電駆動装置1000は、振動ユニット100が厚さ方向(図の奥行き方向)に複数積層されたものであり、突起部18を含めて全ての構成は重なっている。
図15は、圧電駆動装置1000を利用したロボット2050を説明するための図である。ロボット2050は、複数本のリンク部2012(「リンク部材」とも呼ぶ)と、それらリンク部2012の間を回動又は屈曲可能な状態で接続する複数の関節部2020と、を備えたアーム2010(「腕部」とも呼ぶ)を有している。
ンド2000は、一対の把持部2003を備えている。ロボットハンド2000にも圧電駆動装置1000が内蔵されており、圧電駆動装置1000を用いて把持部2003を開閉して物を把持することが可能である。また、ロボットハンド2000とアーム2010との間にも圧電駆動装置1000が設けられており、圧電駆動装置1000を用いてロボットハンド2000をアーム2010に対して回転させることも可能である。
図17は、圧電駆動装置1000を利用した送液ポンプ2200の一例を示す説明するための図である。送液ポンプ2200は、ケース2230内に、リザーバー2211と、チューブ2212と、圧電駆動装置1000と、ローター2222と、減速伝達機構2223と、カム2202と、複数のフィンガー2213,2214,2215,2216,2217,2218,2219と、が設けられている。
形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
Claims (10)
- 複数の振動ユニットを含む圧電駆動装置であって、
前記振動ユニットは、
固定部と、振動部と、前記固定部及び前記振動部を接続する接続部と、を有する振動板と、
前記振動部の上方に設けられた第1電極と、
前記第1電極の上方に設けられた第1圧電体層と、
前記第1圧電体層の上方に設けられた第2電極と、
前記固定部の上方に設けられた第3電極と、
前記第3電極の上方に設けられた第2圧電体層と、
前記第2圧電体層の上方に設けられた第4電極と、
を含み、
前記第1電極、前記第1圧電体層及び前記第2電極が圧電素子を構成し、
前記振動ユニットが、前記振動板の板面に垂直な方向に重なるように配置されている、圧電駆動装置。 - 請求項1において、
前記振動ユニットは、
前記第2電極及び前記第4電極の上方に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層の上方に設けられた配線層と、
を含み、
前記第2電極及び前記第4電極の少なくとも一つが、前記配線層に電気的に接続されている、圧電駆動装置。 - 請求項2において、
隣り合って配置された前記振動ユニットの前記配線層が互いに電気的に接続されてインダクターを構成している、圧電駆動装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項において、
前記第3電極、前記第2圧電体層及び前記第4電極が、キャパシターを構成している、圧電駆動装置。 - 請求項4において、
前記キャパシターは、前記振動ユニットの電源からみて、前記圧電素子と電気的に並列に接続されている、圧電駆動装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項において、
前記配線層がインダクターを構成している、圧電駆動装置。 - 請求項6において、
前記インダクターは、前記振動ユニットの電源からみて、前記圧電素子と電気的に並列に接続されている、圧電駆動装置。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
前記圧電駆動装置によって回転されるローターと、
を含む、モーター。 - 複数のリンク部と、
複数の前記リンク部を接続する関節部と、
複数の前記リンク部を前記関節部で回動させる請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を含む、ロボット。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
液体を輸送するチューブと、
前記圧電駆動装置の駆動によって前記チューブを閉塞する複数のフィンガーと、
を含む、ポンプ。
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JP2019058040A (ja) * | 2017-09-22 | 2019-04-11 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
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2015
- 2015-09-29 JP JP2015190750A patent/JP6531909B2/ja active Active
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JP2019058040A (ja) * | 2017-09-22 | 2019-04-11 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
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