JP2017069998A5 - - Google Patents
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- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015189395A JP2017069998A (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 圧電駆動装置およびその製造方法、モーター、ロボット、ならびにポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015189395A JP2017069998A (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 圧電駆動装置およびその製造方法、モーター、ロボット、ならびにポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017069998A JP2017069998A (ja) | 2017-04-06 |
| JP2017069998A5 true JP2017069998A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) | 2018-09-20 |
Family
ID=58493008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015189395A Withdrawn JP2017069998A (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 圧電駆動装置およびその製造方法、モーター、ロボット、ならびにポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2017069998A (cg-RX-API-DMAC7.html) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018199292A (ja) * | 2017-05-29 | 2018-12-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 |
| JP6981046B2 (ja) * | 2017-05-29 | 2021-12-15 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 |
| JP7031244B2 (ja) * | 2017-11-17 | 2022-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
| JP2021035213A (ja) * | 2019-08-27 | 2021-03-01 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置およびロボット |
| JP7706891B2 (ja) * | 2021-01-28 | 2025-07-14 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002067307A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-05 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド |
| JP4370854B2 (ja) * | 2003-08-21 | 2009-11-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータおよびこれを備えた装置 |
| JP2010180738A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Seiko Epson Corp | マイクロポンプ |
| JP5832091B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2015-12-16 | キヤノン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、液体吐出ヘッドおよび超音波モータ |
| JP5776270B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、モーター、ロボットハンドおよびロボット |
| US9614463B2 (en) * | 2014-02-10 | 2017-04-04 | Tdk Corporation | Piezoelectric device, piezoelectric actuator, hard disk drive, and inkjet printer apparatus |
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