JP2017067762A - 電気試験測定プローブ - Google Patents
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Abstract
Description
本体と、
本体に対して直線的に移行できるように構成された剛性部材と、
第1の端部に試験箇所コンタクトが配設され、第2の端部において剛性部材に固止(固定)された、可撓性アームと、
本体に固定され可撓性アーム上の第1の端部と第2の端部との間の点に接続された可撓性連接部であって、第1の方向への剛性部材の移行に応答して可撓性アームを屈曲させるように、及び第2の方向への剛性部材の移行に応答して可撓性アームの屈曲を解消するように構成された、可撓性連接部と
を具える、被試験デバイスにおける試験箇所との電気的接触を行うためのプローブである。
可撓性アームの屈曲が可撓性アームの特定の部分内で発生するよう制約するための、可撓性アームに取り付けられた補強材をさらに具える、概念1によるプローブである。
剛性部材の直線的な移行を生じさせるための、剛性部材に可動式に接続されたリニア・アクチュエータをさらに具える、概念1によるプローブである。
剛性部材のねじ穴に係合するねじ山付きロッドと、
ねじ山付きロッドに固定されたサムホイールと
を具える、概念5によるプローブである。
第1の端部に第2の試験箇所コンタクトが配設され、第2の端部において剛性部材に固止された、第2の可撓性アームをさらに具え、
可撓性連接部が第2の可撓性アーム上の第1の端部と第2の端部との間の点にも接続され、この可撓性連接部が、第1の試験箇所コンタクト及び第2の試験箇所コンタクトを、第1の方向への剛性部材の移行に応答して互いに向けて同時に移動させるように、並びに第2の方向への剛性部材の移行に応答して互いから離れるように同時に移動させるように構成される、
概念1によるプローブである。
可撓性回路上に配設された増幅器と、
可撓性回路上に配設され、試験箇所コンタクトから増幅器の入力部までの電気経路を提供する、導電性トレースと
をさらに具える、概念8によるプローブである。
被試験デバイス上の試験箇所を取り囲む区域を照射するための光源をさらに具える、概念1によるプローブである。
光源のオン及びオフを切り替えるためのスイッチをさらに具える、概念9によるプローブである。
近位端及び遠位端を有するプローブ先端本体と、
近位端、遠位端、及びこれらの間の関節点を有する関節式試験箇所アームと、
プローブ先端本体の遠位端に結合され、関節点と関節式試験箇所アームの遠位端との間の点において関節式試験箇所アームにヒンジ止めされた、連接棒体と、
関節式試験箇所アームの近位端にヒンジ止めされた試験箇所アーム位置決め装置であって、プローブ先端本体に可動式に結合され、プローブ先端本体の遠位端に向かって及びそこから離れるように摺動可能である、試験箇所アーム位置決め装置と
を具え、
試験箇所アーム位置決め装置を摺動させることが、プローブ先端本体に対する関節式試験箇所アームの遠位端の位置の変化をもたらす、電気試験測定プローブである。
被試験デバイス上の試験箇所との電気的接触を行うための、関節式試験箇所アームの遠位端に配設された試験箇所コンタクトをさらに具える、概念14による電気試験測定プローブである。
近位端、遠位端、及びこれらの間の第2の関節点を有する第2の関節式試験箇所アームと、
プローブ先端本体の遠位端に結合され、第2の関節点と関節式試験箇所アームの遠位端との間の点において第2の関節式試験箇所アームにヒンジ止めされた、第2の連接棒体と、
第2の関節式試験箇所アームの近位端にヒンジ止めされた第2の試験箇所アーム位置決め装置であって、プローブ先端本体に可動式に結合され、プローブ先端本体の遠位端に向かって及びそこから離れるように摺動可能である、第2の試験箇所アーム位置決め装置と
をさらに具え、
第2の試験箇所アーム位置決め装置を摺動させることが、プローブ先端本体に対する第2の関節式試験箇所アームの遠位端の位置の変化をもたらす、概念14による電気試験測定プローブである。
各関節式試験箇所アームの遠位端上に配設されたポゴ・ピンと、
2つの試験箇所アーム位置決め装置を摺動させてポゴ・ピン間の間隔を調節するための、2つの試験箇所アーム位置決め装置に結合された間隔調節装置と
をさらに具える、概念17による電気試験測定プローブである。
本体と、
被試験デバイスの試験箇所との電気的接触を行うための試験箇所コンタクトであって、本体に可動式に結合され試験箇所コンタクトと本体との間の角度が調節可能であるように構成された、試験箇所コンタクトと、
被試験デバイスの試験箇所を照射するための光源と
を具え、この光源が本体に可動式に結合される表面上に配設され、この表面が試験箇所コンタクトにも結合され、この結果、試験箇所コンタクトと本体との間の角度が調節されるとき、表面と本体との間の角度を同時に自動的に変化させて、光源が試験箇所コンタクトと実質的に同じ方向を指すのを維持する、電気試験測定プローブである。
12 IC
100 試験測定システム
110 試験測定機器
112 試験測定機器の入力部
120 試験測定プローブ
122 プローブ・ヘッド
124 導体
126 プローブ−機器インタフェース
128 試験箇所コンタクト
129 調節機構
200 プローブ・ヘッド
205 プローブ・ヘッドの本体
206 隆起部
207 起伏
210 剛性部材(ランナ)
215 可撓性アーム
216 補強材
217 支持プレート
218 ヒンジ領域
220 試験箇所コンタクト
221 直列抵抗部
225 ねじ
230 可撓性連接部
231 中間点
232 点
235 リニア・アクチュエータ
236 ねじ山付きロッド
237 サムホイール
400 可撓性回路
410 可撓性回路の部分
415 増幅器
420 導電性トレース
421 導電性トレース
425 可撓性回路の部分
426 接続インタフェース
430 ヒート・シンク
500 プローブ
505 プローブ先端本体
506 近位端
507 遠位端
510 第1の関節式試験箇所アーム
510a 第1のリンク
510b 第2のリンク
511 近位端
512 遠位端
512’ 別の部分の遠位端
513 関節点(連結部)
514 試験箇所コンタクト(ポゴ・ピン)
515 第1の連接棒体
516 連結部
517 結合部
520 第1の試験箇所アーム位置決め装置
520’ 別の位置にある第1の試験箇所アーム位置決め装置
521 連結部
522 軸
530 第2の関節式試験箇所アーム
534 試験箇所コンタクト(ポゴ・ピン)
535 第2の連接棒体
540 第2の試験箇所アーム位置決め装置
545 コネクタ棒体
550 間隔調節装置
600 プローブ・ヘッド
610 光源
615 スイッチ
620 可撓性連接部の突出部分
710 光
710’ 別の方向に向かう光
715 試験箇所コンタクトの配向
715’ 試験箇所コンタクトの別の配向
Claims (5)
- 本体と、
上記本体に対して直線的に移行できるように構成された剛性部材と、
第1の端部に試験箇所コンタクトが配設され、第2の端部において上記剛性部材に固止された、可撓性アームと、
上記本体に固定され上記可撓性アーム上の上記第1の端部と上記第2の端部との間の点に接続された可撓性連接部であって、第1の方向への上記剛性部材の移行に応答して上記可撓性アームを屈曲させるように、及び第2の方向への上記剛性部材の移行に応答して可撓性アームの屈曲を解消するように構成された、可撓性連接部と
を具える、被試験デバイスにおける試験箇所との電気的接触を行うための電気試験測定プローブ。 - 第1の端部に第2の試験箇所コンタクトが配設され、第2の端部において上記剛性部材に固止された、第2の可撓性アームをさらに具え、
上記可撓性連接部が上記第2の可撓性アーム上の上記第1の端部と上記第2の端部との間の点にも接続され、上記可撓性連接部が、上記第1の試験箇所コンタクト及び上記第2の試験箇所コンタクトを、上記第1の方向への上記剛性部材の移行に応答して互いに向けて同時に移動させるように、並びに上記第2の方向への上記剛性部材の移行に応答して互いから離れるように同時に移動させるように構成される、
請求項1に記載の電気試験測定プローブ。 - 近位端及び遠位端を有するプローブ先端本体と、
近位端、遠位端、及びこれらの間の関節点を有する関節式試験箇所アームと、
上記プローブ先端本体の上記遠位端に結合され、上記関節点と上記関節式試験箇所アームの上記遠位端との間の点において上記関節式試験箇所アームにヒンジ止めされた、連接棒体と、
上記関節式試験箇所アームの上記近位端にヒンジ止めされた試験箇所アーム位置決め装置であって、上記プローブ先端本体に可動式に結合され、上記プローブ先端本体の上記遠位端に向かって及びそこから離れるように摺動可能である、試験箇所アーム位置決め装置と
を具え、
上記試験箇所アーム位置決め装置を摺動させることが、上記プローブ先端本体に対する上記関節式試験箇所アームの上記遠位端の位置の変化をもたらす、
電気試験測定プローブ。 - 近位端、遠位端、及びこれらの間の第2の関節点を有する第2の関節式試験箇所アームと、
上記プローブ先端本体の上記遠位端に結合され、上記第2の関節点と上記関節式試験箇所アームの上記遠位端との間の点において上記第2の関節式試験箇所アームにヒンジ止めされた、第2の連接棒体と、
上記第2の関節式試験箇所アームの上記近位端にヒンジ止めされた第2の試験箇所アーム位置決め装置であって、上記プローブ先端本体に可動式に結合され、上記プローブ先端本体の上記遠位端に向かって及びそこから離れるように摺動可能である、第2の試験箇所アーム位置決め装置と
をさらに具え、
上記第2の試験箇所アーム位置決め装置を摺動させることが、上記プローブ先端本体に対する上記第2の関節式試験箇所アームの上記遠位端の位置の変化をもたらす、
請求項3に記載の電気試験測定プローブ。 - 本体と、
被試験デバイスの試験箇所との電気的接触を行うための試験箇所コンタクトであって、上記本体に可動式に結合され上記試験箇所コンタクトと上記本体との間の角度が調節可能であるように構成された、試験箇所コンタクトと、
上記被試験デバイスの試験箇所を照射するための光源と
を具え、
上記光源が上記本体に可動式に結合される表面上に配設され、上記表面が上記試験箇所コンタクトにも結合され、この結果、上記試験箇所コンタクトと上記本体との間の上記角度が調節されるとき、上記表面と上記本体との間の角度を同時に自動的に変化させて、上記光源が上記試験箇所コンタクトと実質的に同じ方向を指すのを維持する、
電気試験測定プローブ。
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